JP2006297830A - インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体吐出基板と支持部材との固定において、液体吐出基板と支持部材との線膨張差に起因する応力が液体吐出基板にかからない構成のインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の吐出口１０６が形成されたオリフィスプレート１０５と、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギ発生部とを有し、吐出口１０６に連通するインク供給口１０４が形成された記録素子基板１００と、記録素子基板１００を接合面３００ｂにて支持し、かつ、記録素子基板１００のインク供給口１０４と連通してインクを供給するインク供給路３０７を有する支持部材とを備えたインクジェット記録ヘッド１において、記録素子基板１００のオリフィスプレート１０５と対向する対向面１００ｂの一部である領域Ａ、Ｂのみが支持部材３００の接合面３００ｂに対して接着されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、インク等の液体を吐出して記録動作を行うインクジェット記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。

図８に、熱作用部面から垂直に吐出するタイプの一般的なインクジェット記録ヘッドの構成を示す。図８（ａ）は、分解斜視図であり、図８（ｂ）は、組立完成図である。また、図９は、図８に示すインクジェット記録ヘッドの断面構造を説明する図である。図９（ａ）は図８（ｂ）のＤ−Ｄ線における一部拡大断面図である。

一般的なインクジェット記録ヘッドは、図８（ａ）、図８（ｂ）および図９に示すように、液体吐出基板１１００、電気配線基板１２００、支持部材１３００を有する構成となっている。

液体吐出基板１１００は、シリコン製の基板の中央にインク供給口１１０４が長穴の形状で開いており、この基板上には複数の発熱抵抗体１１０８がほぼ等間隔でインク供給口１１０４の両側に並んでいる。このような発熱抵抗体１１０８を形成した基板はヒータボード１１０１と呼ばれている。そして、インクはヒータボード１１０１のインク供給口１１０４から供給される。ヒータボード１１０１の外部には発熱抵抗体１１０８に電力を供給するための配線（不図示）が引き回されていて、ヒータボード１１０１上の両端に設置されている外部取り出し電極パッドと結線されている。そして、このようなヒータボード１１０１上に複数の吐出口１１０６を有するオリフィスプレート１１０５を貼り付けて、さらに、電極パッド上には、電極となるバンプ１１０３が形成されて液体吐出基板１１００が完成する。

電気配線基板１２００は、例えば、フレキシブル配線基板が使用され、ベースフィルム１２０１上に銅箔１２０３を接着剤１２０２により接着し、パターニングし、銅箔１２０３をリード線とする。そして、液体吐出基板１１００のバンプ１１０３を電気接続する電極端子１２０４と、プリンタ本体からの駆動電力や電気信号を入力するためのコンタクト部１２１１を有し、電極端子１２０４以外はカバーフィルムにより被覆している。

支持部材１３００は、液体吐出基板１１００のインク供給口１１０４と、該支持部材１３００のインク供給口１３０２が連通するように液体吐出基板１１００の吐出口が並ぶ面１１０６ａに対向する対向面１１０６ｂ全域と支持部材１３００の接合面１３００ｂとを接着剤１１０７を用いて接着する。また、液体吐出基板１１００の電極部に対して、電気配線基板１２００がほぼ水平に接続できる構造となっており、接着剤１２０５により、電気配線基板１２００を接着固定する。

液体吐出基板１１００の外部取り出し電極パッドと電気配線基板配線を結線する方法としては、一般的に液体吐出基板１１００の電極部（バンプ１１０３）と、電気配線基板１２００の電極端子である配線リード１２０４を超音波と熱により金属接合する（インナーリードボンディング）ことにより両電極間を電気的に接続固定している。そして、液体吐出基板１１００の電極部（バンプ１１０３）と、電気配線基板１２００の電極端子１２０４のボンディング部は、図９に示すように、電極端子１２０４上に接着剤１４００ａを、液体吐出基板周囲に１４００ｂを用いて封止をすることで周囲から絶縁し、固定している。また、上記した液体吐出基板１１００と支持部材１３００の固定に用いる接着剤１１０７には一般に熱硬化性樹脂等の接着剤を使い、Ｓｉ等の材料からなる液体吐出基板１１００と樹脂部材等の材料からなる支持部材１３００を熱キュアによって接着固定する方法が知られている。
特開２００１−１３０００１号公報

