JP2006214898A - 圧電デバイス及び電子機器 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 53
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 abstract 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 8
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/80—Constructional details
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- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P1/00—Details of instruments
- G01P1/02—Housings
- G01P1/023—Housings for acceleration measuring devices
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
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- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 所定の検出方向を有する圧電素子2がパッケージ3内に収容されてなる。複数のパッケージ3が圧電素子2の検出方向を互いに交差させて一体化されて設けられる。
【選択図】 図1
Description
デジタルビデオやデジタルカメラでは2軸の検出軸が設定され、さらに角度検出を行う場合には3軸の検出軸が設定されるが、従来の圧電モジュールでは、1つの圧電素子が検出できる検出軸が1軸であるため、複数の圧電素子を設ける必要がある。
また、検出軸が異なるように圧電素子を複数設置する際には、各圧電素子の検出軸を精度よく位置決めする必要があることに加えて、複数の検出軸の相対位置関係も高精度に位置決めする必要があり、位置決め作業が相当煩雑になることが考えられる。
本発明の圧電デバイスは、所定の検出方向を有する圧電素子がパッケージ内に収容されてなる圧電デバイスであって、複数の前記パッケージが前記圧電素子の検出方向を互いに交差させて一体化されて設けられることを特徴とするものである。
この構成では、例えば圧電素子が直交するように配置された場合でも、これらの端子に容易に接続して実装することが可能になる。
これにより、本発明では、圧電素子を収容するパッケージをフレームに装着して保持させることにより、検出方向が互いに交差するように、圧電素子を位置決めすることが可能になる。
パッケージとしては、セラミック、ガラス、金属または樹脂で形成する構成を好適に採用できる。
パッケージに設けられた実装用の接続端子表面としては、銅、金またはろう材で形成する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、2軸以上の複数軸で加速度や角速度等を検出することができるとともに、実装も簡便化されて製造が容易な電子機器を提供することができる。
図1は、第1実施形態に係る圧電デバイスDVの断面図、図2は圧電素子2が組み込まれた圧電パッケージ3(図1中のパッケージの中、左右方向に延在するパッケージ3)の断面図、図3は圧電デバイスDVの一部を抽出した斜視図である。
図1に示すように、圧電デバイスDVは、圧電素子2がそれぞれ収容されたパッケージ3と、複数(ここでは2つ)のパッケージ3を保持するフレーム1とを備えている。本実施形態においては、圧電素子2として音叉型の圧電振動片が用いられている。
なお、本体部3Aは、その裏面(−Z側の面)に、パッケージ3を組み込む各種装置と電気的な接続を行うための接続端子としての電極10を複数備えている。この電極10の表面は、銅、金属、及びろう材等の材料で形成されている。
そして、完成した圧電デバイスDVは、フレキシブル基板12の他方の面12Bにおいて所望の回路基板等に実装される。
続いて、本発明の圧電デバイスDVの第2実施形態について図4を参照して説明する。
上記第1実施形態では、二つのパッケージ3をフレーム1で一体化する構成としたが、本実施形態では、モールド材を充填することにより一体化する。
本実施の形態では、上記第1実施形態と同様の作用・効果が得られることに加えて、パッケージ3間の空間がモールド材20で充填されているため、操作性(把持性)が向上し、実装作業を容易化することが可能である。
次に、本発明の圧電デバイスDVの第3実施形態について図5を参照して説明する。
上記第1及び第2実施形態では、圧電素子2を用いて2軸を検出する構成としたが、本実施形態では第1実施形態で示したフレーム1を用いて3軸を検出する構成としている。
図5に示すように、本実施形態のフレーム1は、XZ平面に沿ってパッケージ3を保持する保持空間1aを有しており、検出方向が互いに交差する3つのパッケージ3をそれぞれ圧入して保持する構成となっている。また、この構成では、フレキシブル基板12は、XY平面に沿ったパッケージ3と接続される箇所から延出して形成される(図中、点線で示す)。
上記の圧電デバイスDVは、ジャイロセンサとして、例えば、デジタルカメラ、GPS、PDAあるいは携帯電話等に組み込むことができる。
図6は、上記圧電デバイスDVを含む検出器(ジャイロセンサ)を備えた電子機器の一例を示す図であって、デジタルスチールカメラの概略構成を示す斜視図である。図6に示すようにこのデジタルスチルカメラ(電子機器)300は、圧電デバイスDVをその筐体内部に配設したものである。
また、制御IC11の実装の仕方としては、ワイヤボンディングによる実装に限らずフリップチップ実装でもよい。
この構成でも、上記実施形態と同様の作用・効果が得られる。
Claims (8)
- 所定の検出方向を有する圧電素子がパッケージ内に収容されてなる圧電デバイスであって、
複数の前記パッケージが前記圧電素子の検出方向を互いに交差させて一体化されて設けられることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1記載の圧電デバイスにおいて、
複数の前記圧電素子は、折り曲げられた可撓性基板に搭載されることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1または2記載の圧電デバイスにおいて、
複数の前記パッケージを一体的に保持するフレームを有することを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1または2記載の圧電デバイスにおいて、
複数の前記パッケージが樹脂材で一体的に成型されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1または2記載の圧電デバイスにおいて、
複数の前記パッケージが接着剤で一体的に固定されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1から5のいずれかに記載の圧電デバイスにおいて、
前記パッケージは、セラミック、ガラス、金属または樹脂で形成されることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1から6のいずれかに記載の圧電デバイスにおいて、
前記パッケージに設けられた実装用の接続端子表面が銅、金またはろう材であることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1から7のいずれかに記載の圧電デバイスを備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005028688A JP2006214898A (ja) | 2005-02-04 | 2005-02-04 | 圧電デバイス及び電子機器 |
CNB2006100066536A CN100466468C (zh) | 2005-02-04 | 2006-01-23 | 压电器件及电子仪器 |
TW095103140A TW200644414A (en) | 2005-02-04 | 2006-01-26 | Piezoelectric device and electronic apparatus |
EP06001825A EP1688706B1 (en) | 2005-02-04 | 2006-01-30 | Piezoelectric device and electronic apparatus |
KR1020060009437A KR100832185B1 (ko) | 2005-02-04 | 2006-01-31 | 압전 장치 및 전자기기 |
US11/344,821 US20060175938A1 (en) | 2005-02-04 | 2006-02-01 | Piezoelectric device and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005028688A JP2006214898A (ja) | 2005-02-04 | 2005-02-04 | 圧電デバイス及び電子機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006214898A true JP2006214898A (ja) | 2006-08-17 |
Family
ID=36283928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005028688A Pending JP2006214898A (ja) | 2005-02-04 | 2005-02-04 | 圧電デバイス及び電子機器 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060175938A1 (ja) |
EP (1) | EP1688706B1 (ja) |
JP (1) | JP2006214898A (ja) |
KR (1) | KR100832185B1 (ja) |
CN (1) | CN100466468C (ja) |
TW (1) | TW200644414A (ja) |
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- 2006-01-30 EP EP06001825A patent/EP1688706B1/en not_active Expired - Fee Related
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---|---|
US20060175938A1 (en) | 2006-08-10 |
EP1688706A2 (en) | 2006-08-09 |
EP1688706B1 (en) | 2010-12-29 |
TW200644414A (en) | 2006-12-16 |
KR100832185B1 (ko) | 2008-05-23 |
CN100466468C (zh) | 2009-03-04 |
CN1815882A (zh) | 2006-08-09 |
EP1688706A3 (en) | 2009-09-16 |
KR20060089633A (ko) | 2006-08-09 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A02 | Decision of refusal |
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