JP2006264960A - Work carrying device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a work carrying device capable of reducing part cost, reducing the size, and improving maintainability. <P>SOLUTION: This work carrying device 1 has a carriage having a work fixing seat, a carriage driving mechanism for driving to reciprocate the carriage in the uniaxial direction, a sealed case 11 for storing the carriage driving mechanism, and an exhaust system 19 for outwardly exhausting air in the sealed case 11 via an exhaust hole 18 formed in the sealed case 11. The exhaust system 19 is composed of a sirocco fan 20. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体ウエハなどのワークを搬送する装置として、例えばクリーンルームのような清浄な環境下で使用されるワーク搬送装置に関する。   The present invention relates to a workpiece transfer device used as a device for transferring a workpiece such as a semiconductor wafer in a clean environment such as a clean room.

クリーンルーム等で使用されるワーク搬送装置として、ワーク固定座を有するキャリッジと、キャリッジを一軸方向に往復駆動するキャリッジ駆動機構と、キャリッジ駆動機構を収容する密閉ケースとを備え、密閉ケースには、ワーク固定座を密閉ケースの外部に突出させるために、細長いスリットがキャリッジの移動方向に沿って形成されているものがある。   As a workpiece transfer device used in a clean room or the like, a carriage having a workpiece fixing seat, a carriage driving mechanism that reciprocates the carriage in one axis direction, and a sealing case that accommodates the carriage driving mechanism are provided. In some cases, an elongated slit is formed along the moving direction of the carriage in order to protrude the fixed seat to the outside of the sealed case.

このようなワーク搬送装置では、キャリッジの送り精度を高めるために、キャリッジ駆動機構をボールねじやリニアガイドなどから構成している場合が多い。このため、キャリッジを一軸方向に往復駆動させると、キャリッジ駆動機構を構成するボールねじやリニアガイドなどで摩耗粉が発生する。そして、ボールねじやリニアガイドなどで発生した摩耗粉が密閉ケースに形成されたスリットから外部に飛散し、クリーンルーム内を汚染するおそれがある。   In such a workpiece transfer device, the carriage drive mechanism is often composed of a ball screw, a linear guide, or the like in order to increase the carriage feed accuracy. For this reason, when the carriage is reciprocated in one axis direction, wear powder is generated by a ball screw, a linear guide, or the like constituting the carriage drive mechanism. And abrasion powder generated by a ball screw, a linear guide, etc. may be scattered outside from the slit formed in the airtight case, and there exists a possibility of polluting the inside of a clean room.

そこで、密閉ケースに形成されたスリットをシールするシール機構を、スリットよりも幅広に形成されたシールベルトと、このシールベルトをキャリッジの移動方向に走行可能に支持する複数のプーリとで構成することによって、ワーク固定座とシール機構との干渉を防止するようにしたものが考案されている（特許文献１参照）。
特開平８−２９０３８４号公報 Therefore, a sealing mechanism that seals the slit formed in the hermetic case is composed of a sealing belt formed wider than the slit and a plurality of pulleys that support the sealing belt so that it can run in the carriage movement direction. Thus, a device that prevents interference between the workpiece fixing seat and the seal mechanism has been devised (see Patent Document 1).
JP-A-8-290384

しかしながら、特許文献１に記載のワーク搬送装置では、密閉ケースに形成された排気孔を通じて密閉ケース内の空気を外部に排気する排気手段として真空ポンプを使用している。このため、部品コストの上昇を招くと共にワーク搬送装置のコンパクト化を妨げる要因となっていた。さらに、真空ポンプのメンテナンスに多くの時間と費用を要するという問題もあった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、部品コストの低減およびコンパクト化を図れると共にメンテナンス性の向上を図ることのできるワーク搬送装置を提供することを目的とするものである。 However, in the workpiece transfer apparatus described in Patent Document 1, a vacuum pump is used as an exhaust unit that exhausts air in the sealed case to the outside through an exhaust hole formed in the sealed case. For this reason, the cost of parts is increased, and the work conveying apparatus is prevented from being made compact. Furthermore, there is a problem that a lot of time and cost are required for maintenance of the vacuum pump.
The present invention has been made paying attention to such problems, and an object thereof is to provide a work transfer device capable of reducing the component cost and reducing the size and improving the maintainability. It is.

上記の目的を達成するために、第１の発明は、ワーク固定座を有するキャリッジと、該キャリッジを一軸方向に往復駆動するキャリッジ駆動機構と、該キャリッジ駆動機構を収容する密閉ケースと、該密閉ケースに形成された排気孔を通じて前記密閉ケース内の空気を外部に排気する排気手段とを備え、前記密閉ケースに形成されたスリットをシールするシール機構を、前記スリットの最小幅よりも幅広に形成されたシールベルトと、このシールベルトを前記キャリッジの移動方向に走行可能に支持する複数のプーリとで構成したワーク搬送装置において、前記排気手段を排気ファンから構成したことを特徴とする。
第１の発明に係るワーク搬送装置において、排気ファンはシロッコファンであることが好ましい。 In order to achieve the above object, a first invention includes a carriage having a workpiece fixing seat, a carriage drive mechanism that reciprocally drives the carriage in one axial direction, a sealing case that accommodates the carriage drive mechanism, and the sealing An exhaust means for exhausting the air in the sealed case to the outside through an exhaust hole formed in the case, and a sealing mechanism for sealing the slit formed in the sealed case is formed wider than the minimum width of the slit In the work conveying apparatus constituted by the seal belt formed and a plurality of pulleys that support the seal belt so as to be able to travel in the moving direction of the carriage, the exhaust means is constituted by an exhaust fan.
In the work transfer device according to the first aspect of the invention, the exhaust fan is preferably a sirocco fan.

