JP2006216753A - 発光装置およびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 基板とガラス封止部の良好な密着性に優れ、かつ多湿環境でも封止性、耐劣化性に優れる発光装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 LED素子2に対してガラス封止を行った後にガラス封止部6からAlコート膜6Bにかけて溝30を形成し、溝30を含むガラス表面にAlコート膜6Bを設けてガラス表面を保護する。これにより、LED1を個別に分離してもガラス封止部6の端面が露出せずに保護される。また、多湿環境でもガラス封止部6が劣化することなく長期にわたって安定して使用することができる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、発光素子をガラス封止材料で封止することにより形成される発光装置に関し、特に、量産性に優れ、かつガラス材料全体をコーティングすることで高温多湿環境でも封止性、耐劣化性に優れ、色むらを生じることのない発光装置およびその製造方法に関する。
従来の発光装置として、LED(Light Emitting Diode)素子をエポキシ樹脂等の透光性樹脂材料で封止した樹脂封止LEDがある。
樹脂封止LEDは、透光性樹脂材料を用いることで封止加工性に優れる反面、透光性樹脂材料が強い光に反応して黄変等の劣化を生じることが知られている。特に、短波長光を放出するIII族窒化物系化合物半導体発光素子を用いる場合には、当該素子から放出される高エネルギーの光と素子自体の発熱によって素子近傍の透光性樹脂が黄変し、光取り出し効率が無視できないほどに低下することがある。
このような封止部材の劣化を防止するものとして、封止材料に低融点ガラスを用いた発光装置が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
図9は、特許文献1に記載される発光装置の縦断面図である。この発光装置10は、LED発光素子11と、プリント配線基板12と、プリント配線基板12の表面に設けられる配線パターン13と、LED発光素子11と配線パターン13とを電気的に接続するワイヤ14と、LED発光素子11およびワイヤ14を封止する低融点ガラス15とを有し、GaN系LED発光素子の屈折率2.3程度に近い屈折率が2程度の低融点ガラスを用いている。
特許文献1に記載される発光装置によると、GaN系LED発光素子の屈折率に近い低融点ガラス15でLED発光素子11を封止することによって、LED発光素子11の表面で全反射して内部に戻る光が少なくなり、LED発光素子11から放出されて低融点ガラス15に入射する光の量が多くなる。その結果、エポキシ樹脂でLED発光素子11を封止している従来のものよりも高くなる。
特開平11−177129号公報(〔0007〕、図1)
しかし、特許文献1に記載される発光装置では、低融点ガラスはエポキシ樹脂のように扱うことができないため、具現化や量産性に問題がある。
LED発光素子に熱ダメージを与えることなく封止加工するには、高粘度状態のガラスで封止するのが望ましいが、ワイヤ形状を保持できず電気的短絡、断線が生じる。仮に、低粘度のガラスの場合、図9に示すようなモールドは困難である。樹脂系のプリント配線基板では加工温度に耐えることができず、無機系のプリント配線基板では金型によるプレスによって破損が生じる。また、高温加工が必要なガラス封止とLED発光素子において一括工程でなく各製品対応をするのは量産性に問題がある。さらに、量産性に優れ色むらのない蛍光体白色LEDや、極めて高温多湿雰囲気での耐性に優れるガラス封止LEDについては、これまでに提案がなかった。
従って、本発明の目的は、量産性に優れ、かつガラス材料全体をコーティングすることで高温多湿環境でも封止性、耐劣化性に優れ、色むらを生じることのない発光装置およびその製造方法を提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するため、発光素子と、前記発光素子を搭載する無機材料からなる基板と、前記発光素子を封止する無機封止材料からなる封止部と、前記封止部を覆って設けられるコート部とを有し、前記封止部は、前記無機封止材料と前記基板の界面が露出し、前記発光素子が取り囲まれる切り込み面を有し、表面全体が前記コート部で覆われていることを特徴とする発光装置を提供する。
また、本発明は、上記した目的を達成するため、発光素子と、前記発光素子を搭載する無機材料からなる基板と、前記発光素子を封止する無機封止材料からなる封止部と、
