JP2006272943A - Liquid droplet discharging device and method of forming dot pattern - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液滴吐出装置及びドットパターン形成方法に関するものである。 The present invention relates to a droplet discharge device and a dot pattern forming method.
従来より、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置といった電気光学装置の表示基板には、品質管理や製造管理を目的として、その製造元や製造番号等の製造情報をコード化した識別コードが形成されている。 Conventionally, display codes of electro-optical devices such as liquid crystal display devices and organic electroluminescence display devices have been formed with identification codes that encode manufacturing information such as the manufacturer and serial number for the purpose of quality control and manufacturing control. Yes.
この種の識別コードとしては、近年、縦横両方向に情報を持つ２次元的な識別コードが普及しつつある。２次元識別コードは、白黒のセルを２次元的に配置したものであり、一方向にしか情報を持たない従来の識別コード（バーコード）に比べて格段に大きな情報を表現することができるという利点を有する。 In recent years, as this type of identification code, a two-dimensional identification code having information in both vertical and horizontal directions is becoming widespread. The two-dimensional identification code is a two-dimensional arrangement of black and white cells, and can express much larger information than a conventional identification code (bar code) having information only in one direction. Have advantages.
ところで、上記した２次元識別コードの形成方法には、金属箔にレーザ光を照射してコードパターンをスパッタ成膜するレーザスパッタ法や、研磨剤を含んだ水を基板に噴射してコードパターンを刻印するウォータジェット法が提案されている（たとえば、特許文献１，特許文献２）。
The two-dimensional identification code forming method includes a laser sputtering method in which a metal foil is irradiated with laser light to form a code pattern by sputtering, or water containing an abrasive is sprayed onto a substrate to form a code pattern. A water jet method for marking has been proposed (for example,
しかし、上記レーザスパッタ法は、所望のサイズのコードパターンを得るために、金属箔と基板との間隙を数〜数十μｍに調整しなければならない。従って、基板及び金属箔の各表面は、高い平坦性が要求され、しかも、これらの間隙をμｍのオーダーの精度で調整することが要求される。この結果、識別コードを形成する対象となる基板が制限されるため、その汎用性が損なわれるという問題があった。一方、ウォータジェット法は、基板にコードパターンを刻印する際に、水や塵埃、研磨剤等が飛散するため、同基板を汚染する問題があった。 However, in the laser sputtering method, in order to obtain a code pattern of a desired size, the gap between the metal foil and the substrate must be adjusted to several to several tens of μm. Accordingly, the surfaces of the substrate and the metal foil are required to have high flatness, and further, it is required to adjust these gaps with an accuracy of the order of μm. As a result, there is a problem in that versatility is impaired because the substrate on which the identification code is formed is limited. On the other hand, the water jet method has a problem of contaminating the substrate because water, dust, abrasives and the like are scattered when a code pattern is imprinted on the substrate.
そこで、上記問題点を解消するために、金属粒子を所定の溶媒に分散または溶解した液状の組成物を、吐出ヘッドに形成された複数のノズルから吐出して基板上に塗布し、その後、溶媒を除去して金属粒子を基板上に付着させ所望のコードパターンを形成するようにした液滴吐出法が注目されている。これによって、識別コードを形成する対象となる基板の対象範囲を拡大することができるとともに、同基板の汚染等を回避することができる。
しかしながら、液滴吐出法を用いた場合、ノズルに組成物が付着してしまい、その結果、そのノズルが目詰まりを起こし組成物を吐出しない場合や吐出してもその着弾位置が所望の位置とずれたりするといった不良ノズルが発生する場合がある。このように、ノズルが不良である場合は、所望のコードパターンを形成することができないので、吐出ヘッドを交換する必要がある。従って、不良ノズルが発生する度に吐出ヘッドを交換しなければならなくなるので、生産効率が低下するという問題があった。 However, when the droplet discharge method is used, the composition adheres to the nozzle, and as a result, the nozzle is clogged and does not discharge the composition. In some cases, defective nozzles such as misalignment may occur. As described above, when the nozzle is defective, a desired code pattern cannot be formed. Therefore, it is necessary to replace the ejection head. Therefore, the ejection head must be replaced every time a defective nozzle is generated, which causes a problem that the production efficiency is lowered.
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ノズルを効率良く使用することで生産効率を向上させることのできる液滴吐出装置及びドットパターン形成方法を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is to provide a droplet discharge device and a dot pattern forming method capable of improving production efficiency by efficiently using nozzles. There is.
本発明の液滴吐出装置は、基板上に、行方向及び列方向に沿って形成される複数のパターンの各々を構成する前記行方向に沿ったセルのセル数に比べて、前記行方向に沿って配置された複数のノズルのノズル数が多く設けられた液滴吐出ヘッドと、前記複数のノズルのうち使用可能なノズルのノズル数及び位置の情報を記憶するノズル位置データ記憶手段と、所定回数だけ前記連続した使用可能なノズルを使用して前記液状の組成物を吐出させた後、前記連続した使用可能なノズルのノズル位置をずらして、前記連続した使用可能なノズルを使用して前記液状の組成物を吐出させる吐出データを作成する吐出データ作成手段と、前記吐出データ作成手段に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの位置を、前記列方向に形成される前記パターン毎に、前記使用可能なノズルのノズル位置をずらした分だけ補正する位置補正手段とを備えている。 The liquid droplet ejection apparatus according to the present invention includes a plurality of patterns formed on the substrate along the row direction and the column direction, and the number of cells along the row direction constituting each of the plurality of patterns is increased in the row direction. A droplet discharge head provided with a large number of nozzles of a plurality of nozzles arranged along the nozzle, nozzle position data storage means for storing information on the number and positions of usable nozzles among the plurality of nozzles, and a predetermined After discharging the liquid composition by using the continuously usable nozzles a number of times, the nozzle position of the continuously usable nozzles is shifted and the continuously usable nozzles are used to shift the liquid composition. Based on the ejection data creation means for creating ejection data for ejecting the liquid composition and the ejection data creation means, the position of the droplet ejection head is determined for each pattern formed in the column direction. By the amount of shifting the nozzle position of the serial available nozzle and a position correcting means for correcting.
これによれば、液滴吐出ヘッドのノズルの数は、基板上の行方向に沿って形成されるセルのセル数に比べて多いので、同じ列に対しては、連続した使用可能な複数のノズルを使用して液状の組成物を吐出させ、異なった列に対しては、先に使用した使用可能なノズルとはノズル位置がずれた使用可能なノズルのノズルを使用して液状の組成物を吐出させる。そして、吐出データに基づいて基板上に液状の組成物を吐出した後は、先に使用した使用可能なノズルのうちの１つのノズルを除外したうちで、連続した使用可能な複数のノズルの位置を使用して液状の組成物を吐出させるようにする。 According to this, the number of nozzles of the droplet discharge head is larger than the number of cells formed along the row direction on the substrate. The liquid composition is discharged using a nozzle, and for different rows, the liquid composition is used by using a nozzle of a usable nozzle whose nozzle position is deviated from the previously usable nozzle. To discharge. And after discharging the liquid composition on the substrate based on the discharge data, the position of a plurality of nozzles that can be continuously used is excluded while one of the previously used nozzles is excluded. Is used to discharge the liquid composition.
従って、たとえば、複数のノズルのうち、不良なノズルがあったとしても、その不良なノズルを除外して他の使用可能なノズルを使用して吐出する。また、基板上に液状の組成物を吐出した後は、先に使用した使用可能なノズルのうちの１つのノズルを除外したうちで、連続した使用可能な複数のノズルの位置を使用するようにしたので、全てのノズルが有効に使用される。この結果、吐出ヘッドを効率良く使用することができることにより、生産効率を向上させることのできる液滴吐出装置を提供することができる。 Therefore, for example, even if there is a defective nozzle among the plurality of nozzles, the defective nozzle is excluded and discharged using another usable nozzle. In addition, after discharging the liquid composition on the substrate, the position of a plurality of continuously usable nozzles is used while one nozzle among the previously usable nozzles is excluded. Therefore, all the nozzles are used effectively. As a result, it is possible to provide a droplet discharge device capable of improving the production efficiency by using the discharge head efficiently.
また、例えば、列方向に形成される前記パターン毎に、液滴吐出ヘッドの位置を、使用可能なノズルのノズル位置をずらした分だけ補正することで、基板上に形成される各パターンを等ピッチに形成することができる。 Further, for example, for each pattern formed in the column direction, each pattern formed on the substrate is corrected by correcting the position of the droplet discharge head by an amount corresponding to the shift of the nozzle position of the usable nozzle. The pitch can be formed.
この液滴吐出装置において、前記吐出データ作成手段は、前記列方向に形成される前記パターンの数毎に、前記連続した使用可能なノズルのノズル位置をずらして、前記連続した使用可能なノズルを使用して前記液状の組成物を吐出させる吐出データを作成するようにしてもよい。 In this droplet discharge device, the discharge data creation means shifts the nozzle positions of the continuously usable nozzles for each number of the patterns formed in the column direction, and sets the continuously usable nozzles. You may make it produce the discharge data which discharges the said liquid composition using it.
これによれば、列方向に形成される前記パターン毎に、液滴吐出ヘッドの位置を、使用可能なノズルのノズル位置をずらした分だけ補正することで、基板上に形成される各パターンを等ピッチに形成することができる。 According to this, for each of the patterns formed in the column direction, each pattern formed on the substrate is corrected by correcting the position of the droplet discharge head by an amount corresponding to the shift of the nozzle position of the usable nozzle. It can be formed at an equal pitch.
この液滴吐出装置において、前記ノズル位置データ記憶手段は、前記基板上に前記液状の組成物を吐出する前に、前記全ノズルの吐出特性を検出するノズル検出手段を備えていてもよい。 In this droplet discharge apparatus, the nozzle position data storage means may include nozzle detection means for detecting discharge characteristics of all the nozzles before discharging the liquid composition onto the substrate.
これによれば、ノズル検出手段によって、どのノズルが使用可能なノズルであるのか否かが判断される。ここで、ノズル検出手段としては、たとえば、液滴吐出ヘッドの周辺に設けられ、全ノズルから液状の組成物を吐出させてその着弾位置及び飛翔時の速度を検出するカメラであってもよい。このようにすることで、簡単に使用可能なノズルの位置を判断することができる。 According to this, it is judged by the nozzle detection means which nozzle is a usable nozzle. Here, the nozzle detection means may be, for example, a camera that is provided around the droplet discharge head and discharges the liquid composition from all nozzles to detect the landing position and the speed at the time of flight. By doing in this way, the position of the nozzle which can be used easily can be determined.
本発明のドットパターン形成方法は、基板上に、行方向及び列方向に沿って形成される複数のパターンの各々を構成する前記行方向に沿ったセルのセル数に比べて多く前記行方向に沿って配置された複数のノズルのうち使用可能なノズルのノズル数及び位置を検出する使用ノズル検査工程と、所定回数だけ前記使用可能な連続したノズルを使用して液状の組成物を吐出させた後、前記使用可能な連続したノズルのノズル位置をずらして、前記ずらした後の前記使用可能な連続したノズルを使用して前記液状の組成物を吐出させる吐出データを作成する吐出データ作成工程と、液滴吐出ヘッドの位置を、前記列方向に形成される前記パターン毎に、前記使用可能なノズルのノズル位置をずらした分だけ補正する位置補正工程とを備えている。 The dot pattern forming method of the present invention has a larger number of cells in the row direction than the number of cells in the row direction constituting each of a plurality of patterns formed on the substrate along the row direction and the column direction. In-use nozzle inspection process for detecting the number and positions of nozzles that can be used among a plurality of nozzles arranged along the line, and the liquid composition was ejected using the usable continuous nozzles a predetermined number of times. Thereafter, a nozzle position of the usable continuous nozzle is shifted, and a discharge data creating step of creating discharge data for discharging the liquid composition using the usable continuous nozzle after the shifting, and And a position correction step of correcting the position of the droplet discharge head by the amount of shifting the nozzle position of the usable nozzle for each pattern formed in the column direction.
