JP2006278516A - Tray and its suction structure - Google Patents
Tray and its suction structure Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006278516A JP2006278516A JP2005092569A JP2005092569A JP2006278516A JP 2006278516 A JP2006278516 A JP 2006278516A JP 2005092569 A JP2005092569 A JP 2005092569A JP 2005092569 A JP2005092569 A JP 2005092569A JP 2006278516 A JP2006278516 A JP 2006278516A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- suction
- holding surface
- suction portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
本発明は、トレイ及びその吸着構造に係り、更に詳しくは、吸着装置による吸着保持の安定化を図ることができるトレイ及びその吸着構造に関する。 The present invention relates to a tray and an adsorption structure thereof, and more particularly, to a tray and an adsorption structure thereof capable of stabilizing adsorption holding by an adsorption device.
従来より、複数枚のチップを搬送するためのトレイが利用されており、このトレイとしては、図5〜図7に示されるタイプのものがある。同図において、トレイ50は、板状をなすトレイ本体51と、このトレイ本体51の上面側に凹状に形成された複数のポケット52とを備えている。各ポケット51は、図5中縦方向及び横方向に所定間隔毎に形成されるとともに、内部にチップC(図7参照)をそれぞれ収容可能に設けられている。ここで、前記トレイ50を搬送する場合には、図7に示されるような吸着装置55が用いられる。この吸着装置55は、トレイ本体51の図7中上面に接する保持面56を備え、この保持面56に形成された穴状の吸引部57から吸気してポケット52の内部を負圧化することによりトレイ50を吸着保持するようになっている。
Conventionally, a tray for transporting a plurality of chips has been used, and there are types of trays shown in FIGS. In the drawing, a
しかしながら、このような構成にあっては、トレイ50を吸着した状態において、吸引部57と重なって位置するポケット52(図6中網点で示すポケット52)内の空気だけが吸引されることとなる。このため、トレイ50において吸着力が付与される面積が小さくなり、トレイ50を安定的に保持することが困難になるという不都合を生じる。この結果、吸着装置55による搬送中にトレイ50の位置ずれが生じ、当該トレイ50の位置を修正或いは調整する作業が必要となったり、トレイ50が不用意に落下し、ひいては、チップCを損傷させる可能性が高くなるという不都合を招来する。
However, in such a configuration, only the air in the pocket 52 (
[発明の目的]
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、吸着装置により安定して保持され、搬送等をスムースに行うことができるトレイ及びその吸着構造を提供することにある。
[Object of invention]
The present invention has been devised by paying attention to such inconveniences, and an object of the present invention is to provide a tray that can be stably held by a suction device and that can be smoothly transported, and a suction structure thereof. There is.
前記目的を達成するため、本発明は、所定の吸着装置の保持面に形成された吸引部により空気を吸引したときに、当該保持面側に吸着保持可能に設けられたトレイであって、
前記保持面に沿って配置可能に設けられたトレイ本体と、このトレイ本体に所定間隔毎に複数設けられるとともに、内部にチップをそれぞれ収容可能なポケットとを備え、
前記吸着状態を平面視したときに、前記吸引部に重なって位置するポケットと、保持面の領域内であって吸引部に重ならない少なくとも一つのポケットとの間を連通する空気流通路を設ける、という構成が採用されている。
In order to achieve the above object, the present invention is a tray provided so as to be capable of being suction-held on the holding surface side when air is sucked by a suction portion formed on the holding surface of a predetermined suction device,
A tray body provided so as to be arranged along the holding surface, and a plurality of the tray body provided at predetermined intervals in the tray body, and a pocket capable of accommodating each chip therein,
When the suction state is viewed in plan, an air flow passage is provided that communicates between a pocket that overlaps the suction portion and at least one pocket that is in the region of the holding surface and does not overlap the suction portion; The configuration is adopted.
本発明において、前記空気流通路は、溝により形成されることが好ましい。 In the present invention, the air flow passage is preferably formed by a groove.
また、前記空気流通路に連通するポケットは、平面視でトレイ本体の中央領域に設けられる、という構成も好ましくは採用される。 In addition, a configuration in which the pocket communicating with the air flow passage is provided in the central region of the tray main body in a plan view is preferably employed.
