JP2006258916A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ネガ型カラーフィルタ材料50を面上に塗布し、露光処理(図3(a))、現像処理(図3(b))、及び加熱処理(図3(d))をこの順に行ってカラーフィルタを形成するカラーフィルタの製造方法であって、現像処理と加熱処理の間で、現像処理されたカラーフィルタ材料50に光照射を行う光照射工程(図3(c))を含む。
【選択図】図3
Description
図5は、従来の固体撮像素子用カラーフィルタの製造工程を説明するための図である。図5(a)に示すように、感光性を有する顔料分散型の着色レジスト(ネガ型のカラーフィルタ材料)を平坦化膜100上に塗布してカラーフィルタ材料膜を形成し、所定パターンのマスクMを用いて露光処理を行う。次に、図5(b)に示すように、露光した部分以外を取り除く現像処理を行う。次に、現像処理後のカラーフィルタ材料膜を加熱する加熱処理を行って所定パターンのカラーフィルタを形成する。カラーフィルタ材料膜の塗布、露光処理、現像処理、加熱処理の一連の工程を固体撮像素子に搭載する所望のカラーフィルタの色数分繰り返し行うことで、所望の色数を有した固体撮像素子用カラーフィルタが製造される。
図1,2に示す固体撮像素子は、n型のシリコン基板1表面部に光電変換部であるフォトダイオード30が多数形成され、各フォトダイオード30で発生した信号電荷を列方向(図2中のY方向)に転送するための電荷転送部40が、列方向に配設された複数のフォトダイオード30からなる複数のフォトダイオード列の間を蛇行して形成される。
図3は、本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子のカラーフィルタの製造工程を示す図である。
平坦化層74から下の層を従来の固体撮像素子と同じ製造工程で形成した後、図3(a)に示すように、感光性を有する顔料分散型の着色レジスト(ネガ型のカラーフィルタ材料)50を平坦化層74上に塗布し、所定パターンのマスクMを用いて露光処理を行う。尚、図3では、カラーフィルタ材料50において架橋反応が起こった部分にのみハッチングをしている。
2 ゲート酸化膜
3a 第1の電極
3b 第2の電極
3 電荷転送電極
5 電極間絶縁膜
6 絶縁膜
71 遮光膜
72 絶縁膜
74 平坦化層
50 カラーフィルタ
50a 架橋未反応領域
M マスク
Claims (6)
- ネガ型カラーフィルタ材料を面上に塗布し、露光処理、現像処理、及び加熱処理をこの順に行ってカラーフィルタを形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記現像処理と前記加熱処理の間で、前記現像処理されたカラーフィルタ材料に光照射を行う光照射工程を含むカラーフィルタの製造方法。 - 請求項1記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記光照射工程は、前記現像処理されたカラーフィルタ材料に対して斜めに光を照射するカラーフィルタの製造方法。 - 請求項2記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記光照射工程は、前記光照射用の光源と前記現像処理されたカラーフィルタ材料との位置を相対的に変化させながら光照射を行うカラーフィルタの製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記光照射工程では、前記露光処理に用いる光源と同じ光源を用いて光照射を行うカラーフィルタの製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記カラーフィルタは、原色系又は補色系のカラーフィルタであるカラーフィルタの製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記カラーフィルタは、原色系又は補色系のカラーフィルタとNDフィルタとを組み合わせたカラーフィルタであるカラーフィルタの製造方法。
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