JP2006332415A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体素子を搭載する基体の折り曲げ性の劣化を防止しつつ、半導体素子の電極の配列順序を考慮する手間を削減でき、また、2つ以上の半導体素子を搭載できる安価な半導体装置を提供すること。
【解決手段】COFは、可撓性を有するテープキャリア7上に、半導体素子1とプリント基板20を備える。プリント基板20は、表面と垂直の方向から見て互いに交差した基板配線を備える。テープキャリア7の表面に形成された配線パターン3と、プリント基板20の基板配線とを接続する。プリント基板20の基板配線が互いに交差することにより、配線パターン3の交差を無くすることができるので、テープキャリア7は1層の配線パターン3のみを備えればよい。1層配線のテープキャリア7は、2層配線を有するテープキャリアよりも折り曲げ性を向上できると共に、安価に製造できる。
【選択図】図2
【解決手段】COFは、可撓性を有するテープキャリア7上に、半導体素子1とプリント基板20を備える。プリント基板20は、表面と垂直の方向から見て互いに交差した基板配線を備える。テープキャリア7の表面に形成された配線パターン3と、プリント基板20の基板配線とを接続する。プリント基板20の基板配線が互いに交差することにより、配線パターン3の交差を無くすることができるので、テープキャリア7は1層の配線パターン3のみを備えればよい。1層配線のテープキャリア7は、2層配線を有するテープキャリアよりも折り曲げ性を向上できると共に、安価に製造できる。
【選択図】図2
Description
本発明は、例えばテープキャリア等のような可撓性の基体を備える半導体装置に関する。
従来より、テープ状のフレキシブル配線基板(テープキャリア)上に半導体素子を搭載したTCP(Tape Carrier Package)やCOF(Chip On Film)と呼ばれる構造の半導体装置がある。図6は従来のTCPを示す断面図であり、図7は従来のCOFを示す断面図である。
従来のTCPでは、図6に示すように、表面に配線3及びソルダーレジスト8が形成されたテープキャリア7に貫通穴を設け、この貫通穴内に、上記配線3に連なるインナーリード4を片持ち梁状に突出させて、このインナーリード4の先端部分にバンプ2を介して半導体素子1の電極を接合している。
一方、従来のCOFでは、図7に示すように、テープキャリア7の表面に接してこのテープキャリア7に支持された状態のインナーリード4を形成し、このインナーリード4の先端部分にバンプ2を介して半導体素子1の電極を接合している。
このようなテープキャリア7を用いた半導体装置の主な用途としては、液晶ドライバやサーマルヘッドプリンタ等がある。
しかしながら、上記従来のTCPやCOFでは、配線3は、テープキャリア7の片面に1層の導電材によって形成され、2次元的に配置されることが多いので、異なる電気信号が流れる配線パターン同士を交差することができない。したがって、上記テープキャリア7に搭載される半導体素子1は、この半導体素子1に接続される配線3が交わらないように(クロス配線にならないように)、上記半導体素子1の複数の電極の配列順序を考慮しなければならない。
さらに、上記テープキャリア7上に2つ以上の半導体素子1を接合・搭載する場合、上記テープキャリア7上に形成される配線3は、その経路がさらに複雑さを増し、交差しない経路を確保することが難しくなる。したがって、1層の導電材で形成された配線3を備えるテープキャリア7には、2つ以上の半導体素子1を搭載するのは困難である。
そこで、従来、図8に示すようにテープキャリア7の両面に配線3を形成し、この両面の配線3を所定箇所でスルーホール9を介して互いに接続した2層配線COFが提案されている(例えば、特許文献1:特開平11−186341公報参照)。
しかしながら、上記2層配線COFを用いた半導体装置は、1層配線COFに比べて折り曲げ性が劣り、また、2倍以上のコストがかかるという問題がある。
特開平11−186341公報
そこで、本発明の課題は、半導体素子を搭載する基体の折り曲げ性の劣化を防止しつつ、半導体素子の電極の配列順序を考慮する手間を削減でき、また、2つ以上の半導体素子を搭載できる安価な半導体装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の半導体装置は、少なくとも1つの半導体素子と、
上記半導体素子を搭載すると共に、可撓性を有する第1基体と、
上記第1基体に形成され、上記半導体素子に接続された複数の第1配線と、
上記第1基体に設けられた第2基体と、
上記第2基体に形成され、上記複数の第1配線のうちの少なくとも2つに接続されると共に、少なくとも2つが互いに交差するように形成された複数の第2配線と
