JP2006251119A - 電気光学装置及びその駆動方法、並びに電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電気光学装置は、第1基板に、複数の画素電極と、複数のデータ線及び複数の走査線と、複数のスイッチング素子と、複数の画素電極をフィールド反転駆動方式で駆動するための駆動部と、基板上で平面的に見て複数の画素電極の間隙に位置し、画素電極の下層側に層間絶縁膜を介して位置する間隙導電膜とを備え、第2基板に、対向電極を備える。更に、間隙導電膜の電位を、フィールド反転駆動方式で複数の画素電極が正フィールドに駆動される際に所定電位に対して正側の電位に設定し、フィールド反転駆動方式で複数の画素電極が負フィールドに駆動される際に所定電位に対して負側の電位に設定する交流電源部とを備える。
【選択図】 図9
Description
この態様によれば、間隙導電膜は、間隙における光抜けを防止するための遮光膜及びスイッチング素子を遮光するための遮光膜のうち少なくとも一方の一部を兼ねているので、新たに間隙導電膜を追加しなくても、これら遮光膜の少なくとも一方の一部によって、各画素の開口領域の縁付近で、液晶の配向不良等の電気光学物質の動作不良が発生を防止して、光抜け或いは光漏れを防止することができる。
第1実施形態の液晶装置について、図1から図10を参照して説明する。
まず、第1層には、例えば、Ti、Cr、W、Ta、Mo等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む、金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド、これらを積層したもの、或いは導電性ポリシリコン等からなる走査線11aが設けられている。この走査線11aは、平面的にみて、図5のX方向に沿うように、ストライプ状にパターニングされている。より詳しく見ると、ストライプ状の走査線11aは、図5のX方向に沿うように延びる本線部と、データ線6a或いは容量配線400が延在する図5のY方向に延びる突出部とを備えている。なお、隣接する走査線11aから延びる突出部は相互に接続されることはなく、したがって、該走査線11aは1本1本分断された形となっている。
次に、第2層として、ゲート電極3aを含むTFT30が設けられている。TFT30は、図7に示すように、LDD(Lightly Doped Drain)構造を有しており、その構成要素としては、上述したゲート電極3a、例えばポリシリコン膜からなりゲート電極3aからの電界によりチャネルが形成される半導体層1aのチャネル領域1a’、ゲート電極3aと半導体層1aとを絶縁するゲート絶縁膜を含む絶縁膜2、半導体層1aにおける低濃度ソース領域1b及び低濃度ドレイン領域1c並びに高濃度ソース領域1d及び高濃度ドレイン領域1eを備えている。
以上説明した走査線11aの上、かつ、TFT30の下には、例えばシリコン酸化膜等からなる下地絶縁膜12が設けられている。下地絶縁膜12は、走査線11aからTFT30を層間絶縁する機能のほか、TFTアレイ基板10の全面に形成されることにより、TFTアレイ基板10の表面研磨時における荒れや、洗浄後に残る汚れ等で画素スイッチング用のTFT30の特性変化を防止する機能を有する。
さて、前述の第2層に続けて第3層には、蓄積容量70が設けられている。蓄積容量70は、TFT30の高濃度ドレイン領域1e及び画素電極9aに接続された画素電位側容量電極としての下部電極71と、固定電位側容量電極としての容量電極300とが、誘電体膜75を介して対向配置されることにより形成されている。この蓄積容量70によれば、画素電極9aにおける電位保持特性を顕著に高めることが可能となる。また、本実施形態に係る蓄積容量70は、図5の平面図を見るとわかるように、画素電極9aの形成領域にほぼ対応する光透過領域には至らないように形成されているため(換言すれば、遮光領域内に収まるように形成されているため)、電気光学装置全体の画素開口率は比較的大きく維持され、これにより、より明るい画像を表示することが可能となる。
以上説明したTFT30ないしゲート電極3a及び中継電極719の上、かつ、蓄積容量70の下には、例えば、NSG(ノンシリケートガラス)、PSG(リンシリケートガラス)、BSG(ボロンシリケートガラス)、BPSG(ボロンリンシリケートガラス)等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、あるいは好ましくはNSGからなる第1層間絶縁膜41が形成されている。
さて、前述の第3層に続けて第4層には、データ線6aが設けられている。このデータ線6aは、図7に示すように、下層より順に、アルミニウムからなる層(図7における符号41A参照)、窒化チタンからなる層(図7における符号41TN参照)、窒化シリコン膜からなる層(図7における符号401参照)の三層構造を有する膜として形成されている。窒化シリコン膜は、その下層のアルミニウム層と窒化チタン層を覆うように少し大きなサイズにパターニングされている。
以上説明した蓄積容量70の上、かつ、データ線6aの下には、例えばNSG、PSG,BSG、BPSG等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、あるいは好ましくはTEOSガスを用いたプラズマCVD法によって形成された第2層間絶縁膜42が形成されている。この第2層間絶縁膜42には、TFT30の高濃度ソース領域1dとデータ線6aとを電気的に接続する、前記のコンタクトホール81が開孔されているとともに、前記容量配線用中継層6a1と蓄積容量70の上部電極たる容量電極300とを電気的に接続するコンタクトホール801が開孔されている。さらに、第2層間絶縁膜42には、第2中継電極6a2と中継電極719とを電気的に接続するための、前記のコンタクトホール882が形成されている。