第２の発明は、ワークテーブルと、該ワークテーブルを一軸方向に往復駆動する第１の駆動機構部と、該第１の駆動機構部を前記ワークテーブルの移動方向に対して垂直な軸回りに旋回駆動する第２の駆動機構部と、該第２の駆動機構部を前記ワークテーブルの移動方向に対して直角な方向に往復駆動する第３の駆動機構部と、前記第１〜第３の駆動機構部内の空気を外部に排気する排気手段とを備えたワーク搬送装置において、前記排気手段を排気ファンから構成したことを特徴とする。
第２の発明に係るワーク搬送装置において、排気ファンはシロッコファンであることが好ましい。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a work table, a first drive mechanism portion that reciprocates the work table in one axial direction, and the first drive mechanism portion about an axis perpendicular to the moving direction of the work table. A second drive mechanism section for rotationally driving; a third drive mechanism section for reciprocatingly driving the second drive mechanism section in a direction perpendicular to the moving direction of the work table; In a work transfer device provided with an exhaust means for exhausting the air in the drive mechanism to the outside, the exhaust means is constituted by an exhaust fan.
In the work transfer device according to the second invention, the exhaust fan is preferably a sirocco fan.

本発明に係るワーク搬送装置によれば、排気装置として真空ポンプを使用した従来例と比較して、部品コストを低減できると共に装置のコンパクト化を図ることができる。また、排気装置として真空ポンプを使用した従来例のように、排気装置のメンテナンスに多くの費用や労力を要することもないので、メンテナンス性の向上を図ることができる。   According to the work transfer device of the present invention, compared with the conventional example using a vacuum pump as an exhaust device, the parts cost can be reduced and the device can be made compact. Further, unlike the conventional example in which a vacuum pump is used as the exhaust device, maintenance of the exhaust device does not require much cost and labor, so that maintainability can be improved.

以下、図１〜図４を参照して本発明の一実施形態に係るワーク搬送装置について説明する。
図１に示されるワーク搬送装置１はキャリッジ２（図２参照）を備えており、このキャリッジ２の上面両側部にはブロック状のワーク固定座３が突設されている。また、ワーク搬送装置１はキャリッジ２を一軸方向に往復駆動するキャリッジ駆動機構４（図２参照）を備えており、このキャリッジ駆動機構４はボールねじ５、リニアガイド６等から構成されている。 Hereinafter, with reference to FIGS. 1-4, the workpiece conveyance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention is demonstrated.
1 includes a carriage 2 (see FIG. 2), and block-shaped workpiece fixing seats 3 are provided on both sides of the upper surface of the carriage 2. The workpiece transfer device 1 includes a carriage drive mechanism 4 (see FIG. 2) that reciprocally drives the carriage 2 in one axis direction. The carriage drive mechanism 4 includes a ball screw 5, a linear guide 6, and the like.

さらに、ワーク搬送装置１はキャリッジ駆動機構４のボールねじ５を駆動するボールねじ駆動モータ７（図１参照）を備えており、このボールねじ駆動モータ７で発生した回転トルクは、図４に示すように、プーリ８、タイミングベルト９、プーリ１０を介してボールねじ５のねじ軸５ａ（図２参照）に伝わるようになっている。また、ワーク搬送装置１はキャリッジ駆動機構４を収容する密閉ケース１１（図１参照）を備えており、この密閉ケース１１の上面には、キャリッジ２のワーク固定座３を密閉ケース１１の外部に突出させるために、スリット１２，１３がキャリッジ２の移動方向に沿って形成されている。   Further, the workpiece transfer device 1 is provided with a ball screw drive motor 7 (see FIG. 1) for driving the ball screw 5 of the carriage drive mechanism 4, and the rotational torque generated by the ball screw drive motor 7 is shown in FIG. In this way, it is transmitted to the screw shaft 5a (see FIG. 2) of the ball screw 5 through the pulley 8, the timing belt 9, and the pulley 10. In addition, the workpiece transfer device 1 includes a sealed case 11 (see FIG. 1) that accommodates the carriage drive mechanism 4. The workpiece fixing seat 3 of the carriage 2 is placed outside the sealed case 11 on the upper surface of the sealed case 11. In order to project, the slits 12 and 13 are formed along the moving direction of the carriage 2.

密閉ケース１１には、ボールねじ５やリニアガイド６で発生した摩耗粉がスリット１２，１３から密閉ケース１１の外部に飛散するのを防ぐために、スリット１２，１３をシールするシール機構１４，１５（図１参照）が設けられている。このシール機構１４，１５はスリット１２，１３の最小幅よりも幅広に形成されたシールベルト１６（図２参照）と、このシールベルト１６をキャリッジ２の移動方向に走行可能に支持する複数のプーリ１７（図３参照）とからなり、シールベルト１６の両端部はワーク固定座３の前端部と後端部に固定されている。スリット１２，１３には、シールベルト１６の幅方向端部を収容する溝が設けられている。   The sealed case 11 has seal mechanisms 14 and 15 (seal seals 12 and 13 for sealing the slits 12 and 13 in order to prevent abrasion powder generated by the ball screw 5 and the linear guide 6 from being scattered from the slits 12 and 13 to the outside of the sealed case 11. 1) is provided. The seal mechanisms 14 and 15 include a seal belt 16 (see FIG. 2) formed wider than the minimum width of the slits 12 and 13 and a plurality of pulleys that support the seal belt 16 so as to be able to travel in the moving direction of the carriage 2. 17 (see FIG. 3), and both end portions of the seal belt 16 are fixed to the front end portion and the rear end portion of the work fixing seat 3. The slits 12 and 13 are provided with grooves for accommodating the end portions in the width direction of the seal belt 16.