前記封止部を覆って設けられるコート部とを有し、前記封止部には、前記発光素子を取り囲む切り込み面を有し、前記発光素子が発する光が直接至る前記封止部の表面全体に前記コート部が形成されていることを特徴とする発光装置を提供する。
また、本発明は、上記した目的を達成するため、無機材料からなる基板を準備する第1のステップと、前記基板に複数の発光素子を搭載する第2のステップと、前記複数の発光素子の搭載された前記基板を封止材料で封止する第3のステップと、前記封止材料に切り込みを設ける第4のステップと、前記切り込みによる露出部を含む前記封止材料の表面にコーティングを施す第5のステップと、前記切り込みに沿って前記封止材料および前記基板を分割する第6のステップとを有することを特徴とする発光装置の製造方法を提供する。
本発明によると、光透過性の無機材料コート部によって封止部および基板を覆うことにより、封止部の耐水性が向上し、基板と封止部の良好な密着性が確保される。また、多湿環境でも封止性、耐劣化性が得られる。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る発光装置としてのLEDを示す縦断面図である。
(全体の構成)
このLED1は、フリップチップ型のLED素子2と、回路パターン4A、4B、およびビアパターン4Cとを有する無機材料基板であるAl基板3と、回路パターン4BとLED素子2の電極とを電気的に接続するAuバンプ5と、Al基板3およびLED素子2とを封止する無機封止材料であるガラス封止部6とを有する。
(各部の構成)
LED素子2は、下地基板となるサファイア基板上にAlNバッファ層を介してn−GaN層と、発光層と、p−GaN層とを順次結晶成長させることによって形成したGaN系半導体層を有し、p−GaN層からエッチングを施すことによりn電極形成領域としてn−GaN層の一部を露出させた水平型の電極構造を有し、Auバンプ5を介して回路パターン4B上にフリップ実装されている。このLED素子2は、発光中心波長が470nmであり、熱膨張率は7×10−6/℃である。また、LED1の幅とLED素子2の幅とのサイズ比は1より大で、かつ5以下となるように構成されている。
Al基板3は、熱膨張率が7×10−6/℃であり、LED素子2と略同等の熱膨張率を有し、素子搭載面、ビアホール3A、および裏面にタングステン(W)−ニッケル(Ni)−金(Au)で構成される回路パターン4A、4B、およびビアパターン4Cを有する。また、LED1の外縁となる部分に位置するように段部3Bを有している。
ガラス封止部6は、600℃以下の低融点でホットプレス加工が可能な低融点ガラスからなり、LED素子2およびAl基板3の熱膨張率と略同等の熱膨張率(7×10−6/℃)を有する。また、表面には半球状に形成された光学形状部6Aと、光学形状部6Aの表面にコート部として薄膜状に設けられるAlコート膜6Bとを有する。
Alコート膜6Bは、Alをスパッタリング処理することで光学形状部6Aの表面に塗布し、乾燥させることによって薄膜状に形成されている。このAlコート膜6Bは、ガラス封止部6の端面および段部3Bを覆うように設けられている。また、Alコート膜6Bは、Al基板3とガラス封止部6の端面を覆う端面保護部6Cを有する。
(LEDの製造工程)
以下に、第1の実施の形態のLEDの製造方法について説明する。図2(a)から(c)は、LED製造工程の配線形成工程からガラス準備工程にかけてを示す概略図であり、図3(a)から(d)は、ガラス封止工程からLEDの分離にかけてを示す概略図である。
(配線形成工程)
まず、図2(a)に示すように、上記したAl基板3に対し、回路パターンに応じてWペーストをスクリーン印刷する。次に、Wペーストを印刷されたガラス含有Al基板3を1500℃で熱処理することによりWをAl基板3に焼き付け、さらにW上にNiめっき、Auめっきを施すことで回路パターン4A、4B、およびビアパターン4Cを形成する。
(LED素子実装工程)
次に、図2(b)に示すように、Al基板3の回路パターン4BにAuバンプ5を介してLED素子2をフリップ実装する。
(低融点ガラス準備工程)
次に、図2(c)に示すように、板状のP−ZnO−LiO系の低融点ガラス60をAl基板3に対して平行にセットする。
(ガラス封止工程)
次に、図3(a)に示すように、窒素雰囲気中で550〜600℃の温度で低融点ガラス60のホットプレス加工を行う。低融点ガラス60は、Al基板3とそれらに含まれる酸化物を介して基板表面に接着されるとともに、プレス金型の形状に応じて半球状の光学形状部6Aを有したガラス封止部6が成形される。
