JP2006315934A - Method for removing cullet from glass substrate - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガラス基板の表面に付着したカレットを除去するガラス基板のカレット除去方法に関するものである。 The present invention relates to a cullet removal method for a glass substrate that removes cullet attached to the surface of the glass substrate.
一般に、液晶ディスプレイ，プラズマディスプレイ等の製品に組み付けられるガラス基板は、大きな元板を所定の大きさに切断したものとなっている。そして、この切断により、カレット（ガラスの切粉、外径：数μｍ以上）が発生し、ガラス基板の表面に付着する。また、上記切断後、アニール，研磨が行われるが、それらの各工程でも、カレットが発生し、ガラス基板の表面に付着することがある。そこで、上記ガラス基板は、製品への組み付けに先立って、上記カレットが除去される。 In general, a glass substrate to be assembled in a product such as a liquid crystal display or a plasma display is obtained by cutting a large base plate into a predetermined size. And by this cutting | disconnection, a cullet (a glass chip, outer diameter: several micrometers or more) will generate | occur | produce and adhere to the surface of a glass substrate. In addition, annealing and polishing are performed after the cutting, but cullet is generated in each of these steps and may adhere to the surface of the glass substrate. Therefore, the cullet is removed from the glass substrate prior to assembly to the product.
ところで、上記カレットの付着は、強力であり、手等で払った程度では除去できず、しばらく放置すると、ガラス基板の表面に固着する程度となっている。このため、従来より、カレット除去方法としては、刃物を用いた方法が提案されている。例えば、刃物によりカレットを削り取る方法（特許文献１，２参照）や刃物を回転させてカレットに当てカレットを飛ばす方法（特許文献３参照）等である。
しかしながら、上記従来のカレット除去方法では、刃物の刃先とガラス基板の表面との間の微小隙間を高精度に維持することが必要である。しかも、その微小隙間の維持は、困難であるため、刃物の刃先とガラス基板の表面とが接触し、ガラス基板の表面に傷が付いたり、刃物の刃先が欠けたりすることがある。 However, in the above conventional cullet removal method, it is necessary to maintain a minute gap between the blade edge of the blade and the surface of the glass substrate with high accuracy. In addition, since it is difficult to maintain the minute gap, the blade edge of the blade and the surface of the glass substrate may come into contact with each other, and the surface of the glass substrate may be damaged or the blade edge of the blade may be chipped.
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、ガラス基板の表面に付着したカレットを簡単かつ確実に除去することができる、ガラス基板のカレット除去方法の提供をその目的とする。 This invention is made | formed in view of such a situation, The objective is to provide the cullet removal method of the glass substrate which can remove the cullet adhering to the surface of a glass substrate easily and reliably.
上記の目的を達成するため、本発明のガラス基板のカレット除去方法は、ガラス基板の表面に付着したカレットを、そのガラス基板の表面にドライアイス粒子を衝突させることにより除去するという構成をとる。 In order to achieve the above object, the method for removing cullet from a glass substrate according to the present invention is configured to remove cullet attached to the surface of a glass substrate by causing dry ice particles to collide with the surface of the glass substrate.
本発明者らは、カレットを簡単かつ確実に除去する方法について、研究を重ねた。その結果、ガラス基板の表面にドライアイス粒子を衝突させると、ドライアイス粒子は、カレットに衝突して、そのカレットを物理的に飛ばすだけでなく、カレットとガラス基板表面との間に入り込み、そのドライアイス粒子の昇華によるガスにより、カレットを浮き上がらせて飛ばすことを見出し、本発明に到達した。 The present inventors have conducted research on a method for easily and reliably removing cullet. As a result, when dry ice particles collide with the surface of the glass substrate, the dry ice particles not only collide with the cullet and physically fly the cullet, but also enter between the cullet and the glass substrate surface. It has been found that the cullet is lifted and blown off by the gas generated by sublimation of the dry ice particles, and the present invention has been achieved.