ワーク搬送装置１は、密閉ケース１１に形成された排気孔１８（図１参照）を通じて密閉ケース１１内の空気を外部に排気する排気装置１９を備えている。この排気装置１９は排気ファン、好ましくはシロッコファン２０からなり、ボールねじ５やリニアガイド６で発生した摩耗粉は密閉ケース１１内の空気と共にシロッコファン２０に吸引され、図示しない排気ダクトを通ってクリーンルームの外部へ排気されるようになっている。   The workpiece transfer device 1 includes an exhaust device 19 that exhausts air in the sealed case 11 to the outside through an exhaust hole 18 (see FIG. 1) formed in the sealed case 11. The exhaust device 19 is composed of an exhaust fan, preferably a sirocco fan 20, and wear powder generated by the ball screw 5 and the linear guide 6 is sucked together with the air in the sealed case 11 by the sirocco fan 20 and passes through an exhaust duct (not shown). It is designed to be exhausted outside the clean room.

このように、密閉ケース１１内の空気を外部に排気する排気装置１９を排気ファン、好ましくはシロッコファン１９から構成したことにより、排気装置として真空ポンプを使用した従来例と比較して、部品コストを低減できると共に装置のコンパクト化を図ることができる。また、排気装置として真空ポンプを使用した従来例のように、排気装置のメンテナンスに多くの費用や労力を要することもないので、メンテナンス性の向上を図ることができる。   As described above, the exhaust device 19 for exhausting the air in the sealed case 11 to the outside is constituted by an exhaust fan, preferably a sirocco fan 19, so that the component cost is lower than that of a conventional example using a vacuum pump as the exhaust device. Can be reduced and the apparatus can be made compact. Further, unlike the conventional example in which a vacuum pump is used as the exhaust device, maintenance of the exhaust device does not require much cost and labor, so that maintainability can be improved.

次に、図５〜図１６を参照して本発明の他の実施形態に係るワーク搬送装置について説明する。
図５に示されるワーク搬送装置２５は、ワークテーブル２６と、このワークテーブル２６を一軸方向（図５中矢印Ｘ方向）に往復駆動する第１の駆動機構部２７と、この第１の駆動機構部２７をワークテーブル２６の移動方向に対して垂直な軸回りに旋回駆動する第２の駆動機構部５１と、この第２の駆動機構部５１をワークテーブル２６の移動方向に対して直角な方向（図５中矢印Ｚ方向）に往復駆動する第３の駆動機構部５９とを備えて構成されている。 Next, a workpiece transfer apparatus according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
5 includes a work table 26, a first drive mechanism 27 that reciprocates the work table 26 in a uniaxial direction (in the direction of arrow X in FIG. 5), and the first drive mechanism. A second drive mechanism 51 for rotating the part 27 around an axis perpendicular to the moving direction of the work table 26, and a direction perpendicular to the moving direction of the work table 26. And a third drive mechanism 59 that reciprocates in the direction of arrow Z in FIG.

第１の駆動機構部２７はキャリッジ２８（図８参照）と、このキャリッジ２８を図５中矢印Ｘ方向に往復駆動するキャリッジ駆動機構３０とを備えており、キャリッジ２８には、後述するストローク伝達機構４０の密閉ケース４１をキャリッジ２８に固定するためのケース固定座２９が設けられている。
キャリッジ駆動機構３０は、ワークテーブル２６の移動方向に案内するリニアガイド３１と、このリニアガイド３１の長手方向にキャリッジ２８を駆動するボールねじ３２とを備えている。また、キャリッジ駆動機構３０はボールねじ駆動モータ３３（図６参照）を備えており、このボールねじ駆動モータ３３で発生した回転トルクは図示しない二個のプーリとタイミングベルトを介してボールねじ３２のねじ軸３２ａ（図８参照）に伝わるようになっている。 The first drive mechanism 27 includes a carriage 28 (see FIG. 8) and a carriage drive mechanism 30 that reciprocates the carriage 28 in the direction of arrow X in FIG. A case fixing seat 29 for fixing the sealed case 41 of the mechanism 40 to the carriage 28 is provided.
The carriage drive mechanism 30 includes a linear guide 31 that guides the work table 26 in the moving direction, and a ball screw 32 that drives the carriage 28 in the longitudinal direction of the linear guide 31. The carriage drive mechanism 30 also includes a ball screw drive motor 33 (see FIG. 6). The rotational torque generated by the ball screw drive motor 33 is applied to the ball screw 32 via two pulleys and a timing belt (not shown). It is transmitted to the screw shaft 32a (see FIG. 8).