更に、本発明のトレイの吸着構造は、所定の吸着装置を介してトレイを吸着保持するトレイの吸着構造において、
前記吸着装置は、吸引部が形成された保持面を含み、この吸引部から空気を吸引することで保持面側にトレイを吸着保持可能に設けられ、
前記トレイは、保持面に沿って位置可能に設けられたトレイ本体と、このトレイ本体に所定間隔毎に複数設けられるとともに、内部にチップをそれぞれ収容可能なポケットとを備え、
前記吸着状態を平面視したときに、前記吸引部に重なって位置するポケットと、保持面の領域内であって吸引部に重ならない少なくとも一つのポケットとの間を連通する空気流通路を設ける、という構成が採用される。
Furthermore, the tray suction structure of the present invention is a tray suction structure that holds and holds the tray via a predetermined suction device.
The suction device includes a holding surface on which a suction portion is formed, and is provided so as to suck and hold the tray on the holding surface side by sucking air from the suction portion,
The tray includes a tray main body that can be positioned along the holding surface, a plurality of tray main bodies provided at predetermined intervals in the tray main body, and pockets that can accommodate chips therein.
When the suction state is viewed in plan, an air flow passage is provided that communicates between a pocket that overlaps the suction portion and at least one pocket that is in the region of the holding surface and does not overlap the suction portion; The configuration is adopted.
本発明によれば、吸引部に重なるポケットだけでなく、空気流通路によって吸引部に重ならないポケット内の空気も吸引させることが可能となる。すなわち、前述の従来構造に比べ、吸引部に重ならないポケット分吸着力が付与される面積を拡大でき、吸着装置によるトレイの吸着保持を安定して行うことが可能となる。これにより、トレイの搬送中における位置ずれを抑制して当該搬送を迅速且つスムースに行えるようになる。 According to the present invention, not only the pocket overlapping the suction part but also the air in the pocket not overlapping the suction part can be sucked by the air flow passage. That is, compared to the above-described conventional structure, the area to which the suction force for pockets that do not overlap the suction portion can be increased, and the suction and holding of the tray by the suction device can be performed stably. Thereby, the positional deviation during the conveyance of the tray is suppressed, and the conveyance can be performed quickly and smoothly.
また、空気流通路を溝としたので、極めて簡単な構成により空気流通路を形成することが可能となる。 Further, since the air flow passage is a groove, the air flow passage can be formed with a very simple configuration.
更に、トレイ本体の中央領域に空気流通路に連通するポケットを設けたから、当該中央領域一箇所だけを吸着した場合であっても、吸着装置の保持面にトレイを安定して保持させることができる。 Further, since the pocket communicating with the air flow passage is provided in the central region of the tray body, the tray can be stably held on the holding surface of the suction device even when only one portion of the central region is sucked. .
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1には、実施形態に係るトレイの平面図が示され、図2には、その部分拡大図が示されている。これらの図において、トレイ10は、樹脂材料を用いた一体成形品により構成され、複数枚のチップC(図3参照)を同時に収納可能に設けられている。トレイ10は、平面視略長方形状をなす板状のトレイ本体11と、このトレイ本体11の面に図1中縦方向及び横方向に沿って所定間隔毎に複数設けられたポケット12とを備えて構成されている。
FIG. 1 shows a plan view of a tray according to the embodiment, and FIG. 2 shows a partially enlarged view thereof. In these drawings, the
前記トレイ10は、図3に示されるように、吸着装置20により吸着保持可能に設けられている。この吸着装置20は、トレイ本体11の上面に沿って位置可能な保持面21を下面に備えた板状若しくはシート状をなすクッション材22と、このクッション材22を上側から支持する支持部材24とを備え、図示しない駆動装置を介して所定方向に移動可能に設けられている。保持面21は、図2中縦2列及び横3列に並ぶ各ポケット12の上部領域を閉塞可能な大きさの平面視方形状に設けられている。保持面21の面内中央部には、丸穴からなる吸引部25が形成されている一方、支持部材24の上部には、前記吸引部25に連通する吸気管26が設けられている。吸気管26は、図示しないポンプに接続されており、このポンプを作動させることにより、吸気管26を介して吸引部25から空気が吸引されるようになっている。
As shown in FIG. 3, the
