JP2006234681A - 立体双楕円型光学装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】双楕円面鏡の光軸と外部光源と検出器を結ぶ光軸を立体的に配置し、双楕円面鏡の共通焦点には試料を設置し、残りの2つの焦点には外周部が円錐ミラーでその中心軸上に45度に傾いた平面ミラーを内蔵している複合ミラーを配置することで、内部の45度ミラーで信号光を測定し、外周の円錐ミラーで非測定光を双楕円面鏡外部に排除することで、迷光を減らし、高精度な光学測定を可能にする。
【選択図】 図1
Description
Claims (7)
- それぞれ内面が鏡面となった入射側楕円面鏡と受光側楕円面鏡とを、1つの焦点を共通焦点とし、前記共通焦点と当該共通焦点以外の前記入射側楕円面鏡の第1の焦点及び前記受光側楕円面鏡の第2の焦点が一直線の光軸上に位置するように組み合わせ、上下に開口部が設けられた双楕円面鏡と、
試料を前記共通焦点の位置に保持する試料保持部と、
試料照射用の入射光を、前記開口部から前記光軸に垂直な第1の軸に沿って前記第1の焦点に入射させるための第1の反射鏡と、
前記第1の焦点に配置され、前記第1の軸の回りに回転自在な第2の反射鏡と、
前記第2の焦点に配置され、前記第1の軸に平行な第2の軸の回りに回転自在な第3の反射鏡と、
前記第3の反射鏡で反射された光を検出器に向けて反射する第4の反射鏡とを備え、
前記第2の反射鏡は、前記第1の反射鏡で反射された入射光を前記入射側楕円面鏡の内面で反射させて前記共通焦点に入射させ、前記第3の反射鏡は、試料と相互作用したのち前記受光側楕円面鏡の内面で反射した測定光を前記第4の反射鏡に入射させることを特徴とする立体双楕円型光学装置。 - 請求項1記載の立体双楕円型光学装置において、前記入射側楕円面鏡内部の光軸に対して入射光が存在する側と反対側の空間の少なくとも一部及び/又は前記受光側楕円面鏡内部の光軸に対して測定光が存在する側と反対側の空間の少なくとも一部に挿入される光吸収部材を備えることを特徴とする立体双楕円型光学装置。
- 請求項1記載の立体双楕円型光学装置において、前記第2の反射鏡及び/又は第3の反射鏡は回転軸に接続された円錐部材の内部に配置され、前記円錐部材は、外面が鏡面であり、頂点から内部に配置された反射鏡まで延びる穴と、円錐側面から内部に配置された反射鏡まで延びる穴を有することを特徴とする立体双楕円型光学装置。
- 請求項1記載の立体双楕円型光学装置において、前記第2の反射鏡及び/又は第3の反射鏡は回転軸に接続された円錐部材の内部に配置され、前記円錐部材は、外面が鏡面であり、底面から内部に配置された反射鏡まで延びる穴と、円錐側面から内部に配置された反射鏡まで延びる穴を有することを特徴とする立体双楕円型光学装置。
- 請求項1記載の立体双楕円型光学装置において、前記第2の反射鏡及び/又は第3の反射鏡は回転軸に接続された部材の内部に配置され、前記部材は、外面が光吸収面であり、内部の反射鏡から部材側面まで前記回転軸に平行に延びる穴及び内部の反射鏡から部材側面まで前記回転軸に垂直に延びる穴を有することを特徴とする立体双楕円型光学装置。
- 請求項1記載の立体双楕円型光学装置において、前記第3の反射鏡は、回転軸に接続された円錐部材を備え、前記円錐部材は、外面が鏡面であり、試料からの正反射成分を入射させて吸収する穴を側面に有することを特徴とする立体双楕円型光学装置。
- それぞれ内面が鏡面となった入射側楕円面鏡と受光側楕円面鏡とを、1つの焦点を共通焦点とし、前記共通焦点と当該共通焦点以外の前記入射側楕円面鏡の第1の焦点及び前記受光側楕円面鏡の第2の焦点が一直線の光軸上に位置するように組み合わせ、前記光軸と入射側楕円面鏡と受光側楕円面鏡との交点にそれぞれ穴が開けられた双楕円面鏡と、
試料を前記共通焦点の位置に保持する試料保持部と、
前記第1の焦点に配置され、前記光軸に垂直な第1の軸の回りに回転自在な第1の反射鏡と、
前記第2の焦点に配置され、前記第1の軸に平行な第2の軸の回りに回転自在な第2の反射鏡と、
前記入射側楕円面鏡内部の光軸に対して入射光が存在する側と反対側の空間の少なくとも一部及び/又は前記受光側楕円面鏡内部の光軸に対して測定光が存在する側と反対側の空間の少なくとも一部に挿入される光吸収部材を備えることを特徴とする平面双楕円型光学装置。
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