さらに、キャリッジ駆動機構３０はリニアガイド３１及びボールねじ３２を収容する密閉ケース３４（図８参照）を備えており、この密閉ケース３４の上面には、ケース固定座２９を密閉ケース３４の外部に突出させるために、スリット３５（図６参照）がキャリッジ２８の移動方向に沿って形成されている。
密閉ケース３４には、リニアガイド３１やボールねじ３２で発生した摩耗粉がスリット３５から密閉ケース３４の外部に飛散するのを防ぐために、スリット３５をシールするシール機構３６（図８参照）が設けられている。このシール機構３６はスリット３５の最小幅よりも幅広に形成されたシールベルト３７と、シールベルト３７をキャリッジ２８の移動方向に走行可能に支持する複数個のプーリ３８（図７参照）とからなり、シールベルト３７の両端部はケース固定座２９の前端部と後端部に固定されている。スリット３５には、シールベルト３７の幅方向端部を収容する溝が設けられている。 Further, the carriage drive mechanism 30 includes a sealed case 34 (see FIG. 8) that accommodates the linear guide 31 and the ball screw 32, and a case fixing seat 29 is provided outside the sealed case 34 on the upper surface of the sealed case 34. In order to project, a slit 35 (see FIG. 6) is formed along the movement direction of the carriage 28.
The sealing case 34 is provided with a seal mechanism 36 (see FIG. 8) for sealing the slit 35 in order to prevent wear powder generated by the linear guide 31 and the ball screw 32 from scattering from the slit 35 to the outside of the sealing case 34. It has been. The seal mechanism 36 includes a seal belt 37 formed wider than the minimum width of the slit 35, and a plurality of pulleys 38 (see FIG. 7) that support the seal belt 37 so as to be able to travel in the moving direction of the carriage 28. The both end portions of the seal belt 37 are fixed to the front end portion and the rear end portion of the case fixing seat 29. The slit 35 is provided with a groove that accommodates the widthwise end of the seal belt 37.

ケース固定座２９の上面には、キャリッジ２８の移動ストロークをワークテーブル２６に増倍して伝えるストローク伝達機構４０（図５参照）が設置されている。このストローク伝達機構４０はキャリッジ２８と一体に移動する箱形の密閉ケース４１（図９及び図１０参照）と、この密閉ケース４１内に設けられたリニアガイド４２（図１２参照）とを備えており、密閉ケース４１の左右両側面にはスリット４３（図１０参照）がキャリッジ２８の移動方向に沿って形成されている。   A stroke transmission mechanism 40 (see FIG. 5) is installed on the upper surface of the case fixing seat 29 to transmit the movement stroke of the carriage 28 to the work table 26 in a multiplied manner. The stroke transmission mechanism 40 includes a box-shaped sealing case 41 (see FIGS. 9 and 10) that moves integrally with the carriage 28, and a linear guide 42 (see FIG. 12) provided in the sealing case 41. In addition, slits 43 (see FIG. 10) are formed along the moving direction of the carriage 28 on the left and right side surfaces of the sealed case 41.

リニアガイド４２はスライダ４２ａを有しており、このスライダ４２ａには、ワークテーブル２６をスライダ４２ａに取付けるためのテーブル取付け座４４が密閉ケース４１のスリット４３から突出して設けられている。また、リニアガイド４２はスライダ４２ａをキャリッジ２８の移動方向に案内する案内レール４２ｂを有しており、この案内レール４２ｂは図示しないボルトにより密閉ケース４１の底面部に固定されている。   The linear guide 42 has a slider 42 a, and a table mounting seat 44 for mounting the work table 26 to the slider 42 a is provided on the slider 42 a so as to protrude from the slit 43 of the sealing case 41. The linear guide 42 has a guide rail 42b for guiding the slider 42a in the moving direction of the carriage 28. The guide rail 42b is fixed to the bottom surface of the sealing case 41 by a bolt (not shown).

密閉ケース４１内には、キャリッジ２８の移動ストロークをスライダ４２ａに伝えるために、ストローク伝達ベルト４５（図１１及び図１２参照）がスリット４３を閉塞するように設けられている。このストローク伝達ベルト４５の両端部はテーブル取付け座４４の前端部と後端部に固定され、かつ途中の一ヶ所を拘束部４７に固定されている。密閉ケース４１内には四つのプーリ４６（図１２参照）が回転可能に設けられ、これらのプーリ４６にストローク伝達ベルト４５が掛け渡されている。   A stroke transmission belt 45 (see FIGS. 11 and 12) is provided in the sealed case 41 so as to close the slit 43 in order to transmit the movement stroke of the carriage 28 to the slider 42a. Both end portions of the stroke transmission belt 45 are fixed to the front end portion and the rear end portion of the table mounting seat 44, and one place in the middle is fixed to the restraining portion 47. Four pulleys 46 (see FIG. 12) are rotatably provided in the sealed case 41, and a stroke transmission belt 45 is stretched around these pulleys 46.

拘束部４７は第１の駆動機構部２７の密閉ケース３４に固定されている。従って、第１の駆動機構２７により例えば密閉ケース３４に対しキャリッジ２８及び密閉ケース４１が距離Ｌだけ移動したとすると、ワークテーブル２６は密閉ケース４１に対して距離Ｌだけ移動する。従って、このときワークテーブル２６は第１の駆動機構部２７の密閉ケース３４に対しては距離２Ｌだけ移動することになる。   The restraint portion 47 is fixed to the sealed case 34 of the first drive mechanism portion 27. Therefore, if the carriage 28 and the sealing case 41 are moved by the distance L with respect to the sealing case 34 by the first drive mechanism 27, for example, the work table 26 is moved by the distance L with respect to the sealing case 41. Accordingly, at this time, the work table 26 moves by a distance 2L with respect to the sealed case 34 of the first drive mechanism 27.