前記各ポケット12は、略方形の平面形状に設けられるとともに、トレイ本体11の図3中上面を凹状に窪ませることによりそれぞれ形成されている。各ポケット12は、内部に前記チップCをそれぞれ収容可能に設けられており、当該チップCとしては、特に限定されるものでないが、BGA型若しくはCSP型等の面実装型が例示できる。各ポケット12の下方には、トレイ本体11の下面より突出する膨出部14がそれぞれ設けられ、各膨出部14は、ポケット12より若干小さい平面サイズに形成されている。従って、複数のトレイ10を重ねたときに、上段のトレイ10の膨出部14が、下段のトレイ10のポケット12に嵌り合うようになっている。ここで、図1及び図2に示されるように、平面視でトレイ本体11の中央領域に位置するポケット12の間には、空気流通路16が設けられている。
Each of the
前記空気流通路16は、トレイ本体11の面内中央部11A上に吸着装置20の吸引部25を配置して吸着状態としたときに、平面視で前記保持面21の領域内に収まる各ポケット12間を連通する溝により形成されている。これを更に詳述すると、空気流通路16は、上下方向に延びる4本の縦溝17と、左右方向に延びる3本の横溝18とを備え、縦溝17は、平面視で吸引部25に重なって位置する2つのポケット12,12と、当該ポケット12,12の図2中上下両側に隣接して吸引部25に重ならないように位置する4つのポケット12とを相互に連通するようにそれぞれ設けられている。また、横溝18は、前記縦溝17が形成された6つのポケット12において図2中左右に相互に隣り合うポケット12,12同士を連通するようにそれぞれ形成されている。各縦溝17及び横溝18は、トレイ本体11の図3中上面を凹ませるように形成されており、本実施形態では、ポケット12より小さい深さとしたが、これらの深さを略同一に設定してもよい。
The
以上の構成において、吸着装置20を介してトレイ10を吸着保持する場合、先ず、吸着装置20を移動し、平面視でトレイ本体11の面内中央部11Aと吸引部25とが一致するように保持面21をトレイ本体11の上面に載置する。このとき、図2中網点で示した6つのポケット12が保持面21により閉塞されて略密閉された状態となる。その後、前記ポンプ(図示省略)を作動させて吸引部25より空気を吸引する。これにより、吸引部25に重なる二つのポケット12,12、縦溝17及び横溝18を通じて網点で示した6つのポケット12内の空気が吸引部25により吸引され、各ポケット12内の空気が負圧化されて保持面21側に吸着保持される。
In the above configuration, when the
従って、このような実施形態によれば、吸引部25に重ならないポケット12内も吸気して当該ポケット12の領域に吸着力を作用させることができる。つまり、トレイ10における吸着力が付与される領域を広く確保することができ、トレイ10を安定的に保持させて吸着装置20を用いた搬送等をスムースに行うことが可能となる。
Therefore, according to such an embodiment, the inside of the
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施形態に対し、形状、位置若しくは方向、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
Although the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, the present invention is not limited to this.
That is, the present invention has been particularly shown and described with respect to particular embodiments, but is not limited to the embodiments described above without departing from the scope and spirit of the present invention. Various modifications may be made by those skilled in the art in terms of position, orientation, and other detailed configurations.
Therefore, the description limited to the shape disclosed above is an example for easy understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description in the name of the member excluding a part or all of the limitation is included in the present invention.
例えば、前記吸引部25は、図示構成例に限られず、複数箇所に散点的に***を設けたり、吸気を行う領域をポーラス体で形成したりしてもよい。
For example, the
また、空気流通路16を構成する溝の形成位置は、種々の設計変更が可能であり、例えば、図4に示される構成に代替することが可能である。同図において、縦溝17及び横溝18は、各ポケット12のコーナー領域に連通されている。また、吸引部25に重なる二つのポケット12,12に対して斜め方向に隣り合うポケット12との間に溝19を設けてもよい。
Further, the design position of the groove constituting the
10・・・トレイ、11・・・トレイ本体、12・・・ポケット、16・・・空気流通部、17・・・縦溝、18・・・横溝、20・・・吸着装置、21・・・保持面、25・・・吸引部、C・・・チップ
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記保持面に沿って配置可能に設けられたトレイ本体と、このトレイ本体に所定間隔毎に複数設けられるとともに、内部にチップをそれぞれ収容可能なポケットとを備え、
前記吸着状態を平面視したときに、前記吸引部に重なって位置するポケットと、保持面の領域内であって吸引部に重ならない少なくとも一つのポケットとの間を連通する空気流通路を設けたことを特徴とするトレイ。 When air is sucked by a suction portion formed on a holding surface of a predetermined suction device, the tray is provided on the holding surface side so as to be sucked and held,
A tray body provided so as to be arranged along the holding surface, and a plurality of the tray body provided at predetermined intervals in the tray body, and a pocket capable of accommodating each chip therein,
When the suction state is viewed in plan, an air flow passage is provided that communicates between a pocket that overlaps the suction portion and at least one pocket that is in the holding surface area and does not overlap the suction portion. Tray characterized by that.