本発明のガラス基板のカレット除去方法は、カレットが付着したガラス基板の表面に、ドライアイス粒子を衝突させるため、ドライアイス粒子との衝突によりカレットを物理的に飛ばす作用およびドライアイス粒子の昇華によりカレットの浮き上がらせて飛ばす作用との相乗効果により、ガラス基板の表面からカレットを簡単かつ確実に除去することができる。 In the method for removing cullet from the glass substrate of the present invention, the dry ice particles collide with the surface of the glass substrate to which the cullet is adhered. The cullet can be easily and reliably removed from the surface of the glass substrate by a synergistic effect with the action of lifting and flying the cullet.
特に、上記ドライアイス粒子の衝突による上記ガラス基板表面における風速が、３〜１０ｍ／秒の範囲に設定されている場合には、カレットの除去に適正な、ガラス基板表面の圧力となっている。 In particular, when the wind speed on the glass substrate surface due to the collision of the dry ice particles is set in a range of 3 to 10 m / second, the pressure on the glass substrate surface is appropriate for removing cullet.
また、上記ガラス基板表面に衝突直前のドライアイス粒子の平均粒径が、０．１〜１．０ｍｍの範囲に設定されている場合には、カレットの除去に適正な、ドライアイス粒子の平均粒径となっている。 In addition, when the average particle size of the dry ice particles immediately before the collision with the glass substrate surface is set in the range of 0.1 to 1.0 mm, the average particle size of the dry ice particles suitable for removing cullet It is a diameter.
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図１は、本発明のガラス基板のカレット除去方法の一実施の形態を示している。このガラス基板のカレット除去方法は、ガラス元板から所定の大きさに切断されたガラス基板Ｇに対して、ドライアイス粒子噴射装置１によりドライアイス粒子を噴射させ、そのドライアイス粒子を上記ガラス基板の表面に衝突させることにより、そのガラス基板Ｇの表面に付着したカレットを除去するようになっている。
FIG. 1 shows an embodiment of a method for removing cullet from a glass substrate according to the present invention. This method for removing cullet from a glass substrate is such that dry ice particles are ejected by a dry ice
より詳しく説明すると、上記ドライアイス粒子噴射装置１は、この実施の形態では、本体１ａ内でブロック状のドライアイスを削り、その削りかすとしてドライアイス粒子を得、その得たドライアイス粒子を加圧エアーと共にホース１ｂを介してノズル１ｃから噴射できるようになっている。
More specifically, in this embodiment, the dry ice
そして、上記ガラス基板Ｇの表面に付着したカレットをより的確に除去するためには、ガラス基板Ｇの表面に衝突直前のドライアイス粒子の平均粒径は、０．１〜１．０ｍｍの範囲に設定されることが好ましく、より好ましくは、０．３〜０．５ｍｍの範囲である。上記平均粒径が０．１ｍｍを下回ると、ドライアイス粒子１個が小さくなるため、その運動エネルギーおよび昇華エネルギーが低くなり、カレットが除去され難い傾向にあり、上記平均粒径が１．０ｍｍを上回ると、ドライアイス粒子がカレットよりもかなり大きくなるため、ドライアイス粒子がガラス基板Ｇの表面とカレットとの間に入り込み難く、カレットを浮き上がらせる作用が充分に得られないからである。なお、上記平均粒径は、ドライアイス粒子がガラス基板Ｇの表面に衝突する状態を写真撮影し、その写真から衝突直前の任意の１０粒を選択してそれぞれの粒径を測定し、その平均値をとったものである。 And in order to remove the cullet adhering to the surface of the glass substrate G more accurately, the average particle size of the dry ice particles immediately before the collision with the surface of the glass substrate G is in the range of 0.1 to 1.0 mm. It is preferably set, and more preferably in the range of 0.3 to 0.5 mm. When the average particle size is less than 0.1 mm, one dry ice particle is small, so that the kinetic energy and sublimation energy are low, and the cullet tends to be difficult to be removed, and the average particle size is 1.0 mm. If it exceeds the upper limit, the dry ice particles are considerably larger than the cullet, so that the dry ice particles are difficult to enter between the surface of the glass substrate G and the cullet, and the effect of raising the cullet cannot be obtained sufficiently. The average particle size is obtained by taking a photograph of a state in which dry ice particles collide with the surface of the glass substrate G, selecting any 10 particles immediately before the collision from the photograph, measuring each particle size, It is a value.
