JP2006242884A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 検査時の欠陥の位置確認を容易にし、検査時間を削減することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】 画像処理部24は、欠陥の大きさを示す情報に基づいて、目視によって欠陥の判断が可能な大きさの欠陥があるかどうかを判断する。条件に合致する欠陥が存在した場合、画像処理部24は、欠陥の画像データを用いて、条件に合致した欠陥を表示するための表示画像データを生成し、表示部25へ出力する。表示部25は、表示画像データに基づいて、欠陥を含むウェハ表面の画像を表示する。
【選択図】 図1
Description
Claims (5)
- 撮像素子によって撮像され、画像処理された画像を用いて、基板上の欠陥の目視検査を行う外観検査装置において、
前記画像処理によって生成された欠陥情報に基づいて、検査可能な欠陥を選択すると共に、前記欠陥の画像データを用いて、選択した前記欠陥を表示するための表示画像データを生成する画像処理手段と、
前記表示画像データに基づいて、前記画像処理手段によって選択された前記欠陥を表示する表示手段と、
を備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 前記欠陥情報は、欠陥の大きさに関する情報であることを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記欠陥情報は、欠陥の種類に関する情報であることを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
- 検査可能な欠陥が存在しなかった場合に、目視検査を省略することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかの項に記載の外観検査装置。
- 目視検査時の前記基板の移動または揺動が検査者の手動によって行われることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかの項に記載の外観検査装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2005
- 2005-03-07 JP JP2005062182A patent/JP2006242884A/ja active Pending
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