JP2006231530A - 液体移送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】製造段階における歩留まり及び信頼性が高い液体移送装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド3は、複数の個別インク流路が形成された流路ユニット31と、流路ユニット31の上面に形成された振動板40、振動板40の上面に形成された圧電材料層41、及び、圧電材料層41の上面に圧力室10に対応して形成された複数の個別電極16を有するアクチュエータユニット32とを備えている。振動板40の隣接する圧力室10の間に対向する領域には、圧力室10の長手方向に延びた複数の穴42が形成されており、穴42の2つの端部42aは、穴42の幅の半分よりも曲率半径が大きく、中心角が180°よりも大きい円弧形状になっている。また、圧電材料層41の穴42及びその端部42aに対向する領域には、穴42と同じ大きさの複数の穴43及びその端部43aが形成されている。
【選択図】図3
【解決手段】インクジェットヘッド3は、複数の個別インク流路が形成された流路ユニット31と、流路ユニット31の上面に形成された振動板40、振動板40の上面に形成された圧電材料層41、及び、圧電材料層41の上面に圧力室10に対応して形成された複数の個別電極16を有するアクチュエータユニット32とを備えている。振動板40の隣接する圧力室10の間に対向する領域には、圧力室10の長手方向に延びた複数の穴42が形成されており、穴42の2つの端部42aは、穴42の幅の半分よりも曲率半径が大きく、中心角が180°よりも大きい円弧形状になっている。また、圧電材料層41の穴42及びその端部42aに対向する領域には、穴42と同じ大きさの複数の穴43及びその端部43aが形成されている。
【選択図】図3
Description
本発明は、液体を移送する液体移送装置に関する。
液体を移送する液体移送装置として、ノズルからインクを吐出して印字を行うインクジェットヘッドがある。その中でも、夫々がノズルに連通する複数の圧力室とこれら複数の圧力室を覆う振動板とを備え、振動板をアクチュエータにより変形させることで圧力室内のインクの圧力を変化させて、圧力室に連通するノズルからインクを吐出するように構成されているものがある。このようなインクジェットヘッドにおいては、ある圧力室を覆う振動板の部分の変形が別の圧力室に対向する領域に伝播する現象、いわゆるクロストークが発生してしまい、複数のノズルから吐出されるインクの吐出特性がばらつく虞がある。ここで、振動板の剛性が高いほど、このような変形は伝播しやすく、クロストークの影響は大きくなる。また、振動板の圧力室周辺の部分の剛性が高いと振動板を変形させるためのアクチュエータの駆動電圧が大きくなる。
そこで、振動板の圧力室の周辺の領域に対向する部分に貫通状の穴や溝が形成されており、この領域の剛性が部分的に低下したものが提案されている。例えば、特許文献1のインクジェットヘッドは、圧力室を形成する圧力板の表面に弾性体層を介在させて加圧板(振動板)が設けられており、さらに、その表面にピエゾ素子(アクチュエータ)が設けられており、加圧板の圧力室の間に対向する部分にはスリット又は溝が形成されている。これによると、加圧板に形成されたスリット又は溝により、加圧板のこの部分の剛性が低下しているので、クロストークを低減することができる。さらに、ピエゾ素子をより低い電圧で駆動させることができるのでピエゾ素子の駆動効率が向上する。
しかしながら、このようなスリット又は溝が加圧板に形成されていると、これらの端部に応力が集中しやすくなる。このため、インクジェットヘッドの製造段階における加圧板の取り扱いの際、又は、ピエゾ素子の駆動の際等に、振動板のスリット又は溝の端部における応力集中により加圧板にクラックが発生しやすくなり、製造段階における歩留まりの低下、あるいは、信頼性の低下を招く虞がある。
本発明の目的は、液体移送装置において、クロストークの低減及びアクチュエータの駆動効率の向上を実現すると共に、製造時の歩留まりの向上及び信頼性の向上を実現することである。
本発明の液体移送装置は、平面に沿って隣接配置された複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、この流路ユニットの一表面に配置され、複数の圧力室の容積を選択的に変化させるアクチュエータユニットとを備え、アクチュエータユニットは、複数の圧力室を覆う振動板、この振動板の圧力室と反対側において少なくとも複数の圧力室の夫々に対応する領域に配置された圧電材料層、複数の圧力室に夫々対向して配置され、且つ、所定の駆動電圧が印加される複数の個別電極、及び、これら複数の個別電極との間で圧電材料層を挟む共通電極を有し、振動板の、平面に直交する方向から見て、隣接する2つの個別電極の間の領域と重なる部分には、振動板の他の部分よりも厚みが低下した複数の厚み低下部が夫々延在しており、各厚み低下部の2つの端部の曲率半径は、この厚み低下部の幅の半分の長さよりも大きい。
