JP2006253463A - カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、基板にカラーフィルタをパターン形成するカラーフィルタの製造方法であって、基板の平面上に複数のフィルタ部を格子縞状に形成するフィルタ部形成領域と、複数のフィルタ部同士を接続する接続部を形成する接続部形成領域とを有するレチクルを用いて露光を行うことで、第1のカラーフィルタパターンを形成する。
【選択図】 図1
Description
また、カラーフィルタのパターンを形成するレチクルを作成際には、レチクルは、そのレチクルパターンが設計通りに形成されず、レチクル検査工程での検査エラー発生の原因となっていた。例えば、図7に示すようなカラーフィルタ1のパターンを形成するレチクルでは、平面視において略四角形を有する各カラーフィルタ2,3,4の四隅同士を高い精度で点接触させることが困難であり、僅かにずれることで、レチクルとして欠陥として検出されてしまう。このため、レチクルパターンを良好に再現することが困難である点で改善の余地があった。
図1は、本発明にかかるカラーフィルタの製造方法によって形成されるカラーフィルタを平面視した状態を示す図である。図2は、図1のX−X線方向矢視図である。
図1及び図2に示すように、基板S上には、G(緑)のカラーフィルタ11がパターン形成されている。なお、カラーフィルタ11のカラーはGに限定されない。
図3及び図4に示すように、本実施形態では、上記実施形態で形成した第1のカラーフィルタパターンに、更に、別のカラーフィルタ12,13を形成するものである。
11a フィルタ部
11b 接続部
S 基板
Claims (3)
- 基板にカラーフィルタをパターン形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記基板の平面上に複数のフィルタ部を格子縞状に形成するフィルタ部形成領域と、前記複数のフィルタ部同士を接続する接続部を形成する接続部形成領域とを有するレチクルを用いて露光を行うことで、第1のカラーフィルタパターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 前記基板において、前記フィルタ部及び前記接続部を除く領域に、フィルタ部を形成するフィルタ部形成領域を有するレチクルを用いて露光を行うことで、第2のカラーフィルタパターンを形成することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 上記請求項1又は2に記載のカラーフィルタ製造方法によって、カラーフィルタが形成された固体撮像素子。
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---|---|---|---|---|
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2005
- 2005-03-11 JP JP2005069144A patent/JP2006253463A/ja active Pending
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