また、カレットの的確な除去のためには、上記ドライアイス粒子の衝突によって発生する、上記ガラス基板Ｇの表面における風速（以下、「衝突風速」という）は、３〜１０ｍ／秒の範囲に設定されることが好ましい。上記衝突風速が３ｍ／秒を下回ると、ドライアイス粒子の運動エネルギーが充分に得られず、カレットが充分に除去され難い傾向にあり、上記衝突風速が１０ｍ／秒を上回ると、ドライアイス粒子がガラス基板Ｇの表面に衝突する圧力が大きくなり過ぎて、ガラス基板Ｇの表面を傷付けるおそれがあるからである。なお、上記衝突風速は、ガラス基板Ｇの表面に設置した風速計により測定することができる。 Further, in order to accurately remove the cullet, the wind speed (hereinafter referred to as “impact wind speed”) generated by the collision of the dry ice particles on the surface of the glass substrate G is set in a range of 3 to 10 m / sec. It is preferred that When the collision wind speed is less than 3 m / sec, the kinetic energy of the dry ice particles is not sufficiently obtained, and the cullet tends to be hardly removed. When the collision wind speed exceeds 10 m / sec, This is because the pressure that collides with the surface of the glass substrate G becomes too large and may damage the surface of the glass substrate G. In addition, the said impact wind speed can be measured with the anemometer installed in the surface of the glass substrate G. FIG.
そして、上記衝突風速を上記好ましい範囲（３〜１０ｍ／秒）とするためには、ノズル１ｃの先端からガラス基板Ｇの表面までの距離〔噴射方向（矢印Ｂ方向）に沿った距離〕にもよるが、通常、上記ドライアイス粒子噴射装置１による加圧エアーの圧力を０．０４〜１．２ＭＰａ（ゲージ圧）の範囲内に設定してドライアイス粒子を噴射する。
And in order to make the said collision wind speed into the said preferable range (3-10 m / sec), also in the distance [distance along the injection direction (arrow B direction)] from the front-end | tip of the
さらに、ノズル１ｃからのドライアイス粒子の噴射方向（矢印Ｂ方向）は、特に限定されず、どの噴射方向（矢印Ｂ方向）でもカレットを除去することができるが、カレットをより除去し易くなる観点から、ガラス基板Ｇの搬送方向（矢印Ｄ方向）に逆らう方向で、ガラス基板Ｇの表面と上記噴射方向（矢印Ｂ方向）とのなす角度θが３〜１７７度の範囲が好ましい。また、ノズル１ｃからのドライアイス粒子の噴射範囲（噴射角度）は、洗浄対象となるガラス基板Ｇの大きさや形状によって適宜に設定される。例えば、幅が広いガラス基板Ｇを洗浄する場合は、噴射を扇状にして、噴射範囲がガラス基板Ｇの幅方向に長い線状になるようにすることが好ましく、さらに、必要に応じて、そのような噴射をするノズル１ｃを、ガラス基板Ｇの幅方向に複数設けるようにすることが好ましい。
Furthermore, the spraying direction (arrow B direction) of the dry ice particles from the
このようにして、カレットが付着したガラス基板Ｇの表面に、ドライアイス粒子を衝突させると、カレットは、ドライアイス粒子との衝突により、飛ばされる。また、ガラス基板Ｇの表面とカレットとの間には、噴射されたドライアイス粒子が入り込み、そのカレットは、ドライアイス粒子の昇華によるガスにより、浮き上がって飛ばされる。 In this way, when the dry ice particles collide with the surface of the glass substrate G to which the cullet is adhered, the cullet is blown by the collision with the dry ice particles. Further, the sprayed dry ice particles enter between the surface of the glass substrate G and the cullet, and the cullet is lifted and blown by the gas generated by sublimation of the dry ice particles.