これによると、厚み低下部により個別電極間において振動板の剛性が低下しているため、ある圧力室に対向する個別電極に駆動電圧が印加されたときの振動板の変形が他の圧力室に対向する領域に伝播しにくくなり、クロストークが低減する。また、振動板の圧力室に対向する部分が変形しやすくなり、個別電極に駆動電圧が印加されて圧電材料層が変形したときに振動板がより変形しやすくなり、アクチュエータユニットの駆動効率が向上する。さらに、厚み低下部の2つの端部の曲率半径が厚み低下部の幅の半分の長さよりも大きくなっていることから、この2つの端部での応力集中が緩和されることになる。そのため、製造段階における振動板の取り扱いの際に、この2つの端部に応力が集中して振動板に塑性変形、歪み、クラック等が発生するのが防止され、液体移送装置の製造段階における歩留まりが向上する。また、液体移送装置の使用時に振動板が変形する場合においても、この2つの端部での応力集中が緩和され、振動板にクラック等が発生するのが防止されるので、液体移送装置の信頼性が向上する。尚、厚み低下部としては、部分的に厚みが低下した溝や凹部状のものだけでなく、貫通状の穴も含まれる。
また、本発明の液体移送装置において、圧電材料層は、複数の圧力室に跨って連続的に形成されていてもよい。これによると、圧電材料層を複数の圧力室に対して一度に形成することができるので、圧電材料層の形成を容易に行うことができ、製造工程を簡略化することができる。
また、本発明の液体移送装置において、複数の圧力室は所定の一方向に配列されており、アクチュエータユニットは、複数の圧力室に夫々対応して所定の一方向に配列されて、複数の圧力室の容積を夫々変化させる複数のアクチュエータを備え、各アクチュエータは、少なくとも、振動板及び圧電材料層の対応する1つの圧力室と対向する部分と、この圧力室と対向する1つの個別電極と、この個別電極に接続された接点部とを含んでおり、厚み低下部は、平面に直交する方向から見て、複数のアクチュエータの所定の一方向と直交する方向の2つの端を夫々結ぶ2本の直線の内側の領域に配置されていてもよい。
これによると、厚み低下部(端部も含む)が、圧力室の配列方向に延びて、アクチュエータの2つの端を夫々結ぶ2本の直線の内側の領域に配置され、この線からはみ出していないため、応力集中を緩和するために厚み低下部の端部の曲率半径を大きくしても、圧力室の配列方向と直交する方向に隣接する圧力室の間隔が大きくならず、複数の圧力室及びアクチュエータを高密度に配置することができる。
このとき、複数の圧力室は、夫々、所定の一方向と直交する方向に延びる平行な2つの対向辺を有する略長円の平面形状を有し、前記複数の厚み低下部は、圧力室の対向辺に沿って延び、さらに、対向辺よりも両方向に長く延びていてもよい。このように、圧力室がその配列方向に直交する2つの平行対向辺を有する略長円形状に形成されている場合には、隣接する2つの圧力室の対向辺の間の領域においてこれらの圧力室間の距離が最も小さくなり、この領域において振動板の変形が隣の圧力室に対向する領域に伝播しやすい。そこで、この領域に圧力室の対向辺に沿ってこれらの対向辺の両端部よりも外側まで延びた厚み低下部を形成することにより、クロストークを確実に低減することができる。
また、複数の圧力室は、夫々略菱形の平面形状を有し、且つ、菱形の隣り合う2辺と夫々平行な2つの方向にマトリクス状に配列されており、複数の厚み低下部は、圧力室の菱形の4辺に沿って夫々延びていてもよい。このように菱形の平面形状を有する圧力室が菱形の隣り合う2辺と夫々平行な2つの方向にマトリクス状に配列されている場合には、隣接する圧力室の菱形の辺が向かい合う領域において、振動板の変形が隣接する圧力室に伝播しやすいので、この領域に圧力室の菱形の4辺に沿って延びた厚み低下部を形成することによりクロストークを確実に低減することができる。
また、本発明の液体移送装置において、各厚み低下部の2つの端部は、夫々、中心角が180度よりも大きい円弧状に形成されていてもよい。これによると、各厚み低下部の端部の面積を極力小さくしつつ、端部における応力集中を緩和するのに十分な曲率半径を得ることができる。
また、本発明の液体移送装置において、複数の厚み低下部は、振動板の複数の圧力室の間の領域と重なる部分に夫々形成された貫通状の穴であってもよい。これによると、圧力室の間に形成された貫通状の穴により、振動板のこの部分の剛性が確実に低下するため、振動板の変形が他の圧力室に対向する領域に伝播しにくくなり、クロストークを確実に低減することができる。さらに、個別電極に駆動電圧が印加されたときに、振動板がより変形しやすくなるため、アクチュエータユニットの駆動効率が向上する。