これによれば、液滴吐出ヘッドのノズルの数は、基板上の行方向に沿って形成されるセルのセル数に比べて多いので、同じ列に対しては、連続した使用可能な複数のノズルを使用して液状の組成物を吐出させ、異なった列に対しては、先に使用した使用可能なノズルとはノズル位置がずれた使用可能なノズルのノズルを使用して液状の組成物を吐出させる。そして、吐出データに基づいて基板上に液状の組成物を吐出した後は、先に使用した使用可能なノズルのうちの１つのノズルを除外したうちで、連続した使用可能な複数のノズルの位置を使用して液状の組成物を吐出させるようにする。 According to this, the number of nozzles of the droplet discharge head is larger than the number of cells formed along the row direction on the substrate. The liquid composition is discharged using a nozzle, and for different rows, the liquid composition is used by using a nozzle of a usable nozzle whose nozzle position is deviated from the previously usable nozzle. To discharge. And after discharging the liquid composition on the substrate based on the discharge data, the position of a plurality of nozzles that can be continuously used is excluded while one of the previously used nozzles is excluded. Is used to discharge the liquid composition.
従って、たとえば、複数のノズルのうち、不良なノズルがあったとしても、その不良なノズルを除外して他の使用可能なノズルを使用して吐出する。また、基板上に液状の組成物を吐出した後は、先に使用した使用可能なノズルのうちの１つのノズルを除外したうちで、連続した使用可能な複数のノズルの位置を使用するようにしたので、全てのノズルが有効に使用される。この結果、吐出ヘッドを効率良く使用することができることにより、生産効率を向上させることのできる液滴吐出装置を提供することができる。 Therefore, for example, even if there is a defective nozzle among the plurality of nozzles, the defective nozzle is excluded and discharged using another usable nozzle. In addition, after discharging the liquid composition on the substrate, the position of a plurality of continuously usable nozzles is used while one nozzle among the previously usable nozzles is excluded. Therefore, all the nozzles are used effectively. As a result, it is possible to provide a droplet discharge device capable of improving the production efficiency by using the discharge head efficiently.
また、例えば、列方向に形成される前記パターン毎に、液滴吐出ヘッドの位置を、使用可能なノズルのノズル位置をずらした分だけ補正することで、基板上に形成される各パターンを等ピッチに形成することができる。 Further, for example, for each pattern formed in the column direction, each pattern formed on the substrate is corrected by correcting the position of the droplet discharge head by an amount corresponding to the shift of the nozzle position of the usable nozzle. The pitch can be formed.
このドットパターン形成方法において、前記吐出データ作成工程は、前記列方向に形成される前記パターンの数毎に、前記使用可能な連続したノズルのノズル位置をずらして、前記使用可能な連続したノズルを使用して前記液状の組成物を吐出させる吐出データを作成するようにしてもよい。 In this dot pattern forming method, the discharge data creating step shifts the nozzle positions of the usable continuous nozzles for each number of the patterns formed in the column direction, and sets the usable continuous nozzles. You may make it produce the discharge data which discharges the said liquid composition using it.
これによれば、列方向に形成される前記パターン毎に、液滴吐出ヘッドの位置を、使用可能なノズルのノズル位置をずらした分だけ補正することで、基板上に形成される各パターンを等ピッチに形成することができる。 According to this, for each of the patterns formed in the column direction, each pattern formed on the substrate is corrected by correcting the position of the droplet discharge head by an amount corresponding to the shift of the nozzle position of the usable nozzle. It can be formed at an equal pitch.
このドットパターン形成方法において、前記使用ノズル検査工程は、前記基板上に前記液状の組成物を吐出する前に、前記全ノズルの吐出特性を検出するようにしてもよい。
これによれば、前記基板上に前記液状の組成物を吐出する前に、どのノズルが使用可能なノズルであるのか否かが判断される。ここで、全ノズルの吐出特性とは、たとえば、ノズルから吐出した液状の組成物の着弾位置及びその飛翔時の速度であってもよい。このようにすることで、使用可能なノズルの位置を判断することができる。
In this dot pattern forming method, the used nozzle inspection step may detect ejection characteristics of all the nozzles before ejecting the liquid composition onto the substrate.
According to this, before discharging the liquid composition onto the substrate, it is determined which nozzle is a usable nozzle. Here, the discharge characteristics of all the nozzles may be, for example, the landing position of the liquid composition discharged from the nozzles and the speed at the time of flight. By doing in this way, the position of the nozzle which can be used can be judged.
以下、本発明を具体化した一実施形態を各図に従って説明する。
まず、本発明の液滴吐出装置を使って形成された識別コードを有する液晶表示装置の表示モジュールについて説明する。
Hereinafter, an embodiment embodying the present invention will be described with reference to the drawings.
First, a display module of a liquid crystal display device having an identification code formed using the droplet discharge device of the present invention will be described.
図１は、液晶表示装置の液晶表示モジュールの正面図である。
図１に示すように、液晶表示モジュール１は、光透過性を有する表示基板２を備えている。表示基板２は、本実施形態では、ガラス板である。表示基板２は、その表面２ａの略中央位置に、液晶分子を封入した四角形状の表示部３を備えるとともに、その表示部３を介して左右両側（図１中Ｘ矢印方向側）には一対の走査線駆動回路４が形成されている。また、表示部３の下側（図１中Ｙ矢印方向側）には、データ線駆動回路５が形成されている。そして、液晶表示モジュール１は、走査線駆動回路４から出力される走査信号と、データ線駆動回路５から出力されるデータ信号とに基づいて前記液晶分子の配向状態を制御し、図示しない照明装置から照射された平面光を、前記液晶分子の配向状態によって変調することで、表示部３上に、所望の画像を表示するようになっている。
FIG. 1 is a front view of a liquid crystal display module of a liquid crystal display device.
As shown in FIG. 1, the liquid
表示基板２の裏面２ｂには、四角形状のコード形成領域Ｓが形成されている。コード形成領域Ｓ内には、液晶表示モジュール１の製造元及び製造番号をコード化したドットパターンとしての識別コード１０が形成されている。
A square-shaped code forming region S is formed on the
図２は、裏面２ｂを紙面手前側に向くように図１中の表示基板２を裏返して配置した場合の識別コード１０の正面図である。
図２に示すように、コード形成領域Ｓは、１６行×１６列からなる２５６個のデータセル（以下、「セル」という。）Ｃを有している。例えば、コード形成領域Ｓは、一辺の長さが１．１２ｍｍの正方形の領域であって、各セルＣは、一辺の長さ（最大許容液滴径Ｒｍａｘ）が７０μｍの正方形の領域である。そして、各セルＣには、製造元及び製造番号に応じたドットＤが形成されている。
FIG. 2 is a front view of the
As shown in FIG. 2, the code forming area S has 256 data cells (hereinafter referred to as “cells”) C each having 16 rows × 16 columns. For example, the code forming region S is a square region having a side length of 1.12 mm, and each cell C is a square region having a side length (maximum allowable droplet diameter Rmax) of 70 μm. In each cell C, dots D corresponding to the manufacturer and the production number are formed.
以下、説明の便宜上、ドットＤが形成されたセルＣを黒セルＣ１、ドットＤが形成されないセルＣを白セルＣ０という。また、図２中Ｙ矢印方向に沿って上側から順に、１行目のセルＣ、２行目のセルＣ、・・・、１６行目のセルＣとし、図２中反Ｘ矢印方向に沿って左側から順に、１列目のセルＣ、２列目のセルＣ、・・・、１６列目のセルＣという。従って、本実施形態においては、図２に示すように、１行目１列目にあるセルＣは、黒セルＣ１であって、その右隣（反Ｘ矢印方向）に位置する１行目２列目にあるセルＣは、白セルＣ０である。
Hereinafter, for convenience of explanation, the cell C in which the dot D is formed is referred to as a black cell C1, and the cell C in which the dot D is not formed is referred to as a white cell C0. Further, in order from the upper side along the Y arrow direction in FIG. 2, the cells C in the first row, the cells C in the second row,..., The cells C in the 16th row, and along the direction opposite to the X arrow in FIG. In order from the left side, the cell C in the first column, the cell C in the second column,. Accordingly, in the present embodiment, as shown in FIG. 2, the cell C in the first row and the first column is the black cell C1, and the
次に、識別コード１０を形成するために使用される液滴吐出装置２０について説明する。
図３は、液滴吐出装置２０の全体斜視図である。
Next, the
FIG. 3 is an overall perspective view of the
図３に示すように、液滴吐出装置２０は、略直方体形状の基台２１を備えている。基台２１は、その長手方向（図３中Ｙ矢印方向）が識別コード１０の列方向（図２中Ｙ矢印方向）に沿うようにして、即ち、同基台２１の短手方向（図３中Ｘ矢印方向）が識別コード１０の行方向（図２中Ｘ矢印方向）に沿うに合わせてある。
As shown in FIG. 3, the
基台２１の上面２１aには、Ｙ矢印方向に延びる一対の案内凹溝２２が同Ｙ矢印方向全
幅に渡って形成されている。その基台２１の上側には、案内凹溝２２に対応する図示しない直動機構を備えたステージ２３が取付けられている。ステージ２３の直動機構は、公知の直動機構であって、例えば案内凹溝２２に沿ってＹ矢印方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構である。そして、そのネジ軸がステップモータよりなるＹ軸駆動モータＭＹ（図６参照）に連結され、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸駆動モータＭＹに入力されると、そのＹ軸駆動モータＭＹが正転又は逆転して、ステージ２３が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ矢印方向に沿って所定の速度で往動又は復動（Ｙ矢印方向）するようになっている。尚、本実施形態では、ステージ２３が案内凹溝２２（基台２１）の最も紙面手前側に配置する位置（図３にお
ける実線位置）を往動位置として、同案内凹溝２２（基台２１）の最も紙面奥側に配置する位置（図３における２点鎖線位置）を復動位置とする。
A pair of
また、ステージ２３の上面には、載置面２４が形成され、該載置面２４には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面２４に基板としてのマザー基板２Ａを載置すると、前記基板チャックによって、マザー基板２Ａが載置面２４の所定位置に位置決め固定されるようになっている。このマザー基板２Ａは、複数の前記表示基板２をマトリクス状に形成できる１枚の大型基板であって、本実施形態では、Ｘ矢印方向（行方向）に３つ、Ｙ矢印方向（列方向）に３つ、合計９つの表示基板２がマトリクス状に形成される大型のガラス板である。尚、説明の便宜上、マザー基板２ＡのＸ矢印方向側（図３中手前側）に位置するＹ矢印方向（列方向）に沿った３つの表示基板２（以下、単に「基板」という）を符号「２Ｌ」で示し、そのＸ矢印方向側（図３中段）に位置するＹ矢印方向（列方向）に沿った３つの基板２を符号「２Ｃ」で示す。また、Ｘ矢印方向側（図３中手前側）に位置する反Ｙ矢印方向（列方向）に沿った３つの基板２を符号「２Ｒ」で示す。
A mounting
また、基台２１のＸ矢印方向両側には、一対の支持アーム２５a，２５bが立設され、その支持アーム２５a，２５bには、その上方をＸ矢印方向に沿って横断するようにして延びる案内部材２６が架設されている。案内部材２６は、その長手方向の長さがステージ２３の幅方向（Ｘ矢印方向）よりも長く形成され、その一端が支持アーム２５a側に張り出す
ように配置されている。
A pair of
案内部材２６の上側には、収容タンク２７が配設されている。この収容タンク２７は、所定の溶媒（例えば、キシレン等といった室温で液状体である有機物）に金属微粒子（例えば、ニッケル微粒子等）が溶解または分散された液状体Ｌを収納する収容タンクである。一方、案内部材２６の下側には、Ｘ矢印方向に延びる上下一対の案内レール２８が案内部材２６の全幅に渡って設けられている。案内レール２８には、キャリッジ２９がＸ矢印方向に沿って移動可能となるように取付けられている。つまり、Ｘ矢印方向はキャリッジ２９の走査方向、即ち、識別コード１０の行方向に一致する。尚、このキャリッジ２９の直動機構は、公知の直動機構である。例えば、案内レール２８に沿ってＸ矢印方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、そのネジ軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸駆動モータＭＸ（図６参照）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸駆動モータＭＸに入力すると、Ｘ軸駆動モータＭＸが正転又は逆転して、キャリッジ２９が同ステップ数に相当する分だけＸ矢印方向に沿って往動又は復動する。また、キャリッジ２９の下側には、吐出ヘッド３０が設けられている。
A
図４は、吐出ヘッド３０の下面（ステージ２３側の面）を上方に向けた場合の斜視図である。
図４に示すように、吐出ヘッド３０は、ステージ２３と対向する側（図４中上側）に、ノズルプレート３１を備えている。ノズルプレート３１は、Ｘ矢印方向に沿って、即ち、キャリッジ２９の走査方向に沿って一ライン上に１８０個のノズルＮを備えている。ノズルＮのピッチ幅は、セルＣの形成ピッチと同じ大きさで形成されている。従って、各ノズルＮは、基板２（コード形成領域Ｓ）がＹ矢印方向に沿って往復直線移動するときに、それぞれ列方向に沿う各セルＣと対峙する。尚、以下では、説明の便宜上、１８０個のノズルＮを、それぞれ、図４中手前側のノズルＮからＸ矢印方向に向かって、第１のノズルＮ１、第２のノズルＮ２、第３のノズルＮ３、第４のノズルＮ４、第５のノズルＮ５、…、第１７８のノズルＮ１７８、第１７９のノズルＮ１７９、第１８０のノズルＮ１８０で示す。
FIG. 4 is a perspective view when the lower surface (surface on the
As shown in FIG. 4, the
図５は、吐出ヘッド３０の内部構造を説明するための要部断面図である。
図５に示すように、ノズルプレート３１の上側であってノズルＮと相対する位置には、キャビティ３２が形成されている。キャビティ３２は、収容タンク２７（図３参照）に連通しており、該タンク２７内の液状体Ｌが供給されるようになっている。キャビティ３２の上側には、上下方向に振動して、キャビティ３２内の容積を拡大縮小させる振動板３３と、上下方向に伸縮して振動板３３を振動させる圧電素子ＰＺが配設されている。そして、吐出ヘッド３０が圧電素子ＰＺを駆動制御するための信号を受けると、対応する圧電素子ＰＺが伸縮して、キャビティ３２内の容積を拡大縮小させ、対応する各ノズルＮから、縮小した容積分の液状体Ｌを微小液滴化してノズルＮの直下に吐出させる。
FIG. 5 is a cross-sectional view of a main part for explaining the internal structure of the
As shown in FIG. 5, a
また、図３に示すように、支持アーム２５a側に張り出した案内部材２６の周辺には、
ノズル検出手段としてのノズル検査機構Ｋが設けられている。ノズル検査機構Ｋは、フィルムＦを載置する載置面Ｋａを有した載置台Ｋ１と、位置検出用カメラＫ２と、速度検出用カメラＫ３とを備えている。
Further, as shown in FIG. 3, in the vicinity of the
A nozzle inspection mechanism K is provided as nozzle detection means. The nozzle inspection mechanism K includes a mounting table K1 having a mounting surface Ka on which the film F is mounted, a position detection camera K2, and a speed detection camera K3.
