JP2006237551A - 光通信モジュールおよび多重モード分散型フィードバックレーザーダイオード - Google Patents

光通信モジュールおよび多重モード分散型フィードバックレーザーダイオード Download PDF

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Abstract

【課題】光アイソレータを内部に必要としない光通信モジュールを提供する。
【解決手段】第1の光信号を光伝送デバイスに伝送するとともに第2の光信号を受信するように適合された光伝送モジュールが提供される。光伝送モジュールは、多重モード分散型フィードバックレーザーダイオード(MM−DFB LD)と受信機とを備えている。第1の光信号はMM−DFB LDによって放たれ、光伝送デバイスによって伝播される。受信機は、光伝送デバイスによって伝播された第2の光信号を受信するために、第2の光信号の伝播経路に配置されている。さらに、非対称の開口数(NA)を持つレンズを具備した他の光通信モジュールが提供される。その上、1.0〜5.0の範囲内で変動されるKL値を持つMM−DFB LDデバイスを有するLDパッケージがさらに提供される。
【選択図】図3

Description

本発明は、光通信モジュールに関し、さらに詳細には光アイソレーターを内部で使用せずに多重モード分散型フィードバックレーザーダイオード(MM−DFB LD)を備えた光通信モジュールに関する。
今日、インターネットおよび様々な種類のマルチメディアアプリケーションの急速な発展に従って、より多くの適用帯域に対する要求が増大している。長距離通信の分野において以前最も頻繁に適用された光ファイバー通信技術は、今は、短距離通信で使用されそうである。他方、光ファイバー通信の分野は、技術要件を満たすように、ユーザに迫っている。光通信モジュールの発展および製造は、光通信の分野で重要な役割を果たしている。従来の光通信モジュールは、光源としてファブリーペローレーザーダイオードまたは分散型フィードバックレーザーダイオードなどのようなレーザーダイオードを利用している。
一般的に、従来のファブリーペローレーザーダイオードは、ファイバーツーカーブ(FTTC)として知られた短距離低速度光通信モジュールにおいて最も頻繁に使用されている。そのようなモジュールは、分散特性により、約1310nmの帯域で最も適用される可能性がある。ファブリーペローレーザーダイオードを比較すると、DFB LDは分散による制限が最も少ない利点を有する。それ故に、分散型フィードバックダイオードを持つ光通信モジュールは、長距離(>10km)高速度光通信において主に利用されている。意外なことにも、従来のDFB LDは単一モード分散型フィードバックレーザーダイオード(SM−DFB LD)である。そのような従来の光通信モジュールは、以下のように図示される。
図1は従来の光通信モジュールを概略的に示す。GE−PON ONU 1000系PX20は記述のための例である。光通信モジュール100は、SMD−DFB LD110、PIN−TIA受信機120、反射鏡130、光アイソレーター140、ハウジング150を備えている。SM−DFB LD110は、光ファイバー160に光信号を放ってインターネットにその光信号を伝送するためハウジング150内に提供されている。PIN−TIA受信機120および反射鏡130はハウジング150内に提供されている。光信号が光ファイバー160から光通信モジュール100に伝わると、光ファイバー内に伝送された光信号が反射鏡130によってPIN−TIA受信機120に反射される。
意外なことにも、SM−DFB LDが光に対して相対的に感度がよく光ファイバー160から戻った予想外の光の反射(たとえば他の光ノードからの反射)が相当頻繁に生じるので、SM−DFB LD110に対して反射光により引き起こされた干渉を防止するために光アイソレーターがSM−DFB LD110と光ファイバー160との間で頻繁に利用されている。
図2は従来のSM−DFB LDの断面図である。図1および図2を参照すると、SM−DFB LD110にはSM−DFB LDデバイス112が含まれる。図2から明確に理解され得ることは、SM−DFB LDデバイス112は、単一モードの歩留まり率を向上させるために、1/4波長シフト格子の技術を通常使用しており、非反射(AR)層114がレーザーダイオードの両側に形成されていることである。このタイプのSM−DFB LDデバイス112に対して、格子層116の設計は、KL値を減少するために調節され、ここにKは結合係数でありLはキャビティ長であり、レーザー出力効率の特定レベルを維持することができるようにしている。それから、KL値が相対的に低いので、SM−DFB LDデバイス112は反射光に対して相対的に感度がよい。なお、SM DFB LDのコストは、サイドモード圧縮比(SMSR)の歩留まりによって著しく影響されることが理解される。