密閉ケース４１の底面には、排気孔４８（図１２参照）が形成されている。この排気孔４８はケース固定座２９の上面に形成された排気孔４９（図８参照）に連通しており、密閉ケース４１内の空気は排気孔４８，４９を通じてキャリッジ駆動機構２９の密閉ケース３４内に排気されるようになっている。
第２の駆動機構部５１は回転テーブル５２（図１３参照）を備えており、密閉ケース３４は図示しないボルトにより回転テーブル５２の上面に固定されている。また、第２の駆動機構部５１は回転テーブル５２を駆動する駆動モータ５３（図１３参照）を備えており、この駆動モータ５３は中空構造でアウターロータ型のダイレクトドライブモータである。 An exhaust hole 48 (see FIG. 12) is formed on the bottom surface of the sealed case 41. The exhaust hole 48 communicates with an exhaust hole 49 (see FIG. 8) formed on the upper surface of the case fixing seat 29, and air in the sealed case 41 passes through the exhaust holes 48, 49 and the sealed case 34 of the carriage drive mechanism 29. It is designed to be exhausted inside.
The second drive mechanism 51 includes a rotary table 52 (see FIG. 13), and the sealed case 34 is fixed to the upper surface of the rotary table 52 by a bolt (not shown). The second drive mechanism section 51 includes a drive motor 53 (see FIG. 13) that drives the rotary table 52. The drive motor 53 is a hollow-structure direct drive motor with an outer rotor.

密閉ケース３４内の底面及び回転テーブル５２を貫通して、排気孔５５（図１３参照）が形成されている。この排気孔５５は駆動モータ５３のモータ軸５３ａ及び密閉ケース５４を貫通して形成された排気通路５６に連通しており、密閉ケース３４内の空気は排気孔５５及び排気通路５６を通じて密閉ケース５４内に排気されるようになっている。モータ軸５３ａは駆動モータ５３のステータを構成し、密閉ケース５４に下端を固定されている。駆動モータ５３のロータを構成する外ハウジング５３ｂは、その上面を回転テーブル５２に固定されている。密閉ケース５４内にはシロッコファン５８が設けられ、その排気口は密閉ケース５４の排気口５４ａに面するようにされている。また、図示を省略するが、排気孔５５及び排気通路５６は第１の駆動機構部２７の駆動モータ３３等の配線ケーブルの通路も兼ねる。また、排気口５４ａは駆動モータ３３の配線に加え、駆動モータ５３及びシロッコファン５８の配線の通路も兼ねる。   An exhaust hole 55 (see FIG. 13) is formed through the bottom surface in the sealed case 34 and the rotary table 52. The exhaust hole 55 communicates with an exhaust passage 56 formed through the motor shaft 53 a and the sealing case 54 of the drive motor 53, and the air in the sealing case 34 passes through the exhaust hole 55 and the exhaust passage 56. It is designed to be exhausted inside. The motor shaft 53a constitutes the stator of the drive motor 53, and the lower end is fixed to the sealed case 54. The upper surface of the outer housing 53 b constituting the rotor of the drive motor 53 is fixed to the rotary table 52. A sirocco fan 58 is provided in the sealed case 54, and its exhaust port faces the exhaust port 54 a of the sealed case 54. Although not shown, the exhaust hole 55 and the exhaust passage 56 also serve as a passage for a wiring cable such as the drive motor 33 of the first drive mechanism 27. The exhaust port 54a also serves as a wiring path for the drive motor 53 and the sirocco fan 58 in addition to the wiring for the drive motor 33.

第３の駆動機構部５９は密閉ケース３４を図５中矢印Ｚ方向に搬送するキャリッジ６０（図５及び図６参照）と、このキャリッジ６０を図５中矢印Ｚ方向に往復駆動するキャリッジ駆動機構６１（図６参照）とを備えており、キャリッジ駆動機構６１はキャリッジ駆動部６２と、このキャリッジ駆動部６２と平行に設けられたケーブル案内部７５とから構成されている。   The third drive mechanism 59 is a carriage 60 (see FIGS. 5 and 6) that conveys the sealed case 34 in the direction of arrow Z in FIG. 5 and a carriage drive mechanism that reciprocates the carriage 60 in the direction of arrow Z in FIG. 61 (see FIG. 6), and the carriage drive mechanism 61 includes a carriage drive unit 62 and a cable guide unit 75 provided in parallel to the carriage drive unit 62.

キャリッジ駆動部６２はボールねじ６３（図１４参照）を備えており、このボールねじ６３のナット６３ａには、ナットブラケット６３ａを介してキャリッジ６０をナット６３ａに取付けるためのキャリッジ取付け座６４が設けられている。キャリッジ取付座６４はボールねじ６３と平行に設けられた二列のリニアガイド６４ａにより案内されている。また、キャリッジ駆動部６２はボールねじ駆動モータ６５（図５参照）を備えており、このボールねじ駆動モータ６５で発生した回転トルクは図示しない二個のプーリとタイミングベルトを介してボールねじ６３のねじ軸６３ｂ（図１４参照）に伝わるようになっている。なお、ねじ軸６３は両端部で密閉ケース６６に固定された不図示の軸受ユニットにより回転自在に支持されている。   The carriage drive unit 62 includes a ball screw 63 (see FIG. 14). A nut 63a of the ball screw 63 is provided with a carriage mounting seat 64 for mounting the carriage 60 to the nut 63a via a nut bracket 63a. ing. The carriage mounting seat 64 is guided by two rows of linear guides 64 a provided in parallel with the ball screw 63. The carriage drive unit 62 includes a ball screw drive motor 65 (see FIG. 5), and the rotational torque generated by the ball screw drive motor 65 is applied to the ball screw 63 via two pulleys and a timing belt (not shown). It is transmitted to the screw shaft 63b (see FIG. 14). The screw shaft 63 is rotatably supported by a bearing unit (not shown) fixed to the sealing case 66 at both ends.