載置台Ｋ１は、キャリッジ２９が支持アーム２５a側に張り出した案内部材２６に位置
した場合（以下、この位置を「検査位置」という）、その吐出ヘッド３０（ノズルプレート３１）に対向する位置に、図３中Ｚ矢印方向に所定間隔だけ離間して配置されている。載置台Ｋ１のフィルムＦ上には、各ノズルＮから吐出してから前記所定間隔だけ飛翔した後の液状体Ｌが着弾する。また、フィルムＦ上には、各ノズルＮの真下に、Ｘ矢印方向に沿って一ライン上に２点鎖線で示される許容範囲（位置許容範囲）ＲがノズルＮの数だけ、つまり、本実施形態では１８０個描かれている（図７（ｃ）参照）。各位置許容範囲Ｒの大きさは、一辺の長さが７０μｍの正方形の領域であって、セルＣの一辺の長さの最大許容液滴径Ｒｍａｘと同じ長さである。この許容範囲（位置許容範囲）Ｒは、全ノズルＮからの液状体ＬをフィルムＦ上に着弾させて、その着弾位置を確認するためのものである。
When the
たとえば、液状体Ｌの着弾位置が対応する位置許容範囲Ｒ内にある場合は、そのノズルＮは、液状体Ｌを正確にその真下に着弾可能となるノズルであるので、正常に機能するノズルと判断される。反対に、液状体Ｌの着弾位置が対応する位置許容範囲Ｒ内にない場合は、そのノズルＮは、液状体Ｌを正確に着弾させることが不可能なノズルであるので、不良なノズルと判断される。また、液状体Ｌが着弾しなかった位置許容範囲Ｒの位置を特定することで、その不良なノズルが何番目のノズルＮなのかが判断される。 For example, when the landing position of the liquid material L is within the corresponding position allowable range R, the nozzle N is a nozzle that can land the liquid material L exactly below it. To be judged. On the other hand, if the landing position of the liquid L is not within the corresponding position allowable range R, the nozzle N is determined as a defective nozzle because it is impossible to land the liquid L accurately. Is done. Further, by specifying the position of the allowable position range R where the liquid L has not landed, it is determined which nozzle N is the defective nozzle.
たとえば、図７（ｃ）に示すように、フィルムＦ上に液状体Ｌが着弾した場合では、第１〜第１８のノズルＮ１〜Ｎ１８から吐出された液状体Ｌは、それぞれ着弾位置が対応する位置許容範囲Ｒ内にあり、第１９のノズルＮ１９から吐出された液状体Ｌは、その着弾位置が対応する位置許容範囲Ｒ内にない。また、第２０及び第２１のノズルＮ２０，Ｎ２１から吐出された液状体Ｌは、それぞれ着弾位置が対応する位置許容範囲Ｒ内にあり、第２２のノズルＮ２２からは、液状体Ｌは吐出されていない。従って、この場合においては、第１９のノズルＮ１９と第２２のノズルＮ２２が不良なノズルであると判断される。 For example, as shown in FIG. 7C, when the liquid material L has landed on the film F, the liquid materials L discharged from the first to eighteenth nozzles N1 to N18 have corresponding landing positions. The liquid L discharged from the nineteenth nozzle N19 within the allowable position range R does not fall within the corresponding allowable position range R. Further, the liquid material L discharged from the 20th and 21st nozzles N20 and N21 has an impact position within the corresponding position allowable range R, and the liquid material L is discharged from the 22nd nozzle N22. Absent. Therefore, in this case, it is determined that the 19th nozzle N19 and the 22nd nozzle N22 are defective nozzles.
図３に示すように、位置検出用カメラＫ２は、固定部材（図示略）によって載置台Ｋ１の上方に支持固定されている。位置検出用カメラＫ２は、載置面Ｋａ上に載置されたフィルムＦを、その上方から撮影し、同フィルムＦ上に着弾した液状体Ｌ及びフィルムＦ上に描かれた許容範囲（位置許容範囲）Ｒの様子を撮影するためのカメラである。 As shown in FIG. 3, the position detection camera K2 is supported and fixed above the mounting table K1 by a fixing member (not shown). The position detection camera K2 shoots the film F placed on the placement surface Ka from above, the liquid L that has landed on the film F, and the tolerance range (position tolerance) drawn on the film F. (Range) A camera for photographing the state of R.
速度検出用カメラＫ３は、固定部材（図示略）によって載置台Ｋ１より図３中Ｙ矢印方向側に支持固定されている。速度検出用カメラＫ３は、各ノズルＮから吐出した飛翔中の液滴状の液状体Ｌの様子を所定期間毎に複数回撮影するカメラである。 The speed detection camera K3 is supported and fixed on the Y arrow direction side in FIG. 3 from the mounting table K1 by a fixing member (not shown). The speed detection camera K3 is a camera that captures the state of the liquid droplet L in flight discharged from each nozzle N a plurality of times at predetermined intervals.
次に、液滴吐出装置２０の電気的構成を図６に従って説明する。
液滴吐出装置２０は、Ｘ軸駆動モータＭＸ、Ｙ軸駆動モータＭＹ、圧電素子ＰＺ等の各種駆動機構や位置検出用カメラＫ２、速度検出用カメラＫ３等のノズル検査機構Ｋを制御するための各種電子装置を内蔵した制御装置４０を備えている。この制御装置４０は、たとえば、その基台２１の内部に収容されている。
Next, the electrical configuration of the
The
図６に示すように、制御装置４０は、外部コンピュータ等の入力装置４１から各種データを受信するＩ／Ｆ部４２、ＣＰＵ等からなる吐出データ作成手段または位置補正手段としての制御部４３、ＤＲＡＭ及びＳＲＡＭからなり各種データを格納するノズル位置データ記憶手段としてのＲＡＭ４４、各種制御プログラムを格納するＲＯＭ４５を備えている。また、制御装置４０は、各種駆動信号を同期させて制御するためのクロック信号ＣＬＫを生成する発振回路４６、圧電素子ＰＺを駆動させる駆動電圧を生成する駆動電圧生成回路４７、吐出選択信号生成回路４８及び各種駆動信号を送信するＩ／Ｆ部４９を備えている。そして、これらＩ／Ｆ部４２、制御部４３、ＲＡＭ４４、ＲＯＭ４５、発振回路４６、駆動電圧生成回路４７、吐出選択信号生成回路４８及びＩ／Ｆ部４９は、バス５０を介して接続されている。また、この制御装置４０には、Ｉ／Ｆ部４９を介して、ヘッド駆動回路５１、基板検出装置５２、Ｘ軸モータ駆動回路５３及びＹ軸モータ駆動回路５４が接続されている。
As shown in FIG. 6, the
Ｉ／Ｆ部４２は、入力装置４１からマザー基板２Ａ毎に異なる識別コード１０を与える描画データＩａを受信する。また、Ｉ／Ｆ部４２は、位置検出用カメラＫ２及び速度検出用カメラＫ３によって取得された各撮影データＩｂ1，Ｉｂ2を受信し、それぞれをＲＡＭ４４に格納する。
The I /
制御部４３は、Ｉ／Ｆ部４２を介して受信された描画データＩａを、ＲＯＭ４５に格納された制御プログラム（データ変換プログラム）に従って、コード形成領域Ｓ上の各セルＣが黒セルＣ１であるか、白セルＣ０であるかを示すビットマップデータＢＭＤに変換する。このビットマップデータＢＭＤは、各セルＣに対応した１６×１６（＝２５６）ビットのビット長を有したシリアルデータであり、各ビット値（「０」あるいは「１」）に応じて、対応する圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定するものである。例えば、本実施形態の識別コード１０は、図２に示すように、１行目１列目は黒セルＣ１、１行目２列目は白セルＣ０、１行目３列目は黒セルＣ１、…、１行目１６列目の白セルＣ０、２行目１列目は黒セルＣ１、２行目２列目は黒セルＣ１、…、２行目１６列目の黒セルＣ１、…、１６行目１列目は黒セルＣ１、１６行目２列目は黒セルＣ１、…、１６列目１６行目は黒セルＣ１である。そして、圧電素子ＰＺをオンして液状体Ｌを吐出しコード形成領域Ｓ上に塗布することで黒セルＣ１を形成するようにしているので、この場合、ビットマップデータＢＭＤは、「１０１０１０１０１０１０１０１０１１０１００…１１１１」となる。
The control unit 43 uses the drawing data Ia received via the I /
そして、制御部４３は、そのビットマップデータＢＭＤを、コード形成領域Ｓ上の第１行目のビットマップデータＢＭＤ１（１行目１列目のビット値〜１行目１６列目のビット値）、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２（２行目１列目のビット値〜２行目１６列目のビット値）、…、第１６行目のビットマップデータＢＭＤ１６（１６行目１列目のビット値〜１６行目１６列目のビット値）毎に、即ち、コード形成領域Ｓ内の各行毎に区分した１６ビット×１６列からなるパラレルデータに変換してＲＡＭ４４に格納する。つまり、ＲＡＭ４４には、「１０１０１０１０１０１０１０１０」からなる第１行目のビットマップデータＢＭＤ１、「１１０１００００００１１１００１」からなる第２行目のビットマップデータＢＭＤ２、…、「１１１１１１１１１１１１１１１１」からなる第１６行目のビットマップデータＢＭＤ１６毎に区分された形態で格納される。 Then, the control unit 43 converts the bitmap data BMD into the first row bitmap data BMD1 (the bit value in the first row and the first column to the bit value in the first row and the 16th column) on the code forming area S. , Second row bitmap data BMD2 (bit value of second row, first column to bit value of second row, 16th column),..., 16th row bitmap data BMD16 (16th row, first column) Are converted into parallel data consisting of 16 bits × 16 columns divided for each row in the code formation area S and stored in the RAM 44. That is, the RAM 44 stores the first row bitmap data BMD1 composed of “1010101010101010”, the second row bitmap data BMD2 composed of “1101000000111001”,..., The 16th row bitmap composed of “11111111111111111”. It is stored in a form divided for each data BMD16.