上記を考慮すると、SM−DFB LD110および光アイソレーター140の高額なコストにより、光通信モジュール100の製造コストをさらに減少するのを困難にしている。
本発明の目的は、多重モード分散型フィードバックレーザーダイオード(MM−DFB LD)を備え光アイソレーターを内部に必要としない光通信モジュールを提供することである。
本発明の他の目的は、分散型フィードバックレーザーダイオードと非対称の開口数(NA)を備えたレンズとを有する光通信モジュールを提供することである。
本発明のさらなる目的は、反射光または光ノイズに対して感度がよいMM−DFB LDを提供することである。
第1の光信号を光伝送デバイスに伝送するとともにそれから第2の光信号を受信する光伝送モジュールが、本発明において提供される。光通信モジュールは、MM−DFB LDおよび受信機を備えており、MM―DFB LDは第1の光信号を光伝送デバイスに放つとともに光信号を伝送するのに適している。受信機は、光伝送デバイスによって伝送された第2の信号を受信するために、第2の光信号の経路に提供されている。
発明の一態様では、前述の光通信モジュールが、MM−DFB LDと光伝送デバイスとの間に提供されたレンズをさらに備えている。好適な態様では、レンズは、MM−DFB LD内に一体化されている。加えて、MM−DFB LDに隣接するレンズの一側は第1の開口数を有し、光伝送デバイスに隣接するレンズの側は第2の開口数を有している。
発明の一態様では、光通信モジュールは、光伝送デバイスと受信機との間のみならず第2の光信号の伝送経路に提供された反射鏡をさらに備えている。
発明の一態様では、光通信モジュールはハウジングをさらに備えており、MM−DFB LDおよび受信機がハウジング内に提供されている。
一態様では、MM−DFB LDは、支柱、MM−DFB LDデバイス、およびカバーを備えている。MM−DFB LDデバイスは、支柱に提供されるとともに電気的に接続されている。カバーは、MM−DFB LDデバイスと支柱の少なくとも一部とを覆っている。MM−DFB LDは、基板、バッファ層、第1のクラッド層、活性層、第2のクラッド層、接触層、および格子層からなり、バッファ層が基板に提供され、第1のクラッド層がバッファ層に提供され、活性層が第1のクラッド層に提供され、第2のクラッド層が活性層に提供され、接触層が第2のクラッド層に提供され、そして、格子層が第1および第2のクラッド層の間に埋め込まれている。
発明の一態様では、前述のMM−DFB LDデバイスのKL値は、たとえば、1.0と5.0の間である。
発明の一態様では、光通信モジュールデバイスは、非反射(AR)層と高反射(HR)層とからなり、AR層が出力面に提供され、HR層がAR被覆と反対側に提供されている。
発明の一態様では、受信機は、たとえば、PIN−TIA受信機である。
本発明は、第1の光信号を光伝送デバイスに伝送するとともに光伝送デバイスから第2の光信号を受信するのに適した光通信モジュールをさらに提供する。光通信モジュールは、DFB LD、受信機、およびレンズを備えている。DFB LDは第1の光信号を光伝送デバイスに放つために採用され、それによって光伝送デバイスは光信号を伝送する。DFB LDは、たとえば、MM−DFB LDまたはSM−DFB LDである。受信機は、光伝送デバイスによって伝送される第2の光信号を受信するために、第2の光信号の伝送経路に提供されている。加えて、レンズは、DFB LDと光伝送デバイスとの間に提供されている。レンズは、MM−DFB LDに向かう側に第1の開口数と、光伝送デバイスに向かう側に第2の開口数とを有している。第1の開口数は第2のものより大きい。
本発明の一態様によれば、レンズは、光通信モジュールに一体化可能である。
本発明の一態様では、光通信モジュールは、光伝送デバイスと受信機との間のみならず第2の光信号の伝送経路にも提供された反射鏡をさらに備えることができる。
本発明の一態様では、光通信モジュールはさらにハウジングを備えることができ、DFB LDおよび受信機がそのハウジングの内部に提供されている。
本発明の一態様では、DFB LDは支柱、DFB LDデバイス、およびカバーを備えている。DFB LDデバイスは、支柱に提供されるとともに電気的に接続されている。カバーは、DFB LDと支柱の少なくとも一部とを覆っている。
本発明の一態様では、本発明によるDFB LDデバイスのKL値が1.0と5.0の間にある。