さらに、キャリッジ駆動部６２はボールねじ６３を収容する密閉ケース６６を備えており、この密閉ケース６６には、キャリッジ取付け座６４を密閉ケース６６の外部に突出させるために、スリット６７，６８がキャリッジ６０の移動方向に沿って形成されている。また、キャリッジ駆動部６２は密閉ケース６６内の空気を吸気する排気装置としてのシロッコファン７３（図５参照）を備えており、ボールねじ６３及びリニアガイド６４ａで発生した摩耗粉は密閉ケース６６内の空気と共にシロッコファン７３で吸引され、図示しない排気ダクトを通じてクリーンルームの外部に排出されるようになっている。   Further, the carriage drive unit 62 includes a sealed case 66 that accommodates the ball screw 63, and slits 67 and 68 are formed in the sealed case 66 so that the carriage mounting seat 64 protrudes outside the sealed case 66. 60 along the moving direction. Further, the carriage drive unit 62 includes a sirocco fan 73 (see FIG. 5) as an exhaust device that sucks air in the sealed case 66, and wear powder generated by the ball screw 63 and the linear guide 64 a is contained in the sealed case 66. The air is sucked by the sirocco fan 73 and discharged to the outside of the clean room through an exhaust duct (not shown).

密閉ケース６６には、ボールねじ６３等で発生した摩耗粉がスリット６７，６８から密閉ケース６６の外部に飛散するのを防ぐために、スリット６７，６８をシールするシール機構６９，７０（図１４参照）が設けられている。このシール機構６９，７０はスリット６７，６８の最小幅よりも幅広に形成されたシールベルト７１と、シールベルト７１をスリット６７，６８の長手方向に走行可能に支持する複数個のプーリ７２とからなり、シールベルト７１の両端部はキャリッジ取付け座６４の前端部と後端部に固定されている。スリット６９，７０には、シールベルト７１の幅方向両端部を収容する溝が設けられている。   The sealing case 66 has sealing mechanisms 69 and 70 for sealing the slits 67 and 68 in order to prevent abrasion powder generated by the ball screw 63 and the like from scattering from the slits 67 and 68 to the outside of the sealing case 66 (see FIG. 14). ) Is provided. The seal mechanisms 69 and 70 include a seal belt 71 formed wider than the minimum width of the slits 67 and 68, and a plurality of pulleys 72 that support the seal belt 71 so that it can run in the longitudinal direction of the slits 67 and 68. Thus, both end portions of the seal belt 71 are fixed to the front end portion and the rear end portion of the carriage mounting seat 64. The slits 69 and 70 are provided with grooves for accommodating both end portions in the width direction of the seal belt 71.

ケーブル案内部７５はリニアガイド７６（図１４参照）を備えており、このリニアガイド７６のスライダ７６ａには、キャリッジ６０をスライダ７６ａに取付けるためのキャリッジ取付け座７７が設けられている。キャリッジ取付け座７７には、第１駆動機構部２７の駆動モータ３３、第２駆動機構部５１の駆動モータ５３等の配線ケーブルを保護すると共に案内するケーブル保護具（例えばケーブルベア（登録商標））１００の一端が固定される。ケーブル保護具１００は多数の互いに回動可能に連結された要素１００ａ…からなり、全体として可撓性を有し、長手方向の任意の位置で図５に破線で示すようにＵ字状に折り曲がり可能である。ケーブル保護具１００の他端は密閉ケース７８に固定される。   The cable guide portion 75 includes a linear guide 76 (see FIG. 14). A carriage mounting seat 77 for mounting the carriage 60 on the slider 76a is provided on the slider 76a of the linear guide 76. A cable protector (for example, a cable bear (registered trademark)) that protects and guides wiring cables such as the drive motor 33 of the first drive mechanism section 27 and the drive motor 53 of the second drive mechanism section 51 is provided on the carriage mounting seat 77. One end of 100 is fixed. The cable protector 100 is composed of a large number of elements 100a... Which are connected to each other so as to be rotatable. The cable protector 100 has flexibility as a whole and is folded into a U-shape at an arbitrary position in the longitudinal direction as indicated by a broken line in FIG. Can bend. The other end of the cable protector 100 is fixed to the sealing case 78.