このように、本発明のガラス基板のカレット除去方法は、ドライアイス粒子をガラス基板Ｇの表面に衝突させることにより行われるため、簡単に行うことができ、しかも、そのカレット除去工程を、ガラス元板を切断した後の搬送工程に、簡単に組み込むことができる。 Thus, since the method for removing cullet from the glass substrate of the present invention is carried out by causing dry ice particles to collide with the surface of the glass substrate G, it can be easily performed, and the cullet removing step is performed on the glass base. It can be easily incorporated into the conveying process after cutting the plate.
一方、ガラス基板Ｇの製造工程や搬送工程等においては、通常、ガラス基板Ｇの表面に金属酸化物や塵埃等の無機物系異物が付着するが、上記のように、ガラス基板Ｇの表面にドライアイス粒子を衝突させると、上記無機物系異物が、ドライアイス粒子との衝突により物理的に飛ばされたり、上記無機物系異物とガラス基板Ｇの表面との間に、噴射されたドライアイス粒子が入り込み、上記無機物系異物が、ドライアイス粒子の昇華によるガスにより、浮き上がって飛ばされたりする。このように、本発明のガラス基板のカレット除去方法では、カレットとともに、上記無機物系異物も除去することができる。 On the other hand, in the manufacturing process and the conveying process of the glass substrate G, inorganic foreign matters such as metal oxides and dust are usually attached to the surface of the glass substrate G. As described above, the surface of the glass substrate G is dry. When the ice particles collide, the inorganic foreign matter is physically blown by the collision with the dry ice particles, or the sprayed dry ice particles enter between the inorganic foreign matter and the surface of the glass substrate G. The inorganic foreign matter is lifted and blown off by the gas generated by sublimation of the dry ice particles. Thus, in the cullet removal method for a glass substrate according to the present invention, the inorganic foreign matter can be removed together with the cullet.
なお、上記実施の形態では、ドライアイス粒子噴射装置１として、ブロック状のドライアイスを削り、その削りかすとしてドライアイス粒子を得るものとしたが、これに限定されるものではなく、例えば、液化二酸化炭素入りボンベからの二酸化炭素ガスを、ペレタイザーによりペレット状のドライアイスに作製し、それをドライアイス粒子として加圧エアーと共にホースを介してノズルから噴射させるようにしたものでもよい。または、液化二酸化炭素入りボンベからの二酸化炭素ガスを断熱膨張させて直接ドライアイス粒子に作製し、ノズルから噴射させるようにしたものでもよい。
In the above-described embodiment, the dry ice
また、上記ガラス基板Ｇを搬送する搬送手段としては、特に限定されないが、ベルトコンベア，搬送ローラ，気流搬送等が用いられる。そして、ガラス基板Ｇの搬送速度は、カレット除去に要する時間によって決定され、特に限定されるものではないが、通常、０．１〜１０ｍ／ｍｉｎの範囲に設定される。 Moreover, as a conveyance means which conveys the said glass substrate G, although not specifically limited, a belt conveyor, a conveyance roller, airflow conveyance, etc. are used. And the conveyance speed of the glass substrate G is determined by the time which cullet removal requires, and although it does not specifically limit, Usually, it sets to the range of 0.1-10 m / min.
さらに、ガラス基板Ｇの裏面に対しても、カレット除去を行う場合は、ガラス基板Ｇの裏面に対しても、上記と同様にして、ドライアイス粒子を衝突させることにより、カレット除去を行う。この場合、ガラス基板Ｇの搬送は、立て掛け搬送が好ましい。 Furthermore, when cullet removal is performed also on the back surface of the glass substrate G, cullet removal is performed on the back surface of the glass substrate G by colliding dry ice particles in the same manner as described above. In this case, the conveyance of the glass substrate G is preferably a standing conveyance.