本発明の一態様では、DFB LDが、AR層およびHR層をさらに備えることができ、AR層が出力層に提供され、HR層がAR層と反対側に提供されている。
本発明の一態様では、本発明の好適な態様における受信機がここではPIN−TIA受信機である。
本発明は、支柱、MM−DFB LDデバイス、およびカバーを備えたMM−DFB LDをさらに提供する。MM−DFB LDデバイスは、支柱に提供されるとともに電気的に接続されている。MM−DFB LDデバイスは光出力層を有している。MM−DFB LDデバイスのKL値は、1.0と5.0の間にある。カバーは、MM−DFB LDデバイスと支柱の少なくとも一部とを覆っている。
本発明の一態様では、MM−DFB LDデバイスは、基板、バッファ層、第1のクラッド層、活性層、第2のクラッド層、接触層、および格子層からなる。バッファ層は基板に提供され、第1のクラッド層はバッファ層に提供され、活性層は第1のクラッド層に提供され、第2のクラッド層が活性層に提供され、接触層が第2のクラッド層に提供され、格子層が第1および第2のクラッド層に埋め込まれている。
本発明の一態様では、光通信モジュールデバイスは、AR層およびHR層をさらに備えることができ、AR層が出力層に提供され、HR層がAR層と反対側に提供されている。
本発明では、反射光に対して相対的に低感度を持つDFB LD、またはレンズの非対称開口数の一方が本発明で採用されているので、光アイソレーターは本発明において必ずしも必要ではない。それ故に、それに対応して製造コストは削減可能である。
本発明の他の目的および利点は、以下の記述から明らかになる。
添付図面は、発明のさらなる理解を提供するために含まれ、この明細書の一部を構成している。図面は、発明の実施の形態を例示し、明細書の記載とともに、発明の原理を説明するために役立っている。
図3は、本発明の一実施の形態による光通信モジュールの概略図である。本発明の光通信モジュール200は、第1の光信号を光伝送デバイス260に伝送し、第2の光信号を光伝送デバイス260から受信するように適合されている。図3では、光通信モジュール200はMM−DFB LD210および受信機220からなり、MM−DFB LDは、第1の光信号を光伝送モジュール260に放つとともにその第1の光信号をインターネットに伝送するように採用されている。受信機220は、光伝送デバイス260から伝送された第2の光信号を受信するために、第2の光信号の伝送経路に提供されている。好適な実施の形態では、光伝送デバイス260は、たとえば、光ファイバー、光導波路、および他の等価な伝送デバイスからなるグループから選択された1つである。意外なことにも、従来のSM−DFB LD110(図1参照)と比較すると、好適な実施の形態は、反射光に対して感度がよくないMM−DFB LD210を光源として採用しており、それ故に、光通信モジュール200は、その内部に光アイソレーターを必ずしも必要とせず、それに応じて製造コストは低減可能である。
本発明における一実施の形態では、光通信モジュール200はさらに反射鏡230を備えることができる。反射鏡230が、光通信デバイス260と受信機220との間に提供されるとともに、第2の光信号の伝送経路上にも提供されている。内部に反射鏡230を提供する目的は、特定の角度で受信機220に対して第2の光信号を反射するためである。しかしながら、本発明では、反射鏡230は、光通信モジュールにとって絶対的に必要とされない。なお、発明における特定の実施の形態は、たとえば、説明に役立つ目的のために記述されており、反射鏡230がMM−DFB LD210および受信機230の位置の調節によって省略可能であることを当業者が認識するので、様々な等価の変形例が発明の範囲内で可能である。
図3を参照すると、実施の形態の光通信モジュール200は、MM−DFB LD210、受信機220、および反射鏡230に内部で適合するハウジング250を備えている。当業者が認識することは、本発明のMM−DFB LD210および受信機220もまた他の光学製品の内部で一体化可能であるが、この特定のハウジング250に一体化されていない。
図3でも、この実施の形態の光通信モジュール200はさらにレンズ270を備えることができ、レンズ270はMM−DFB LD210と光伝送デバイス260との間に提供されている。(図3で示されるように)レンズ270をMM−DFB LD210に一体化することは好ましい。
意外なことにも、レンズ270は、単一の開口数を持つレンズ、または、非対称の開口数を持つレンズのうち一方であることがある。非対称の開口数を持つレンズが例として取られている。レンズ270は、MM−DFB LD210に向かう側に第1の開口数と、光伝送デバイス260に向かう側に第2の開口数とを有し、第1の開口数は第2の開口数より大きい。そのような設計により、MM−DFB LD200が、反射光による干渉を少なくすることが可能になる。なお、レンズ270の形状、個数、および位置が、実用的な要件に従って変化しても良い。