を備えることを特徴としている。
上記半導体素子を搭載すると共に、可撓性を有する第1基体と、
上記第1基体に形成され、上記半導体素子に接続された複数の第1配線と、
上記第1基体に設けられた第2基体と、
上記第2基体に形成され、上記複数の第1配線のうちの少なくとも2つに接続されると共に、少なくとも2つが互いに交差するように形成された複数の第2配線と
を備えることを特徴としている。
上記構成によれば、上記第2基体に形成されて少なくとも2つが互いに交差するように形成された複数の第2配線が、上記第1基体に形成された複数の第1配線のうちの少なくとも2つに接続される。したがって、上記複数の第1配線は互いに交差しないので、上記第1基体の表裏両面のうちの一方のみに第1配線を形成することができ、その結果、従来のテープキャリアに2層配線を形成する場合のような折り曲げ性の劣化やコストアップを防止できる。
また、上記半導体素子の電極及び回路の設計について、従来のようにテープキャリアの配線が互いに交差しないように配慮する必要が無いので、半導体素子の設計の自由度を向上することができる。
また、上記第1基体上に複数の半導体素子を容易に搭載できるので、この半導体装置における半導体素子の高集積化を図ることができる。
さらに、上記第1基体の第1配線を、表面又は裏面の1層の導電層で形成できるので、上記第1基体の折り曲げ性能を向上しつつ、上記第1基体及び第1配線の薄型化を行うことができるから、この半導体装置の小型化を効果的に行うことができ、その結果、この半導体装置を用いる電子機器の小型化を図ることができる。
さらに、上記第2基体に形成される複数の第2配線の配線パターンを変えるのみにより、共通の上記第1基体を用いて異なる配線経路を実現できるので、半導体装置の製造コストを低減できる。
なお、上記第1基体は、可撓性を有して半導体素子を搭載するものであればどのようなものでもよく、例えば、テープキャリアやフレキシブル基板等を含む。
一実施形態の半導体装置は、上記第2基体は、プリント基板で形成されている。
上記実施形態によれば、上記第2基体に、周知の技術を用いて簡易に第2配線を形成できる。
一実施形態の半導体装置は、上記第2基体は、フレキシブル基板で形成されている。
上記実施形態によれば、上記第2基体が第1基体に設けられた状態で、良好な可撓性を有する半導体装置が得られる。
一実施形態の半導体装置は、上記第2基体は、シリコン基板で形成されている。
上記実施形態によれば、上記第2基体に、周知の技術を用いて、微細な第2配線を容易に形成できるので、上記第2基体の小型化を行って、半導体装置の小型化を図ることができる。
一実施形態の半導体装置は、上記第1基体の上記少なくとも2つの第1配線と、上記第2基体に設けられた複数の第2配線とが、異方導電性部材で接続されている。
上記実施形態によれば、上記第1基体の第1配線と、上記第2基体の第2配線とを、容易に電気的に接続することができる。
一実施形態の半導体装置は、上記第1基体の上記少なくとも2つの第1配線と、上記第2基体に設けられた複数の第2配線とが、半田で接続されている。
上記実施形態によれば、上記第1基体の第1配線と、上記第2基体の第2配線とを、安価に電気的に接続することができる。
一実施形態の半導体装置は、上記シリコン基板に形成された第2配線に連なる電極が、Au−Sn合金を用いて形成されている。
上記実施形態によれば、例えば半田に対する接合性が向上するので、上記電極によって第1配線と第2配線との間を強固かつ確実に接続できる。
また、上記シリコン基板の第2配線に連なる電極と、上記第1基体の第1配線との間を、例えばバンプを用いることにより、容易かつ確実に接続できる。
一実施形態の半導体装置は、上記シリコン基板と第1基体との間に、封止樹脂が配置されている。
上記実施形態によれば、上記第1基体が折り曲げられた状態においても、上記第1基体とシリコン基板との間の絶縁が確保され、また、上記シリコン基板と第1基体とを接続する例えばバンプへの応力集中を低減できる。
以上のように、本発明の半導体装置は、可撓性を有する第1基体上に第2基体が設けられ、上記第1基体に形成された複数の第1配線のうちの少なくとも2つが、上記第2基体に形成されて少なくとも2つが互いに交差するように形成された複数の第2配線に接続されるので、上記第1基体の第1配線は、この第1基体の表裏両面のうちの一方のみに形成すればよいから、従来のような2層配線を形成した場合における折り曲げ性の劣化やコストアップを防止できる。特に、上記半導体装置の小型化により、上記第1基体及び第1配線の薄型化が必要となる場合において、2層配線を行った場合のような折り曲げ性能の大幅な低下を防止できる点で、本発明は有効である。