また、ガラス基板Ｇとドライアイス粒子との衝突により、ガラス基板Ｇが帯電してガラス基板Ｇに埃等が付着するおそれがあるため、ドライアイス粒子の噴射に先立って、ガラス基板Ｇをプラズマ処理することにより、難帯電化してもよい。 Further, since the glass substrate G may be charged due to the collision between the glass substrate G and the dry ice particles and dust or the like may adhere to the glass substrate G, the glass substrate G is subjected to plasma treatment prior to the spraying of the dry ice particles. By doing so, it may be made difficult to charge.
本発明において、カレット除去の対象となるガラス基板Ｇとしては、液晶ディスプレイ，有機ＥＬディスプレイ，プラズマディスプレイ等に用いられるディスプレイ用ガラス基板、建築物，家具，美術品等に用いられる意匠用ガラス基板等があげられる。 In the present invention, the glass substrate G to be cullet-removed is a glass substrate for a display used in a liquid crystal display, an organic EL display, a plasma display, a glass substrate for a design used in a building, furniture, a work of art, etc. Can be given.
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。 Next, examples will be described together with comparative examples.
〔カレット除去対象となるガラス基板〕
まず、ガラス元板を切断し、１６枚の液晶ディスプレイ用のガラス基板〔３４０ｍｍ×４７０ｍｍ×０．７ｍｍ（厚み）〕を得た。この切断の際には、意図的にカレットがガラス基板の表面に飛散するようにした。そして、そのガラス基板の表面を顕微鏡で観察した結果、各ガラス基板には、カレットが５〜７個の範囲内で付着していた。また、いずれのカレットの外径も、１００μｍ〜１ｍｍの範囲内であった。なお、この外径は、各カレットの最大長さとなる部分を測定した。そして、下記の実施例１〜１５および比較例１に上記ガラス基板をそれぞれ１枚ずつ用いた。
[Glass substrate for cullet removal]
First, the glass base plate was cut to obtain 16 glass substrates [340 mm × 470 mm × 0.7 mm (thickness)] for a liquid crystal display. In this cutting, the cullet was intentionally scattered on the surface of the glass substrate. And as a result of observing the surface of the glass substrate with a microscope, the cullet adhered to each glass substrate within the range of 5-7 pieces. Moreover, the outer diameter of any cullet was in the range of 100 μm to 1 mm. In addition, this outer diameter measured the part used as the maximum length of each cullet. And one said glass substrate was used for the following Examples 1-15 and the comparative example 1, respectively.
〔ドライアイス粒子噴射装置〕
Ａｌｐｈｅｕｓ社製のＴ−２（ブロック状のドライアイスを削ってドライアイス粒子を得るタイプ）を準備した。
[Dry ice particle injection device]
Alpheus T-2 (a type in which dry ice particles are obtained by scraping block-shaped dry ice) was prepared.
上記ガラス基板を１ｍ／ｍｉｎの速度で搬送した。そして、上記ドライアイス粒子噴射装置による加圧エアーの圧力を０．０４ＭＰａ（ゲージ圧）に設定した。また、ノズルからのドライアイス粒子の噴射方向を、ガラス基板の搬送方向に逆らう方向で、ガラス基板表面とのなす角度を９０度とし、ノズルの先端からガラス基板までの距離（噴射方向に沿った距離）を５００ｍｍとした。この状態でドライアイス粒子を２秒間噴射した。このとき、ガラス基板表面の衝突風速は３．２６ｍ／秒、ガラス基板表面に衝突直前のドライアイス粒子の平均粒径は０．５０ｍｍであった。 The glass substrate was transported at a speed of 1 m / min. And the pressure of the pressurized air by the said dry ice particle injection apparatus was set to 0.04 MPa (gauge pressure). Also, the spraying direction of the dry ice particles from the nozzle is the direction opposite to the glass substrate transport direction, the angle formed with the glass substrate surface is 90 degrees, and the distance from the nozzle tip to the glass substrate (along the spraying direction) The distance) was 500 mm. In this state, dry ice particles were sprayed for 2 seconds. At this time, the impact wind speed on the glass substrate surface was 3.26 m / sec, and the average particle size of the dry ice particles immediately before the impact on the glass substrate surface was 0.50 mm.