図4はMM−DFB LDのスペクトル図である。図4を参照すると、この実施の形態のMM−DFB LDのスペクトルは、SMSR=|[−10log(P1/P2)] |に従って位置1310nmの近くに2つのピークP1およびP2(P1□P2)を有し、それは、SMSR=|[−10log(P1/P2)] |< 30dBの条件を満たす。従って、それは、MM−DFB LDのスペクトルがSMSR=|[−10log(P1/P2)]|< 30dBの条件を満たす時に、本発明によってMM−DFB LDとして定義されている。それに対して、本発明は、DFB LDのスペクトルがSMSR=|[−10log(P1/P2)]|> 30dBの条件を満たす時に、DFB LDをSM−DFB LDとして定義する。
図4に従って、ピークP1およびP2は、たとえば、本発明を例示するだけであり、そして一方、ピーク数とP1□P2の条件とはその限界として解釈されるべきでない。要するに、DFB LDのスペクトルが2つ以上のスペクトルP1,P2,…,Pnを有するとともにピークがSMSR=|[−10log(Px/Py)]|< 30dBの条件を満し、ここに1<x<n、1<y<n、およびx□yである時に、DFB LDがMM−DFB LDと呼ばれ得る。
図5は本発明によるMM−DFB LDデバイスの断面図である。図5を参照すると、本発明のMM−DFB LDデバイス212の好適な実施の形態は、たとえば、基板212a、バッファ層212b、第1のクラッド層212c、活性層212d、格子層212e、第2のクラッド層212f、および接触層212gを備えており、バッファ層212bが基板212aに提供され、第1のクラッド層212cがバッファ層212bに提供され、活性層212dが第1のカバー層21cに提供され、第2のクラッド層212fが活性層212dに提供され、接触層212gが第2のクラッド層212fに提供され、格子層212dが第1および第2のクラッド層212c、212fの間に埋め込まれている。なお、実施の形態におけるMM−DFB LDデバイス212のKL値は1.0と5.0の間である。
図5を参照すると、好適な実施の形態のMM−DFB LDデバイス212は、AR層214およびHR層214aをさらに備えることができる。AR層214は出力層に配置され、HR層214aはAR層214の反対側に配置されている。本発明のMM−DFB LDチップ212は、この実施の形態ではAR層214およびHR層214aの設計を利用するとともに1.0〜5.0の範囲内で変わるKL値を有するので、反射光に対して感度がよくなく、それ故に、光アイソレーターは本発明では必要ではない。
図6は、本発明によるMM−DFB LDツーキャン(TO Can)の断面図であり、ツーキャンはパッケージ技術として知られている。図6を参照すると、この実施の形態のMM−DFB LD210は、支柱216、MM−DFB LDデバイス212、およびカバー218を備えている。MM−DFB LDデバイス212は、支柱216に提供されるとともに電気的に接続されている。カバー218は、MM−DFB LDデバイス212と、支柱216の少なくとも一部とを覆っている。支柱216は、回路基板216aおよび接続ピン216bとの2つの部品を含んでおり、回路基板216aが使用されてMM−DFB LDデバイス212および/または他のデバイス(たとえば検出器など)が支持され、接続ピン216bが、回路基板216aを介してMM−DFB LDデバイス212および/または他のデバイスに電気的に接続されている。
図7AはMM−DFB LDの波長と温度との関係の図であり、そして一方、図7BはMM−DFB LDのスペクトル幅と温度との関係の図である。図7Aおよび図7Bを参照すると、MM−DFB LDが25〜75℃の範囲内で変動する温度の下で作動されると、MM−DFB LDから放たれた光の波長は、1306nm〜1311nmの範囲内で変動され、スペクトル幅は約0.72nmである。波長範囲とスペクトル幅との関係は、IEEE802.3ah規格の基準を満たしている。なお、説明目的のために特にここではIEEE802.3ah規格が取られている。本発明がITU−T G.957などのような他の光通信規格に適用されることを当業者は認識しているので、本発明の範囲は、上述の引用文に限定されるべきでない。
なお、他の光通信モジュールに対して上記開示に由来することを得ることができる。光通信モジュールには、DFB LD、受信機、レンズが含まれ、それらの構成要素の構造および関係は、以前説明され、繰り返さない。詳細には、発明において、MM−DFB LDまたはSM−DFB LDが、非対称の開口数を持つレンズとともに提供されている。それ故に、反射光の干渉は、光通信モジュール内でそのような提供を利用することによって、減少可能である。
上記を考慮すると、本発明が、一側に提供されたAR層と他側に提供されたHR層とを有する前記MM−DFB LDを利用するので、光出力効率がより高くなり、MM−DFB LDは、光通信モジュールの背面反射に対しての感度を低減させるために、より大きなKL値を持つ格子を採用できる。ところで、MM−DFB LDはもっと良好な出力効率を有しているので、MM−DFB LDを持つ光通信モジュールは、光結合効率を減少させることによって、反射光の干渉をさらに低減できる。上記の特定の設計の組合せによれば、高価な光アイソレーターは光通信モジュールから除去され得る。
さらに、発明のMM−DFB LDには、より大きなKL値を持つ格子が含まれるので、背面反射に対する抵抗がより大きくなり、MM−DFB LDに対するSMSRの仕様の要件が相対的に緩くなる。それ故に、製造歩留まりが向上可能であり、製造コストが低減される。
上記を考慮すると、本発明は、少なくとも以下のような利点を有する。
1.発明の光伝送モジュールは光アイソレーターを使用せずに設計され、それに応じて製品コストが低減可能である。
2.発明の光伝送モジュールは、非対称の開口数を持つレンズを利用することによって、DFB DLが反射光により干渉されるのを効率的に防止できる。
3.設計に従って発明のMM−DFB LDは、そのAR層およびHR層を使用し、それにより、レーザー出力効率が増大可能になる。
本発明の上記好適な実施の形態の他の変形および適合が、特定の要件を満たすようになされ得る。この開示は、範囲を限定せずに発明を例示するように意図されている。好適な実施の形態において開示された発明を組み込んだ全ての変形は、添付の請求項の範囲内にあるように、またはその請求項が名称を与えた等価物の範囲内にあるように解釈されるべきである。
従来の光通信モジュールの概略図である。 従来の1/4波長シフトSM−DFB LDの断面図である。 本発明の一実施の形態による光通信モジュールの概略図である。 MM−DFB LDのスペクトル図である。 本発明の一実施の形態によるMM−DFB LDデバイスの断面図である。 本発明の一実施の形態によるMM−DFB LDツーキャンの断面図である。 MM−DFB LDの波長と温度との間の関係の図である。 MM−DFB LDのスペクトル幅と温度との間の関係の図である。

Claims (23)

  1. 第1の光信号を光伝送モジュールに伝送し、前記光伝送モジュールから第2の光信号を受信する際の使用に適する光通信モジュールであって、
    前記第1の光信号を前記光伝送モジュールに放ち、前記光伝送デバイスを介して前記光信号を伝送するように適合された多重モード分散型フィードバックレーザーダイオード(MM−DFB LD)と、
    前記光伝送デバイスによって伝送された前記第2の光信号を受信するために前記第2の光信号の経路に提供された受信機とを備えていることを特徴とする光通信モジュール。
  2. 前記MM−DFB LDと前記光伝送デバイスとの間に提供されるレンズをさらに備えていることを特徴とする請求項1記載の光通信モジュール。
  3. 前記レンズが、前記MM−DFB LDに一体化されていることを特徴とする請求項2記載の光通信モジュール。
  4. 前記レンズが、前記MM−DFB LDに向けての第1の側に第1の開口数と、前記光伝送デバイスに向けての第2の側に第2の開口数とを有し、前記第1の開口数が前記第2の開口数より大きくしていることを特徴とする請求項2記載の光通信モジュール。
  5. 前記光伝送デバイスと前記受信機との間のみならず前記第2の光信号の伝送経路にも提供された反射鏡をさらに備えていることを特徴とする請求項1記載の光通信モジュール。
  6. ハウジングをさらに備え、
    前記MM−DFB LDと前記受信機とが前記ハウジングの内部に提供されていることを特徴とする請求項1記載の光通信モジュール。
  7. 前記MM−DFB LDが、
    支柱と、
    前記支柱に提供されるとともに電気的に接続され、かつ、光出力面を有するMM−DFB LDデバイスと、
    前記MM−DFB LDと前記支柱の少なくとも一部との上方を覆うカバーとを備えていることを特徴とする請求項1記載の光通信モジュール。
  8. 前記MM−DFB LDデバイスが、
    支柱と、
    前記支柱に提供されたバッファ層と、