このとき、本発明の液体移送装置は、圧電材料層の、平面に直交する方向から見て複数の厚み低下部に重なる領域に、複数の貫通穴が夫々形成されていてもよい。これによると、圧電材料層に形成された貫通穴により、圧電材料層の圧力室周辺の領域における剛性が低下するため、振動板の変形が他の圧力室に対向する領域に伝播しにくくなり、クロストークを確実に低減することができる。
また、本発明の液体移送装置において、複数の厚み低下部は、振動板の前記圧力室と反対側の面の、複数の個別電極の間の領域と重なる部分に夫々形成された複数の溝であってもよい。これによると、個別電極の間の領域に形成された溝により、振動板のこの部分の剛性が低下するため、ある圧力室に対向する振動板の変形が他の圧力室に対向する領域に伝播しにくくなり、クロストークを低減することができる。また、溝により振動板の圧力室に対向する部分がより変形しやすくなるため、アクチュエータユニットの駆動効率が向上する。また、このような溝は、振動板を貫通していないので振動板の圧力室に重なる部分にも形成することができる。そして、振動板の個別電極に対向する領域の周りに溝が配置されている場合には、振動板がさらに変形しやすくなるため、圧電材料層の駆動効率がさらに向上する。
また、本発明の液体移送装置において、複数の厚み低下部は、複数の個別電極に夫々対応して設けられ、各厚み低下部は、平面に直交する方向から見て、対応する個別電極をその一部を除いて取り囲むように延在していてもよい。これによると、厚み低下部が圧力室を取り囲むように形成されているため、クロストークをより確実に低減することができる。また、厚み低下部が個別電極を完全に取り囲んでいる場合よりも振動板の強度が高くなり、振動板が破損しにくい。さらに、振動板の表面の厚み低下部が形成されていない領域に個別電極と接続される配線を容易に形成することができる。
以下に、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。本実施の形態は、本発明を記録用紙にインクを吐出して記録を行うインクジェットヘッドに適用した一例である。
まず、インクジェットヘッド3を備えたインクジェットプリンタ1について簡単に説明する。図1に示すように、インクジェットプリンタ1は図1の左右方向(走査方向)に移動可能なキャリッジ2と、このキャリッジ2に設けられて記録用紙Pに対してインクを噴射するシリアル式のインクジェットヘッド3(液体移送装置)と、記録用紙Pを図1の前方(紙送り方向)へ搬送する搬送ローラ4等を備えている。インクジェットヘッド3はキャリッジ2と一体的に走査方向へ移動して、ノズル15(図2〜図5参照)から記録用紙Pに対してインクを吐出する。そして、インクジェットヘッド3により記録された記録用紙Pは搬送ローラ4により紙送り方向へ排出される。
次に、インクジェットヘッド3について、図2〜図5を用いて説明する。図2は、図1のインクジェットヘッド3の平面図、図3は図2の部分拡大図、図4は図3のIV−IV線断面図、図5は図4のV−V線断面図である。図2〜図5に示すように、インクジェットヘッド3は、内部に複数の個別インク流路が形成された流路ユニット31と、流路ユニット31の上面に配置されたアクチュエータユニット32とを備えている。
まず流路ユニット31について説明する。図4、図5に示すように流路ユニット31は、キャビティプレート20、ベースプレート21、マニホールドプレート22、及び、ノズルプレート23を備えており、これらの4枚のプレートが積層状態で接合されている。このうち、キャビティプレート20、ベースプレート21及びマニホールドプレート22は略矩形のステンレス鋼製の板である。また、ノズルプレート23は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート22の下面に接着される。尚、ノズルプレート23も他の3枚のプレート20、21、22と同じ金属材料により形成されていてもよい。
図2〜図5に示すように、キャビティプレート20には、平面に沿って配列された複数の圧力室10が形成されている。図2には複数の圧力室10のうちの一部(10個)が示されている。各圧力室10は平面視で走査方向(図2の左右方向)に平行な2つの対向辺10aを有する略長円形上に形成されており、その長軸方向が走査方向となるように配置されている。