以下、本発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
(第1実施形態)
図1Aは、本発明の半導体装置としてのCOF(Chip On Film)を模式的に示した平面図であり、図1Bは、COFの構成部分であるプリント基板20を拡大して模式的に示した平面図である。図2は、図1AのA―A線に沿って切断した様子を示す断面図である。なお、本明細書において、COFとは、可撓性を有する第1基体に半導体素子を搭載する半導体装置を広く意味し、第1基体の形状や用途によって限定されるものではない。
図1Aは、本発明の半導体装置としてのCOF(Chip On Film)を模式的に示した平面図であり、図1Bは、COFの構成部分であるプリント基板20を拡大して模式的に示した平面図である。図2は、図1AのA―A線に沿って切断した様子を示す断面図である。なお、本明細書において、COFとは、可撓性を有する第1基体に半導体素子を搭載する半導体装置を広く意味し、第1基体の形状や用途によって限定されるものではない。
このCOFは、例えばポリイミド等の樹脂で形成されて可撓性を有する第1基体としてのテープキャリア7と、このテープキャリア7の表面に搭載された半導体素子1と、上記テープキャリア7に設けられた第2基体としてのプリント基板20を備える。上記テープキャリア7の表面には、上記半導体素子1に接続された複数の第1配線としての複数の配線パターン3が形成されている。
上記プリント基板20の表裏両面には、第2配線としての基板配線24が形成されている。この基板配線24は、プリント基板20の平面と垂直の方向から見て、互いに交差するように形成されている。
上記テープキャリア7及び配線パターン3の表面には、上記半導体素子1の周囲の部分と上記プリント基板20の周囲の部分とを除いて、ソルダーレジスト8が設けられている。上記プリント基板20の周囲の上記ソルダーレジスト8が設けられていない部分には、複数の配線パターン3の先端部分が露出しており、この配線パターン3の先端部分にインナーリード16が形成されている。上記配線パターン3は銅箔で形成されており、上記インナーリード16は、上記配線3を形成する銅箔の表面に、錫メッキや金メッキが施されている。また、上記半導体素子1の周囲の上記ソルダーレジスト8が設けられていない部分には、複数の配線パターン3の先端部分が露出しており、この配線パターン3の先端部分に、錫メッキや金メッキが施されてインナーリード15が形成されている。なお、錫メッキや金メッキは図示していない。さらに、上記テープキャリア7の長手方向(配線パターン3が延在する方向)の両端縁には、上記配線パターン3に連なる外部接続用端子17が設けられている。
図3は、上記プリント基板20の断面図である。このプリント基板20の表面に形成された基板配線24は、スルーホール9を介して、裏面に形成された電極18に接続されている。上記プリント基板20の裏面に形成された基板配線24は、裏面に形成された電極18に直接接続されている。上記電極18は、プリント基板20の両端に各々沿うように形成されており、上記プリント基板20の各々の端において、上記裏面側の基板配線24に接続された電極18と、上記表面側の基板配線24に接続された電極18とが並んで配置されている。上記プリント基板20及び配線基板24の表面には、ソルダーレジスト8が設けられている。なお、上記プリント基板20は、多層配線基板であってもよい。
上記プリント基板20は、上記テープキャリア7の上記ソルダーレジスト8が配置されていない表面部分に、異方導電性部材としてのACF(異方導電性フィルム)19を介して熱圧着接合されている。なお、異方導電性部材としては、ACFに換えて、異方導電性接着剤を用いてもよい。上記ACF19によって、上記プリント基板20の電極18が、上記テープキャリア7のインナーリード16に電気的に接続されている。上記ACF19を用いることにより、上記電極18とインナーリード16とを簡易な構成で接続できる。
上記半導体素子1の裏面には、突起電極であるバンプ2が形成されている。このバンプ2は、主に金で形成されている。このバンプ2を介して、上記テープキャリア7上のインナーリード15に電気的に接続されている。
上記半導体素子1の裏面及び側面と、上記テープキャリア7の表面との間は、絶縁性樹脂6によって封止されている。この絶縁性樹脂6は、製造工程において、ゲル状態の樹脂材料が上記半導体素子1の裏面に注入され、この注入された樹脂材料が半導体素子1の裏面から側面に亘って押し出されることにより、この半導体素子1の側面にフィレット状に配置される。そして、上記樹脂材料が熱処理により硬化されて、上記半導体素子1とテープキャリア7との間を封止する絶縁性樹脂6が形成される。