しかし、上述したインクジェット記録ヘッドには、以下のような課題がある。

すなわち、液体吐出基板と支持部材とを熱硬化性樹脂等の接着剤を用いて固定する場合、液体吐出基板の吐出口が並ぶ面に対向する面と、支持部材の接合部とに対して熱キュアが必要である。この熱キュアにより、液体吐出基板と支持部材の双方に熱による線膨張の応力が加わることとなる。この接着剤のキュア後における線膨張による応力は、支持部材に対して液体吐出基板の開口内側方向へ向かって加わる。また、この線膨張による応力は、硬化した接着剤上にある液体吐出基板にもかかる。しかしながら、液体吐出基板と支持部材とには線膨張差が存在する。この結果、液体吐出基板の開口上にあるオリフィスプレートに応力が残留し、オリフィスプレート面に歪みが生じることで吐出に悪影響を及ぼすことがあった。

そこで、本発明は、液体吐出基板と支持部材との固定において、液体吐出基板と支持部材との線膨張差に起因する応力が液体吐出基板にかからない構成のインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

本発明のインクジェット記録ヘッドは、複数の吐出口が形成されたオリフィスプレートと、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギ発生手段とを有し、吐出口に連通するインク供給口が形成された記録素子基板と、該記録素子基板を接合面にて支持し、かつ、記録素子基板のインク供給口と連通してインクを供給する流路を有する支持部材とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、記録素子基板のオリフィスプレートと対向する対向面の一部が支持部材の接合面に対して接着されていることを特徴とする。

本発明によれば、記録素子基板の対向面の一部のみを支持部材の接合面に対して接着することで、他の非接着領域は支持部材に対してフリーな構成となり、接着剤のキュア時における線膨張の影響を受けにくい構成となっている。よって、液体吐出基板と支持部材との線膨張差に起因した応力が液体吐出基板に残留することを防ぎ、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供することが可能となる。

以下、図面を参照して本発明の記録装置に係る実施形態の基本的構成及び作用を説明する。また、本明細書において、「プリント」（「記録」と言う場合もある）とは、文字、図形等、有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広くプリント媒体上に画像、模様、パターン等を形成する、また、媒体の加工を行う場合も言うものとする。

ここで、「プリント媒体」（「記録メディア」と言う場合もある）とは、一般的なプリント装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板等、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能な物も言うものとする。

さらに、「インク」（「液体」と言う場合もある）とは、上記「プリント」の定義と同様広く解釈されるべきもので、プリント媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成またはプリント媒体の加工、或いはインクの処理（例えばプリント媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化）に供され得る液体を言い、記録に関して用いる全ての液体を含むものとする。
（第１の実施形態）
図１に、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの一部外観斜視図を示す。図１（ａ）は、電気配線基板が取り付けられる前であり、支持部材が液体吐出基板を支持固定している状態を示す一部外観斜視図であり、図１（ｂ）は液体吐出基板の支持部材に支持される面、つまり吐出口が並ぶ吐出口面に対向する対向面を表す平面図である。

また、図２は、電気配線基板が取り付けられた状態のインクジェット記録ヘッドの一部外観斜視図であり、図３は、図２中Ｅ−Ｅ線における一部断面図である。
［インクジェット記録ヘッド］
本実施形態のインクジェット記録ヘッド１は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット方式のサイドシュータ型とされる記録ヘッドであり、インク供給口１０４が形成されるとともに、複数の吐出口１０６が並列に形成されたオリフィスプレート１０５を備えた液体吐出基板１００と、液体吐出基板１００のインク供給口１０４に連通するインク供給路３０２が形成され、液体吐出基板１００を支持する支持部材３００と、フレキシブル配線基板からなる電気配線基板２００とを有する。
［液体吐出基板］
本実施形態の液体吐出基板１００はシリコン製の基板からなり、中央部分に長穴形状のインク供給口１０４が形成されている。

液体吐出基板１００の、オリフィスプレート１０５が設けられた側と対向する側の面である対向面１０６ｂは領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを有する。すなわち、対向面１０６ｂにおけるインク供給口１０４の周辺部は、液体吐出基板１００を固定する支持部材３００の接合面３００ｂに対して接着される領域である領域Ａ、Ｂ（図１（ｂ）中ハッチング部）および接合面３００ｂに対して接着されない領域である領域Ｃ、Ｄとを有する。本実施形態においては、領域Ａ、Ｂはインク供給口１０４の短手方向に延在して形成されており、領域Ｃ、Ｄは長手方向に延在して形成されている。なお、本実施形態では接着される領域は領域Ａ、Ｂとして説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、接着される領域が、領域Ａ，Ｂのいずれか一方、あるいは領域Ｃ、Ｄのいずれか一方、さらには、これら領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄといった領域の分け方に限定されることなく、インク供給口１０４の周辺部の一部を接着領域とするものであってもよい。