なお、上記衝突風速の測定には、風速計（フローセンサ ＳＳ２０−５０２、エスケーエー社製），風速計作動用電源（Ｓ８２Ｒ−５５２２ オムロン社製），計測器（ＭＯＤＥＬ３０８７、YOKOGAWA HOKUSHIN ELECTRIC社製）を用いた。 For the measurement of the impact wind speed, an anemometer (flow sensor SS20-502, manufactured by SK), an anemometer operating power source (S82R-5522, manufactured by OMRON), a measuring instrument (MODEL 3087, manufactured by YOKOGAWA HOKUSHIN ELECTRIC) Was used.
上記実施例１において、加圧エアーの圧力を０．０６ＭＰａ（ゲージ圧）に設定した。このとき、ガラス基板表面の衝突風速は４．０８ｍ／秒であった。それ以外は、上記実施例１と同様にした。 In Example 1 above, the pressure of the pressurized air was set to 0.06 MPa (gauge pressure). At this time, the impinging wind speed on the glass substrate surface was 4.08 m / sec. Other than that, it was the same as in Example 1 above.
上記実施例１において、加圧エアーの圧力を０．０８ＭＰａ（ゲージ圧）に設定し、ノズルの先端からガラス基板までの距離を９００ｍｍとした。このとき、ガラス基板表面の衝突風速は３．０９ｍ／秒であった。それ以外は、上記実施例１と同様にした。 In Example 1, the pressure of pressurized air was set to 0.08 MPa (gauge pressure), and the distance from the tip of the nozzle to the glass substrate was 900 mm. At this time, the impact wind speed on the glass substrate surface was 3.09 m / sec. Other than that was carried out similarly to the said Example 1.
上記実施例３において、ノズルからのドライアイス粒子の噴射方向を、ガラス基板の搬送方向に逆らう方向で、ガラス基板表面とのなす角度を３度とした。それ以外は、上記実施例３と同様にした。 In Example 3 described above, the angle formed between the glass substrate surface and the glass substrate surface was 3 degrees in the direction in which the dry ice particles were ejected from the nozzle in the direction opposite to the glass substrate transport direction. Other than that was carried out similarly to the said Example 3.
上記実施例３において、加圧エアーの圧力を０．６０ＭＰａ（ゲージ圧）に設定し、ノズルの先端からガラス基板までの距離を１０００ｍｍとした。このとき、ガラス基板表面の衝突風速は１０．００ｍ／秒であった。それ以外は、上記実施例３と同様にした。 In Example 3 above, the pressure of pressurized air was set to 0.60 MPa (gauge pressure), and the distance from the tip of the nozzle to the glass substrate was 1000 mm. At this time, the impact wind speed on the surface of the glass substrate was 10.00 m / sec. Other than that was carried out similarly to the said Example 3.
上記実施例３において、ガラス基板表面に衝突直前のドライアイス粒子の平均粒径が０．３０ｍｍとなるようにした。それ以外は、上記実施例３と同様にした。 In Example 3 above, the average particle size of the dry ice particles immediately before the collision with the glass substrate surface was set to 0.30 mm. Other than that was carried out similarly to the said Example 3.
上記実施例３において、ガラス基板表面に衝突直前のドライアイス粒子の平均粒径が０．１０ｍｍとなるようにした。それ以外は、上記実施例３と同様にした。 In Example 3 above, the average particle size of the dry ice particles immediately before the collision with the glass substrate surface was set to 0.10 mm. Other than that was carried out similarly to the said Example 3.
上記実施例３において、ガラス基板表面に衝突直前のドライアイス粒子の平均粒径が１．００ｍｍとなるようにした。それ以外は、上記実施例３と同様にした。 In Example 3 above, the average particle size of the dry ice particles immediately before the collision with the glass substrate surface was set to 1.00 mm. Other than that was carried out similarly to the said Example 3.
上記実施例３において、ノズルからのドライアイス粒子の噴射方向を、ガラス基板の搬送方向に逆らう方向で、ガラス基板表面とのなす角度を４５度とした。それ以外は、上記実施例３と同様にした。 In the said Example 3, the angle made with the glass substrate surface was 45 degree | times in the direction which opposes the injection direction of the dry ice particle from a nozzle to the conveyance direction of a glass substrate. Other than that was carried out similarly to the said Example 3.