上記構成のCOFは、上記プリント基板20の基板配線24が、このプリント基板20の表裏面に形成されることにより、互いに交差している。このプリント基板20の基板配線24が、上記テープキャリア7の配線パターン3に接続されることにより、上記配線パターン3は、互いに交差する部分が無い。したがって、上記配線パターン3は、従来におけるような交差パターン配線にならないので、2層配線にする必要が無く、表面側のみに1層の上記配線パターン3を形成すればよい。その結果、従来の2層配線で交差配線を形成するテープキャリアのような、折り曲げ性の劣化やコストアップを、確実に防止できる。
さらに、上記半導体素子1について、例えば異なる回路を有して異なる配列の電極を有するものについても、この半導体素子1の電極の配列に応じた基板配線を有するプリント基板20を用いることにより、同一の配線パターン3を有するテープキャリア7を用いることができる。すなわち、異なる半導体素子1に対して、共通のテープキャリア7を用いることができる。その結果、テープキャリア7の汎用性を向上することができるので、COFの製造コストを効果的に削減することができる。
また、上記半導体素子1の電極及び回路の設計について、従来のようにテープキャリア7の配線パターン3が互いに交差しないように配慮する必要が無いので、この半導体素子1の設計の自由度を向上することができる。
なお、本実施形態において、第2基体としてプリント基板20を用いたが、第2基体としてフレキシブル基板やシリコン基板を用いてもよい。
(第2実施形態)
図4は、本発明の第2実施形態の半導体装置としてのCOFを示す断面図である。このCOFは、テープキャリア7に対するプリント基板20の接続方法が、第1実施形態のCOFと異なる。本実施形態において、第1実施形態と同一の部分は、同一の参照番号を引用して詳細な説明を省略する。
図4は、本発明の第2実施形態の半導体装置としてのCOFを示す断面図である。このCOFは、テープキャリア7に対するプリント基板20の接続方法が、第1実施形態のCOFと異なる。本実施形態において、第1実施形態と同一の部分は、同一の参照番号を引用して詳細な説明を省略する。
図4に示すように、このCOFは、プリント基板20の電極18と、テープキャリア7のインナーリード16とを、半田13で接続している。上記プリント基板20の電極18は、Au−Sn合金で被覆されている。また、上記テープキャリア7のインナーリード16は、Au−Sn合金で被覆されている。
本実施形態のCOFによれば、上記プリント基板20の電極18と、テープキャリア7のインナーリード16とを、半田13によって安価に電気的に接続することができる。また、上記電極18及びインナーリード16に被覆されたAu−Sn合金により、この電極18及びインナーリード16の半田に対する付着性が向上するので、電極18及びインナーリード16の接続部分の強度を増大できる。したがって、テープキャリア7の折り曲げ等によって上記接続部分に応力が生じやすいにもかかわらず、上記接続部分の破壊を効果的に防止できる。
なお、本実施形態において、第2基体としてプリント基板20を用いたが、第2基体としてフレキシブル基板やシリコン基板を用いてもよい。
(第3実施形態)
図5は、本発明の第3実施形態の半導体装置としてのCOFを示す断面図である。このCOFは、第2基体として、プリント基板20に換えてシリコン基板22を用いる点と、テープキャリア7に対する第2基体の接続方法とが、第1実施形態のCOFと異なる。本実施形態において、第1実施形態と同一の部分は、同一の参照番号を引用して詳細な説明を省略する。
図5は、本発明の第3実施形態の半導体装置としてのCOFを示す断面図である。このCOFは、第2基体として、プリント基板20に換えてシリコン基板22を用いる点と、テープキャリア7に対する第2基体の接続方法とが、第1実施形態のCOFと異なる。本実施形態において、第1実施形態と同一の部分は、同一の参照番号を引用して詳細な説明を省略する。
図5に示すように、本実施形態のCOFは、表面と直角方向から見て互いに交差する基板配線を有するシリコン基板22と、テープキャリア7のインナーリード16との間を、上記シリコン基板22に形成されたバンプ23で接続している。上記シリコン基板22の裏面及び側面と、上記テープキャリア7の表面との間を、絶縁性樹脂6によって封止している。上記絶縁性樹脂6は、熱硬化性の樹脂で形成されている。この絶縁性樹脂6は、製造工程において、上記シリコン基板22とテープキャリア7との間にゲル状の樹脂材料を注入することにより、上記シリコン基板22の側面とテープキャリア7の表面との間にフィレットを形成し、熱処理を施すことによって形成されている。上記絶縁性樹脂6によって、上記シリコン基板22の基板配線とテープキャリア7の配線パターン3との間の絶縁を確保でき、また、テープキャリア7が折り曲げられることによるバンプ23への応力集中を少なくすることができる。