液体吐出基板１００の基板上には複数の発熱抵抗体１０８がほぼ等間隔でインク供給口１０４の両側に並んでいる。このような発熱抵抗体１０８を形成した基板はヒータボード１０１と称される。インクはヒータボード１０１のインク供給口１０４から供給される。ヒータボード１０１の外部には発熱抵抗体１０８に電力を供給するための配線（不図示）が引き回されていて、ヒータボード１０１上の両端に設置されている外部取り出し電極パッド（不図示）と結線されている。これらの配線は、一般に、数百から数千Åの厚さを有する窒化絶縁膜（ＳｉＮ）で保護されている。そして、このようなヒータボード１０１上に、フォトリソグラフィ技術により形成された複数の吐出口１０６を有するオリフィスプレート１０５を貼り付けて、さらに、電極パッド１０２上には、電極となるバンプ１０３が形成されて、図３に示すような液体吐出基板１００が完成する。なお、バンプ１０３は、例えば、スタッドバンプ工法により形成された５〜３０μｍ程度の金バンプである。
［電気配線基板］
電気配線基板２００は、上述したようにフレキシブル配線基板が使用されており、ベースフィルム２０１上に銅箔２０３を接着剤２０２により接着し、パターニングし、銅箔２０３をリード線としている。そして、液体吐出基板１００のバンプ１０３を電気接続する電極端子（不図示）と、プリンタ本体からの駆動電力や電気信号を入力するためのコンタクト部２１１以外をカバーフィルム２０６により被覆している。なお、ベースフィルム２０１、及びカバーフィルム２０６は、例えば、厚みが２５μｍのレジストフィルムである。また、電極端子は、例えば、厚み３０μｍの銅箔に金メッキが施されている。また、接着剤２０２、２０７は、例えば、１０μｍの厚みを有している。
［支持部材］
支持部材３００は、液体吐出基板１００のインク供給口１０４へとインクを供給するためのインク供給路３０２が形成されており、また、液体吐出基板１００を支持するための接合面３００ｂが形成されている。電気配線基板２００は液体吐出基板１００を収納している収納部３０１の外周壁の上面となる配線保持面３００ｃに接着固定されている。接合面３００ｂは収納部３０１の底面をなしており、配線保持面３００ｃに対して凹んだ位置に形成されている。

液体吐出基板１００の電極部（バンプ１０３）と、電気配線基板２００の電極端子とは、超音波と熱を用いて金属接合（インナーリードボンディング）し、両電極間を電気的に接続固定されている。電極端子とバンプ１０３とが電気的に接続された後、電極端子２０４上および液体吐出基板１００の周囲、すなわち、収納部３０１内に接着剤にて封止する。これにより、電極端子とバンプ１０３とが電気的に接続されたボンディング部の絶縁および被覆がなされる。接着剤は、例えば熱硬化性接着剤が用いられる。なお、図１においては、構成を明確化するため、接着剤は図示していない。
［液体吐出基板と支持部材との接合］
液体吐出基板１００と支持部材３００とは、液体吐出基板１００の対向面１００ｂと支持部材３００の接合面３００ｂとを接着剤１０７によって接続することで接合されている。

ここで、本実施形態においては、液体吐出基板１００の対向面１００ｂの全面に接着剤１０７が塗布されて接合面３００ｂに接着されているのではなく、対向面１００ｂのうち、領域Ａ、Ｂにのみに塗布されて接着がなされている。すなわち、液体吐出基板１００は支持部材３００に対して対向面１０６ｂの全面が接着固定されるのではなく、その一部のみが接着固定される。

このように、全面を接着するのではなく、一部のみを接着する構成とすることで、インク供給口１０４のような開口があり、かつ、複数の吐出口１０６が並列して形成されたオリフィスプレート１０５を備えた液体吐出基板１００はインク供給口１０４の長手方向に延在する領域Ｃ，Ｄについては支持部材３００に対してフリーな構成となる。