(溝形成工程)
次に、図3(b)に示すように、ガラス封止部6の薄肉部分をダイシングソーでハーフカットすることにより溝30を形成する。この溝30はAl基板3を分断することのない深さを有するように形成される。この状態では、ガラス封止部6とAl基板3との界面が露出し、平面方向に見てLEDとなる部分が切り込み面としての溝30によって取り囲まれたものとなる。
(コート膜形成工程)
次に、図3(c)に示すように、ガラス封止部6の表面を覆うようにスパッタリング処理することによってAlコート膜6Bを形成する。この状態では、溝30によって取り囲まれたLEDとなる部分の表面全体をAlコート膜6Bで覆ったものとなる。
(LED分離工程)
次に、図3(d)に示すように、溝30に沿ってAl基板3を分割することにより、LED1を分離する。分割されたLED1は、ガラス封止部6の端面がAl基板3によって覆われた構成を有している。
(LED1の動作)
以下に、第1の実施の形態の動作について説明する。図示しない電源部から回路パターン4Aを介して通電することにより、LED素子2の電極を介して発光層に通電される。発光層は、通電に基づいて発光して青色光を生じる。この青色光は、GaN系半導体層からサファイア基板を介してガラス封止部6に入射し、光学形状部6Aに至る。光学形状部6Aに至った青色光はAlコート膜6Bを透過して外部放射される。
(第1の実施の形態の効果)
上記した第1の実施の形態によると、以下の効果が得られる。
(1)LED素子2に対してガラス封止を行った後にガラス封止部6からAlコート膜6Bにかけて溝30を形成し、溝30を含むガラス表面にAlコート膜6Bを設けてガラス表面を保護するようにしたので、LED1を個別に分離してもガラス封止部6の端面が露出せずに保護される。このことによりガラスの低融点化、熱膨張率調整、屈折率調整等の制約により、ガラス封止部6が多少耐湿性の劣る特性でも高温多湿環境においてガラス封止部6が劣化することなく長期にわたって安定して使用することができる。また、スパッタリングによる膜形成を行っているので、溝30への膜形成がされやすい。
(2)ガラス封止部6とAl基板3との間に水分が浸透しないので、ガラス封止部6とAl基板3との密着性低下を防ぐことができる。
(3)ガラス封止部6の加工後にダイシングソーによるハーフカットによって溝30を形成するので、Alコート膜6B形成後にLED1を容易に分離することができ、生産性に優れる。
なお、上記した第1の実施の形態では、ガラス封止部6の表面にAlコート膜6Bを設けたLED1を説明したが、例えば、SiO、SiN、MgF等を用いても良い。
また、第1の実施の形態の実施の形態では、溝30をAl基板3に設けてAlコート膜6Bをコートし、溝30に沿って分割するものとしたが、例えば、ダイシングソーによらずにレーザ光で溝30を形成しても良い。レーザ加工は処理時間を短くでき、量産性をさらに向上することができる。特に、フェムト秒レーザのような短時間パルス照射によれば、滑らかな溝形成が可能である。
また、Al基板3とガラスとは、ガラスの熱膨張率が6.0〜7.7×10−6/℃の範囲で、実験によって良好な接合ができることが確認されている。接合の良否はガラスのサイズ、軟化特性、応力方向に依存するが、必ずしも数%以内の熱膨張率差である必要はなく、15%程度の差があるものでも、良好な接続ができるものであれば良い。
(第2の実施の形態)
図4は、本発明の第2の実施の形態に係る発光装置としてのLEDを示す縦断面図である。以下の説明において、第1の実施の形態と同一の構成および機能を有する部分については同一の符号を付している。
(全体の構成)
このLED1は、光学形状部6Aの表面に第1の実施の形態で説明したAlコート膜6Bに代えて、ダイクロイックミラー6Dと、蛍光体含有ガラス層6Eとを設けた構成において第1の実施の形態と相違している。
(各部の構成)
ダイクロイックミラー6Dは、TiO膜およびSiO膜を交互に積層して多層化することによって形成されており、500nm以下の光を透過し、500nm以上の光を反射する。このことよりダイクロイックミラー6DはLED素子2の発する470nmの青色光は透過するが、蛍光体含有ガラス層6Eに含有される蛍光体が発する黄色光については反射することにより、ガラス封止部6への入射を防ぐ。