また、制御部４３は、ＲＯＭ４５に格納された制御プログラム（不良ノズル位置算出プログラム）に従って、吐出ヘッド３０上にある不良なノズルＮの位置を特定する。具体的には、制御部４３は、ＲＡＭ４４に格納された撮影データＩｂ1に基づいてフィルムＦ上
に着弾した各液状体Ｌの重心座標を算出する。また、制御部４３は、撮影データＩｂ1に
基づいて位置許容範囲Ｒに対応する座標値を算出する。そして、着弾した各液状体Ｌの重心座標と位置許容範囲Ｒに対応した座標値とを比較して各液状体Ｌの重心座標が対応する位置許容範囲Ｒ内にあるか否かを判断し、液状体Ｌが着弾していない位置許容範囲Ｒの座標値から、そのノズルＮの位置を特定する。
Further, the control unit 43 specifies the position of the defective nozzle N on the
また、制御部４３は、ＲＡＭ４４に格納された撮影データＩｂ2に基づいて、各ノズル
Ｎから吐出された液状体Ｌの飛翔時の速度を算出する。これは、速度検出用カメラＫ３を、圧電素子ＰＺに駆動信号を供給するタイミングに基づいて駆動させ、各ノズルＮから吐出された液状体Ｌの様子をその飛翔中に複数回撮影させ、その撮映データに基づいて制御部４３が各液状体Ｌの速度を算出するようにしている。そして、制御部４３は、得られた液状体Ｌの速度が予め定められた許容範囲（速度許容範囲）内にあるか否かを判断する。ここで、液状体Ｌの速度は、液状体Ｌの大きさ（重量）によって異なるので、液状体Ｌの速度を測定することによって液状体Ｌの大きさ、即ち、液状体Ｌの吐出量を見積もることができる。そして、一回の吐出動作で一つのドットＤを形成するのに適切な液状体Ｌの吐出量の許容範囲を予め測定し、その許容範囲に対応した速度許容範囲を算出しておくことで、所定のノズルＮから吐出された液状体Ｌの吐出量が適量であるかを判断することができる。そして、吐出した液状体Ｌの吐出量が適量ではないノズルＮの位置を特定する。
Further, the control unit 43 calculates the speed of the liquid L ejected from each nozzle N at the time of flight based on the photographing data Ib2 stored in the RAM 44. This is because the speed detection camera K3 is driven based on the timing at which a drive signal is supplied to the piezoelectric element PZ, and the state of the liquid L discharged from each nozzle N is photographed a plurality of times during the flight. Based on the projection data, the control unit 43 calculates the velocity of each liquid L. Then, the control unit 43 determines whether or not the speed of the obtained liquid L is within a predetermined allowable range (speed allowable range). Here, since the speed of the liquid L varies depending on the size (weight) of the liquid L, the size of the liquid L, that is, the discharge amount of the liquid L is estimated by measuring the speed of the liquid L. be able to. Then, by measuring in advance the allowable range of the discharge amount of the liquid L suitable for forming one dot D in one discharge operation, and calculating the speed allowable range corresponding to the allowable range, It can be determined whether the discharge amount of the liquid L discharged from the predetermined nozzle N is an appropriate amount. Then, the position of the nozzle N where the discharge amount of the discharged liquid L is not an appropriate amount is specified.
このようにして、制御部４３は、各撮影データＩｂ1，Ｉｂ2に基づいて、液状体Ｌを吐出しない、または、液状体Ｌを吐出してもその対応する位置許容範囲Ｒ内に液状体Ｌを吐出しない、または、対応する位置許容範囲Ｒ内に液状体Ｌを吐出しても液状体Ｌの速度が速度許容範囲内にない液状体Ｌを吐出したノズルＮを、不良なノズルと判断する。一方、制御部４３は、不良なノズル以外のノズルＮを正常なノズルと判断する。そして、制御部４３は、正常なノズルを「０」、不良なノズルを「１」で示すことによって、ノズル数に対応した１８０ビット長のデータを作成し、該データを「ノズル配置データ」としてＲＡＭ４４に格納させる。例えば、第１９番目のノズルＮ１９と第２２番目のノズルＮ２２が不良ノズルであり、それ以外のノズルが正常ノズルである場合は、ノズル配置データは、「００００００００００００００００００１００１０００００００００００００００００００…００」となる。 In this way, the control unit 43 does not discharge the liquid material L based on the respective photographing data Ib1 and Ib2, or even if the liquid material L is discharged, the control unit 43 disposes the liquid material L within the corresponding position allowable range R. The nozzle N that does not discharge or discharges the liquid L whose speed does not fall within the allowable speed range even if the liquid L is discharged within the corresponding allowable position range R is determined as a defective nozzle. On the other hand, the control unit 43 determines that the nozzles N other than the defective nozzle are normal nozzles. Then, the control unit 43 creates data of 180 bits corresponding to the number of nozzles by indicating normal nozzles as “0” and defective nozzles as “1”, and the data is set as “nozzle arrangement data”. It is stored in the RAM 44. For example, when the 19th nozzle N19 and the 22nd nozzle N22 are defective nozzles, and the other nozzles are normal nozzles, the nozzle arrangement data is “00000000000000000000010010000000000000000000 ... 00”.
さらに、制御部４３は、ＲＯＭ４５に格納された制御プログラム（使用ノズル位置算出プログラム）に従って、先に作成したノズル配置データから使用可能なノズルＮ群を検索する。具体的には、所定の入力手段（たとえば、入力装置４１）を使用して、マザー基板２Ａが取り替えられる毎に、１枚のマザー基板２Ａ上に図３中Ｘ矢印方向（行方向）に形成される基板２の数と、各コード形成領域Ｓ内における図３中Ｘ矢印方向（行方向）のセルＣの数を入力する。本実施形態では、１枚のマザー基板２Ａ上には、Ｘ矢印方向（行方向）に３枚の基板２が形成され、その各基板２に形成されるコード形成領域Ｓには、Ｘ矢印方向（行方向）に１６個のセルＣが形成される旨を入力する。
Furthermore, the control unit 43 searches for the usable nozzle N group from the previously created nozzle arrangement data in accordance with a control program (used nozzle position calculation program) stored in the
すると、制御部４３は、連続して使用可能な１８個のノズルＮ群を検索する。本実施形態では、１８０個のノズルＮ１〜Ｎ１８０のうち、第１のノズルＮ１を含めて第１のノズルＮ１側に最も近いノズルＮから使用可能な連続する１８個のノズルＮ群を検索するようになっている。また、制御部４３は、マザー基板２Ａが取り替えられる毎に、先に探索した第１のノズルＮ１を含めて第１のノズルＮ１側に最も近い使用可能なノズルＮを除いた、使用可能な連続する１８個のノズルＮ群を検索する。そして、制御部４３は、その使用可能な連続する１８個のノズルＮを「１」で示し、他のノズルＮを「０」で示したデータ
を作成し、その作成したデータを「使用ノズル配置データ」としてＲＡＭ４４に格納する。そして、使用可能な連続する１８個のノズルＮ群のうち、第１のノズルＮ１側に最も近いノズルＮから数えて連続する１６個のノズルＮ群を、各基板２Ｌ（図３参照）上の識別コード１０を形成するためのノズルＮ群とする。また、第１のノズルＮ１側に最も近いノズルＮから数えて２番目から連続する１６個のノズルＮ群を、各基板２Ｃ（図３参照）上の識別コード１０を形成するためのノズルＮ群とする。さらに、第１のノズルＮ１側に最も近いノズルＮから数えて３番目から連続する１６個のノズルＮ群を、各基板２Ｒ（図３参照）上の識別コード１０を形成するためのノズルＮ群とする。
Then, the control unit 43 searches for 18 nozzle N groups that can be used continuously. In the present embodiment, among the 180 nozzles N1 to N180, a group of 18 consecutive nozzles N that can be used from the nozzle N closest to the first nozzle N1 side including the first nozzle N1 is searched. It has become. Further, every time the
例えば、ノズル配置データが、「００００００００００００００００００１００１０００００００００００００００００００…００」である場合、最初の使用ノズル配置データは、「１１１１１１１１１１１１１１１１１１０００００００００００００００００００００００…００」となる。つまり、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８が使用ノズルとなる。従って、第１番目のノズルＮ１〜第１６番目のノズルＮ１６が基板２Ｌ上上の識別コード１０を形成するためのノズルＮ群となり、第２番目のノズルＮ２〜第１７番目のノズルＮ１７が基板２Ｃ上の識別コード１０を形成するためのノズルＮ群となり、第３番目のノズルＮ３〜第１８番目のノズルＮ１８が基板２Ｌ上の識別コード１０を形成するためのノズルＮ群となる。そして、マザー基板２Ａが取り替えられると、再び、ＲＯＭ４５に格納された制御プログラム（不良ノズル位置算出プログラム）に従って不良であるノズルＮの位置を特定する。その結果、例えば、ノズル配置データが、先と同様に、「００００００００００００００００００１００１０００００００００００００００００００…００」である場合、次の使用ノズル配置データは、「００００００００００００００００００００００１１１１１１１１１１１１１１１１１１０…００」となる。この場合、第２３番目のノズルＮ２３〜第４０番目のノズルＮ４０が使用ノズルとなる。従って、第２３番目のノズルＮ２３〜第３８番目のノズルＮ３８が基板２Ｌ上の識別コード１０を形成するためのノズルＮ群となり、第２４番目のノズルＮ２４〜第３９番目のノズルＮ３９が基板２Ｃ上の識別コード１０を形成するためのノズルＮ群となり、第２５番目のノズルＮ２５〜第４０番目のノズルＮ４０が基板２Ｒ上の識別コード１０を形成するためのノズルＮ群となる。
For example, when the nozzle arrangement data is “00000000000000000000010010000000000000000000 ... 00”, the first used nozzle arrangement data is “11111111111111111100000000000000000000 ... 00”. That is, the first nozzle N1 to the eighteenth nozzle N18 are used nozzles. Therefore, the first nozzle N1 to the sixteenth nozzle N16 form a nozzle N group for forming the
さらにまた、制御部４３は、ＲＯＭ４５に格納された制御プログラム（位置補正プログラム）に従って、列が変る毎に、即ち、基板２Ｌ→基板２Ｃ、または基板２Ｃ→基板２Ｒに変るときに、キャリッジ２９をその使用ノズルの１ノズル分だけ行方向に移動させる。従って、例えば、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８中の第１番目のノズルＮ１〜第１６番目のノズルＮ１６を使用して、基板２Ｌ上に識別コード１０を形成する。続いて、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８中の第２番目のノズルＮ２〜第１７番目のノズルＮ１７を使用して、基板２Ｃ上に識別コード１０を形成する。このとき、基板２Ｃとキャリッジ２９との相対位置を、基板２Ｌとキャリッジ２９との相対位置に比べて、キャリッジ２９をその使用ノズルの１ノズル分だけ反Ｘ矢印方向側に移動させる。このようにすることで、基板２Ｌ上に形成される識別コード１０の位置と、基板２Ｃ上に形成される識別コード１０の位置とを一致することができる。同様に、基板２Ｒとキャリッジ２９との相対位置を、基板２Ｃとキャリッジ２９との相対位置に比べて、キャリッジ２９をその使用ノズルの１ノズル分だけ反Ｘ矢印方向側に移動させる。このようにすることで、基板２Ｃ上に形成される識別コード１０の位置と、基板２Ｒ上に形成される識別コード１０の位置とを一致することができる。
Furthermore, the control unit 43 moves the
吐出選択信号生成回路４８は、セレクタ４８ａとパラレル／シリアル変換回路４８ｂとを備えている。
セレクタ４８ａは、ＲＡＭ４４に格納されたビットマップデータＢＭＤをその第１行目のビットマップデータＢＭＤ１→第２行目のビットマップデータＢＭＤ２→…→第１６行
目のビットマップデータＢＭＤ１６の順に抽出するか、または、第１６行目のビットマップデータＢＭＤ１６→第１５行目のビットマップデータＢＭＤ１５→…→第１行目のビットマップデータＢＭＤ１の順に抽出するか、を選択する旨の信号を生成する回路である。本実施形態のセレクタ４８ａは、第１行目のビットマップデータＢＭＤ１→第２行目のビットマップデータＢＭＤ２→…→第１６行目のビットマップデータＢＭＤ１６の順に抽出する旨の信号を生成し、その信号をパラレル／シリアル変換回路４８ｂに出力する。
The ejection selection
The
パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、ＲＡＭ４４から抽出されたビットマップデータＢＭＤの各ビット値を、先に作成された使用ノズル配置データに従って、どのノズルＮに割り当てるかを決定する吐出データを作成する。この吐出データは、マザー基板２Ａ上に形成される基板２の列毎に、つまり、基板２Ｌ、基板２Ｃ、基板２Ｒ毎に１ビットずつずれたデータである。そして、その結果を、Ｉ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１（シフトレジスタ５１ａ）に順次シリアル転送する。
The parallel /
具体的には、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、２５６ビットある使用ノズル配置データを先頭から各ビットずつ順番に抽出していく。そして、最初の１番目の「１」の値の使用ノズル配置データが抽出されると、それに同期して、セレクタ４８ａによって決められた順番に従って１６ビットである第１行目のビットマップデータＢＭＤ１の先頭の値を割り当てる。次に、２番目の「１」の値である使用ノズル配置データを抽出すると、第１行目のビットマップデータＢＭＤ１の２番目の値を割り当てる。以降、同様にして、使用ノズル配置データを抽出する毎に、第１行目のビットマップデータＢＭＤ１の各値を割り当てる。そして、さらに、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、１７番目及び１８番目の「１」の値の使用ノズル配置データを抽出すると、それに同期してダミービットとして「０」のデータを２ビット割り当てるようになっている。このようにして、第１行目に対応した１８ビット長の吐出データ（第１の吐出データＤ１）を作成する。そして、その第１の吐出データＤ１をＩ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１に出力する。
Specifically, the parallel /
例えば、使用ノズル配置データが、「１１１１１１１１１１１１１１１１１１０００００００００００００００００００００００…００」であり、第１行目の１６ビットのビットマップデータＢＭＤ１が、「１０１０１０１０１０１０１０１０」である場合、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、「１０１０１０１０１０１０１０１０００」からなる第１行目に対応した１８ビットの第１の吐出データＤ１を作成する。
For example, when the used nozzle arrangement data is “11111111111111111100000000000000000000 ... 00” and the 16-bit bitmap data BMD1 in the first row is “1010101010101010”, the parallel /
続いて、再び、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、２５６ビットある使用ノズル配置データを先頭から各ビットずつ順番に抽出していく。そして、最初の１番目の「１」の値の使用ノズル配置データが抽出されると、それに同期して、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２の先頭の値を割り当てる。次に、２番目の「１」の値である使用ノズル配置データを抽出すると、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２の２番目の値を割り当てる。以降、同様にして、使用ノズル配置データを抽出する毎に、１６ビット長である第２行目のビットマップデータＢＭＤ２の各値を割り当てる。さらに、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、１７番目及び１８番目の「１」の値の使用ノズル配置データを抽出すると、それに同期してダミービットとして「０」のデータを２ビット割り当てるようになっている。このようにして、第２行目に対応した１８ビット長の第１の吐出データＤ１を作成する。そして、その第１の吐出データＤ１をＩ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１に出力する。
Subsequently, again, the parallel /
例えば、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２が、「１１０１００００００１１１００１」である場合、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、「１１０１００００００１１１００１００」からなる１８ビットの吐出データを作成する。そして、その吐出データをＩ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１（シフトレジスタ５１ａ）に順次シリアル転送
する。
For example, when the bitmap data BMD2 in the second row is “1101000000111001”, the parallel /
以降、同様にして逐次使用ノズル配置データに対して第３〜第１６行目のビットマップデータＢＭＤ３〜ＢＭＤ１６を割り当て、それぞれの行に対応した１８ビットの第１の吐出データＤ１を作成する。そして、その第１の吐出データＤ１をＩ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１に出力する。
Thereafter, similarly, bitmap data BMD3 to BMD16 in the third to sixteenth rows are assigned to the sequentially used nozzle arrangement data, and 18-bit first ejection data D1 corresponding to each row is created. Then, the first ejection data D1 is output to the
このようにすることによって、ヘッド駆動回路５１には、１８×１６ビットをなす第１の吐出データＤ１が供給される。そして、この第１の吐出データＤ１がマザー基板２Ａ上の基板２Ｌ用の吐出データとなる。
Thus, the first ejection data D1 having 18 × 16 bits is supplied to the
続いて、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、再び、２５６ビットある使用ノズル配置データを先頭から各ビットずつ順番に抽出していく。そして、最初の１番目の「１」の値の使用ノズル配置データが抽出されると、それに同期して、先ず、ダミービットとして「０」のデータを１ビット割り当てる。その後、２番目の「１」の値である使用ノズル配置データを抽出すると、第１行目のビットマップデータＢＭＤ１の先頭の値を割り当てる。次に、３番目の「１」の値である使用ノズル配置データを抽出すると、第１行目のビットマップデータＢＭＤ１の２番目の値を割り当てる。以降、同様にして、使用ノズル配置データを抽出する毎に、第１行目のビットマップデータＢＭＤ１の各値を割り当てる。そして、さらに、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、１８番目の「１」の値の使用ノズル配置データを抽出すると、それに同期してダミービットとして「０」のデータを１ビット割り当てるようになっている。このようにして、第１行目に対応した１８ビット長の吐出データ（第２の吐出データＤ２）を作成する。そして、その第２の吐出データＤ２をＩ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１に出力する。
Subsequently, the parallel /
例えば、使用ノズル配置データが、「１１１１１１１１１１１１１１１１１１０００００００００００００００００００００００…００」であり、第１行目の１６ビットのビットマップデータＢＭＤ１が、「１０１０１０１０１０１０１０１０」である場合、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、「０１０１０１０１０１０１０１０１００」からなる第１行目に対応した１８ビットの第２の吐出データＤ２を作成する。
For example, when the used nozzle arrangement data is “11111111111111111100000000000000000000 ... 00” and the 16-bit bitmap data BMD1 in the first row is “1010101010101010”, the parallel /
続いて、再び、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、２５６ビットある使用ノズル配置データを先頭から各ビットずつ順番に抽出していく。そして、最初の１番目の「１」の値の使用ノズル配置データが抽出されると、それに同期して、先ず、ダミービットとして「０」のデータを１ビット割り当てる。その後、２番目の「１」の値である使用ノズル配置データを抽出すると、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２の先頭の値を割り当てる。次に、３番目の「１」の値である使用ノズル配置データを抽出すると、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２の２番目の値を割り当てる。以降、同様にして、使用ノズル配置データを抽出する毎に、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２の各値を割り当てる。そして、さらに、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、１８番目の「１」の値の使用ノズル配置データを抽出すると、それに同期してダミービットとして「０」のデータを１ビット割り当てるようになっている。このようにして、第２行目に対応した１８ビット長の第２の吐出データＤ２を作成する。そして、その第２の吐出データＤ２をＩ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１に出力する。
Subsequently, again, the parallel /
例えば、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２が、「１１０１００００００１１１００１」である場合、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、「０１１０１００００００１１１００１０」からなる１８ビットの第２の吐出データＤ２を作成する。そして、その吐出データをＩ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１に順次シリアル転送する。
For example, when the bitmap data BMD2 in the second row is “1101000000111001”, the parallel /
以降、同様にして逐次使用ノズル配置データに対して第３〜第１６行目のビットマップデータＢＭＤ３〜ＢＭＤ１６を割り当て、それぞれの行に対応した１８ビットの第２の吐出データＤ２を作成する。そして、その第２の吐出データＤ２をＩ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１に出力する。
Thereafter, similarly, bitmap data BMD3 to BMD16 in the third to sixteenth rows are assigned to the sequentially used nozzle arrangement data, and 18-bit second ejection data D2 corresponding to each row is created. Then, the second ejection data D2 is output to the
このようにすることによって、ヘッド駆動回路５１には、１８×１６ビットをなす吐出データが供給される。そして、この吐出データがマザー基板２Ａ上の基板２Ｃ用の吐出データとなる。
By doing so, ejection data having 18 × 16 bits is supplied to the
続いて、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、再び、２５６ビットある使用ノズル配置データを先頭から各ビットずつ順番に抽出していく。そして、最初の１番目の「１」の値の使用ノズル配置データが抽出されると、それに同期して、先ず、ダミービットとして「０」のデータを割り当てる。次に、２番目の「１」の値である使用ノズル配置データを抽出すると、再び、ダミービットとして「０」のデータを割り当てる。その後、３番目の「１」の値である使用ノズル配置データを抽出すると、第１行目のビットマップデータＢＭＤ１の先頭の値を割り当てる。次に、４番目の「１」の値である使用ノズル配置データを抽出すると、第１行目のビットマップデータＢＭＤ１の２番目の値を割り当てる。以降、同様にして、使用ノズル配置データを抽出する毎に、第１行目のビットマップデータＢＭＤ１の各値を割り当てる。このようにして、第１行目に対応した１８ビット長の吐出データ（第３の吐出データＤ３）を作成する。そして、その第３の吐出データＤ３をＩ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１に順次シリアル転送する。
Subsequently, the parallel /
例えば、使用ノズル配置データが、「１１１１１１１１１１１１１１１１１１０００００００００００００００００００００００…００」であり、第１行目のビットマップデータＢＭＤ１が、「１０１０１０１０１０１０１０１０」である場合、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、「００１０１０１０１０１０１０１０１０」からなる第１行目に対応した１８ビットの第３の吐出データＤ３を作成する。
For example, when the used nozzle arrangement data is “11111111111111111100000000000000000000 ... 00” and the bitmap data BMD1 in the first row is “101010101010101010”, the parallel /
続いて、再び、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、２５６ビットある使用ノズル配置データを先頭から各ビットずつ順番に抽出していく。そして、最初の１番目の「１」の値の使用ノズル配置データが抽出されると、それに同期して、ダミービットとして「０」のデータを割り当てる。次に、２番目の「１」の値の使用ノズル配置データが抽出されると、それに同期して、ダミービットとして「０」のデータを割り当てる。その後、３番目の「１」の値である使用ノズル配置データを抽出すると、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２の先頭の値を割り当てる。次に、４番目の「１」の値である使用ノズル配置データを抽出すると、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２の２番目の値を割り当てる。以降、同様にして、使用ノズル配置データを抽出する毎に、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２の各値を割り当てる。このようにして、第２行目に対応した１８ビット長の第３の吐出データＤ３を作成する。そして、その吐出データをＩ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１に出力する。
Subsequently, again, the parallel /
例えば、第２行目のビットマップデータＢＭＤ２が、「１１０１００００００１１１００１」である場合、パラレル／シリアル変換回路４８ｂは、「００１１０１００００００１１１００１」からなる１８ビットの第３の吐出データＤ３を作成する。そして、その第３の吐出データＤ３をＩ／Ｆ部４９を介してヘッド駆動回路５１に順次シリアル転送する。
For example, when the bitmap data BMD2 in the second row is “1101000000111001”, the parallel /
以降、同様にして逐次使用ノズル配置データに対して第３〜第１６行目のビットマップデータＢＭＤ３〜ＢＭＤ１６を割り当て、それぞれの行に対応した１８ビット長の第３の吐出データＤ３を作成する。そして、その第３の吐出データＤ３をＩ／Ｆ部４９を介して
ヘッド駆動回路５１に出力する。
Thereafter, similarly, bitmap data BMD3 to BMD16 in the third to sixteenth rows are assigned to the sequential use nozzle arrangement data, and third discharge data D3 having an 18-bit length corresponding to each row is created. Then, the third ejection data D3 is output to the
このようにすることによって、ヘッド駆動回路５１には、１８×１６ビットをなす第３の吐出データＤ３が供給される。そして、この第３の吐出データＤ３がマザー基板２Ａ上の基板２Ｒ用の吐出データとなる。
In this way, the third ejection data D3 having 18 × 16 bits is supplied to the
つまり、基板２Ｌのための１８×１６ビットの第１の吐出データＤ１が作成され、また、基板２Ｌのための１８×１６ビットの第２の吐出データＤ２が作成され、さらに、基板２Ｃのための１８×１６ビットの第３の吐出データＤ３が作成される。
That is, the first discharge data D1 of 18 × 16 bits for the
ヘッド駆動回路５１は、ノズルＮの数だけ設けられた圧電素子ＰＺをそれぞれ独立して駆動制御する駆動回路である。そして、ヘッド駆動回路５１は、対応するノズルＮに対する第１〜第３の吐出データＤ１，Ｄ２，Ｄ３を入力し記憶するとともに、その第１〜第３の吐出データＤ１，Ｄ２，Ｄ３に応じて圧電素子ＰＺを駆動させて対応するノズルＮから液状体Ｌを吐出させる。
The
基板検出装置５２は、基板２の端縁を検出し、制御装置４０によって吐出ヘッド３０（ノズルＮ）の直下を通過する基板２の位置を算出する。
Ｘ軸モータ駆動回路５３は、Ｘ軸モータ回転検出器５３ａに接続されている。Ｘ軸モータ駆動回路５３は、Ｘ軸モータ回転検出器５３ａからの検出信号に基づいて、Ｘ軸駆動モータＭＸの回転方向及び回転量を検出し、吐出ヘッド３０（キャリッジ２９）のＸ矢印方向の移動量と、移動方向とを演算するようになっている。そして、Ｘ軸モータ駆動回路５３は、制御装置４０からのＸ軸モータ駆動制御信号に基づいてＸ軸駆動モータＭＸを正転又は逆転させ、前記キャリッジ２９を往復移動させる。例えば、Ｘ軸駆動モータＭＸを正転させると、キャリッジ２９はＸ矢印方向に移動し、逆転させるとキャリッジ２９は反Ｘ矢印方向に移動するようになっている。
The
The X-axis
Ｙ軸モータ駆動回路５４は、Ｙ軸モータ回転検出器５４ａに接続されている。Ｙ軸モータ駆動回路５４は、Ｙ軸モータ回転検出器５４ａからの検出信号に基づいて、Ｙ軸駆動モータＭＹの回転方向及び回転量を検出し、ステージ２３（マザー基板２Ａ）のＹ矢印方向の移動量と、移動方向とを演算するようになっている。そして、Ｙ軸モータ駆動回路５４は、制御装置４０からのＹ軸モータ駆動制御信号に基づいてＹ軸駆動モータＭＹを正転又は逆転させ、前記ステージ２３（マザー基板２Ａ）を往復移動させる。例えば、Ｙ軸駆動モータＭＹを正転させると、ステージ２３はＹ矢印方向に移動し、逆転させるとステージ２３（マザー基板２Ａ）は反Ｙ矢印方向に移動するようになっている。
The Y-axis
次に、液滴吐出装置２０を使って識別コード１０を形成する方法について図７〜図１２に従って説明する。
図７〜図１２は、それぞれ、識別コード１０の形成方法を説明するための図であって、各図（ａ）は、ステージ２３の載置面２４上に載置されたマザー基板２Ａの上面図であり、各図（ｂ）は、吐出ヘッド３０の図（ａ）中ａ−ａ線断面図であり、各図（ｃ）は、各コード形成領域Ｓの上面図である。
Next, a method for forming the
7 to 12 are diagrams for explaining a method of forming the
図７（ａ）に示すように、マザー基板２Ａをステージ２３の載置面２４上の所定の位置に載置した後、図示しない前記基板チャックを駆動させて、マザー基板２Ａを固定する。そして、入力装置４１を使用して描画データＩａを制御装置４０に送信する。すると、ＲＡＭ４４に１６ビット毎に区分されたビットマップデータＢＭＤ１〜ＢＭＤ１６が格納される。
As shown in FIG. 7A, after the
また、これと同時に、キャリッジ２９及びステージ２３が所定量移動し吐出ヘッド３０
が検査位置に至るように移動する。そして、この状態で、全ての圧電素子ＰＺに液状体Ｌを吐出させる旨の吐出データがヘッド駆動回路５１に供給される。
At the same time, the
Moves to reach the inspection position. In this state, ejection data indicating that the liquid L is ejected to all the piezoelectric elements PZ is supplied to the
すると、全ての圧電素子ＰＺが駆動し、図７（ｂ）に示すように、各ノズルＮから液状体Ｌが吐出される。このとき、ノズル検査機構Ｋが駆動制御されて各ノズルＮから吐出した飛翔中の液滴状の液状の液状体Ｌの様子が速度検出用カメラＫ３によって撮影される。また、フィルムＦ上に着弾した液状体Ｌ及びフィルムＦ上に描かれた許容範囲（位置許容範囲）Ｒの様子が位置検出用カメラＫ２によって撮影される。 Then, all the piezoelectric elements PZ are driven, and the liquid material L is discharged from each nozzle N as shown in FIG. At this time, the nozzle inspection mechanism K is driven and controlled, and the state of the liquid liquid L in the form of droplets ejected from each nozzle N is photographed by the speed detection camera K3. In addition, the liquid L that has landed on the film F and the allowable range (position allowable range) R drawn on the film F are photographed by the position detection camera K2.
その結果、制御部４３によって、たとえば、図７（ｃ）に示すように、第１〜第１８のノズルＮ１〜Ｎ１８から吐出された液状体Ｌは、それぞれ着弾位置が対応する位置許容範囲Ｒ内にあり、第１９のノズルＮ１９から吐出された液状体Ｌは、その着弾位置が対応する位置許容範囲Ｒ内になく、かつ、その液状体Ｌの吐出量が適量でないと判断される。 As a result, for example, as shown in FIG. 7C, the liquid L discharged from the first to eighteenth nozzles N <b> 1 to N <b> 18 by the control unit 43 is within the position allowable range R corresponding to the landing position. Therefore, it is determined that the liquid L discharged from the nineteenth nozzle N19 does not have a landing position within the corresponding position allowable range R, and the discharge amount of the liquid L is not an appropriate amount.
また、第２０及び第２１のノズルＮ２０，Ｎ２１からそれぞれ吐出された液状体Ｌは、それぞれ着弾位置が対応する位置許容範囲Ｒ内にあり、第２２のノズルＮ２２からは液状体Ｌが吐出されていないと判断される。第２３〜第１８０のノズルＮ２３〜Ｎ１８０から吐出された液状体Ｌは、それぞれ着弾位置が対応する位置許容範囲Ｒ内にある。 Further, the liquid L discharged from the 20th and 21st nozzles N20 and N21 is within the position allowable range R corresponding to the landing position, and the liquid L is discharged from the 22nd nozzle N22. Judged not. The liquid L discharged from the 23rd to 180th nozzles N23 to N180 has a landing position within the corresponding position allowable range R.
従って、この場合においては、第１９のノズルＮ１９と第２２のノズルＮ２９が不良なノズルであると判断される。そして、この結果に基づいて、制御部４３によって、ノズル配置データが作成されＲＡＭ４４に格納される。 Therefore, in this case, it is determined that the 19th nozzle N19 and the 22nd nozzle N29 are defective nozzles. Based on this result, the nozzle arrangement data is created by the control unit 43 and stored in the RAM 44.
さらに、制御部４３によって、ＲＡＭ４４に格納されたノズル配置データとビットマップデータＢＭＤ１〜ＢＭＤ１６とに基づいて、使用ノズル配置データが作成される。この使用ノズル配置データは、前記したように、マザー基板２Ａ上の基板２Ｌ用の第１の吐出データＤ１、基板２Ｃ用の第２の吐出データＤ２、基板２Ｒ用の第３の吐出データＤ３であって、それぞれが１８×１６ビットのデータである。そして、ヘッド駆動回路５１に各吐出データＤ１，Ｄ２，Ｄ３が供給される。
Furthermore, the used nozzle arrangement data is created by the control unit 43 based on the nozzle arrangement data stored in the RAM 44 and the bitmap data BMD1 to BMD16. As described above, the use nozzle arrangement data includes the first discharge data D1 for the
すると、図８（ａ）に示すように、吐出ヘッド３０がマザー基板２Ａ上の１列目にある３つの基板２Ｌのうち図８中左端に位置する基板２Ｌ上のコード形成領域Ｓに対向する位置に移動する。そして、先ず、基板２Ｌ用の吐出データのうち、第１行目に対応した第１の吐出データＤ１に基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される。本実施形態では、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８が使用可能なノズルＮであり、且つ、第１行目に対応した基板２Ｌ用の第１の吐出データＤ１は、「１０１０１０１０１０１０１０１０００」である。従って、この場合、第１番目のノズルＮ１、第３番目のノズルＮ３、第５番目のノズルＮ５、…、第１５番目のノズルＮ１５からは液状体Ｌが吐出され、第２番目のノズルＮ２、第４番目のノズルＮ４、第６番目のノズルＮ６、…、第１８番目のノズルＮ１８からは液状体Ｌが吐出されない（図８（ｂ）参照）。
Then, as shown in FIG. 8A, the
その後、Ｙ軸モータ駆動回路５５が駆動制御されて、マザー基板２Ａが一行分だけ図８（ａ）中Ｙ矢印方向にずれる。そして、基板２Ｌ用の第１の吐出データＤ１のうち、第２行目に対応した第１の吐出データＤ１に基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される。本実施形態では、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８が使用可能なノズルＮであり、且つ、第２行目に対応した基板２Ｌ用の第１の吐出データＤ１は、「１１０１００００００１１１００１００」である。従って、この場合、第１番目のノズルＮ１、第２番目のノズルＮ２、第４番目のノズルＮ４、…、第１６番目のノズルＮ１６からは液状体Ｌが吐出され、第３番目のノズルＮ３、第５番目のノズルＮ５、第６番目のノズルＮ６、…、第１８番目のノズルＮ１８からは液状体Ｌが吐出されない。
Thereafter, the Y-axis motor drive circuit 55 is driven and controlled, and the
以下、同様にして、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８を使用して第３〜第１６行目のビットマップデータＢＭＤ３〜ＢＭＤ１６に基づいて液状体Ｌが吐出される。この結果、左端に位置する基板２Ｌ上のコード形成領域Ｓ内に識別コード１０が形成される（８（ｃ）参照）。
Hereinafter, similarly, the liquid L is discharged based on the bitmap data BMD3 to BMD16 in the third to sixteenth rows using the first nozzle N1 to the eighteenth nozzle N18. As a result, the
続いて、図９（ａ）に示すように、吐出ヘッド３０がマザー基板２Ａ上の１列目にある３つの基板２Ｌのうちの図９（ａ）中段に位置する基板２Ｌ上のコード形成領域Ｓに対向する位置に移動する。そして、基板２Ｌ用の第１の吐出データＤ１のうち、第１行目に対応した第１の吐出データＤ１に基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される（図９（ｂ）参照）。このとき、前記と同様に、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８を使用し、第１〜第１８行目に対応した基板２Ｌ用の第１の吐出データＤ１に基づいて順次液状体Ｌが吐出されて、その結果、中段に位置する基板２Ｌ上のコード形成領域Ｓ内に識別コード１０が形成される（図９（ｃ）参照）。
Subsequently, as shown in FIG. 9A, the code forming region on the
またさらに、吐出ヘッド３０がマザー基板２Ａ上の１列目にある３つの基板２Ｌのうちの図９（ａ）中右端に位置する基板２Ｌ上のコード形成領域Ｓに対向する位置に移動する。そして、再び、基板２Ｌ用の第１の吐出データＤ１のうち、第１行目に対応した第１の吐出データＤ１に基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される。そして、以下、前記と同様に、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８を使用し、第１〜第１８行目に対応した基板２Ｌ用の吐出データに基づいて順次液状体Ｌが吐出されて、その結果、右端に位置する基板２Ｌ上のコード形成領域Ｓ内に識別コード１０が形成される。
Furthermore, the
次に、図１０（ａ）に示すように、吐出ヘッド３０がマザー基板２Ａ上の２列目にある３つの基板２Ｃのうちの図１０（ａ）中左端に位置する基板２Ｃ上のコード形成領域Ｓに対向する位置に移動する。このとき、基板２Ｃとキャリッジ２９との相対位置が、基板２Ｌとキャリッジ２９との相対位置に比べて、キャリッジ２９をその使用ノズルの１ノズル分だけ反Ｘ矢印方向側に移動する。そして、基板２Ｃ用の第２の吐出データＤ２のうち、第１行目に対応した吐出データに基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される。本実施形態では、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８が使用可能なノズルＮであり、且つ、第１行目に対応した基板２Ｃ用の第２の吐出データＤ２は、「０１０１０１０１０１０１０１０１００」である。つまり、この場合、第２番目のノズルＮ２、第４番目のノズルＮ４、第６番目のノズルＮ６、…、第１６番目のノズルＮ１６からは液状体Ｌが吐出され、第３番目のノズルＮ３、第５番目のノズルＮ５、第７番目のノズルＮ７、…、第１８番目のノズルＮ１８からは液状体Ｌが吐出されない（図１０（ｂ）参照）。
Next, as shown in FIG. 10A, the code formation on the
続いて、Ｙ軸モータ駆動回路５５が駆動制御されて、マザー基板２Ａが一行分だけ図１０（ａ）中Ｙ矢印方向にずれる。そして、基板２Ｃ用の第２の吐出データＤ２のうち、第２行目に対応した１８ビット長の第２の吐出データＤ２に基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される。本実施形態では、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８が使用可能なノズルＮであり、且つ、第２行目に対応した基板２Ｃ用の第２の吐出データＤ２は、「０１１０１００００００１１１００１０」である。つまり、この場合、第２番目のノズルＮ２、第３番目のノズルＮ３、第５番目のノズルＮ５、…、第１７番目のノズルＮ１７からは液状体Ｌが吐出され、第１番目のノズルＮ１、第４番目のノズルＮ４、第６番目のノズルＮ６、…、第１８番目のノズルＮ１８からは液状体Ｌが吐出されない。
Subsequently, the Y-axis motor drive circuit 55 is driven and controlled, and the
以下、同様にして、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８を使用して第３〜第１６行目に対応した基板２Ｃ用の第２の吐出データＤ２に基づいて液状体Ｌが吐出さ
れる。この結果、基板２Ｃのうちの左端に位置する基板２Ｃ上のコード形成領域Ｓ内にビットマップデータＢＭＤに応じた液状体Ｌが塗布される（図１０（ｃ）参照）。
Hereinafter, similarly, the liquid L is generated based on the second ejection data D2 for the
続いて、図１１（ａ）に示すように、吐出ヘッド３０がマザー基板２Ａ上の２列目にある３つの基板２Ｃのうちの図１１（ａ）中段に位置する基板２Ｃ上のコード形成領域Ｓに対向する位置に至る。そして、再び、基板２Ｃ用の第２の吐出データＤ２のうち、第１行目に対応した第２の吐出データＤ２に基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される（図１１（ｂ）参照）。そして、前記と同様に、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８を使用して液状体Ｌが吐出され、その中段に位置する基板２Ｃ上のコード形成領域Ｓ内に識別コード１０が形成される（図１１（ｃ）参照）。
Subsequently, as shown in FIG. 11A, the code formation region on the
またさらに、キャリッジ２９の吐出ヘッド３０がマザー基板２Ａ上の２列目にある３つの基板２Ｃのうちの図１１（ａ）中右端に位置する基板２Ｃ上のコード形成領域Ｓに対向する位置に移動する。そして、基板２Ｃ用の第２の吐出データＤ２のうち、第１行目に対応した吐出データに基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される。そして、以下、前記と同様に、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８を使用し、第１〜第１８行目に対応した基板２Ｃ用の第２の吐出データＤ２に基づいて順次液状体Ｌが吐出されて、その結果、右端に位置する基板２Ｃ上のコード形成領域Ｓ内に識別コード１０が形成される。
Furthermore, the
次に、図１２（ａ）に示すように、吐出ヘッド３０がマザー基板２Ａ上の３列目にある３つの基板２Ｒのうちの図１２（ａ）中左端に位置する基板２Ｒ上のコード形成領域Ｓに対向する位置に移動する。このとき、基板２Ｃとキャリッジ２９との相対位置が、基板２Ｌとキャリッジ２９との相対位置に比べて、キャリッジ２９をその使用ノズルの１ノズル分だけ反Ｘ矢印方向側に移動する。そして、基板２Ｒ用の第３の吐出データＤ３のうち、第１行目に対応した第３の吐出データＤ３に基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される。本実施形態では、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８が使用可能なノズルＮであり、且つ、第１行目に対応した基板２Ｒ用の第３の吐出データＤ３は、「００１０１０１０１０１０１０１０１０」である。つまり、この場合、第３番目のノズルＮ３、第５番目のノズルＮ５、第７番目のノズルＮ７、…、第１７番目のノズルＮ１７からは液状体Ｌが吐出され、第１番目のノズルＮ１、第２番目のノズルＮ２、第４番目のノズルＮ４、…、第１８番目のノズルＮ１８からは液状体Ｌが吐出されない（図１２（ｂ）参照）。
Next, as shown in FIG. 12A, the code is formed on the
続いて、Ｙ軸モータ駆動回路５５が駆動制御されて、マザー基板２Ａが一行分だけ図１２（ａ）中Ｙ矢印方向にずれる。そして、基板２Ｒ用の第３の吐出データＤ３のうち、第２行目に対応した第３の吐出データＤ３に基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される。本実施形態では、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８が使用可能なノズルＮであり、且つ、第２行目に対応した基板２Ｒ用の吐出データは、「００１１０１００００００１１１００１」である。つまり、この場合、第３番目のノズルＮ３、第４番目のノズルＮ４、６番目のノズルＮ６、…、第１８番目のノズルＮ１８からは液状体Ｌが吐出され、第１番目のノズルＮ１、第２番目のノズルＮ２、第５番目のノズルＮ５、…、第１７番目のノズルＮ１７からは液状体Ｌが吐出されない。
Subsequently, the Y-axis motor drive circuit 55 is driven and controlled, and the
以下、同様にして、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８を使用して、基板２Ｒ用の吐出データに基づいて液状体Ｌが吐出される。この結果、基板２Ｒのうちの上段に位置する基板２Ｒ上のコード形成領域Ｓ内にビットマップデータＢＭＤに応じた液状体Ｌが塗布される。
Hereinafter, similarly, the liquid L is discharged based on the discharge data for the
続いて、図１３（ａ）に示すように、吐出ヘッド３０がマザー基板２Ａ上の３列目にあ
る３つの基板２Ｒのうちの図１３（ａ）中段に位置する基板２Ｒ上のコード形成領域Ｓに対向する位置に移動する。そして、再び、基板２Ｒ用の吐出データのうち、第１行目に対応した第３の吐出データＤ３に基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される（図１３（ｂ）参照）。このとき、前記と同様に、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８を使用し、第１〜第１８行目に対応した基板２Ｒ用の第３の吐出データＤ３に基づいて順次液状体Ｌが吐出されて、その結果、中段に位置する基板２Ｒ上のコード形成領域Ｓ内に識別コード１０が形成される（図１３（ｃ）参照）。
Subsequently, as shown in FIG. 13A, the code forming region on the
またさらに、吐出ヘッド３０がマザー基板２Ａ上の１列目にある３つの基板２Ｌのうちの図１３（ａ）中右端に位置する基板２Ｒ上のコード形成領域Ｓに対向する位置に移動する。そして、再び、基板２Ｒ用の第３の吐出データＤ３のうち、第１行目に対応した第３の吐出データＤ３に基づいて、対応するノズルＮから液状体Ｌが吐出される。そして、以下、前記と同様に、第１番目のノズルＮ１〜第１８番目のノズルＮ１８を使用し、第１〜第１８行目に対応した基板２Ｒ用の第３の吐出データＤ３に基づいて順次液状体Ｌが吐出されて、その結果、右端に位置する基板２Ｒ上のコード形成領域Ｓ内に識別コード１０が形成される。
Furthermore, the
以上のようにすることで、１枚のマザー基板２Ａの各基板２上に第３の吐出データＤ３（ビットマップデータＢＭＤ）に応じた液状体Ｌが塗布される。
その後、前記基板チャックを解除してマザー基板２Ａをステージ２３の載置面２４から取り外し、マザー基板２Ａを図示しない例えばホットプレート上に載置して液状体Ｌ中の溶媒を除去することで、識別コード１０が形成される。
As described above, the liquid L corresponding to the third ejection data D3 (bitmap data BMD) is applied on each
Thereafter, the substrate chuck is released, the
また、ステージ２３の載置面２４上の所定の位置に新たなマザー基板２Ａを載置し、基板チャックによって固定する。そして、入力装置４１を使用して新たなマザー基板２Ａに対応した識別コードの描画データＩａを制御装置４０に送信し、その送信された描画データＩａが、１６ビット毎（各行毎）に区分されたビットマップデータＢＭＤ１〜ＢＭＤ１６に変換され、ＲＡＭ４４に格納される。
Further, a
そして、キャリッジ２９を検査位置に移動し、この状態で、制御装置４０から全ての圧電素子ＰＺに液状体Ｌを吐出させる旨の吐出データをヘッド駆動回路５１に供給する。そして、速度検出用カメラＫ３及び位置検出用カメラＫ２を駆動させて不良なノズルを探索しノズル配置データを作成する。このとき、制御部４３によって、第１番目のノズルＮ１を除いて使用可能な連続する１８個のノズルが探索される。
Then, the
この結果、たとえば、再び、図７（ｃ）に示すように、第１９のノズルＮ１９と第２２のノズルＮ２２が不良なノズルであると判断された場合、２回目の使用ノズル配置データは、前記したように、先に探索した第１のノズルＮ１を含めて第１のノズルＮ１側に最も近い使用可能なノズルＮを除いた、使用可能な連続する１８個のノズルＮ群となる。先に探索したノズル配置データは、「１１１１１１１１１１１１１１１１１１０００００００００００００００００００００００…００」であるので、先に探索した第１のノズルＮ１側に最も近い使用可能なノズルＮは、第１のノズルＮ１である。第１９のノズルＮ１９と第２２のノズルＮ２２が不良なノズルであるので、その第１のノズルＮ１を除いた、第１のノズルＮ１側にある使用可能な連続する１８個のノズルＮ群は、第２３番目のノズルＮ２３〜第４０番目のノズルＮ４０が使用ノズルとなる。従って、使用ノズル配置データは、「００００００００００００００００００００００１１１１１１１１１１１１１１１１１１０…００」となる。第２３番目のノズルＮ２３〜第３８番目のノズルＮ３８が基板２Ｌ上の各コード形成領域Ｓに対して使用されるノズルＮ群となり、第２４番目のノズルＮ２４〜第３９番目のノズルＮ３９が基板２Ｃ上の各コード形成領域Ｓに対して使用されるノズルＮ群となり、第２５番目のノズルＮ２５〜第４０番目のノズルＮ４０が基板２Ｌ上
の各コード形成領域Ｓに対して使用されるノズルＮ群となる。そして、制御部４３によって、そのノズル配置データと１６ビット毎に（行毎に）区分されたビットマップデータＢＭＤ１〜ＢＭＤ１６とに基づいて、第１〜第３の吐出データＤ１，Ｄ２，Ｄ３が作成される。そして、各ノズルＮ群を使用して新たな識別コードを各基板２Ｌ，２Ｃ，２Ｒ上のコード形成領域Ｓ内に形成する。
As a result, for example, as shown in FIG. 7C, when it is determined that the 19th nozzle N19 and the 22nd nozzle N22 are defective nozzles, the second-use nozzle arrangement data is As described above, a group of 18 continuous nozzles N that can be used, excluding the usable nozzle N that is closest to the first nozzle N1 side, including the first nozzle N1 that has been searched for earlier. Since the nozzle arrangement data searched earlier is “11111111111111111100000000000000000000 ... 00”, the usable nozzle N closest to the first nozzle N1 side searched earlier is the first nozzle N1. Since the nineteenth nozzle N19 and the twenty-second nozzle N22 are defective nozzles, a group of eighteen consecutive usable nozzles N on the first nozzle N1 side excluding the first nozzle N1 is The 23rd nozzle N23 to the 40th nozzle N40 are used nozzles. Therefore, the used nozzle arrangement data is “00000000000000000000000001111111111111111110... 00”. The 23rd nozzle N23 to the 38th nozzle N38 form a nozzle N group used for each code forming region S on the
一方、各基板２上に識別コード１０を形成したマザー基板２Ａは、その後、その表面２ａ側に各基板２上に対応して表示部３、走査線駆動回路４及びデータ線駆動回路５を、公知の方法によって形成する。その後、各基板２間をダイシング処理することで、９枚の基板２を切り出すことで、９枚の液晶表示モジュール１が製造される。
On the other hand, the
前記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１） 本実施形態では、コード形成領域Ｓの行方向のセル数（１６個）よりも多い数のノズル数（１８０個）のノズルＮを有する吐出ヘッド３０を用いて、１８０個のノズルＮのうち不良なノズルを探索して使用可能なノズルＮの位置を検出するようにした。そして、その使用可能なノズルのうち、１８個の連続して使用可能なノズルを使用して１枚のマザー基板２Ａに形成された３×３個の基板２上の各コード形成領域Ｓ上に液状体Ｌを吐出するようにした。
According to the embodiment, the following effects can be obtained.
(1) In the present embodiment, 180 nozzles N are used by using the
そして、全ての基板２上の各コード形成領域Ｓ上に液状体Ｌを吐出した後、再び、不良なノズルを探索して、その探索された不良なノズルと、先に使用した使用可能な１８個のノズルＮのうちの１つのノズルＮと、を除外した新たな使用可能なノズルＮの位置を検出するようにした。そして、その新たな使用可能なノズルＮうち、１８個の連続して使用可能なノズルＮを使用して、液状体Ｌを吐出するようにした。以降、上記と同様にして、全ての基板２上に液状体Ｌを吐出した毎に、順次新たな使用可能なノズルの位置を検出して、その新たな使用可能なノズルＮうち、１８個の連続して使用可能なノズルを使用して各基板２上のコード形成領域Ｓに液状体Ｌを吐出するようにした。
Then, after discharging the liquid L onto each code forming region S on all the
従って、たとえ、不良なノズルＮが発生しても、その都度、交換することなく、継続して複数のマザー基板２Ａに対して同じ吐出ヘッド３０を使用することができる。この結果、ノズルＮを効率良く使用することができるので、生産効率を向上させることのできる液滴吐出装置を提供することができる。
（２） 本実施形態では、第１の吐出データＤ１、第２の吐出データＤ２、第３の吐出データＤ３に従って、各基板２Ｌ、基板２Ｃ、基板２Ｒに液状体Ｌを吐出するようにした。また、キャリッジ２９が基板２Ｌから基板２Ｃに、及び基板２Ｃから基板２Ｒに移動する毎に、キャリッジ２９の各基板２Ｌ，２Ｃ，２Ｒに対する位置を、前記ノズルをずらした分だけそのずらした方と反対の方向に移動させるようにした。このようにすることで、各基板２Ｌ，２Ｃ，２Ｌ上に形成される識別コード１０の位置を一致することができる。
（３） 本実施形態では、液滴吐出装置２０は、不良なノズルの位置を検出するノズル検査機構Ｋを備えている。従って、液滴吐出装置２０は、使用可能なノズルの位置を検出することができる。
（４） しかも、本実施形態では、ノズル検査機構Ｋを、支持アーム２５ａ側に張り出した案内部材２６の周辺に設けたので、吐出動作を行った後に直ちに不良なノズルＮを検出することができる。従って、識別コード１０の形成を短時間に行うことができるので、生産効率を向上させることができる。
Therefore, even if a defective nozzle N is generated, the
(2) In the present embodiment, the liquid material L is discharged to each of the
(3) In the present embodiment, the
(4) Moreover, in this embodiment, since the nozzle inspection mechanism K is provided around the
尚、発明の実施形態は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように実施してもよい。
○上記実施形態では、連続して使用可能な１８個のノズルＮ群は、１８０個のノズルＮ１〜Ｎ１８０のうち、第１のノズルＮ１を含めて第１のノズルＮ１側に最も近いノズルＮ
から使用可能な連続する１８個のノズルＮ群とした。また、制御部４３は、マザー基板２Ａが取り替えられる毎に、先に探索した第１のノズルＮ１を含めて第１のノズルＮ１側に最も近い使用可能なノズルＮを除いた、使用可能な連続する１８個のノズルＮ群を検索するようにした。連続して使用可能な１８個のノズルＮ群は、これに限定されるものではなく、たとえば、連続して使用可能な１８個のノズルＮ群は、１８０個のノズルＮ１〜Ｎ１８０のうちの中心に位置するノズル側に最も近いノズルＮから使用可能な連続する１８個のノズルＮ群としてもよい。このようにすることでも、上記と同様な効果を得ることができる。
In addition, embodiment of invention is not limited to the said embodiment, You may implement as follows.
In the above embodiment, the group of 18 nozzles N that can be used continuously is the nozzle N closest to the first nozzle N1 side including the first nozzle N1 among the 180 nozzles N1 to N180.
A group of 18 continuous nozzles N that can be used. Further, every time the
○上記実施形態では、コード形成領域Ｓは、１６行×１６列からなるセルＣを有していたが、特に、これに限定されるものではない。例えば、コード形成領域Ｓは、２０行×２０列からなるセルＣを有していてもよい。この場合、連続して使用可能なノズルＮ群は、２３個となる。 In the above embodiment, the code forming region S has the cells C having 16 rows × 16 columns, but is not particularly limited thereto. For example, the code forming region S may include cells C having 20 rows × 20 columns. In this case, there are 23 nozzle N groups that can be used continuously.
○上記実施形態では、マザー基板２Ａ上には、３行×３列からなる基板２を備えていたが、特に、これに限定されるものではない。例えば、５行×５列からなる基板２を備えていていてもよい。この場合、連続して使用可能なノズルＮ群は、２０個となる。
In the above embodiment, the
○上記実施形態では、液滴吐出装置２０を使って液晶表示装置の液晶表示モジュール１に設けられる識別コード１０を形成したが、液晶表示モジュール１ではなく、他の表示装置に設けられる識別コード１０を形成してもよい。たとえば、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の表示モジュールの識別コード１０を形成してもよい。要は、１枚のマザー基板２Ａを使用して複数の表示モジュールを形成する場合における識別コードを形成する場合であれば、どのようなものであってもよい。
In the above embodiment, the
Ｃ…セル、Ｋ…ノズル検出手段としてのノズル検査機構、Ｎ…ノズル、ＲＡＭ…ノズル位置データ記憶手段、２Ａ…基板としてのマザー基板、１０…パターンとしての識別コード、２０…液滴吐出装置、２９…液滴吐出ヘッド、４３…吐出データ作成手段または位置補正手段としての制御部。 C ... Cell, K ... Nozzle inspection mechanism as nozzle detection means, N ... Nozzle, RAM ... Nozzle position data storage means, 2A ... Mother substrate as substrate, 10 ... Identification code as pattern, 20 ... Droplet ejection device, 29: Droplet ejection head, 43: Control unit as ejection data creation means or position correction means.
Claims (6)
前記複数のノズルのうち使用可能なノズルのノズル数及び位置の情報を記憶するノズル位置データ記憶手段と、
所定回数だけ前記使用可能な連続したノズルを使用して液状の組成物を吐出させた後、前記使用可能な連続したノズルのノズル位置をずらして、前記ずらした後の前記連続した使用可能なノズルを使用して前記液状の組成物を吐出させる吐出データを作成する吐出データ作成手段と、
前記吐出データ作成手段に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの位置を、前記列方向に形成される前記パターン毎に、前記使用可能なノズルのノズル位置をずらした分だけ補正する位置補正手段と
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 Compared with the number of cells along the row direction constituting each of the plurality of patterns formed along the row direction and the column direction on the substrate, the plurality of nozzles arranged along the row direction. A droplet discharge head provided with a large number of nozzles;
Nozzle position data storage means for storing information on the number and positions of nozzles that can be used among the plurality of nozzles;
After discharging the liquid composition using the usable continuous nozzle a predetermined number of times, the nozzle position of the usable continuous nozzle is shifted and the continuously usable nozzle after the shifting is performed. Discharge data creating means for creating discharge data for discharging the liquid composition using
Position correcting means for correcting the position of the droplet discharge head by the amount of displacement of the usable nozzle position for each of the patterns formed in the column direction based on the discharge data creating means; A droplet discharge device comprising the droplet discharge device.
前記吐出データ作成手段は、前記列方向に形成される前記パターンの数毎に、前記使用可能な連続したノズルのノズル位置をずらして、前記ずらした後の前記連続した使用可能なノズルを使用して前記液状の組成物を吐出させる吐出データを作成するようにしたことを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 1,
The ejection data creation means shifts the nozzle positions of the usable continuous nozzles for each number of the patterns formed in the row direction, and uses the continuously usable nozzles after the shift. A droplet discharge apparatus, wherein discharge data for discharging the liquid composition is created.
前記ノズル位置データ記憶手段は、前記基板上に前記液状の組成物を吐出する前に、前記全ノズルの吐出特性を検出するノズル検出手段を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 1 or 2,
The nozzle position data storage means includes nozzle detection means for detecting ejection characteristics of all the nozzles before ejecting the liquid composition onto the substrate.
所定回数だけ前記使用可能な連続したノズルを使用して液状の組成物を吐出させた後、前記使用可能な連続したノズルのノズル位置をずらして、前記ずらした後の前記使用可能な連続したノズルを使用して前記液状の組成物を吐出させる吐出データを作成する吐出データ作成工程と、
液滴吐出ヘッドの位置を、前記列方向に形成される前記パターン毎に、前記使用可能なノズルのノズル位置をずらした分だけ補正する位置補正工程と
を備えたことを特徴とするドットパターン形成方法。 The plurality of nozzles arranged along the row direction is larger than the number of cells along the row direction constituting each of the plurality of patterns formed along the row direction and the column direction on the substrate. Use nozzle inspection process to detect the number and position of nozzles that can be used,
After discharging the liquid composition using the usable continuous nozzle a predetermined number of times, the nozzle position of the usable continuous nozzle is shifted, and the usable continuous nozzle after the shifting is performed. A discharge data creation step of creating discharge data for discharging the liquid composition using
A dot pattern formation comprising: a position correction step of correcting a position of a droplet discharge head by an amount of shifting a nozzle position of the usable nozzle for each pattern formed in the column direction Method.
前記吐出データ作成工程は、前記列方向に形成される前記パターンの数毎に、前記使用可能な連続したノズルのノズル位置をずらして、前記ずらした後の前記使用可能な連続したノズルを使用して前記液状の組成物を吐出させる吐出データを作成するようにしたことを特徴とするドットパターン形成方法。 In the dot pattern formation method according to claim 4,
The ejection data creation step uses the usable continuous nozzles after the shifting by shifting the nozzle positions of the usable continuous nozzles for each number of the patterns formed in the row direction. A dot pattern forming method, wherein discharge data for discharging the liquid composition is created.
前記使用ノズル検査工程は、前記基板上に前記液状の組成物を吐出する前に、前記全ノズルの吐出特性を検出することを特徴とするドットパターン形成方法。 In the dot pattern formation method according to claim 4 or 5,
In the use nozzle inspection step, the discharge characteristics of all the nozzles are detected before the liquid composition is discharged onto the substrate.
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|---|---|---|---|---|
| JP2014117822A (en) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Mimaki Engineering Co Ltd | Ink jet recording device |
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