液体吐出基板１００と支持部材３００とを熱硬化性樹脂等の接着剤を用いて固定する場合、液体吐出基板１００の対向面１００ｂと、支持部材３００の接合面３００ｂとに対して熱キュアが必要である。この熱キュアにより、液体吐出基板１００と支持部材３００の双方に熱による線膨張の応力が加わることとなる。この接着剤のキュア後における線膨張による応力は、支持部材３００に対して液体吐出基板１００のインク供給口１０４内側方向へ向かって加わる。また、この線膨張による応力は、硬化した接着剤上にある液体吐出基板１００にもかかる。液体吐出基板１００と支持部材３００とには線膨張差が存在するため、液体吐出基板１００のインク供給口１０４上に配置されているオリフィスプレート１０５に応力が残留し、オリフィスプレート１０５面に歪みが生じる。

しかしながら、本実施形態のインクジェット記録ヘッド１は、領域Ｃ，Ｄについては支持部材３００に対してフリーな構成であるため、液体吐出基板１００はキュア時における線膨張の影響を受けにくく、よって液体吐出基板１００に設けられたオリフィスプレート１０５もキュア時における線膨張の影響を受けにくい構成となっている。

このように、本実施形態によれば、液体吐出基板１００と支持部材３００を支持固定する接着剤のキュア時に、液体吐出基板１００と支持部材３００との線膨張差に起因した応力が液体吐出基板１００に残留することを防ぎ、信頼性の高いインクジェット記録ヘッド１を提供することが可能となる。

ところで、収納部３０１内は上述したように、熱硬化性接着剤にて封止される。よって、本実施形態では、領域Ｃ，Ｄには接着剤は塗布しない構成としているが、この熱硬化性接着剤が領域Ｃ，Ｄの部分へと浸入すると、接着剤のキュア時における線膨張の影響を受けにくい構成とすることができなくなる。そこで、対向面１００ｂの領域Ｃ，Ｄ、および接合面３００ｂの領域Ｃ，Ｄに対応する面を撥水処理すると、液体吐出基板１００周囲の熱硬化性接着剤の浸入を防止することができ、より一層信頼性のあるインクジェット記録ヘッドを提供することが可能となる。なお、撥水剤としては、例えばＣＴＸ−１０５（商品名：旭硝子株式会社製）、ＫＰ−８０１（商品名：信越化学工業株式会社製）、ディフェンサ（商品名：大日本インキ化学工業株式会社製）、テフロンＡＦ（商品名：デュポン株式会社製）等が挙げられる。
（第２の実施形態）
図４（ａ）〜図４（ｂ）に本実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す。また、図４（ｃ）に、図４（ｂ）におけるＦ−Ｆ線での一部断面図を示す。なお、本実施形態のインクジェット記録ヘッド１０の基本的な構成は第１の実施形態で説明したインクジェット記録ヘッド１と同様であるため、詳細の説明は省略する。また、本実施形態の説明において、第１の実施形態と同様の部材に関しては第１の実施形態で用いた符号を用いるものとする。

図４（ａ）は、支持部材３００に液体吐出基板１００が装着される前の状態のインクジェット記録ヘッド１０の一部外観斜視図である。支持部材３００の接合面３００ｂ上であって、インク供給路３０２の四隅近傍には突起３０３が形成されている。

第１の実施形態では領域Ａ，Ｂのみを接着接合し、領域Ｃ，Ｄについては支持部材３００に対してフリーにすることで、接着剤のキュア時に、液体吐出基板１００と支持部材３００との線膨張差に起因した応力が液体吐出基板１００に残留することを防ぐ構成としていた。

これに対して本実施形態では４つ形成された突起３０３の各端面３０３ａによって液体吐出基板１００の対向面１００ｂの４隅部分のみを支持し、液体吐出基板１００はその一部である外周側面を支持部材３００に対して接着固定する。よって、接着された部分以外の領域は支持部材３００に対してフリーになる構成としている。このような構成とすることで、本実施形態も、第１の実施形態と同様に、接着剤のキュア時に、液体吐出基板１００と支持部材３００との線膨張差に起因した応力が液体吐出基板１００に残留するのを防止している。

また、本実施形態の場合、液体吐出基板１００を突起３０３上にて支持するため、図４（ｃ）に示すように、対向面１００ｂと接合面３００ｂとの間にインクが介在可能な空隙部Ｒが形成される。つまり本実施形態の場合、液体吐出基板１００の一部である外周側面を支持部材３００に対して接着固定することで支持部材３００から液体吐出基板１００へ線膨張による応力がかかることがないのに加え、空隙部Ｒが形成されることによって、熱が支持部材３００と液体吐出基板１００の両者に加わった場合であっても、空隙部Ｒに介在するインクの熱伝導率が樹脂部材や空気よりも大きいことから、放熱効果に優れ、線膨張変形の影響を和らげる効果がある。