蛍光体含有ガラス層6Eは、外径10μmの蛍光体粒子と、外径10μmのフッ化物低融点ガラス粒子とを混合した混合材料(軟化点約300℃)からなり、この混合材料を光学形状部6Aの形成されたガラス封止部6に静電塗装した後に350℃で加熱処理することによってガラス封止部6の表面に一体的に形成されている。この場合、LED素子2が放射する青色光で励起可能な蛍光体が用いられる。このような蛍光体としては。例えば、Ce:YAG(Yttrium Aluminum Garnet)蛍光体を用いることができる。
(第2の実施の形態の効果)
上記した第2の実施の形態によると、ガラス封止部6の表面全体にダイクロイックミラー6Dと蛍光体含有ガラス6Eとが形成されているので、色むらの少ないものとできる。更に、ガラス封止形態であるので、加熱状態で電圧印加することによる静電塗装が可能となり、ガラス封止部6の表面に蛍光体粒子とフッ化物低融点ガラス粒子とを混合した混合材料を静電付着させるので、第1の実施の形態の好ましい効果に加えて、凹凸形状のあるガラス封止部6の表面に混合材料を均一な膜厚で付着させることができ、熱融着による均一な膜厚の蛍光体含有ガラス層6Eを容易に形成することができる。また、フッ化物低融点ガラスによるフッ化物コートがガラス封止部6の表面に形成されるので、LED1の耐湿性をより向上させることができる。
(第3の実施の形態)
図5は、本発明の第3の実施の形態に係る発光装置としてのLEDを示す縦断面図である。
(全体の構成)
このLED1は、素子実装面と異なる高さの凹部3Cを有するAl基板3と、凹部3Cを覆うようにAl基板3およびLED素子2を封止するガラス封止部6とを有し、Alコート膜6Bあるいはダイクロイックミラー6Dを備えず、蛍光体含有ガラス層6Eのみを備える構成において第1あるいは第2の実施の形態と相違している。
(各部の構成)
ガラス封止部6は、ホットプレス加工に基づいて凹部3Cの側面を覆うとともに光学形状部6Aを有するように形成される。ガラス封止部6の表面には第2の実施の形態で説明した蛍光体含有ガラス層6Eをコートしている。
(LEDの製造工程)
以下に、第3の実施の形態のLEDの製造方法について説明する。図6(a)から(c)は、LED製造工程の配線形成工程からガラス準備工程にかけてを示す概略図であり、図7(a)から(c)は、ガラス封止工程からLEDの分離にかけてを示す概略図である。
(配線形成工程)
まず、図6(a)に示すように、予め凹部3Cを設けられたAl基板3に対し、回路パターンに応じてWペーストをスクリーン印刷する。次に、Wペーストを印刷されたガラス含有Al基板3を1500℃で熱処理することによりWをAl基板3に焼き付け、さらにW上にNiめっき、Auめっきを施すことで回路パターン4A、4B、およびビアパターン4Cを形成する。なお、凹部3Cについては、回路パターン4A、4B、およびビアパターン4Cの形成後に切削、サンドブラスト等のプロセスによって形成される。
(LED素子実装工程)
次に、図6(b)に示すように、Al基板3の回路パターン4BにAuバンプ5を介してLED素子2をフリップ実装する。
(低融点ガラス準備工程)
次に、図6(c)に示すように、板状のP−ZnO−LiO系の低融点ガラス60をAl基板3に対して平行にセットする。
(ガラス封止工程)
次に、図7(a)に示すように、窒素雰囲気中で550〜600℃の温度で低融点ガラス60のホットプレス加工を行う。低融点ガラス60は、Al基板3とそれらに含まれる酸化物を介して基板表面に接着されるとともに、プレス金型の形状に応じて半球状の光学形状部6Aを有したガラス封止部6が成形される。このとき、ガラス封止部6には凹部3Cに対応した位置に薄肉部として凹溝6Fが形成される。
(コート膜形成工程)
次に、図7(b)に示すように、蛍光体含有ガラス層6Eを形成する。
(LED分離工程)
次に、図7(c)に示すように、凹溝6Fの部分をダイサーでカットすることによりLED1を分離する。
(第3の実施の形態の効果)
上記した第3の実施の形態によると、凹部3Cを設けたAl基板3を低融点ガラス60でガラス封止するので、低融点ガラス60の熱収縮により生じる内部応力に基づいて低融点ガラス60が凹部3Cの側面に密着して凹凸封止される。このことにより、LED1の外縁におけるガラス封止部6とAl基板3の密着性が大になり、ガラス剥離や水分の浸透を極めて高いレベルで防ぐことができる。第3の実施の形態では、端面保護部6Cにおいてガラス封止部6が僅かに露出するが、この部位はLED素子2からの光が直接至るところではないので、光学的な影響は無視できるレベルで色むらは発生しない。なお、この場合にはガラス封止部6は耐湿性の高い材料を用いることが望ましい。
また、蛍光体含有層に加えてAlコートとしても良い。高温多湿状態でのガラスは、表面が白濁する変化が生じる。しかし、LED素子から直接光が達するガラス表面はAlコートが施されているので、光学特性には変化は生じない。