図2〜図5に示すように、ベースプレート21の平面視で圧力室10の長軸方向両端部に重なる位置には、夫々連通孔12、13が形成されている。また、マニホールドプレート22には、紙送り方向(図2の上下方向)に2列に延び、平面視で圧力室10の図2における左端部又は右端部と重なるマニホールド11が形成されている。マニホールド11には、キャビティプレート20に形成されたインク供給口9を介して図示しないインクタンクからインクが供給される。また、平面視で圧力室10のマニホールド11とは反対側の端部と重なる位置には、連通孔14も形成されている。さらに、ノズルプレート23には、平面視で複数の圧力室10のマニホールド11とは反対側の端部に重なる位置に、複数のノズル15が夫々形成されている。
そして、図4に示すように、マニホールド11は連通孔12を介して圧力室10に連通し、さらに、圧力室10は、連通孔13、14を介してノズル15に連通している。このように、流路ユニット31内には、マニホールド11から圧力室10を経てノズル15に至る複数の個別インク流路が形成されている。
次に、アクチュエータユニット32について説明する。図4、図5に示すように、アクチュエータユニット32は、キャビティプレート20の表面に配置され、導電性を有する振動板40と、この振動板40の表面(圧力室10と反対側の面)に複数の圧力室10に跨って連続的に形成された圧電材料層41と、この圧電材料層41の表面に複数の圧力室10に夫々対応して形成された複数の個別電極16とを備えている。
振動板40は、ステンレス鋼等の鉄系合金、ニッケル合金、アルミニウム合金、チタン合金等の金属材料からなり、図4、図5に示すように、複数の圧力室10を覆うようにキャビティプレート20に接合されている。この振動板40は、複数の個別電極16に対向して個別電極16と振動板40との間の圧電材料層41に電界を作用させる共通電極を兼ねており、グランド電位に保持されている。
また、図3、図5に示すように、振動板40の、複数の圧力室の間の領域と重なる部分、すなわち、隣接する圧力室10の対向辺10aの間の領域には、圧力室10の対向辺10aに平行な方向に延びた貫通状の穴42が形成されている。穴42についての詳細は後述する。
振動板40の表面には、図4、図5に示すように、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり、強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を主成分とする圧電材料層41が形成されている。圧電材料層41は、複数の圧力室10に跨って連続的に形成されている。ここで、圧電材料層41は、超微粒子の圧電材料を振動板40の表面に高速で衝突させて堆積させるエアロゾルデポジション法(AD法)を用いて形成される。この他、圧電材料層41は、ゾルゲル法、スパッタ法、水熱合成法、あるいは、CVD(化学蒸着)法を用いて形成することもでき、さらには、PZTのグリーンシートを焼成することによって得られた圧電シートを振動板40の表面に貼り付けることにより形成することもできる。そのため、圧電材料層41を全ての圧力室10に対して一度に形成することができ、圧電材料層41の形成が容易になる。
尚、AD法等を用いて圧電材料の粒子を振動板40の表面に堆積させて圧電材料層41を形成する場合には、圧電材料の粒子は振動板40の穴42が形成された部分には堆積しない。したがって、図3、図5に示すように、圧電材料層41を形成したときに振動板40の穴42に対向する領域には、穴43が同時に形成される。
圧電材料層41の上面には、図2〜図5に示すように、平面形状が圧力室10よりも一回り小さい長円形状であり、圧力室10の対向辺10aに平行な2つの対向辺16bを有する、複数の個別電極16が形成されている。これら複数の個別電極16は、平面視で対応する圧力室10の中央部に重なるように夫々形成されている。個別電極16は金、銅、銀、パラジウム、白金、チタンなどの導電性材料からなる。さらに、圧電材料層41の上面には、複数の個別電極16の一端部(マニホールド11側の端部)から、夫々、平面視で圧力室10に対向しない部分にまで延びた、複数の接点部16aが形成されている。個別電極16及び接点部16aは、例えば、スクリーン印刷、スパッタ法、蒸着法等で形成することができる。また、接点部16aは、図示しないフレキシブルプリント配線板(FPC)を介して図示しないドライバICに接続されている。ここで、アクチュエータユニット32は、所定の一方向に配列された複数のアクチュエータ32aを備えている。そして、振動板40及び圧電材料層41の1つの圧力室10に対向する部分と、この1つの圧力室10に対応する個別電極16とこの個別電極16の接点部16aとにより、この圧力室10内のインクに圧力を付与する1つのアクチュエータ32aが構成されている。