前記吸着装置は、吸引部が形成された保持面を含み、この吸引部から空気を吸引することで保持面側にトレイを吸着保持可能に設けられ、
前記トレイは、保持面に沿って位置可能に設けられたトレイ本体と、このトレイ本体に所定間隔毎に複数設けられるとともに、内部にチップをそれぞれ収容可能なポケットとを備え、
前記吸着状態を平面視したときに、前記吸引部に重なって位置するポケットと、保持面の領域内であって吸引部に重ならない少なくとも一つのポケットとの間を連通する空気流通路を設けたことを特徴とするトレイの吸着構造。 In the tray suction structure that holds the tray by suction through a predetermined suction device,
The suction device includes a holding surface on which a suction portion is formed, and is provided so as to suck and hold the tray on the holding surface side by sucking air from the suction portion,
The tray includes a tray main body that can be positioned along the holding surface, a plurality of tray main bodies provided at predetermined intervals in the tray main body, and pockets that can accommodate chips therein.
When the suction state is viewed in plan, an air flow passage is provided that communicates between a pocket that overlaps the suction portion and at least one pocket that is in the holding surface area and does not overlap the suction portion. A tray adsorption structure characterized by that.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005092569A JP4734993B2 (en) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | Tray and its adsorption structure |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005092569A JP4734993B2 (en) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | Tray and its adsorption structure |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006278516A true JP2006278516A (en) | 2006-10-12 |
JP4734993B2 JP4734993B2 (en) | 2011-07-27 |
Family
ID=37212993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005092569A Expired - Fee Related JP4734993B2 (en) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | Tray and its adsorption structure |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4734993B2 (en) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002001686A (en) * | 2001-06-25 | 2002-01-08 | Seiko Epson Corp | Semiconductor storage container carrying device and method, and suction pad used for it |
JP2002002871A (en) * | 2000-04-20 | 2002-01-09 | Hitachi Ltd | Method for manufacturing semiconductor device and tray used therein |
-
2005
- 2005-03-28 JP JP2005092569A patent/JP4734993B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002002871A (en) * | 2000-04-20 | 2002-01-09 | Hitachi Ltd | Method for manufacturing semiconductor device and tray used therein |
JP2002001686A (en) * | 2001-06-25 | 2002-01-08 | Seiko Epson Corp | Semiconductor storage container carrying device and method, and suction pad used for it |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4734993B2 (en) | 2011-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI665146B (en) | Non-contact transferring device and non-contact suction plate | |
JP5110480B2 (en) | Non-contact transfer device | |
JP2008270626A (en) | Substrate adsorption device and substrate conveyance device | |
JPWO2014057572A1 (en) | Substrate storage container | |
JP2007182237A (en) | Storage container | |
US20110132789A1 (en) | Tray for storing and transporting workpieces | |
JP4734993B2 (en) | Tray and its adsorption structure | |
KR20060133201A (en) | Support platforms of non-contact transfer apparatus | |
JP4506533B2 (en) | Tray and its adsorption structure | |
CN103633005B (en) | The even glue device for controlling uniformity of large area special-shaped chip | |
CN102024728B (en) | Semiconductor chip holding tray | |
TWI836093B (en) | Robot arm | |
TWI756402B (en) | Substrate storage container | |
TW201940394A (en) | Carrier tape, method for manufacturing carrier tape, tape-shaped packaging body, and method for manufacturing tape-shaped packaging body | |
JP7216476B2 (en) | Grinding method for plate-shaped work | |
TWI424525B (en) | Carrier and carrier assembly for chip packages | |
JP2005161512A (en) | Plate type work polishing device | |
JPH11307618A (en) | Bare chip fixation stand | |
JP4233197B2 (en) | Partition container | |
JP2004203436A (en) | Glass board transportation box | |
KR102365424B1 (en) | Suction jig for articulated robot transferring ultra thin glass | |
CN202159652U (en) | Front open type wafer cassette provided with inflatable supporting piece modules | |
TWI355364B (en) | ||
JP2010149878A (en) | Carrier tape | |
KR101710578B1 (en) | Semiconductor chip tray |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100119 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100406 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100607 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110329 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110411 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |