JP2006266796A - 光ヘテロダイン干渉装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 入射光を2つに分岐して周波数の異なる2つの光を出射する光分岐手段14及び異なる光路を通って入射される上記2つの光を合波して干渉光を出射する光カプラ6を有するマッハツェンダ型干渉計30と、干渉光をヘテロダイン検波する受光器8と、その検波信号の位相検出を行う同期検波器15とを備えた光ヘテロダイン干渉装置において、光分岐手段14は、周波数f1の超音波を発生させる超音波発生器14bと、周波数f2の超音波を発生させる超音波発生器14cと、周波数f1の超音波で駆動される音響光学周波数シフタ(AOFS)14dと、周波数f2の超音波で駆動されるAOFS14eとを有し、出射する上記2つの光の周波数差がこの2つの超音波の周波数差と同一になるようにし、かつ、同期検波器15がロックインアンプで構成される。
【選択図】 図2
Description
前記干渉光を受けてヘテロダイン検波し前記第1経路の光と前記第2経路の光の周波数差のビート信号を電気信号に変換する受光器(8)と、前記ビート信号の周波数とほぼ同じ周波数の同期信号に基づいて前記電気信号の位相検出を行う同期検波器(15)と、前記測定光の瞬時周波数に対応する、前記同期検波器から出力される位相信号のデータ処理を行って前記被測定物の光周波数−位相特性を求める処理手段(12)とを備えた光ヘテロダイン干渉装置において、前記光分岐手段は、周波数f1の第1の超音波を発生させる第1の超音波発生器(14b)と、周波数f2の第2の超音波を発生させる第2の超音波発生器(14c)と、前記第1の超音波で駆動される第1の音響光学周波数シフタ(14d)と、前記第2の超音波で駆動される第2の音響光学周波数シフタ(14e)とを有し、前記第1経路の光と前記第2経路の光との周波数差が前記第1の超音波と前記第2の超音波との周波数差と同一になるようにし、かつ、前記同期検波器がロックインアンプで構成されている。
本発明の第1実施形態の光ヘテロダイン干渉装置の構成を図1に示す。従来の光ヘテロダイン干渉装置と同一要素には同一符号を付し詳細説明は省略する。波長可変光源1は、例えば波長可変レーザであり、制御手段13から出力される制御信号aに基づいて所定の周波数範囲(例えば波長で1525〜1620nm)の測定光(周波数ν)を順次発振して光カプラ3へ出射する。また、光源2は、例えばレーザであり、波長可変光源1の発振周波数とは異なる固定周波数(例えば波長で1625nm)の参照光(周波数ν0)を発振して光カプラ3へ出射する。光カプラ3は、上記測定光及び参照光を合波して波長多重し、その波長多重光をマッハツェンダ型干渉計30の光分岐手段14へ出射する。
本発明の第2実施形態の光ヘテロダイン干渉装置の構成を図2に示す。第2実施形態は、マッハツェンダ型干渉計が光ファイバ干渉計ではなく、また例え光ファイバ干渉計であったとしても光ファイバの揺らぎによる位相変動が無視でき、参照光を用いて測定光に基づくビート信号の位相変動を相殺しなくてもよい場合の構成である。第1実施形態の図1とは、下記の(1)、(2)のみ異なり他は同一である。したがって詳細説明は省略する。(1)参照光の発振、合波、分波及びヘテロダイン検波に係わる要素、つまり光源2、光カプラ3、光分波器7及び受光器9を備えていない。(2)超音波発生器14bから出力される周波数f1の超音波と超音波発生器14cから出力される周波数f2の超音波とを受けて混合し、これら2つの超音波の差周波数信号を発生して同期検波器としてのロックインアンプ15に同期信号bとして出力するミキサ(MIX)16を備えている。
Claims (12)
- 入射光である周波数可変の測定光を受けて、2つに分岐するとともに互いに周波数の異なる第1経路の光及び第2経路の光として出射する光分岐手段(14)並びに被測定物を介して入射される前記第1経路の光と前記被測定物を介さないで入射される前記第2経路の光とを合波して干渉光を出射する光結合手段(6)を有するマッハツェンダ型干渉計(30)と、
前記干渉光を受けてヘテロダイン検波し前記第1経路の光と前記第2経路の光の周波数差のビート信号を電気信号に変換する受光器(8)と、
前記ビート信号の周波数とほぼ同じ周波数の同期信号に基づいて前記電気信号の位相検出を行う同期検波器(15)と、
前記測定光の瞬時周波数に対応する、前記同期検波器から出力される位相信号のデータ処理を行って前記被測定物の光周波数−位相特性を求める処理手段(12)とを備えた光ヘテロダイン干渉装置において、
前記光分岐手段は、周波数f1の第1の超音波を発生させる第1の超音波発生器(14b)と、周波数f2の第2の超音波を発生させる第2の超音波発生器(14c)と、前記第1の超音波で駆動される第1の音響光学周波数シフタ(14d)と、前記第2の超音波で駆動される第2の音響光学周波数シフタ(14e)とを有し、前記第1経路の光と前記第2経路の光との周波数差が前記第1の超音波と前記第2の超音波との周波数差と同一になるようにし、かつ、
前記同期検波器がロックインアンプで構成されたことを特徴とする光ヘテロダイン干渉装置。 - 入射光である周波数可変の測定光を受けて、2つに分岐するとともに互いに周波数の異なる第1経路の光及び第2経路の光として出射する光分岐手段(14)並びに被測定物を介して入射される前記第1経路の光と前記被測定物を介さないで入射される前記第2経路の光とを合波して干渉光を出射する光結合手段(6)を有するマッハツェンダ型干渉計(30)と、
前記干渉光を受けてヘテロダイン検波し前記第1経路の光と前記第2経路の光の周波数差のビート信号を電気信号に変換する受光器(8)と、
前記ビート信号の周波数とほぼ同じ周波数の同期信号に基づいて前記電気信号の位相検出を行う同期検波器(15)と、
前記測定光の瞬時周波数に対応する、前記同期検波器から出力される位相信号のデータ処理を行って前記被測定物の光周波数−位相特性を求める処理手段(12)とを備えた光ヘテロダイン干渉装置において、
前記光分岐手段は、高周波交流信号と低周波交流信号との間で振幅変調を行うことにより、前記高周波交流信号の周波数を中心周波数とし、前記低周波交流信号の周波数分シフトしたサイドバンド周波数成分でなる第1の超音波と第2の超音波を発生させる第3の超音波発生器(14g)と、前記第1の超音波と前記第2の超音波で駆動される第3の音響光学周波数シフタ(14f)とを有し、前記第1経路の光と前記第2経路の光との周波数差が前記第1の超音波と前記第2の超音波との周波数差と同一になるようにし、かつ、
前記同期検波器がロックインアンプで構成されたことを特徴とする光ヘテロダイン干渉装置。 - 前記光分岐手段は、更に、前記入射光である前記測定光を受けて2つに分岐し、一方の光を前記第1の音響光学周波数シフタに、他方の光を前記第2の音響光学周波数シフタにそれぞれ出射する第1の光カプラ(14a)を有し、
前記第1の音響光学周波数シフタは、前記第1の光カプラから入射される一方の光の周波数を前記第1の超音波の周波数f1分周波数シフトして前記第1経路の光として出射し、かつ、前記第2の音響光学周波数シフタは、前記第1の光カプラから入射される他方の光の周波数を前記第2の超音波の周波数f2分周波数シフトして前記第2経路の光として出射することを特徴とする請求項1に記載の光ヘテロダイン干渉装置。 - 前記マッハツェンダ型干渉計は、更に、前記光分岐手段と前記光結合手段との間に設けられ、該光分岐手段から出射された前記第2経路の光が前記光結合手段に到達するまでの時間と、前記第1経路の光が前記被測定物を介して前記光結合手段に到達するまでの時間とがほぼ等しくなるように、前記第1経路の光又は前記第2経路の光を遅延させる遅延器(5)を備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光ヘテロダイン干渉装置。
- 前記第1の超音波発生器から出力される前記第1の超音波と前記第2の超音波発生器から出力される前記第2の超音波とを受けて混合し、又は前記第3の超音波発生器から出力される前記第1の超音波と前記第2の超音波とを受けて混合し、該第1の超音波と該第2の超音波との差周波数の信号を発生して前記同期検波器に前記同期信号として出力するミキサ(16)を備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光ヘテロダイン干渉装置。
- 周波数可変の測定光と当該測定光の出力周波数と異なる固定周波数の参照光とを波長多重してなる波長多重光を受けて、当該波長多重光を分岐するとともに、第1経路の光と第2経路の光とを出力する光分岐手段(14)であって、当該第1経路の光及び当該第2経路の光はそれぞれ測定光に基づく測定光成分と参照光に基づく参照光成分とからなり、前記第1経路の光に含まれる測定光成分の周波数と前記第2経路の光に含まれる測定光成分の周波数とが異なるとともに、前記第1経路の光に含まれる参照光成分の周波数と前記第2経路の光に含まれる参照光成分の周波数とが同じだけ異なる光分岐手段(14)並びに被測定物を経由する前記第1経路の光と前記被測定物を経由しない前記第2経路の光とを合波する光結合手段(6)を有するマッハツェンダ型干渉計(30)と、
前記測定光成分と前記参照光成分とを周波数分波する光分波器(7)と、
該光分波器で分波された、前記第1経路の光の測定光成分と前記第2経路の光の測定光成分とからなる第1の干渉光を第1の電気信号に変換する第1の受光器(8)と、
前記光分波器で分波された、前記第1経路の光の参照光成分と前記第2経路の光の参照光成分とからなる第2の干渉光を第2の電気信号に変換する第2の受光器(9)と、
前記第2の電気信号を同期信号として前記第1の電気信号の位相検出を行う同期検波器(15)と、
前記測定光の出力周波数に対応した、前記同期検波器から出力される位相信号をデータ処理して、前記被測定物の光周波数−位相特性を求める処理手段(12)とを備えた光ヘテロダイン干渉装置において、
前記光分岐手段は、周波数f1の第1の超音波を発生させる第1の超音波発生器(14b)と、周波数f2の第2の超音波を発生させる第2の超音波発生器(14c)と、前記第1の超音波で駆動される第1の音響光学周波数シフタ(14d)と、前記第2の超音波で駆動される第2の音響光学周波数シフタ(14e)とを有し、前記第1経路の光の測定光成分と前記第2経路の光の測定光成分との周波数差、及び前記第1経路の光の参照光成分と前記第2経路の光の参照光成分との周波数差が、前記第1の超音波と前記第2の超音波との周波数差と同一になるようにし、かつ、
前記同期検波器がロックインアンプで構成されたことを特徴とする光ヘテロダイン干渉装置。 - 前記マッハツェンダ型干渉計は、更に、前記光分岐手段と前記光結合手段との間に設けられ、該光分岐手段から出射された前記第2経路の光が前記光結合手段に到達するまでの各時間と、前記第1経路の光が前記被測定物を介して前記光結合手段に到達するまでの各時間とがほぼ等しくなるように、前記第1経路の光又は前記第2経路の光を遅延させる遅延器(5)を備えたことを特徴とする請求項6に記載の光ヘテロダイン干渉装置。
- 前記マッハツェンダ型干渉計は、その光路中に光ファイバを含んで構成される光ファイバ干渉計であることを特徴とする請求項6又は7に記載の光ヘテロダイン干渉装置。
- 所定の周波数範囲内で周波数可変の前記測定光を順次発振させ、前記光分岐手段へ前記入射光として出射する波長可変光源(1)と、
該波長可変光源からの測定光の周波数を可変するための制御信号を当該波長可変光源に出力する制御手段(13)とを備えたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の光ヘテロダイン干渉装置。 - 所定の周波数範囲内で周波数可変の前記測定光を順次発振させる波長可変光源(1)と、
該波長可変光源からの測定光の周波数を可変するための制御信号を当該波長可変光源に出力する制御手段(13)と、
前記測定光の周波数とは異なる固定周波数の前記参照光を発振させる光源(2)と、
前記波長可変光源から出射される前記測定光と前記光源から出射される前記参照光とを受け合波することによって波長多重し、得られた前記波長多重光を前記光分岐手段へ前記入射光として出射する第2の光カプラ(3)とを備えたことを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の光ヘテロダイン干渉装置。 - 周波数可変の測定光と当該測定光の出力周波数と異なる固定周波数の参照光とを波長多重してなる波長多重光を受けて、当該波長多重光を分岐するとともに、第1経路の光と第2経路の光とを出力する光分岐手段(14)であって、当該第1経路の光及び当該第2経路の光はそれぞれ測定光に基づく測定光成分と参照光に基づく参照光成分とからなり、前記第1経路の光に含まれる測定光成分の周波数と前記第2経路の光に含まれる測定光成分の周波数とが異なるとともに、前記第1経路の光に含まれる参照光成分の周波数と前記第2経路の光に含まれる参照光成分の周波数とが同じだけ異なる光分岐手段(14)並びに被測定物を経由する前記第1経路の光と前記被測定物を経由しない前記第2経路の光とを合波する光結合手段(6)を有するマッハツェンダ型干渉計(30)と、
前記測定光成分と前記参照光成分とを周波数分波する光分波器(7)と、
該光分波器で分波された、前記第1経路の光の測定光成分と前記第2経路の光の測定光成分とからなる第1の干渉光を第1の電気信号に変換する第1の受光器(8)と、
前記光分波器で分波された前記第1経路の光の参照光成分と前記第2経路の光の参照光成分とからなる第2の干渉光を、前記測定光の出力周波数に対応した前記第1の電気信号の位相量を検出するための同期信号となる第2の電気信号に変換する第2の受光器(9)とを備えた光ヘテロダイン干渉装置において、
前記光分岐手段は、周波数f1の第1の超音波を発生させる第1の超音波発生器(14b)と、周波数f2の第2の超音波を発生させる第2の超音波発生器(14c)と、前記第1の超音波で駆動される第1の音響光学周波数シフタ(14d)と、前記第2の超音波で駆動される第2の音響光学周波数シフタ(14e)とを有し、前記第1経路の光の測定光成分と前記第2経路の光の測定光成分との周波数差、及び前記第1経路の光の参照光成分と前記第2経路の光の参照光成分との周波数差が、前記第1の超音波と前記第2の超音波との周波数差と同一になるようにし、かつ、当該第1の超音波と第2の超音波との周波数差が2MHz以下であることを特徴とする光ヘテロダイン干渉装置。 - 入射光である周波数可変の測定光を受けて、2つに分岐するとともに互いに周波数の異なる第1経路の光及び第2経路の光として出射する光分岐手段(14)並びに被測定物を介して入射される前記第1経路の光と前記被測定物を介さないで入射される前記第2経路の光とを合波して干渉光を出射する光結合手段(6)を含むマッハツェンダ型干渉計(30)と、
前記干渉光を受けて、前記第1経路の光と前記第2経路の光との周波数差のビート信号とほぼ同じ周波数の同期信号に基づいて、前記測定光の出力周波数に対応する位相変化量が検出されるべき電気信号を出力する受光器(8)とを備えた光ヘテロダイン干渉装置において、
前記光分岐手段は、周波数f1の第1の超音波を発生させる第1の超音波発生器(14b)と、周波数f2の第2の超音波を発生させる第2の超音波発生器(14c)と、前記第1の超音波で駆動される第1の音響光学周波数シフタ(14d)と、前記第2の超音波で駆動される第2の音響光学周波数シフタ(14e)とを有し、前記第1経路の光と前記第2経路の光との周波数差が、前記第1の超音波と前記第2の超音波との周波数差と同一になるようにし、かつ、当該第1の超音波と第2の超音波との周波数差が2MHz以下であることを特徴とする光ヘテロダイン干渉装置。
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