JP2006234450A - 光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、固体撮像素子の検査に用いる光源装置に改良を加えたものである。本装置は、光を出力する光生成部と、この光生成部からの光を入射し、固体撮像素子に光を照射するレンズ部と、このレンズ部と光生成部との間に、レンズ部の焦点距離より短い、所望の位置に配置される開口絞りとを備えたことを特徴とする装置である。
【選択図】 図1
Description
固体撮像素子の検査に用いる光源装置において、
光を出力する光生成部と、
この光生成部からの光を入射し、前記固体撮像素子に光を照射するレンズ部と、
このレンズ部と前記光生成部との間に、レンズ部の焦点距離より短い所望の位置に配置される開口絞りと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、
レンズ部は、固体撮像素子に対して、光軸上結像距離より短い所望の位置に配置されることを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の発明において、
光生成部は、光を入射し、照度を均一化して出射する照度均一化素子であることを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、
光生成部の出射面に近接して、照明エリア規制パターンを設けたことを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明において、
固体撮像素子はオンチップマイクロレンズ付きであることを特徴とするものである。
8,80 CCDセンサ
9,10 レンズ
11 開口絞り
12 照度規制パターン
Claims (5)
- 固体撮像素子の検査に用いる光源装置において、
光を出力する光生成部と、
この光生成部からの光を入射し、前記固体撮像素子に光を照射するレンズ部と、
このレンズ部と前記光生成部との間に、レンズ部の焦点距離より短い、所望の位置に配置される開口絞りと
を備えたことを特徴とする光源装置。 - レンズ部は、固体撮像素子に対して、光軸上結像距離より短い所望の位置に配置されることを特徴とする請求項1記載の光源装置。
- 光生成部は、光を入射し、照度を均一化して出射する照度均一化素子であることを特徴とする請求項1または2記載の光源装置。
- 光生成部の出射面に近接して、照明エリア規制パターンを設けたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光源装置。
- 固体撮像素子はオンチップマイクロレンズ付きであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光源装置。
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JP2010541197A (ja) * | 2007-09-24 | 2010-12-24 | フラウンホーファーゲゼルシャフト ツール フォルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシユング エー.フアー. | イメージセンサ |
JP2014006240A (ja) * | 2012-05-30 | 2014-01-16 | Arkray Inc | 気泡低減装置、クロマトグラフィ装置、気泡低減方法、及び気泡低減プログラム |
CN103543304A (zh) * | 2012-07-13 | 2014-01-29 | 旺矽科技股份有限公司 | 高频探针卡 |
WO2024127516A1 (ja) * | 2022-12-13 | 2024-06-20 | 株式会社インターアクション | 光学モジュールおよび検査装置 |
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---|---|---|---|---|
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0571732U (ja) * | 1992-01-10 | 1993-09-28 | 株式会社ニコン | 照明補助装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008059767A1 (fr) * | 2006-11-15 | 2008-05-22 | Japan Electronic Materials Corp. | Appareil d'inspection de dispositif optique |
JP5283266B2 (ja) * | 2006-11-15 | 2013-09-04 | 日本電子材料株式会社 | 光デバイス用検査装置 |
JP2010541197A (ja) * | 2007-09-24 | 2010-12-24 | フラウンホーファーゲゼルシャフト ツール フォルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシユング エー.フアー. | イメージセンサ |
JP2014006240A (ja) * | 2012-05-30 | 2014-01-16 | Arkray Inc | 気泡低減装置、クロマトグラフィ装置、気泡低減方法、及び気泡低減プログラム |
CN103543304A (zh) * | 2012-07-13 | 2014-01-29 | 旺矽科技股份有限公司 | 高频探针卡 |
CN103543304B (zh) * | 2012-07-13 | 2016-05-18 | 旺矽科技股份有限公司 | 高频探针卡 |
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WO2024128175A1 (ja) * | 2022-12-13 | 2024-06-20 | 株式会社インターアクション | 光学モジュール、検査装置および光学モジュールの設計方法 |
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