次に、アクチュエータユニット32の動作について説明する。ドライバICからFPCを介して個別電極16に選択的に駆動電圧が供給されると、駆動電圧が供給された個別電極16と、共通電極を兼ねており、グランド電位に保持された振動板40との間に挟まれている部分の圧電材料層41に上下方向の電界が生じる。すると、圧電材料層41のうち、駆動電圧が印加された個別電極16の真下の部分が分極方向である厚み方向と垂直な水平方向に収縮する。そして、この収縮に伴い、圧力室10に対向する領域の圧電材料層41及び振動板40が圧力室10側に凸になるように変形する。このことにより、圧力室10の体積が減少し、インクの圧力が上昇するので、圧力室10に連通するノズル15からインクが吐出される。
ところで、図2、3、5に示すように、ある圧力室10に対向する振動板の部分が変形したときに、圧力室10の短手方向に隣接した複数の圧力室10の間のうち対向辺10aが向かい合う領域に対向する領域において、振動板40の変形は隣接する圧力室10に対向する領域に最も伝播しやすい。しかし、この領域には、圧力室10の対向辺10aに沿って延びた穴42が形成されており、振動板40の剛性が部分的に低下しているので、振動板40の変形が伝播しにくくなり、クロストークが低減する。また、穴42が形成された領域において振動板40の剛性が低下していることから、圧力室10に対向する領域において振動板40がより変形しやすくなるため、アクチュエータユニット32の駆動効率が向上する。
また、図3に示すように、穴42は、平面視で(複数の圧力室10が配置された平面に直交する方向から見て)、圧力室10の対向辺10aに平行な方向に対向辺10aの両端よりも外側まで延びている(対向辺10aに沿って延び、さらに、対向辺10aよりも両方向に長く延びている)。さらに、穴42は、複数の圧力室10が配列された所定の一方向と直交する方向の複数のアクチュエータ32aの2つの端を夫々結ぶ2本の直線L1a、L1bの内側の領域に配置されている。つまり、穴42の端部42aは、平面視で圧力室10の短手方向に配列された複数のアクチュエータ32aの長手方向に関する2つの端(接点部16aの端、圧力室10の接点部16aと反対側の端(図3における左端))を夫々結んだ2本の直線L1a、L1bよりも内側の領域(図3のハッチングを施した領域)に形成されている。
このように、穴42の2つの端部42aは夫々2本の直線L1a、L1bの内側の領域に収まっているので、穴42を形成しても圧力室10の長手方向に関する間隔を大きくする必要がなく、アクチュエータ32aを高密度に配置することができる。
さらに、穴42の2つの端部42aは、穴42の幅の半分よりも曲率半径が大きく、中心角が180°よりも大きい円弧形状になっている。このように、穴42はその端部42aにおいて曲率半径が大きくなっているので、製造段階において振動板40を移送するとき、振動板40を流路ユニット31の表面に貼り付けるとき、振動板40の表面に圧電材料層41を形成するとき等、製造段階において振動板40を取り扱う際に、端部42aに応力が集中し、振動板40に塑性変形、歪み、クラック等が発生するのを防止することができ、インクジェットヘッド3の製造工程における歩留まりが向上する。また、個別電極16に駆動電圧を印加して振動板40を変形させる際に、端部42aに応力が集中するのを緩和して振動板40にクラックが発生するを防止することができ、インクジェットヘッド3の信頼性が向上する。さらに、端部42aは曲率半径が一定の円弧形状に形成されているので、端部42aの面積を最小限に抑えつつ、十分な曲率半径を得ることができる。
特に、本実施の形態のインクジェットヘッド3においては、図2、3に示すように、圧力室10は長円形状であるため、圧力室10の長手方向の端ほど圧力室10の短手方向に関する圧力室10の間の離隔距離が大きくなっている。つまり、図3の上下方向に配列された複数の圧力室10に関して圧力室の長手方向の端部同士の間には余分なスペース(図3のハッチングが施された領域)が存在する。このため、このスペースに曲率半径の大きい、膨らんだ形状の端部42aを形成してアクチュエータ32aを高密度に配置することが可能となる。
穴42が形成された振動板40にAD法等により圧電材料層41を形成すれば、振動板40に形成された貫通状の穴42及びその端部42aと対応する位置に、穴43及びその端部43aが同時に形成される。そのため、圧電材料層41の穴42に対向する領域に形成された穴43により、この部分において圧電材料層41の剛性が低下して、振動板40の変形が隣接する圧力室10に対向する領域に伝播しにくくなり、クロストークはさらに低減する。
以下に、本実施の形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、本実施の形態と同様の構成を有するものには同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
