JP2006507539A - 欠陥画像を検査システムからデータベースに自動的に送信するシステム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(関連出願)
同様の参照番号が同様の特徴を示す添付図面に関する下記の説明を参照することによって、本実施例とその利点はより完全に理解される。
Claims (27)
- 欠陥画像を検査システムからデータベースに送信する方法であって、
検査システムにロードされたリソグラフィコンポーネント上の欠陥を特定し、
特定された欠陥の画像を捕捉し、
オペレータに特定された欠陥用の欠陥コードの選択を促し、
捕捉された画像をオペレータの欠陥コードの選択に応じて自動的にデータベースに送信する
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項1に記載の欠陥画像送信方法において、さらに、
リソグラフィコンポーネントに関する描写情報を抽出する
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項2に記載の欠陥画像送信方法において、さらに、
描写情報を捕捉された画像と関連付け、
描写情報と捕捉された画像とをデータベースに対して自動的に送信する
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項2に記載の欠陥画像送信方法において、さらに、
描写情報は、1または複数の顧客名、ジョブ番号、層名、デバイス名、サイト名、ツールシリアル番号、オペレータ識別子、欠陥コードから構成される
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項1に記載の欠陥画像送信方法において、さらに、
捕捉された画像がデータベース中に蓄積された場合にオペレータに通知する
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項1に記載の欠陥画像送信方法において、さらに、
捕捉された画像に関連するログファイルを生成し、
捕捉された画像の検査システムからデータベースへの送信が試みられたことを示すメッセージをログファイル中に記述する
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項6に記載の欠陥画像送信方法において、さらに、
そのメッセージは、捕捉された画像がデータベース中に蓄積された場合に、送信が成功したことを示す
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項6に記載の欠陥画像送信方法において、さらに、
そのメッセージは、送信中にエラーが発生した場合に、送信が不成功であることを示す
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項1に記載の欠陥画像送信方法において、
リソグラフィコンポーネントは、フォトマスクから構成される
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項1に記載の欠陥画像送信方法において、
リソグラフィコンポーネントは、ウエハーから構成される
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項1に記載の欠陥画像送信方法において、さらに、
欠陥コードは、1または複数の英数字の文字を含む
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 欠陥画像を検査システムからデータベースに送信する方法であって、
フォトマスクを検査システムにロードし、
そのフォトマスクに関する描写情報を抽出し、
フォトマスク上の欠陥を特定し、
特定された欠陥の画像を表示装置から捕捉し、
描写情報を捕捉された画像と関連付け、
検査システムのオペレータに、特定された欠陥用の欠陥コードの選択を促し、
捕捉された画像と描写情報とをオペレータの欠陥コードの選択に応じて自動的にデータベースに送信する
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項12に記載の欠陥画像送信方法において、
描写情報は、1または複数の顧客名、ジョブ番号、層名、デバイス名、サイト名、ツールシリアル番号、オペレータ識別子、欠陥コードから構成される
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項12に記載の欠陥画像送信方法において、さらに、
捕捉された画像に関連するログファイルを生成し、
捕捉された画像がデータベース中に蓄積されたことを示すメッセージをログファイル中に記述する
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 請求項12に記載の欠陥画像送信方法において、さらに、
捕捉された画像に関連するログファイルを生成し、
送信中にエラーが発生したことを示すメッセージをログファイル中に記述し、
捕捉された画像と描写情報がデータベース中に蓄積されるまで、エラーの検知に応じて、捕捉された画像と描写情報とを検査システムに付随するメモリ内に蓄積する
ことを特徴とする欠陥画像送信方法。 - 欠陥画像を検査システムからデータベースに送信するコンピュータシステムであって、
プロセッシングリソースと、
コンピュータ読み取り可能なメモリと、
そのコンピュータ読み取り可能なメモリ内に符号化された処理指示を備え、
その処理指示は、プロセッシングリソースによって実行される時に、
検査システムにロードされたリソグラフィコンポーネント上の欠陥を特定し、
特定された欠陥の画像を捕捉し、
オペレータに、特定された欠陥用の欠陥コードの選択を促し、
捕捉された画像をオペレータの欠陥コードの選択に応じて自動的にデータベースに送信する
というオペレーションを実行し得る
ことを特徴とする欠陥画像送信システム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、さらに、
フォトマスクに関する描写情報を抽出することを含む指示を実行し得る処理指示を備える
ことを特徴とする欠陥画像送信システム。 - 請求項17に記載のシステムにおいて、さらに、
描写情報を捕捉された画像に関連付け、
描写情報と捕捉された画像とをデータベースに自動的に送信する
ことを含む指示を実行し得る処理指示を備える
ことを特徴とする欠陥画像送信システム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、さらに、
オペレータに、捕捉された画像がデータベース中に蓄積されたことを通知する
ことを含む指示を実行し得る処理指示を備える
ことを特徴とする欠陥画像送信システム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、さらに、
捕捉された画像に関連するログファイルを生成し、
捕捉された画像がデータベース中に蓄積されたことを示すメッセージをログファイル中に記述することを含む指示を実行し得る処理指示を備える
ことを特徴とする欠陥画像送信システム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、さらに、
捕捉された画像に関連するログファイルを生成し、
送信中にエラーが発生したことを示すメッセージをログファイル中に記述し、
捕捉された画像と描写情報がデータベース中に蓄積されるまで、エラーの検知に応じて、捕捉された画像と描写情報とを検査システムに付随するメモリ内に蓄積する
ことを含む指示を実行し得る処理指示を備える
ことを特徴とする欠陥画像送信システム。 - 欠陥画像を検査システムからデータベースに送信するソフトウェアであって、
そのソフトウェアは、コンピュータ読み取り可能な媒体内で具体化され、実行された時に、
検査システムにロードされたリソグラフィコンポーネント上の欠陥を特定し、
特定された欠陥の画像を捕捉し、
オペレータに特定された欠陥用の欠陥コードの選択を促し、
捕捉された画像をオペレータの欠陥コードの選択に応じて自動的にデータベースに送信する
ことを特徴とする欠陥画像送信ソフトウェア。 - 請求項22に記載のソフトウェアにおいて、さらに、
フォトマスクに関する描写情報を抽出し得る
ことを特徴とする欠陥画像送信ソフトウェア。 - 請求項23に記載のソフトウェアにおいて、
描写情報を捕捉された画像と関連付け、
描写情報と捕捉された画像とをデータベース中に自動的に蓄積し得る
ことを特徴とする欠陥画像送信ソフトウェア。 - 請求項22に記載のソフトウェアにおいて、
捕捉された画像がデータベース中に蓄積されたことをオペレータに通知し得る
ことを特徴とする欠陥画像送信ソフトウェア。 - 請求項22に記載のソフトウェアにおいて、
捕捉された画像に関連するログファイルを生成し、
捕捉された画像がデータベースに蓄積されたことを示すメッセージをログファイル中に記述し得る
ことを特徴とする欠陥画像送信ソフトウェア。 - 請求項22に記載のソフトウェアにおいて、
捕捉された画像に関連するログファイルを生成し、
送信中にエラーが発生したことを示すメッセージをログファイル中に記述し、
捕捉された画像と描写情報がデータベース中に蓄積されるまで、エラーの検知に応じて、捕捉された画像と描写情報とを検査システムに付随するメモリ内に蓄積し得る
ことを特徴とする欠陥画像送信ソフトウェア。
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