さて、前述の第4層に続けて第5層には、本発明に係る「間隙遮光膜」の一例として容量配線400が形成されている。この容量配線400は、平面的にみると、図6に示すように、図中X方向及びY方向それぞれに延在するように、格子状に形成されている。該容量配線400のうち図中Y方向に延在する部分については特に、データ線6aを覆うように、且つ、該データ線6aよりも幅広に形成されている。また、図中X方向に延在する部分については、後述の第3中継電極402を形成する領域を確保するために、各画素電極9aの一辺の中央付近に切り欠き部を有している。この容量配線400は、画素電極9aが配置された画像表示領域10aからその周囲に延設され、交流電源部710と電気的に接続されることで、後述するように電位が変化する。
以上説明した前述のデータ線6aの上、かつ、容量配線400の下には、NSG、PSG、BSG、BPSG等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、あるいは好ましくはTEOSガスを用いたプラズマCVD法によって形成された第3層間絶縁膜43が形成されている。この第3層間絶縁膜43には、前記の容量配線400と容量配線用中継層6a1とを電気的に接続するためのコンタクトホール803、及び、第3中継電極402と第2中継電極6a2とを電気的に接続するためのコンタクトホール804がそれぞれ開孔されている。
最後に、第6層には、上述したように画素電極9aがマトリクス状に形成され、該画素電極9a上に配向膜16が形成されている。そして、この画素電極9a下には、NSG、PSG、BSG、BPSG等のシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等、あるいは好ましくはNSGからなる第4層間絶縁膜44が形成されている。この第4層間絶縁膜44には、画素電極9a及び前記の第3中継電極402間を電気的に接続するためのコンタクトホール89が開孔されている。画素電極9aとTFT30との間は、このコンタクトホール89及び第3中継層402並びに前述したコンタクトホール804、第2中継層6a2、コンタクトホール882、中継電極719、コンタクトホール881、下部電極71及びコンタクトホール83を介して、電気的に接続されることとなる。
本実施形態の変形例として、基板上の他の導電膜とは別の専用の透明導電膜を本発明に係る「間隙導電膜」として設けてもよい。即ち、図9に示したのと同一の断面構成において、容量配線400の代わりに、間隙導電膜が設けられてもよい。この場合、本発明に係る「間隙導電膜」を他の導電膜を兼ねて構成する場合と比較して設計自由度が高く、より効果的に各画素の開口領域の縁付近で、液晶の配向不良等の電気光学物質の動作不良が発生を防止して、光抜け或いは光漏れを防止することができる。
第2実施形態の液晶装置について、図3から図5、及び図11を参照して説明する。ここに図11は、第2実施形態における図8と同趣旨の説明図である。尚、図11において、図8に示した第1実施形態に係る構成要素と同様の構成要素に同一の参照符合を付し、それらの説明は適宜省略する。
第3実施形態の液晶装置について、図3から図5、及び、図11から図13を参照して説明する。ここに図12は、画像表示領域における部分領域について説明するための説明図である。図13は、変形例における図6と同趣旨の図である。尚、図12及び図13において、図1及び図3に示した第1実施形態に係る構成要素と同様の構成要素に同一の参照符合を付し、それらの説明は適宜省略する。
次に、上述した電気光学装置である液晶装置を各種の電子機器に適用する場合について説明する。
Claims (10)
- 一対の第1及び第2基板間に電気光学物質が挟持されてなり、
前記第1基板に、(i)画像表示領域に配列された複数の画素電極と、(ii)相交差する複数のデータ線及び複数の走査線と、(iii)該複数のデータ線及び複数の走査線に電気的に接続されており前記複数の画素電極へ供給される画像信号をスイッチング制御する複数のスイッチング素子と、(iv)少なくとも前記画像表示領域の一部である部分領域について、前記複数の画素電極に対応する画素部をフィールド反転駆動方式で駆動するように、前記走査線に走査信号を供給しつつ前記データ線に前記画像信号を供給する駆動部と、(v)前記基板上で平面的に見て前記複数の画素電極の間隙に位置すると共に、前記画素電極の下層側に層間絶縁膜を介して位置する間隙導電膜とを備え、
前記第2基板に、前記複数の画素電極に対向配置された対向電極を備え、
前記間隙導電膜の電位を、前記フィールド反転駆動方式で前記複数の画素電極が正フィールドに駆動される際に所定電位に対して正側の電位に設定し、前記フィールド反転駆動方式で前記複数の画素電極が負フィールドに駆動される際に前記所定電位に対して負側の電位に設定する電源部を備えた
ことを特徴とする電気光学装置。 - 前記電源部は、前記間隙導電膜の電位を、前記正側の電位に設定する際に、前記正側の電位として前記複数の画素電極の最も高い電位以上の電位に設定し、前記負側の電位に設定する際に、前記負側の電位として前記複数の画素電極の最も低い電位以下の電位に設定することを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
- 前記電源部は、前記間隙導電膜の電位を、前記正側及び前記負側の電位に夫々設定する際に、前記画素電極として前記画像表示領域内で黒表示を行う画素に対応する画素電極と前記対向電極との間における縦電界が最も垂直に近付く電位に設定することを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
- 前記駆動部は、
前記複数の走査線に対して順番に、走査信号を供給する走査線駆動回路と、