1]図6に示すように、共通電極64が振動板60とは別に設けられていてもよい(変更形態1)。但し、振動板60が金属材料からなる場合には、振動板60の上面に、合成樹脂材料やセラミックス材料等からなる絶縁材料層が形成されるなどして、振動板60の上面が絶縁性を備えており、振動板60と共通電極64とが絶縁されている必要がある。一方、振動板60が絶縁材料からなる場合には、振動板60の上面に直接共通電極64が配置される。
また、圧電材料層の下側に個別電極が配置され、一方、圧電材料層の上側に共通電極が配置されていてもよい。但し、図7に示すように、振動板50が金属材料からなる場合には、振動板50の上面に、合成樹脂材料やセラミックス材料等からなる絶縁材料層54が形成されるなどして、振動板50の上面が絶縁性を備えており、振動板50と個別電極56とが絶縁されている必要がある(変更形態2)。一方、図8に示すように、振動板70が絶縁材料からなる場合には、振動板70の上面に直接個別電極74が配置されることとなる(変更形態3)。尚、図示していないが、振動板50、60、70にそれぞれ形成された穴52、62、72の端部、圧電材料層51、61、71にそれぞれ形成された穴53、63、73の端部は、それぞれ、図3の穴42の端部42a、穴43の端部43aと同様の位置に配置され、同様の形状に形成されている。
2]また、振動板に形成された穴の端部は円弧形状に限られない。例えば、図9に示すように、振動板80の穴82の端部82aが、穴82の幅の半分よりも常に曲率半径が大きい楕円形状であってもよい(変更形態4)。この場合でも、端部82aに応力が集中するのを防止することができる。
3]また、前記実施の形態の穴の代わりに、振動板に溝が形成されていてもよい。例えば、図10、図11に示す例では、インクジェットヘッド3Aにおいて振動板90の圧力室10と反対側の面の、短手方向に配列された複数の圧力室10の間に対向する領域に溝92が形成されており、この溝92は、圧力室10の長手方向に平行に対向辺10aの両端よりも外側に延びている。ここで、溝92の端部92aは、圧力室10の短手方向に配列された複数のアクチュエータ37aの長手方向の2つの端部を夫々結んだ2本の直線L1a、L1bよりも内側(図10のハッチングが施された領域)に形成されている。2つの端部92aは、溝92の幅の半分よりも曲率半径が大きく、中心角が180°よりも大きい円弧形状になっている(変更形態5)。
この場合でも、溝92によるクロストークを低減することができ、さらに、アクチュエータユニット37の駆動効率も向上する。さらに、溝92は端部92aにおいて曲率半径が大きくなっているので、端部92aに応力が集中するのを防止できる。また、溝92は振動板90を貫通していないことから、前記実施の形態のインクジェットヘッド3のように振動板40にに貫通状の穴が形成されている場合(図3参照)に比べて振動板90の強度が高くなる。そのため、振動板90が破損しにくくなる。
また、図12、図13に示すように、溝102が、振動板100の圧力室10と反対側の面の、圧力室10に対向し、且つ、個別電極16の外側の領域(個別電極16の2つの対向辺16bの夫々に隣接する2つの領域)に形成されていてもよい。(変更形態6)。個別電極16の外側の領域における振動板100の剛性が低下していることから、振動板100がさらに変形しやすくなり、アクチュエータユニット38の駆動効率がさらに向上する。
4]溝が個別電極をほぼ取り囲むように形成されていてもよい。クロストークの低減及び振動板の変形効率の向上の点からは、溝が個別電極を完全に取り囲む環状であることが好ましい。しかし、この場合には、個別電極を完全に取り囲む領域全体で剛性が低下することになり、振動板の剛性が必要以上に小さくなってしまう。そこで、図14においては、振動板110の圧力室10と反対側の面の圧力室10に対向する領域に、個別電極16を、接点部16a以外の部分において取り囲むように、溝112が形成されている。そして、この溝112の2つの端部112aは、圧力室10の対向辺10aの接点部16a側の端部よりも外側で、圧力室10の短手方向に配列された複数のアクチュエータ39aの圧力室10の長手方向のにおける接点部16a側の端部を夫々結んだ直線L1aよりも内側の領域(図14のハッチングが施された領域)に形成されている。また、端部112aは溝112の幅の半分よりも曲率半径が大きく、中心角が180°よりも大きい円弧形状になっている(変更形態7)。
これにより、振動板110の必要以上の剛性低下を防ぎつつ、クロストークの低減及びアクチュエータユニット39の駆動効率の向上を実現し、また、溝112を形成していない部分に、接点部16aに接続される配線を容易に形成することができる。
