JP2006339267A - レーザビームのビーム形状検出装置 - Google Patents
レーザビームのビーム形状検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006339267A JP2006339267A JP2005159901A JP2005159901A JP2006339267A JP 2006339267 A JP2006339267 A JP 2006339267A JP 2005159901 A JP2005159901 A JP 2005159901A JP 2005159901 A JP2005159901 A JP 2005159901A JP 2006339267 A JP2006339267 A JP 2006339267A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- lens system
- shape
- light receiving
- beam splitter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】 レーザビームのビーム形状表示装置100を、入射するレーザビーム2の一部を反射し、残りを透過させるビームスプリッタ20と、ビームスプリッタ20で反射されたレーザビーム2を平行なレーザビームに変換するレンズ系30と、平行なレーザビーム2を受光するCCDセンサ40と、CCDセンサ40の受光結果を表示する表示装置51により構成すると共に、レンズ系30を直線案内装置33によりレンズ系30の中心軸O方向に位置決め自在に構成する。
【選択図】図2
Description
図3は、本発明における光学系の模式図である。
ビーム形状検出装置100をfθレンズ1の下方に位置決めする。このとき、ビームスプリッタ20表面の中心をfθレンズ1の中心軸Pに交差させる。
20 ビームスプリッタ
30 レンズ系
33 直線案内装置
40 CCDセンサ
51 表示装置
100 レーザビームのビーム形状表示装置
O レンズ系30の中心軸
Claims (2)
- 入射するレーザビームの一部を反射し、残りを透過させるビームスプリッタと、
拡散するレーザビームを平行なレーザビームに変換するレンズ系と、
前記レンズ系を直線方向に案内する案内手段と、
前記平行なレーザビームを受光する受光手段と、
前記受光手段の受光結果を表示する表示手段とが、ベース上に設けられたレーザビームのビーム形状検出装置において、
前記受光手段を受光面の水平面に対する角度が予め定める角度θになるようにして前記ベースに固定し、前記レンズ系をその中心軸が前記受光面に垂直になるように位置決めすると共に、前記案内手段により前記ベース上を当該中心軸に沿って移動可能に支持させ、前記ビームスプリッタを、表面の水平面に対する角度が(θ/2+90)度かつ前記中心軸と交差するようにして前記ベースに固定することを特徴とするレーザビームのビーム形状検出装置。 - 前記レーザビームのエネルギを吸収する吸収装置をさらに備え、この吸収装置を前記ビームスプリッタの透過側に配置することを特徴とする請求項1に記載のレーザビームのビーム形状表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005159901A JP2006339267A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | レーザビームのビーム形状検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005159901A JP2006339267A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | レーザビームのビーム形状検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006339267A true JP2006339267A (ja) | 2006-12-14 |
Family
ID=37559593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005159901A Pending JP2006339267A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | レーザビームのビーム形状検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006339267A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04237587A (ja) * | 1991-01-18 | 1992-08-26 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | レーザ加工装置 |
JPH09113368A (ja) * | 1995-10-13 | 1997-05-02 | Hoya Corp | 位相シフト量検出装置 |
JPH10300631A (ja) * | 1997-02-27 | 1998-11-13 | Hoya Corp | アレイ素子検査方法およびアレイ素子検査装置 |
JP2001077046A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工装置 |
-
2005
- 2005-05-31 JP JP2005159901A patent/JP2006339267A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04237587A (ja) * | 1991-01-18 | 1992-08-26 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | レーザ加工装置 |
JPH09113368A (ja) * | 1995-10-13 | 1997-05-02 | Hoya Corp | 位相シフト量検出装置 |
JPH10300631A (ja) * | 1997-02-27 | 1998-11-13 | Hoya Corp | アレイ素子検査方法およびアレイ素子検査装置 |
JP2001077046A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20130235387A1 (en) | Three-dimensional measuring device and method | |
US10508950B2 (en) | Transparent measuring probe for beam scanning | |
JP6711899B2 (ja) | レーザビームの特性を決定するための装置および方法 | |
JP2008102011A (ja) | 穴内検査装置および穴内検査方法 | |
KR880008043A (ko) | 비접촉 자동 초점위치 맞춤방법 및 장치. | |
CN102841055A (zh) | 光学元件体内激光损伤在线探测方法和装置 | |
JP4412180B2 (ja) | レーザー超音波探傷法、及びレーザー超音波探傷装置 | |
TWI655048B (zh) | 穿透雷射光束的檢測方法 | |
JP5268749B2 (ja) | 基板状態検査方法及びレーザ加工装置並びにソーラパネル製造方法 | |
JP5328406B2 (ja) | レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法 | |
JP2003136267A (ja) | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 | |
US9427826B2 (en) | Hand-guided marking system | |
JP2016205981A (ja) | テラヘルツ照射位置の可視化装置 | |
JP2006339267A (ja) | レーザビームのビーム形状検出装置 | |
JP5178281B2 (ja) | 基板検査装置及び基板検査方法 | |
JP2012181144A (ja) | 距離測定器及びその製造方法 | |
JPH11173821A (ja) | 光学式検査装置 | |
JP2011080978A (ja) | 測定装置 | |
JP5460068B2 (ja) | レーザ光状態検査方法及び装置並びにソーラパネル製造方法 | |
JP2008216150A (ja) | 透明物の検査装置及び検査方法 | |
KR20210058657A (ko) | 촬상 장치 | |
JP3314781B2 (ja) | はんだ付部の外観検査方法 | |
JP5234652B2 (ja) | レーザ加工状態検査装置、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法 | |
JP2004077144A5 (ja) | ||
JPH03231105A (ja) | 外観検査方法及びその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110412 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110613 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111108 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120110 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120904 |