(第4の実施の形態)
図8(a)から(d)は、本発明の第4の実施の形態に係る発光装置としてのLEDの凹部を示す部分断面図である。
(全体の構成)
第4の実施の形態は、第3の実施の形態で説明した凹部3Cにおいて、ガラス封止部6が露出しない構成としたものである。以下にその製造工程を説明する。
(ガラス封止工程)
図8(a)に示すガラス封止工程では、ガラス封止部6の形成により凹部3Cに設けられる凹溝6Fが後述する溝加工の障害とならない溝幅を有するように形成される。その他については図7(a)で説明したガラス封止工程と同様であるので詳細については省略する。
(溝形成工程)
図8(b)に示す溝形成工程では、ガラス封止部6の凹溝6Fにレーザ光を照射して溝30を形成し、Al基板3を露出させる。なお、レーザ光の照射に代えてダイサーによるダイシングでAl基板3に達する深さを有する溝30を設けるようにしても良い。
(コート膜形成工程)
図8(c)に示すコート膜形成工程では、溝形成工程で露出させたAl基板3を覆うようにAlコート膜6Bを設けることで、レーザ光の照射により露出した凹溝6Fのガラスがコートされる。
(LED分離工程)
図8(d)に示すLED分離工程では、コート膜形成工程後に溝30の部分をダイサーでカットすることによりLED1を個別に分離する。分離されたLED1の端面は、Al基板3の凹部3Cにおいてガラス封止部6が凹凸封止されており、かつ、ガラス封止部6とAl基板3との境界がAlコート膜6Bで覆われたものとなる。
(第4の実施の形態の効果)
上記した第4の実施の形態によると、凹部3Cを設けたAl基板3を低融点ガラス60でガラス封止し、ガラス封止された凹部3Cに溝30を設けてAlコート膜6Bでコートしたので、低融点ガラスの熱収縮に基づくAl基板3とガラス封止部6との高い密着性が得られるとともに、ガラス封止部6の全面保護による高い防湿性、耐劣化性を得ることができる。
本発明の第1の実施の形態に係る発光装置としてのLEDを示す縦断面図である。 (a)から(c)は、LED製造工程の配線形成工程からガラス準備工程にかけてを示す概略図である。 (a)から(d)は、ガラス封止工程からLEDの分離にかけてを示す概略図である。 本発明の第2の実施の形態に係る発光装置としてのLEDを示す縦断面図である。 本発明の第3の実施の形態に係る発光装置としてのLEDを示す縦断面図である。 (a)から(c)は、LED製造工程の配線形成工程からガラス準備工程にかけてを示す概略図である。 (a)から(c)は、ガラス封止工程からLEDの分離にかけてを示す概略図である。 (a)から(d)は、本発明の第4の実施の形態に係る発光装置としてのLEDの凹部を示す部分断面図である。 特許文献1に記載される発光装置の縦断面図である。
符号の説明
1…LED、2…LED素子、3C…凹部、3…Al基板、3B…段部、4A…回路パターン、4B…回路パターン、4C…ビアパターン、5…Auバンプ、6…ガラス封止部、6A…光学形状部、6B…Alコート膜、6C…端面保護部、6D…ダイクロイックミラー、6E…蛍光体含有ガラス層、6F…凹溝、10…発光装置、11…LED発光素子、12…プリント配線基板、13…配線パターン、14…ワイヤ、15…低融点ガラス、30…溝、60…低融点ガラス、

Claims (9)

  1. 発光素子と、
    前記発光素子を搭載する無機材料からなる基板と、
    前記発光素子を封止する無機封止材料からなる封止部と、
    前記封止部を覆って設けられるコート部とを有し、
    前記封止部は、前記無機封止材料と前記基板の界面が露出し、前記発光素子が取り囲まれる切り込み面を有し、表面全体が前記コート部で覆われていることを特徴とする発光装置。
  2. 発光素子と、
    前記発光素子を搭載する無機材料からなる基板と、
    前記発光素子を封止する無機封止材料からなる封止部と、
    前記封止部を覆って設けられるコート部とを有し、
    前記封止部には、前記発光素子を取り囲む切り込み面を有し、前記発光素子が発する光が直接至る前記封止部の表面全体に前記コート部が形成されていることを特徴とする発光装置。
  3. 前記発光素子は、フリップ実装型発光素子であり、
    前記基板は、前記封止部と同等の熱膨張率を有する無機材料からなることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の発光装置。