5]また、個別電極の形状及び位置は、実施の形態のものに限られるものではない。以下にいくつかの例を挙げる。図15に示すように、個別電極17の接点部17aが個別電極17の中央部に形成されていてもよい(変更形態8)。この場合、振動板120の穴122の端部122aは、圧力室10の短手方向に配列された複数の圧力室10の長手方向の2つの端を夫々結んだ2本の直線L2a、L2bよりも内側(図15のハッチングが施された領域)に形成される。
図16に示すように、圧力室10の短手方向に配列された複数の圧力室10に対応する個別電極18の接点部18aが交互に逆方向に延びていてもよい(変更形態9)。この場合、穴132の2つの端部132aは、圧力室10の短手方向に配列された複数のアクチュエータ28aの、同じ方向に延びた接点部18aの圧力室10の長手方向の端同士を夫々結ぶ2本の直線L3a、L3bよりも内側の領域(図16のハッチングが施された領域)に形成される。
図17に示すように、個別電極19が、圧電材料層141の、圧力室10に対向する領域の中央部を除いた圧力室10の周縁に沿う領域に形成されており、個別電極19のマニホールド11側の端部が圧力室10に対向しない領域にまで延びた接点部19aを備えていてもよい(変更形態10)。この場合、振動板140の穴142の2つの端部142a及び圧電材料層141の穴143の端部143aは、圧力室10の短手方向に配列された複数のアクチュエータ27aの長手方向の両端(接点部19aの端、圧力室10の接点部19aと反対側の端)を夫々結んだ2本の直線L4a、L4bの内側(図17のハッチングが施された領域)に形成される。
5]また、圧力室は、対向辺を有する長円形状に限られるものではない。例えば、図18に示すように、インクジェットヘッド170において、圧力室150が略菱形の平面形状を有しており、且つ、菱形のとなり合う2辺と夫々平行な方向にマトリクス状に配列されており、振動板160及び圧電材料層161の隣接する圧力室150の間に対向する領域には、夫々、圧力室150の菱形の4辺に沿って延びた穴162、穴163が形成され、穴162の端部162a、穴163の163aは、夫々、穴162、163の幅の半分よりも曲率半径が大きく中心角が180°よりも大きい円弧形状になっていてもよい(変更形態11)。
このように、圧力室150の平面形状が略菱形であり、菱形のとなり合う2辺と夫々平行な方向にマトリクス状に配列されている場合には、振動板160の複数の圧力室150の間に対向する領域のうち、隣接する圧力室150の菱形の辺が向かい合う領域において振動板160の変形が隣接する圧力室150に対向する領域に伝播しやすいので、この領域に穴162及び穴163を形成することによりクロストークを低減することができる。さらに、アクチュエータユニット155の駆動効率も向上する。
6]また、振動板に貫通状の穴が形成されている場合に、圧電材料層のこの穴に対向する領域にも穴が形成されている形態のみを示したが、圧電材料層に穴が形成されていなくてもよい。例えば、穴が形成された振動板の上に、穴が形成されていない圧電シートを貼り付けた構成でもよい。この場合でも、振動板の穴により、クロストークは低減し、アクチュエータの駆動効率も向上する。
以上の説明においては、本発明の液体移送装置をインクジェットヘッドに適用した例について説明したが、インク以外の液体を移送する液体移送装置に適用することも可能である。
3 インクジェットヘッド
10 圧力室
16 個別電極
16a 接点部
31 流路ユニット
32 アクチュエータユニット
32a アクチュエータ
40 振動板
41 圧電材料層
42、43 穴
42a、43a 端部
57、64、75 共通電極
92、102、112 溝
92a、102a、112a 端部
122、132、142 穴
122a、132a、142a 端部
162 穴
162a 端部
10 圧力室
16 個別電極
16a 接点部
31 流路ユニット
32 アクチュエータユニット
32a アクチュエータ
40 振動板
41 圧電材料層
42、43 穴
42a、43a 端部
57、64、75 共通電極
92、102、112 溝
92a、102a、112a 端部
122、132、142 穴
122a、132a、142a 端部
162 穴
162a 端部
Claims (10)
- 平面に沿って隣接配置された複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、この流路ユニットの一表面に配置され、前記複数の圧力室の容積を選択的に変化させるアクチュエータユニットとを備え、