なお、液体吐出基板１００の外周部の固定に用いる接着剤４００ｂは、対向面１００ｂと接合面３００ｂとの間に形成される空隙部Ｒへと流入するのを防止するため、硬化後の硬度が硬い接着剤を使うことがより望ましい（図４（ｃ）参照）。

また、第１の実施形態と同様に、空隙部Ｒに位置する対向面１００ｂと接合面３００ｂとに撥水処理をするものであってもよい。

さらに、本実施形態の液体吐出基板１００と支持部材３００との位置関係に関する類似構成として、支持部材３００に突起３０３を設ける代わりに、図５に示すように、液体吐出基板１００と支持部材３００との間に弾性体３０４を挟み込む構成としても良い。この弾性体３０４には、ゴム等、熱伝導性の低い材質が用いられ、液体吐出基板１００のインク供給口１０４と支持部材３００のインク供給路３０２が連通するように開口３０５が形成されている。なお、この弾性体３０４は開口３０５が形成された形状に限られたものではなく、例えば、弾性体３０４を突起３０３のようにインク供給路３０２の四隅近傍に４箇所設けるものとしてもよい。また、その材質もゴムに限定されるものではなく、弾性を有し、熱伝導性の低い樹脂を用いるものであれば特に限定されるものではない。なお、この場合、液体吐出基板１００は、液体吐出基板１００の一部である外周側面を支持部材３００に対して接着固定するとともに、弾性体３０４を介して領域Ｓにて支持部材３００に支持されることとなる。
（第３の実施形態）
図６に、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの一部外観斜視図を示す。

上述した第１および第２の実施形態においては、１つの液体吐出基板を用いたインクジェット記録ヘッドについて説明したが、本実施形態では複数の液体吐出基板を用いたインクジェット記録ヘッドについて説明する。

なお、本実施形態のインクジェット記録ヘッド２０は複数の液体吐出基板を備えた構成であるが、その基本的な構成は第１の実施形態で説明したインクジェット記録ヘッド１と同様であるため、詳細の説明は省略する。また、本実施形態の説明において、第１の実施形態と同様の部材に関しては第１の実施形態で用いた符号を用いるものとする。

本実施形態の各液体吐出基板１００は、第１の実施形態で説明したように、液体吐出基板１００の対向１００ｂの全面に接着剤が塗布されて接合面３００ｂに接着されているのではなく、対向面１００ｂのうち、領域Ａ、Ｂにのみに塗布されて接着がなされている。つまり、液体吐出基板１００は支持部材３００に対して対向面１０６ｂの全面が接着固定されるのではなく、その一部のみが接着固定される（図１（ｂ）参照）。このように、一部のみを接着する構成とすることで、インク供給口１０４のような開口があり、かつ、複数の吐出口１０６が並列して形成されたオリフィスプレート１０５を備えた液体吐出基板１００はインク供給口１０４の長手方向に延在する領域Ｃ，Ｄについては支持部材３００に対してフリーな構成となる。すなわち、本実施形態のインクジェット記録ヘッド２０も、第１の実施形態と同様に液体吐出基板１００と支持部材３００とを接着する接着剤のキュア時における線膨張の影響を受けにくい構成となっている。

本実施形態では図６に示すように、複数の液体吐出基板１００が収納部３０１内に配列されている。そして、各液体吐出基板１００は上述したように、対向面１００ｂの一部のみが支持部材３００に対して接着されている。このため、接着で固定されていない領域Ｃ，Ｄ（図１（ｂ）参照）については、インク供給口１０４からインクが漏洩することで隣接する液体吐出基板１００のインクと混ざってしまうおそれがある。よって、複数の液体吐出基板１００を備える構成とする場合には、各液体吐出基板１００を支持部材３００に接着固定した後に、図７に示すように、収納部３０１内に樹脂製の充填剤５００ｂを充填することで各液体吐出基板１００を独立させることができる。すなわち、インク供給口１０４からインクが漏洩することで隣接する液体吐出基板１００のインクと混ざってしまうといったことを防止することができるため、インクジェット記録ヘッド２０を多色化することができる。充填剤５００ｂにはチクソ性の低い（流動性の高い）材料が望ましい。