    前記バッファ層に提供された第1のクラッド層と、
    前記第1のクラッド層に提供された活性層と、
    前記活性層に提供された第2のクラッド層と、
    前記第2のクラッド層に提供された接触層と、
    前記第1および第2のクラッド層の間に埋め込まれた格子層とを備えていることを特徴とする請求項7記載の光通信モジュール。
  9. 前記MM−DFB LDデバイスが1.0〜5.0の範囲内で変動されるKL値を有することを特徴とする請求項7記載の光通信モジュール。
  10. 前記MM−DFB LDデバイスが、前記出力層に提供された非反射(AR)層と、
    前記AR層の反対側に提供された高反射(HR)層とをさらに備えていることを特徴とする請求項7記載の光通信モジュール。
  11. 前記受信機がPIN−TIA受信機であることを特徴とする請求項1記載の光通信モジュール。
  12. 第1の光信号を光伝送デバイスに伝送し、前記光伝送デバイスから第2の光信号を受信するように適合された光通信モジュールであって、
    第1の光信号を光伝送デバイスに放つように適合され、それによって前記光信号を伝送する分散型フィードバックレーザーダイオード(DFB LD)と、
    前記光伝送デバイスによって伝送された前記第2の信号を受信するために前記第2の光信号の経路に提供された受信機と、
    前記DFB LDと前記光伝送デバイスとの間に提供されたレンズとを備え、
    前記レンズが、前記DFB LDに向けての第1の側に第1の開口数と、前記光伝送デバイスに向けての第2の側に第2の開口数とを有し、前記第1の開口数が前記第2の開口数より大きくしていることを特徴とする光通信モジュール。
  13. 前記DFB LDが、多重モードDFB LDまたは単一モードDFB LDの一方であることを特徴とする請求項12記載の光通信モジュール。
  14. 前記レンズが前記DFB LDに一体化されていることを特徴とする請求項12記載の光通信モジュール。
  15. 前記光伝送デバイスと前記受信機との間のみならず前記第2の光信号の伝送経路にも提供された反射鏡をさらに備えていることを特徴とする請求項12記載の光通信モジュール。
  16. ハウジングをさらに備え、
    前記DFB LDと前記受信機とが前記ハウジングの内部に提供されていることを特徴とする請求項12記載の光通信モジュール。
  17. 前記DFB LDが、
    支柱と、
    前記支柱に提供されるとともに電気的に接続され、かつ、光出力面を有するDFB LDデバイスと、
    前記DFB LDと前記支柱の少なくとも一部とを覆うカバーとを備えていることを特徴とする請求項12記載の光通信モジュール。
  18. 前記DFB LDデバイスが、1.0〜5.0の範囲内で変動されるKL値を有することを特徴とする請求項17記載の光通信モジュール。
  19. 前記DFB LDデバイスが、
    前記出力面に提供された非反射(AR)層と、
    前記AR層の反対側に提供された高反射(HR)層とをさらに備えていることを特徴とする請求項17記載の光通信モジュール。
  20. 前記受信機が、PIN−TIA受信機を有することを特徴とする請求項17記載の光通信モジュール。
  21. 多重モード分散型フィードバックレーザーダイオード(MM−DFB LD)であって、
    支柱と、
    1.0〜5.0の範囲内で変動されるKL値を有し、前記支柱に提供されるとともに電気的に接続され、光出力面を有するMM−DFB LDデバイスと、
    前記MM−DFB LDと前記支柱の少なくとも一部との上方を覆うカバーとを備えていることを特徴とする多重モード分散型フィードバックレーザーダイオード。
  22. 前記MM−DFB LDデバイスが、
    基板と、
    前記基板に提供されたバッファ層と、
    前記バッファ層に提供された第1のクラッド層と、
    前記第1のクラッド層に提供された活性層と、
    前記活性層に提供された第2のクラッド層と、
    前記第2のクラッド層に提供された接触層と、
    前記第1および第2のクラッド層の間に埋め込まれた格子層とを備えていることを特徴とする請求項21記載の多重モード分散型フィードバックレーザーダイオード。
  23. 前記MM−DFB LDデバイスが、
    前記出力面に提供された非反射(AR)層と、
    前記AR層の反対側に提供された高反射(HR)層とをさらに備えていることを特徴とする請求項21記載の多重モード分散型フィードバックレーザーダイオード。
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