前記アクチュエータユニットは、前記複数の圧力室を覆う振動板、この振動板の前記圧力室と反対側において少なくとも前記複数の圧力室の夫々に対応する領域に配置された圧電材料層、前記複数の圧力室に夫々対向して配置され、且つ、所定の駆動電圧が印加される複数の個別電極、及び、これら複数の個別電極との間で前記圧電材料層を挟む共通電極を有し、
前記振動板の、前記平面に直交する方向から見て、隣接する2つの個別電極の間の領域と重なる部分には、前記振動板の他の部分よりも厚みが低下した複数の厚み低下部が夫々延在しており、
各厚み低下部の2つの端部の曲率半径は、この厚み低下部の幅の半分の長さよりも大きいことを特徴とする液体移送装置。 - 前記圧電材料層は、前記複数の圧力室に跨って連続的に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液体移送装置。
- 前記複数の圧力室は所定の一方向に配列されており、
前記アクチュエータユニットは、前記複数の圧力室に夫々対応して前記所定の一方向に配列されて、前記複数の圧力室の容積を夫々変化させる複数のアクチュエータを備え、
各アクチュエータは、少なくとも、前記振動板及び前記圧電材料層の対応する1つの前記圧力室と対向する部分と、前記1つの圧力室と対向する1つの前記個別電極と、この個別電極に接続された接点部とを含んでおり、
前記厚み低下部は、前記平面に直交する方向から見て、前記複数のアクチュエータの前記所定の一方向と直交する方向の2つの端を夫々結ぶ2本の直線の内側の領域に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の液体移送装置。 - 前記複数の圧力室は、夫々、前記所定の一方向と直交する方向に延びる平行な2つの対向辺を有する略長円の平面形状を有し、
前記複数の厚み低下部は、前記圧力室の前記対向辺に沿って延び、さらに、前記対向辺よりも両方向に長く延びていることを特徴とする請求項3に記載の液体移送装置。 - 前記複数の圧力室は、夫々略菱形の平面形状を有し、且つ、菱形の隣り合う2辺と夫々平行な2つの方向にマトリクス状に配列されており、
前記複数の厚み低下部は、前記圧力室の菱形の4辺に沿って夫々延びていることを特徴とする請求項3に記載の液体移送装置。 - 各厚み低下部の2つの端部は、夫々、中心角が180度よりも大きい円弧状に形成されていることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の液体移送装置。
- 前記複数の厚み低下部は、前記振動板の前記複数の圧力室の間の領域と重なる部分に夫々形成された貫通状の穴であることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の液体移送装置。
- 前記圧電材料層の、前記平面に直交する方向から見て前記複数の厚み低下部に重なる領域に、複数の貫通穴が夫々形成されていることを特徴とする請求項7に記載の液体移送装置。
- 前記複数の厚み低下部は、前記振動板の前記圧力室と反対側の面の、前記複数の個別電極の間の領域と重なる部分に夫々形成された複数の溝であることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の液体移送装置。
- 前記複数の厚み低下部は、前記複数の個別電極に夫々対応して設けられ、
各厚み低下部は、前記平面に直交する方向から見て、対応する前記個別電極をその一部を除いて取り囲むように延在していることを特徴とする請求項1〜9の何れかに記載の液体移送装置。
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JP2005045180A JP2006231530A (ja) | 2005-02-22 | 2005-02-22 | 液体移送装置 |
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JP2006231530A true JP2006231530A (ja) | 2006-09-07 |
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JP2005045180A Pending JP2006231530A (ja) | 2005-02-22 | 2005-02-22 | 液体移送装置 |
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- 2005-02-22 JP JP2005045180A patent/JP2006231530A/ja active Pending
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