また、上記各実施形態において、第1基体上には1つの半導体素子を搭載したが、必要に応じて複数の半導体素子を搭載してもよい。この場合、複数の半導体素子の電極の配列に応じて、必要であれば、上記複数の半導体素子の間に所定の配線パターンを有する第2基体を配置すればよい。このように、1つの基体上に、複数の半導体素子を容易に搭載できるので、COFにおける半導体素子の高集積化を図ることができる。
また、上記半導体素子と第2基体は、第1基体の表面に配置したが、第1基体に貫通穴を形成し、この貫通穴内に半導体素子及び第2基体の少なくとも一方を配置してもよい。この場合、上記貫通穴内に、上記第1配線に連なるインナーリードを設け、このインナーリードに、上記貫通穴内に配置された半導体素子の電極及び第2基体の第2配線を接続すればよい。
1 半導体素子
3 配線パターン
6 絶縁性樹脂
7 テープキャリア
8 ソルダーレジスト
15 半導体素子の電極に接続されるインナーリード
16 プリント基板の電極に接続されるインナーリード
18 プリント基板の電極
19 ACF
20 プリント基板
3 配線パターン
6 絶縁性樹脂
7 テープキャリア
8 ソルダーレジスト
15 半導体素子の電極に接続されるインナーリード
16 プリント基板の電極に接続されるインナーリード
18 プリント基板の電極
19 ACF
20 プリント基板
Claims (8)
- 少なくとも1つの半導体素子と、
上記半導体素子を搭載すると共に、可撓性を有する第1基体と、
上記第1基体に形成され、上記半導体素子に接続された複数の第1配線と、
上記第1基体に設けられた第2基体と、
上記第2基体に形成され、上記複数の第1配線のうちの少なくとも2つに接続されると共に、少なくとも2つが互いに交差するように形成された複数の第2配線と
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
上記第2基体は、プリント基板で形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
上記第2基体は、フレキシブル基板で形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
上記第2基体は、シリコン基板で形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
上記第1基体の上記少なくとも2つの第1配線と、上記第2基体に形成された複数の第2配線とが、異方導電性部材で接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
上記第1基体の上記少なくとも2つの第1配線と、上記第2基体に形成された複数の第2配線とが、半田で接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項4に記載の半導体装置において、
上記シリコン基板に形成された第2配線に連なる電極が、Au−Sn合金を用いて形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項7に記載の半導体装置において、
上記シリコン基板と第1基体との間に、封止樹脂が配置されていることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006332415A true JP2006332415A (ja) | 2006-12-07 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005155202A Pending JP2006332415A (ja) | 2005-05-27 | 2005-05-27 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006332415A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010286626A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Sharp Corp | 液晶パネルコントロール基板 |
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-
2005
- 2005-05-27 JP JP2005155202A patent/JP2006332415A/ja active Pending
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