また、ケーブル案内部７５はケーブル保護具１００及びリニアガイド７６を収容する密閉ケース７８を備えており、この密閉ケース７８には、キャリッジ取付け座７７を密閉ケース７８の外部に突出させるために、スリット７９がキャリッジ６０の移動方向に沿って形成されている。
密閉ケース７８内には、リニアガイド７６で発生した摩耗粉がスリット７９から密閉ケース７８の外部に飛散するのを防ぐために、スリット７９をシールするシール機構８０（図１４参照）が設けられている。このシール機構８０はスリット７９の最小幅よりも幅広に形成されたシールベルト８１と、シールベルト８１をスリット７９の長手方向に走行可能に支持する複数個のプーリ８２とからなり、シールベルト８１の両端部はキャリッジ取付け座７７の前端部と後端部に固定されている。スリット７９には、シールベルト８１の幅方向両端部を収容する溝部が設けられている。 The cable guide 75 includes a sealed case 78 that accommodates the cable protector 100 and the linear guide 76. The sealed case 78 has a slit for projecting the carriage mounting seat 77 to the outside of the sealed case 78. 79 is formed along the moving direction of the carriage 60.
A sealing mechanism 80 (see FIG. 14) that seals the slit 79 is provided in the sealed case 78 in order to prevent wear powder generated by the linear guide 76 from scattering from the slit 79 to the outside of the sealed case 78. . The seal mechanism 80 includes a seal belt 81 formed wider than the minimum width of the slit 79 and a plurality of pulleys 82 that support the seal belt 81 so as to run in the longitudinal direction of the slit 79. Both end portions are fixed to the front end portion and the rear end portion of the carriage mounting seat 77. The slit 79 is provided with a groove portion that accommodates both ends in the width direction of the seal belt 81.

スライダ７６ａの排気通路には、排気ダクト８３（図６参照）の一端部が接続されている。この排気ダクト８３の他端部は密閉ケース５４に形成された排気口５４ａ（図１３参照）に接続されており、密閉ケース５４内の空気は排気ダクト８３及びスライダ７６ａに設けられた排気通路を通って密閉ケース７８内に排気されるようになっている。また、駆動モータ３３，５３及びシロッコファン５８の配線ケーブルも同じ経路を通り、ケーブル保護具１００に固定される。そして、これらの配線ケーブルはケーブル保護具１００の他端から密閉ケース７８に設けられた貫通孔７８ａを経由し、外部へ導かれる。また、密閉ケース７８には排気装置としてのシロッコファン８４（図５参照）を備えており、ボールねじ３２やリニアガイド３０，４２，７６で発生した摩耗粉は密閉ケース７８内の空気と共にシロッコファン８４で吸引され、図示しない排気ダクトを通じてクリーンルームの外部に排出されるようになっている。   One end of an exhaust duct 83 (see FIG. 6) is connected to the exhaust passage of the slider 76a. The other end of the exhaust duct 83 is connected to an exhaust port 54a (see FIG. 13) formed in the sealed case 54, and air in the sealed case 54 passes through an exhaust passage provided in the exhaust duct 83 and the slider 76a. The air is exhausted through the sealed case 78. In addition, the wiring cables of the drive motors 33 and 53 and the sirocco fan 58 also pass through the same path and are fixed to the cable protector 100. These wiring cables are guided from the other end of the cable protector 100 to the outside via a through hole 78 a provided in the sealing case 78. Further, the sealed case 78 is provided with a sirocco fan 84 (see FIG. 5) as an exhaust device, and the wear powder generated by the ball screw 32 and the linear guides 30, 42, 76 together with the air in the sealed case 78 is a sirocco fan. The air is sucked at 84 and discharged to the outside of the clean room through an exhaust duct (not shown).

このように構成されるワーク搬送装置では、第１〜第３の駆動機構部２７，５１，６０内の空気を外部に排気する排気手段を排気ファン、好ましくはシロッコファン７３，８４から構成したことにより、排気装置として真空ポンプを使用した従来例と比較して、部品コストを低減できると共に装置のコンパクト化を図ることができる。さらに、シロッコファン５８の追加により可動部分の排気もより確実となる。また、排気装置として真空ポンプを使用した従来例のように、排気装置のメンテナンスに多くの費用や労力を要することもないので、メンテナンス性の向上を図ることができる。また、可動部である第１駆動機構部２７や第２駆動機構部５１のための配線ケーブルも密閉ケース３４、５４，７８等の内部に収容し、安全で且つケーブル保護具１００からの発塵が外部を汚染することもない。   In the workpiece transfer apparatus configured as described above, the exhaust means for exhausting the air in the first to third drive mechanism sections 27, 51, and 60 to the outside is composed of exhaust fans, preferably sirocco fans 73 and 84. Therefore, compared with the conventional example using a vacuum pump as an exhaust device, the parts cost can be reduced and the device can be made compact. Further, the addition of the sirocco fan 58 ensures more reliable exhaust of the movable part. Further, unlike the conventional example in which a vacuum pump is used as the exhaust device, maintenance of the exhaust device does not require much cost and labor, so that maintainability can be improved. In addition, wiring cables for the first drive mechanism 27 and the second drive mechanism 51, which are movable parts, are also housed inside the sealed cases 34, 54, 78, etc., and are safe and generate dust from the cable protector 100. Does not pollute the outside.

本発明の一実施形態に係るワーク搬送装置の平面図である。It is a top view of the workpiece conveyance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図１のII−II断面図である。It is II-II sectional drawing of FIG. 図１に示すワーク搬送装置の側面図である。It is a side view of the workpiece conveyance apparatus shown in FIG. 図１に示すワーク搬送装置の一部断面正面図である。It is a partial cross section front view of the workpiece conveyance apparatus shown in FIG. 本発明の他の実施形態に係るワーク搬送装置の正面図である。It is a front view of the workpiece conveyance apparatus which concerns on other embodiment of this invention. 図５に示すワーク搬送装置の平面図である。It is a top view of the workpiece conveyance apparatus shown in FIG. 図５に示す第1の駆動機構部の正面図である。FIG. 6 is a front view of the first drive mechanism section shown in FIG. 5. 図７のVIII−VIII断面図である。It is VIII-VIII sectional drawing of FIG. 図７に示すストローク伝達機構の平面図である。It is a top view of the stroke transmission mechanism shown in FIG. 図９に示すストローク伝達機構の側面図である。FIG. 10 is a side view of the stroke transmission mechanism shown in FIG. 9. 図９のXI−XI断面図である。It is XI-XI sectional drawing of FIG. 図１０のXII−XII断面図である。It is XII-XII sectional drawing of FIG. 図５に示す第２の駆動機構部の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the 2nd drive mechanism part shown in FIG. 図５のXIV−XIV断面図である。It is XIV-XIV sectional drawing of FIG. 図５のXV−XV断面図である。It is XV-XV sectional drawing of FIG. 図５のXVI−XVI断面図である。It is XVI-XVI sectional drawing of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