  4. 前記コート部は、光透過性の無機材料であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の発光装置。
  5. 前記コート部は、蛍光体含有材料であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の発光装置。
  6. 前記コート部は、ダイクロイックミラーを含むものである請求項5に記載の発光装置。
  7. 無機材料からなる基板を準備する第1のステップと、
    前記基板に複数の発光素子を搭載する第2のステップと、
    前記複数の発光素子の搭載された前記基板を封止材料で封止する第3のステップと、
    前記封止材料に切り込みを設ける第4のステップと、
    前記切り込みによる露出部を含む前記封止材料の表面にコーティングを施す第5のステップと、
    前記切り込みに沿って前記封止材料および前記基板を分割する第6のステップとを有することを特徴とする発光装置の製造方法。
  8. 前記第5のステップにおいて、前記コーティングをスパッタリングによって設けることを特徴とする請求項7に記載の発光装置の製造方法。
  9. 前記第5のステップにおいて、前記コーティングを静電塗布によって設けることを特徴とする請求項7に記載の発光装置の製造方法。
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Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008053545A (ja) * 2006-08-25 2008-03-06 Nichia Chem Ind Ltd 発光装置およびその製造方法
JP2008060428A (ja) * 2006-08-31 2008-03-13 Nichia Chem Ind Ltd 発光装置およびその製造方法
JP2008147270A (ja) * 2006-12-07 2008-06-26 Nichia Chem Ind Ltd 発光装置及びその製造方法
JP2010186887A (ja) * 2009-02-12 2010-08-26 Sumita Optical Glass Inc 発光装置の製造方法
JP2010268013A (ja) * 2010-09-01 2010-11-25 Nichia Corp 発光装置
JP2010278474A (ja) * 2010-09-01 2010-12-09 Nichia Corp 発光装置
JP2011210963A (ja) * 2010-03-30 2011-10-20 Toyoda Gosei Co Ltd 発光装置の製造方法
KR101081170B1 (ko) 2010-04-01 2011-11-07 엘지이노텍 주식회사 발광 소자 패키지 및 그 제조방법
JP2013516074A (ja) * 2009-12-26 2013-05-09 アクロラックス インコーポレイテッド 発光波長を変換する均一膜層構造及びその形成方法
KR101313963B1 (ko) 2006-09-29 2013-10-01 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 광전자 장치
WO2014057752A1 (ja) * 2012-10-09 2014-04-17 シャープ株式会社 発光素子およびこれを備えた発光装置
US9039216B2 (en) 2010-04-01 2015-05-26 Lg Innotek Co., Ltd. Light emitting device package and light unit having the same
JP2017069416A (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP2017168620A (ja) * 2016-03-16 2017-09-21 豊田合成株式会社 発光装置およびその製造方法
WO2017169289A1 (ja) * 2016-03-31 2017-10-05 セントラル硝子株式会社 光学デバイスの製造方法
JP2017201731A (ja) * 2017-08-22 2017-11-09 日亜化学工業株式会社 発光装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105392746A (zh) 2013-07-19 2016-03-09 中央硝子株式会社 荧光体分散玻璃和其制造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002368286A (ja) * 2001-06-11 2002-12-20 Citizen Electronics Co Ltd 発光ダイオード及びその製造方法
