JP2006297830A - インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の吐出口106が形成されたオリフィスプレート105と、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギ発生部とを有し、吐出口106に連通するインク供給口104が形成された記録素子基板100と、記録素子基板100を接合面300bにて支持し、かつ、記録素子基板100のインク供給口104と連通してインクを供給するインク供給路307を有する支持部材とを備えたインクジェット記録ヘッド1において、記録素子基板100のオリフィスプレート105と対向する対向面100bの一部である領域A、Bのみが支持部材300の接合面300bに対して接着されている。
【選択図】図1
Description
(第1の実施形態)
図1に、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの一部外観斜視図を示す。図1(a)は、電気配線基板が取り付けられる前であり、支持部材が液体吐出基板を支持固定している状態を示す一部外観斜視図であり、図1(b)は液体吐出基板の支持部材に支持される面、つまり吐出口が並ぶ吐出口面に対向する対向面を表す平面図である。
[インクジェット記録ヘッド]
本実施形態のインクジェット記録ヘッド1は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット方式のサイドシュータ型とされる記録ヘッドであり、インク供給口104が形成されるとともに、複数の吐出口106が並列に形成されたオリフィスプレート105を備えた液体吐出基板100と、液体吐出基板100のインク供給口104に連通するインク供給路302が形成され、液体吐出基板100を支持する支持部材300と、フレキシブル配線基板からなる電気配線基板200とを有する。
[液体吐出基板]
本実施形態の液体吐出基板100はシリコン製の基板からなり、中央部分に長穴形状のインク供給口104が形成されている。
[電気配線基板]
電気配線基板200は、上述したようにフレキシブル配線基板が使用されており、ベースフィルム201上に銅箔203を接着剤202により接着し、パターニングし、銅箔203をリード線としている。そして、液体吐出基板100のバンプ103を電気接続する電極端子(不図示)と、プリンタ本体からの駆動電力や電気信号を入力するためのコンタクト部211以外をカバーフィルム206により被覆している。なお、ベースフィルム201、及びカバーフィルム206は、例えば、厚みが25μmのレジストフィルムである。また、電極端子は、例えば、厚み30μmの銅箔に金メッキが施されている。また、接着剤202、207は、例えば、10μmの厚みを有している。
[支持部材]
支持部材300は、液体吐出基板100のインク供給口104へとインクを供給するためのインク供給路302が形成されており、また、液体吐出基板100を支持するための接合面300bが形成されている。電気配線基板200は液体吐出基板100を収納している収納部301の外周壁の上面となる配線保持面300cに接着固定されている。接合面300bは収納部301の底面をなしており、配線保持面300cに対して凹んだ位置に形成されている。
[液体吐出基板と支持部材との接合]
液体吐出基板100と支持部材300とは、液体吐出基板100の対向面100bと支持部材300の接合面300bとを接着剤107によって接続することで接合されている。
(第2の実施形態)
図4(a)〜図4(b)に本実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す。また、図4(c)に、図4(b)におけるF−F線での一部断面図を示す。なお、本実施形態のインクジェット記録ヘッド10の基本的な構成は第1の実施形態で説明したインクジェット記録ヘッド1と同様であるため、詳細の説明は省略する。また、本実施形態の説明において、第1の実施形態と同様の部材に関しては第1の実施形態で用いた符号を用いるものとする。
(第3の実施形態)
図6に、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの一部外観斜視図を示す。
100 液体吐出基板
100b 対向面
104 インク供給口
105 オリフィスプレート
106 吐出口
300 支持部材
300b 接合面
307 インク供給路
A、B、C、D 領域
Claims (10)
- 複数の吐出口が形成されたオリフィスプレートと、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギ発生手段とを有し、前記吐出口に連通するインク供給口が形成された記録素子基板と、該記録素子基板を接合面にて支持し、かつ、前記記録素子基板の前記インク供給口と連通してインクを供給する流路を有する支持部材とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記記録素子基板の前記オリフィスプレートと対向する対向面の一部が前記支持部材の前記接合面に対して接着されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 前記対向面のうち、矩形状に形成された前記インク供給口の外周の少なくとも一辺が前記接合面に対して接着されている、請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 長方形に形成された前記インク供給口の少なくとも短辺側が接着されている、請求項2に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 複数の吐出口が形成されたオリフィスプレートと、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギ発生手段とを有し、前記吐出口に連通するインク供給口が形成された記録素子基板と、該記録素子基板を支持し、かつ、前記記録素子基板の前記インク供給口と連通してインクを供給する流路を有する支持部材とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記支持部材の接合面上に突起が形成されており、前記記録素子基板の前記オリフィスプレートと対向する対向面の一部が前記突起上に接着されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 前記対向面と前記接合面との間にはインクが介在可能な所定の間隔が形成されている、請求項4に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記対向面と前記接合面のうち、接着されていない領域に撥水処理が施されている、請求項1ないし5のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 複数の吐出口が形成されたオリフィスプレートと、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギ発生手段とを有し、前記吐出口に連通するインク供給口が形成された記録素子基板と、該記録素子基板を支持し、かつ、前記記録素子基板の前記インク供給口と連通してインクを供給する流路を有する支持部材とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記記録素子基板の前記オリフィスプレートと対向する対向面と前記支持部材の接合面との間に挟み込まれた弾性体によって、前記記録素子基板が前記接合面上に支持されており、前記記録素子基板の側面の一部が前記支持部材に接着されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 前記弾性体は前記対向面と前記接合面のうちの一部にのみ挟み込まれており、前記対向面と前記接合面のうち前記弾性体の存在しない領域には撥水処理が施されている、請求項7に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 複数の前記記録素子基板が並列されており、前記各記録素子基板間が樹脂の充填剤で仕切られている、請求項8項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 複数の吐出口が形成されたオリフィスプレートと、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギ発生手段とを有し、前記吐出口に連通するインク供給口が形成された記録素子基板と、該記録素子基板を接合面にて支持し、かつ、前記記録素子基板の前記インク供給口と連通してインクを供給する流路を有する支持部材とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記記録素子基板の前記オリフィスプレートと対向する対向面の一部を前記支持部材の前記接合面に対して接着する工程を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
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