なお、本実施形態では、３つの液体吐出基板１００を備えたインクジェット記録ヘッド２０を例に説明したが、液体吐出基板１００の個数は３つに限定されるものではなく、２つであってもよいし、あるいは４つ以上であってもよいのは言うまでもない。

本発明の第１の実施形態のインクジェット記録ヘッドの一部外観斜視図および液体吐出基板の支持部材に支持される面の平面図である。 電気配線基板が取り付けられた状態の第１の実施形態のインクジェット記録ヘッドの一部外観斜視図である。 図２中のＥ−Ｅ線における、インクジェット記録ヘッドの一部断面図である。 本発明の第２の実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造工程を説明する図および一部断面図である。 本発明の第２の実施形態のインクジェット記録ヘッドにおける、他の構成例を示す断面図である。 本発明の第３の実施形態における、複数の液体吐出基板を用いたインクジェット記録ヘッドの一部外観斜視図である。 収納部に充填剤を充填してなる、本発明の第３の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの一部外観斜視図である。 従来の、熱作用部面から垂直に吐出するタイプの一般的なインクジェット記録ヘッドの構成を示す図である。 図８に示すインクジェット記録ヘッドの断面構造を説明する図である。

符号の説明

１ インクジェット記録ヘッド
１００ 液体吐出基板
１００ｂ 対向面
１０４ インク供給口
１０５ オリフィスプレート
１０６ 吐出口
３００ 支持部材
３００ｂ 接合面
３０７ インク供給路
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ 領域

Claims (10)

1. 複数の吐出口が形成されたオリフィスプレートと、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギ発生手段とを有し、前記吐出口に連通するインク供給口が形成された記録素子基板と、該記録素子基板を接合面にて支持し、かつ、前記記録素子基板の前記インク供給口と連通してインクを供給する流路を有する支持部材とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
   前記記録素子基板の前記オリフィスプレートと対向する対向面の一部が前記支持部材の前記接合面に対して接着されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 前記対向面のうち、矩形状に形成された前記インク供給口の外周の少なくとも一辺が前記接合面に対して接着されている、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
3. 長方形に形成された前記インク供給口の少なくとも短辺側が接着されている、請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
4. 複数の吐出口が形成されたオリフィスプレートと、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギ発生手段とを有し、前記吐出口に連通するインク供給口が形成された記録素子基板と、該記録素子基板を支持し、かつ、前記記録素子基板の前記インク供給口と連通してインクを供給する流路を有する支持部材とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
   前記支持部材の接合面上に突起が形成されており、前記記録素子基板の前記オリフィスプレートと対向する対向面の一部が前記突起上に接着されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
5. 前記対向面と前記接合面との間にはインクが介在可能な所定の間隔が形成されている、請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド。
6. 前記対向面と前記接合面のうち、接着されていない領域に撥水処理が施されている、請求項１ないし５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
7. 複数の吐出口が形成されたオリフィスプレートと、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギ発生手段とを有し、前記吐出口に連通するインク供給口が形成された記録素子基板と、該記録素子基板を支持し、かつ、前記記録素子基板の前記インク供給口と連通してインクを供給する流路を有する支持部材とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
   前記記録素子基板の前記オリフィスプレートと対向する対向面と前記支持部材の接合面との間に挟み込まれた弾性体によって、前記記録素子基板が前記接合面上に支持されており、前記記録素子基板の側面の一部が前記支持部材に接着されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
8. 前記弾性体は前記対向面と前記接合面のうちの一部にのみ挟み込まれており、前記対向面と前記接合面のうち前記弾性体の存在しない領域には撥水処理が施されている、請求項７に記載のインクジェット記録ヘッド。
9. 複数の前記記録素子基板が並列されており、前記各記録素子基板間が樹脂の充填剤で仕切られている、請求項８項に記載のインクジェット記録ヘッド。
10. 複数の吐出口が形成されたオリフィスプレートと、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギ発生手段とを有し、前記吐出口に連通するインク供給口が形成された記録素子基板と、該記録素子基板を接合面にて支持し、かつ、前記記録素子基板の前記インク供給口と連通してインクを供給する流路を有する支持部材とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    前記記録素子基板の前記オリフィスプレートと対向する対向面の一部を前記支持部材の前記接合面に対して接着する工程を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
    
    

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