JP2004031843A (ja) * 2002-06-28 2004-01-29 Kyocera Corp 発光ダイオ−ド
WO2004082036A1 (ja) * 2003-03-10 2004-09-23 Toyoda Gosei Co., Ltd. 固体素子デバイスおよびその製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002368286A (ja) * 2001-06-11 2002-12-20 Citizen Electronics Co Ltd 発光ダイオード及びその製造方法
JP2004031843A (ja) * 2002-06-28 2004-01-29 Kyocera Corp 発光ダイオ−ド
WO2004082036A1 (ja) * 2003-03-10 2004-09-23 Toyoda Gosei Co., Ltd. 固体素子デバイスおよびその製造方法

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008053545A (ja) * 2006-08-25 2008-03-06 Nichia Chem Ind Ltd 発光装置およびその製造方法
JP2008060428A (ja) * 2006-08-31 2008-03-13 Nichia Chem Ind Ltd 発光装置およびその製造方法
JP4650378B2 (ja) * 2006-08-31 2011-03-16 日亜化学工業株式会社 発光装置の製造方法
KR101313963B1 (ko) 2006-09-29 2013-10-01 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 광전자 장치
JP2008147270A (ja) * 2006-12-07 2008-06-26 Nichia Chem Ind Ltd 発光装置及びその製造方法
JP2010186887A (ja) * 2009-02-12 2010-08-26 Sumita Optical Glass Inc 発光装置の製造方法
JP2013516074A (ja) * 2009-12-26 2013-05-09 アクロラックス インコーポレイテッド 発光波長を変換する均一膜層構造及びその形成方法
JP2011210963A (ja) * 2010-03-30 2011-10-20 Toyoda Gosei Co Ltd 発光装置の製造方法
US9039216B2 (en) 2010-04-01 2015-05-26 Lg Innotek Co., Ltd. Light emitting device package and light unit having the same
KR101081170B1 (ko) 2010-04-01 2011-11-07 엘지이노텍 주식회사 발광 소자 패키지 및 그 제조방법
JP2010278474A (ja) * 2010-09-01 2010-12-09 Nichia Corp 発光装置
JP2010268013A (ja) * 2010-09-01 2010-11-25 Nichia Corp 発光装置
WO2014057752A1 (ja) * 2012-10-09 2014-04-17 シャープ株式会社 発光素子およびこれを備えた発光装置
JP2017069416A (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 日亜化学工業株式会社 発光装置
US9893242B2 (en) 2015-09-30 2018-02-13 Nichia Corporation Light emitting device
JP2017168620A (ja) * 2016-03-16 2017-09-21 豊田合成株式会社 発光装置およびその製造方法
WO2017169289A1 (ja) * 2016-03-31 2017-10-05 セントラル硝子株式会社 光学デバイスの製造方法
JP2017201731A (ja) * 2017-08-22 2017-11-09 日亜化学工業株式会社 発光装置

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