２，２８，６０ キャリッジ
３ ワーク固定座
４，３０，６１ キャリッジ駆動機構
５，３２，６３ ボールねじ
６，３１，４２，７６ リニアガイド
７，３３，６５ ボールねじ駆動モータ
８，１０ プーリ
９ タイミングベルト
１１，３４，４１，５４，６６，７８ 密閉ケース
１２，１３，３５，４３，６７，６８，７９ スリット
１４，１５，３６，６９，７０，８０ シール機構
１６，３７，７１，８１ シールベルト
１７，３８，４６，７２，８２ プーリ
１８，４８，４９，５５ 排気孔
１９ 排気装置
２０，５８，７３，８４ シロッコファン
２６ ワークテーブル
２７ 第１の駆動機構部
２９ ケース固定座
４０ ストローク伝達機構
４４ テーブル取付け座
４５ ストローク伝達ベルト
５１ 第２の駆動機構部
５２ 回転テーブル
５３ 駆動モータ
５６ 排気通路
５９ 第３の駆動機構部
８３ 排気ダクト 2, 28, 60 Carriage 3 Workpiece fixing seat 4, 30, 61 Carriage drive mechanism 5, 32, 63 Ball screw 6, 31, 42, 76 Linear guide 7, 33, 65 Ball screw drive motor 8, 10 Pulley 9 Timing belt 11, 34, 41, 54, 66, 78 Sealed case 12, 13, 35, 43, 67, 68, 79 Slit 14, 15, 36, 69, 70, 80 Seal mechanism 16, 37, 71, 81 Seal belt 17 , 38, 46, 72, 82 Pulley 18, 48, 49, 55 Exhaust hole 19 Exhaust device 20, 58, 73, 84 Sirocco fan 26 Work table 27 First drive mechanism 29 Case fixing seat 40 Stroke transmission mechanism 44 Table Mounting seat 45 Stroke transmission belt 51 Second drive mechanism 52 Rotary table 53 Dynamic motor 56 Exhaust passage 59 Third drive mechanism 83 Exhaust duct

Claims (4)

ワーク固定座を有するキャリッジと、該キャリッジを一軸方向に往復駆動するキャリッジ駆動機構と、該キャリッジ駆動機構を収容する密閉ケースと、該密閉ケースに形成された排気孔を通じて前記密閉ケース内の空気を外部に排気する排気手段とを備え、前記密閉ケースに形成されたスリットをシールするシール機構を、前記スリットの最小幅よりも幅広に形成されたシールベルトと、このシールベルトを前記キャリッジの移動方向に走行可能に支持する複数のプーリとで構成したワーク搬送装置において、
前記排気手段を排気ファンから構成したことを特徴とするワーク搬送装置。 A carriage having a workpiece fixing seat, a carriage drive mechanism that reciprocally drives the carriage in one axial direction, a sealed case that accommodates the carriage drive mechanism, and air in the sealed case through an exhaust hole formed in the sealed case A sealing mechanism that seals a slit formed in the hermetic case, a sealing belt formed wider than a minimum width of the slit, and a moving direction of the carriage. In a workpiece transfer device configured with a plurality of pulleys supported so as to be able to travel,
A work transfer apparatus characterized in that the exhaust means comprises an exhaust fan. 請求項１記載のワーク搬送装置において、前記排気ファンはシロッコファンであることを特徴とするワーク搬送装置。   2. The work transfer apparatus according to claim 1, wherein the exhaust fan is a sirocco fan. ワークテーブルと、該ワークテーブルを一軸方向に往復駆動する第１の駆動機構部と、該第１の駆動機構部を前記ワークテーブルの移動方向に対して垂直な軸回りに旋回駆動する第２の駆動機構部と、該第２の駆動機構部を前記ワークテーブルの移動方向に対して直角な方向に往復駆動する第３の駆動機構部と、前記第１〜第３の駆動機構部内の空気を外部に排気する排気手段とを備えたワーク搬送装置において、
前記排気手段を排気ファンから構成したことを特徴とするワーク搬送装置。 A work table, a first drive mechanism section that reciprocates the work table in one axis direction, and a second drive mechanism that pivots the first drive mechanism section about an axis perpendicular to the movement direction of the work table. A drive mechanism, a third drive mechanism that reciprocates the second drive mechanism in a direction perpendicular to the direction of movement of the work table, and air in the first to third drive mechanisms. In a work transfer device provided with an exhaust means for exhausting outside,
A work transfer device characterized in that the exhaust means comprises an exhaust fan. 請求項３記載のワーク搬送装置において、前記排気ファンはシロッコファンであることを特徴とするワーク搬送装置。   4. The work transfer apparatus according to claim 3, wherein the exhaust fan is a sirocco fan.

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