上記実施例３において、ノズルからのドライアイス粒子の噴射方向を、ガラス基板の搬送方向に逆らう方向で、ガラス基板表面とのなす角度を１３５度とした。それ以外は、上記実施例３と同様にした。 In Example 3 above, the direction formed by the spraying direction of the dry ice particles from the nozzle in the direction opposite to the conveying direction of the glass substrate was 135 degrees with the glass substrate surface. Other than that was carried out similarly to the said Example 3.
上記実施例１において、ノズルの先端からガラス基板までの距離を６００ｍｍとした。このとき、ガラス基板表面の衝突風速は２．４２ｍ／秒であった。それ以外は、上記実施例１と同様にした。 In the said Example 1, the distance from the front-end | tip of a nozzle to a glass substrate was 600 mm. At this time, the impinging wind speed on the glass substrate surface was 2.42 m / sec. Other than that, it was the same as in Example 1 above.
上記実施例２において、ノズルの先端からガラス基板までの距離を６００ｍｍとした。このとき、ガラス基板表面の衝突風速は２．９３ｍ／秒であった。それ以外は、上記実施例２と同様にした。 In Example 2, the distance from the nozzle tip to the glass substrate was 600 mm. At this time, the impact wind speed on the surface of the glass substrate was 2.93 m / sec. Other than that was carried out similarly to the said Example 2.
上記実施例３において、ノズルの先端からガラス基板までの距離を１０００ｍｍとした。このとき、ガラス基板表面の衝突風速は２．９０ｍ／秒であった。それ以外は、上記実施例３と同様にした。 In Example 3, the distance from the nozzle tip to the glass substrate was 1000 mm. At this time, the impact wind speed on the surface of the glass substrate was 2.90 m / sec. Other than that was carried out similarly to the said Example 3.
上記実施例３において、ガラス基板表面に衝突直前のドライアイス粒子の平均粒径が０．０５ｍｍとなるようにした。それ以外は、上記実施例３と同様にした。 In Example 3 above, the average particle size of the dry ice particles immediately before the collision with the glass substrate surface was set to 0.05 mm. Other than that was carried out similarly to the said Example 3.
上記実施例３において、ガラス基板表面に衝突直前のドライアイス粒子の平均粒径が１．４０ｍｍとなるようにした。それ以外は、上記実施例３と同様にした。 In Example 3 above, the average particle size of the dry ice particles immediately before the collision with the glass substrate surface was set to 1.40 mm. Other than that was carried out similarly to the said Example 3.
〔比較例１〕
上記実施例５において、ドライアイス粒子を用いず、加圧エアーのみをノズルから噴射した。それ以外は、上記実施例５と同様にした。
[Comparative Example 1]
In the said Example 5, only dry air was injected from the nozzle, without using dry ice particles. Other than that was carried out similarly to the said Example 5.
〔残ったカレットの数〕
このようにして行われた実施例１〜１５および比較例１のカレット除去処理後のガラス基板の表面を顕微鏡で観察し、残ったカレットの数を数えた。その結果を下記の表１に併せて表記した。
[Number of remaining cullet]
The surface of the glass substrate after the cullet removal process of Examples 1 to 15 and Comparative Example 1 performed in this manner was observed with a microscope, and the number of remaining cullets was counted. The results are also shown in Table 1 below.
上記表１の結果から、全実施例１〜１５で、カレットの除去が確認された。なかでも、実施例１〜１０では、全てのカレットが除去された。しかし、比較例１では、カレットが全く除去されなかった。 From the results in Table 1 above, removal of cullet was confirmed in all Examples 1 to 15. Especially, in Examples 1-10, all the cullets were removed. However, in Comparative Example 1, no cullet was removed.
１ ドライアイス粒子噴射装置
Ｇ ガラス基板
1 Dry ice particle injection device G Glass substrate
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