JP2006313669A - プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 a)電極対間14に処理ガス8を供給する、第1のステップと、b)電極12,13に電圧を印加して放電を発生させ、電極対間14を通過する処理ガス8をプラズマ化させる、第2のステップと、c)電極対間14を通過してプラズマ化された処理ガス8のうち、電極対間14に残留している気体6を置換した後の処理ガス8のみを被処理物2に接触させる、第3のステップとを備える。
【選択図】 図3
Description
6 空気(気体)
8 処理ガス
10,10a プラズマ処理装置
12,13 電極
14 空間(電極対間)
18 電源
19 電流センサ(検出部)
20 搬送装置
30 制御部
32 ガス供給装置(ガス供給部)
Claims (6)
- 対向する電極に電圧を印加し、該電極の間の空間(以下、「電極対間」という。)で放電を発生させ、該電極対間を通過させてプラズマ化させた処理ガスを被処理物に接触させて該被処理物を処理する、プラズマ処理方法であって、
前記電極対間に前記処理ガスを供給する、第1のステップと、
前記電極に電圧を印加して放電を発生させ、前記電極対間を通過する前記処理ガスをプラズマ化させる、第2のステップと、
前記電極対間を通過してプラズマ化された前記処理ガスのうち、前記電極対間に残留している気体を置換した後の前記処理ガスのみを前記被処理物に接触させる、第3のステップとを備えたことを特徴とする、プラズマ表面処理方法。 - 前記電極対間に残留している気体が前記処理ガスで置換されたことを検出する、検出ステップを備え、
前記3のステップにおいて、前記検出ステップにより、前記電極対間に残留している気体が前記処理ガスで置換されたことを検出した後に、前記電極対間を通過してプラズマ化された前記処理ガスを前記被処理物に接触させることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理方法。 - 前記検出ステップは、前記電極に電圧を印加したときに流れる電流の電流値を検出することにより、前記電極対間に残留している気体が前記処理ガスで置換されたことを検出することを特徴とする、請求項2に記載のプラズマ表面処理方法。
- 対向する電極と、
前記電極に電圧を印加して、前記電極の間の空間(以下、「電極対間」という。)に放電を発生させる電源と、
前記電極対間に処理ガスを供給するガス供給部と、
前記電極対間を通過してプラズマ化された前記処理ガスのうち、前記電極対間に残留している気体を置換した後の前記処理ガスのみを前記被処理物に接触させるように、前記電源及び前記ガス供給部を制御する制御部とを備えたことを特徴とする、プラズマ表面処理装置。 - 前記電極対間に残留している前記気体が前記処理ガスで置換されたことを検出するための検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記電極対間に残留している前記気体が前記処理ガスで置換されたことを前記検出部により検出した後に、前記電極対間を通過してプラズマ化された前記処理ガスを前記被処理物に接触させるように、前記電源及び前記ガス供給部を制御することを特徴とする、請求項4に記載のプラズマ表面処理装置。 - 前記検出部は、前記電源が前記電極に電圧を印加したときに流れる電流の電流値を検出し、
前記制御部は、
前記電源が前記電極に電圧を印加するときに前記電流検出部が検出する前記電流値の変化に基づいて、前記電極対間に残留している前記気体が前記処理ガスで置換されたか否かを判断することを特徴とする、請求項5に記載のプラズマ表面処理装置。
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