JP2006324590A - 裏面電極型太陽電池とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体基板の裏面上にp(正)とn(負)の電極が形成される裏面電極型太陽電池の製造方法は、p(正)とn(負)のフィンガー電極パターン(55)のそれぞれに対応する概略長方形形状の複数の開口部(31、32)を有するメタルマスク(30)を位置合せして半導体基板(10)の裏面に相対して配置する工程と、メタルマスクの開口部を介して半導体基板の裏面上に電極金属膜を蒸着またはスパッタリング(40)によって形成する工程と、それらの工程によって形成されたp(正)とn(負)の電極を有する基板の複数をインターコネクタを介して相互に直列接続する工程を含むことを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
Claims (10)
- 半導体基板の裏面上にp(正)とn(負)の電極が形成される裏面電極型太陽電池の製造方法であって、
p(正)とn(負)のフィンガー電極パターンのそれぞれに対応する概略長方形形状の複数の開口部を有するメタルマスクを位置合せして前記半導体基板の裏面に相対して配置する工程と、
前記メタルマスクの開口部を介して前記半導体基板の裏面上に電極金属膜を蒸着またはスパッタリングによって形成する工程と、
上記工程によって形成されたp(正)とn(負)の電極を有する前記基板の複数をインターコネクタを介して相互に直列接続する工程を含むことを特徴とする裏面電極型太陽電池の製造方法。 - 前記メタルマスクの断面形状において、前記半導体基板側の辺がその対辺よりも短い概略台形になっていることを特徴とする請求項1に記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 前記メタルマスクの開口部の形状は、前記電極が前記インターコネクタに接続される部分に相当する部分が幅広にされた概略T字型形状となっていることを特徴とする請求項1または2に記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 前記メタルマスクとして、p(正)電極パターンに対応する開口部を有するメタルマスクと、n(負)電極パターンに対応する開口部を有するメタルマスクの2種類を用いて、前記p(正)電極と前記n(負)電極とで成分および構成の異なる金属膜を形成することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 前記n(負)電極として、チタン、パラジウム、および銀(Ti/Pd/Ag)の各層をこの順に積層することを特徴とする請求項4に記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 前記n(負)電極として、チタン、ニッケル、およびパラジウム(Ti/Ni/Pd)の各層をこの順に積層することを特徴とする請求項4に記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 前記n(負)電極として、チタン、ニッケル、および金(Ti/Ni/Au)の各層をこの順に積層することを特徴とする請求項4に記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 前記p(正)電極として、アルミニウムを堆積した上にニッケルメッキと金メッキを順次施すことを特徴とする請求項4から7のいずれかに記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 前記p(正)電極として、アルミニウム、チタン、パラジウム、および銀(Al/Ti/Pd/Ag)の各層をこの順に積層することを特徴とする請求項4から7のいずれかに記載の裏面電極型太陽電池の製造方法。
- 請求項1から9のいずれかの裏面電極型太陽電池の製造方法を用いて作製されていることを特徴とする裏面電極型太陽電池。
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