前記画像表示領域を、表示データに係るフィールド期間をn(但し、nは2以上の自然数)で割った1/nフィールド期間で垂直走査すると共に前記表示データに係る水平走査期間を前記nで割った1/n水平走査期間で水平走査するように、前記表示データに基づいて画像信号を生成して前記複数のデータ線に供給する画像信号供給回路と
を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電気光学装置。 - 前記駆動部は、
前記画像表示領域を、前記走査線に沿う分割線により分割して得られる複数の部分領域について、該複数の部分領域に対して交替に且つ各部分領域における前記複数の走査線に対して順番に、走査信号を供給する走査線駆動回路と、
前記複数の部分領域の各々を、表示データに係る水平走査期間をn(但し、nは2以上の自然数)で割った1/n水平走査期間で水平走査するように、前記表示データに基づいて画像信号を生成して前記複数のデータ線に供給する画像信号供給回路と
を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電気光学装置。 - 前記間隙導電膜は、前記画素電極に容量を付加する蓄積容量の容量線又は固定電位側容量電極の少なくとも一部を兼ねることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 前記間隙導電膜は、前記間隙における光抜けを防止するための遮光膜及び前記スイッチング素子を遮光するための遮光膜のうち少なくとも一方の一部を兼ねることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 前記間隙導電膜は、前記電源部により電位が設定されるために専用の透明導電膜を含んでなることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。
- 一対の第1及び第2基板間に電気光学物質が挟持されてなり、(I)前記第1基板に、(i)画像表示領域に配列された複数の画素電極と、(ii)相交差する複数のデータ線及び複数の走査線と、(iii)該複数のデータ線及び複数の走査線に電気的に接続されており前記複数の画素電極へ供給される画像信号をスイッチング制御する複数のスイッチング素子と、(iv)少なくとも前記画像表示領域の一部である部分領域について、前記複数の画素電極に対応する画素部をフィールド反転駆動方式で駆動するように、前記走査線に走査信号を供給しつつ前記データ線に前記画像信号を供給する駆動部と、(v)前記基板上で平面的に見て前記複数の画素電極の間隙に位置すると共に、前記画素電極の下層側に層間絶縁膜を介して位置する間隙導電膜とを備え、(II)前記第2基板に、前記複数の画素電極に対向配置された対向電極を備えた電気光学装置を駆動する電気光学装置の駆動方法であって、
前記駆動部によって、少なくとも前記部分領域について、前記複数の画素電極を前記フィールド反転駆動方式で駆動する駆動工程と、
前記間隙導電膜の電位を、少なくとも前記部分領域について、前記フィールド反転駆動方式で前記複数の画素電極が正フィールドに駆動される際に、所定電位に対して正側の電位に設定する正電位設定工程と、
前記間隙導電膜の電位を、少なくとも前記部分領域について、前記フィールド反転駆動方式で前記複数の画素電極が負フィールドに駆動される際に、前記所定電位に対して負側の電位に設定する負電位設定工程と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の駆動方法。
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JPH05341323A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-24 | Canon Inc | 液晶表示装置 |
JPH10221715A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-08-21 | Sharp Corp | 液晶表示装置及びその駆動方法 |
JP2003157063A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-05-30 | Seiko Epson Corp | 電気光学パネルの駆動回路、駆動方法、電気光学装置および電子機器 |
JP2003315768A (ja) * | 2003-03-28 | 2003-11-06 | Seiko Epson Corp | 液晶装置の駆動方法及び表示システム |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH05127195A (ja) * | 1991-11-08 | 1993-05-25 | Toshiba Corp | 液晶表示装置 |
JPH05341323A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-24 | Canon Inc | 液晶表示装置 |
JPH10221715A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-08-21 | Sharp Corp | 液晶表示装置及びその駆動方法 |
JP2003157063A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-05-30 | Seiko Epson Corp | 電気光学パネルの駆動回路、駆動方法、電気光学装置および電子機器 |
JP2003315768A (ja) * | 2003-03-28 | 2003-11-06 | Seiko Epson Corp | 液晶装置の駆動方法及び表示システム |
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