JP2006351965A - 曲面形成方法および半導体発光素子 - Google Patents
曲面形成方法および半導体発光素子 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】曲面形成方法は、第2クラッド層13中の特定の元素の組成比fに応じてエッチングレートの異なるエッチャントにより、特定の元素が結晶成長方向に組成比fの分布を有する第2クラッド層13を選択的に除去して、その表面に所定の曲面Sを形成する。例えば、エッチャントのエッチングレートをr(rは組成比fの関数となっている。)、エッチング時間をt、第2クラッド層13のエッチング前の半径をRとすると、(R−rt)=2(py)0.5 を満たすように、組成比fを設定することにより、曲面Sをパラボラ形状とすることができる。
【選択図】 図1
Description
(R−rt)=2(py)0.5 …(1)
Claims (10)
- 化合物半導体中の特定の元素の組成比に応じてエッチングレートの異なるエッチャントにより、前記特定の元素が結晶成長方向に組成比の分布を有する化合物半導体層を選択的に除去して、その表面に所定の曲面を形成する
ことを特徴とする曲面形成方法。 - 前記曲面が、結晶成長方向に垂直な軸をX、結晶成長方向に平行な軸をYとすると、Y軸上に焦点および頂点を有する放物線を、Y軸を回転軸として360°回転させることにより得られる面となるように、前記特定の元素の組成比を設定する
ことを特徴とする請求項1に記載の曲面形成方法。 - 前記化合物半導体は、Alを含んで構成されており、
前記化合物半導体のAl組成比をfa、前記エッチャントのエッチングレートをr(rはfaの関数となっている)、エッチング時間をt、前記化合物半導体のエッチング前の半径をR、前記曲面の焦点と頂点の距離をp、前記曲面の頂点から焦点側に向かう距離をyとすると、以下の式(1)を満たすように、Al組成比faを設定する
(R−rt)=2(py)0.5 …(1)
ことを特徴とする請求項2に記載の曲面形成方法。 - 前記化合物半導体は、(Alf Ga1-f )1-g Ing P(0<f≦1,0<g<1)を含んで構成されており、
前記エッチャントは、加水したH2 SO4 である
ことを特徴とする請求項3に記載の曲面形成方法。 - 前記化合物半導体は、Alk Ga1-k As(0<k≦1)を含んで構成されており、
前記エッチャントは、フッ化アンモニウムとフッ酸との混合液である
ことを特徴とする請求項3に記載の曲面形成方法。 - 活性層と、前記活性層より大きなバンドギャップを有し、前記活性層の両側に配置された一対のクラッド層とを含んで構成された化合物半導体層を備えた半導体発光素子であって、
前記一対のクラッド層の一方は、組成比が積層方向に連続的に変化する特定の元素を含有すると共に、その特定の元素の組成比に応じてエッチングレートの異なるエッチャントにより形成された曲面を有する
ことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記曲面が、積層方向に垂直な軸をX、積層方向に平行な軸をYとすると、Y軸上に焦点を有すると共にその焦点を基準として前記活性層とは反対側のY軸上に頂点を有する放物線を、Y軸を回転軸として360°回転させることにより得られる面となるように、前記特定の元素の組成比が設定されている
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体発光素子。 - 前記一対のクラッド層の一方は、Alを含有する化合物半導体であり、
前記一対のクラッド層の一方のAl組成比をfa、前記エッチャントのエッチングレートをr(rはfaの関数となっている)、エッチング時間をt、前記一対のクラッド層の一方のエッチング前の半径をR、前記曲面の焦点と頂点の距離をp、前記曲面の頂点から焦点側に向かう距離をyとすると、以下の式(2)を満たすように、Al組成比faが設定されている
(R−rt)=2(py)0.5 …(2)
ことを特徴とする請求項7に記載の半導体発光素子。 - 前記一対のクラッド層の一方は、(Alf Ga1-f )1-g Ing P(0<f≦1,0<g<1)を含んで構成されており、
前記エッチャントは、加水したH2 SO4 である
ことを特徴とする請求項8に記載の半導体発光素子。 - 前記一対のクラッド層の一方は、Alk Ga1-k As(0<k≦1)を含んで構成されており、
前記エッチャントは、フッ化アンモニウムとフッ酸との混合液である
ことを特徴とする請求項8に記載の半導体発光素子。
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JP2005178479A JP2006351965A (ja) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 曲面形成方法および半導体発光素子 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0199276A (ja) * | 1987-10-13 | 1989-04-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ装置の製造方法 |
JPH03283675A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-13 | Toshiba Corp | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2001085738A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Sony Corp | 自発光素子およびその製造方法、照明装置、並びに2次元表示装置 |
-
2005
- 2005-06-17 JP JP2005178479A patent/JP2006351965A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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