JP2006210529A - 投影露光装置及び光学装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
カーボン付着による光学素子の反射特性の劣化を抑制し、光学素子の特性を長期間にわたって良好に維持することができる露光装置を提供すること。
【解決手段】
イオン化ガスIGが、ジェット状に真空容器84内にくまなく行き渡り、真空容器84中に浮遊する劣化要因粒子HPに衝突する。この際、イオン化ガスIGが有する電荷の一部を劣化要因粒子HPに与えることで、劣化要因粒子HPが帯電する。一方、電源装置89により所望の電圧が捕集電極88に印加される。これにより、劣化要因粒子HPは、捕集電極88側即ち排気装置85の近傍に引き寄せられて捕集電極88を通過し、排気装置85を介して真空容器84外に排出される。
【選択図】
図1
カーボン付着による光学素子の反射特性の劣化を抑制し、光学素子の特性を長期間にわたって良好に維持することができる露光装置を提供すること。
【解決手段】
イオン化ガスIGが、ジェット状に真空容器84内にくまなく行き渡り、真空容器84中に浮遊する劣化要因粒子HPに衝突する。この際、イオン化ガスIGが有する電荷の一部を劣化要因粒子HPに与えることで、劣化要因粒子HPが帯電する。一方、電源装置89により所望の電圧が捕集電極88に印加される。これにより、劣化要因粒子HPは、捕集電極88側即ち排気装置85の近傍に引き寄せられて捕集電極88を通過し、排気装置85を介して真空容器84外に排出される。
【選択図】
図1
Description
本発明は、極端紫外線等で使用され、マスクのパターン像を基板上に形成する投影露光装置その他の光学装置に関する。
近年、半導体集積回路の微細化に伴い、光の回折限界によって達成される光学系の解像度を向上させるために、従来の紫外線に代えてこれより短い波長(例えば11〜14nm)となる極端紫外線(EUV)を用いた露光技術が開発されている。これにより約5〜70nmのパターンサイズの露光が可能になるものと期待されている(例えば、非特許文献1、特許文献1参照)。
D. Tichenor, et al., SPIE2437(1995)292 特開2003−14893号公報
D. Tichenor, et al., SPIE2437(1995)292
以上のような露光装置内において、紫外線や極端紫外線下で照明や投影用の光学系が使用される場合、かかる光学系のおかれる環境を不活性ガス雰囲気や真空としても、光学系を構成する光学素子の周囲から炭素化合物微粒子や炭素化合物分子等を完全に排除することができない。一方、紫外線や極端紫外線は大きなエネルギーをもつ。この際、炭素化合物微粒子や炭素化合物分子等と光学素子表面の物質とが紫外線や極端紫外線に照射されることで光化学気相堆積(光CVD)を起こし、光学素子表面にカーボン膜が生成してしまう。これらの現象により、光学素子の透過特性や反射特性が劣化してしまい、光学系の寿命が短くなるという問題が生じる。
そこで、本発明は、極端紫外線等の照射下でも光学素子の特性を長期間にわたって良好に維持することができる露光装置等を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、第1の発明に係る投影露光装置は、紫外線及び極端紫外線の少なくとも1つの波長域にある光源光を発生させる光源と、光源からの光源光を転写用のマスクに導く照明光学系と、マスクのパターン像を基板上に形成する投影光学系と、マスク、照明光学系及び投影光学系に用いる光学素子のうち少なくとも一部を収容する真空容器と、劣化要因粒子を帯電させるためのイオン化ガスを真空容器中へ供給するイオン化ガス発生装置と、イオン化ガスにより帯電した劣化要因粒子を捕集する捕集電極と、真空容器内を排気する排気装置とを備える。
本発明においては、イオン化ガス発生装置により真空容器中へ供給されたイオン化ガスが、真空容器内に存在する劣化要因粒子を帯電させる。さらに、捕集電極が帯電した劣化要因粒子を所望の場所に集め、排気装置によって集められた劣化要因粒子を効果的に排気することができる。これにより、劣化要因粒子である炭素化合物微粒子、炭素化合物分子等が、マスク、照明光学系及び投影光学系に用いられる光学素子表面の物質とともに紫外線や極端紫外線に照射されることを回避できる。以上のような理由により、光学素子表面で光CVD現象が生じることを防止でき、光学素子の透過特性や反射特性が劣化することを抑制することができる。
また、第2の発明は、第1の発明に係る投影露光装置において、イオン化ガス発生装置が、イオン化ガスを間欠的に真空容器内に供給する。この場合、イオン化ガスの供給を間欠的に行うことで、真空容器内を一般的に高い真空度に維持でき、紫外線や極端紫外線が光路上で吸収されることによる投影露光装置の性能の低下を防止できる。
また、第3の発明は、第1または第2の発明に係る投影露光装置において、捕集電極が、排気装置の近傍に設置される。この場合、捕集電極が排気装置の近傍に設置されているので、捕集電極により引き寄せられた劣化要因粒子が、効率よく排気装置から排気される。
また、第4の発明は、第1〜第3の発明に係る投影露光装置において、イオン化ガス発生装置が、真空容器内の雰囲気圧との差圧によってイオン化ガスを供給する。この場合、当該差圧により、イオン化ガスが真空容器内にくまなく迅速に行き渡るので、真空容器中に存在する劣化要因粒子を効果的に帯電させることができる。
また、第5の発明は、第1〜第4の発明に係る投影露光装置において、イオン化ガス発生装置が、RF電極によるヘリウムガスのプラズマ化によってイオン化ガスを発生させる。この場合、RF電極により汚染の問題を生じることなくイオン化ガスを発生させることができる。また、イオン化ガスの材料としてヘリウムガスを用いるので、紫外線や極端紫外線の吸収が少なく、当該吸収による投影露光装置の性能の低下を抑制することができる。
また、上記課題を解決するために、第6の発明に係る光学装置は、紫外線波長以下の所定波長の電磁波に対して使用される光学素子と、光学素子を収容する真空容器と、劣化要因粒子を帯電させるためのイオン化ガスを真空容器中へ供給するイオン化ガス発生装置と、イオン化ガスにより帯電した劣化要因粒子を捕集する捕集電極と、真空容器内を排気する排気装置とを備える。
本発明においては、イオン化ガス発生装置により真空容器中へ供給されたイオン化ガスが、真空容器内に存在する劣化要因粒子を帯電させる。さらに、捕集電極が帯電した劣化要因粒子を適所に集め、排気装置が集められた劣化要因粒子を排気する。これにより、劣化要因粒子である炭素化合物微粒子、炭素化合物分子等が、光学素子表面の物質とともに極端紫外線等の高エネルギーの電磁波に照射されることを回避できる。以上により、光学素子の透過特性や反射特性が劣化することを抑制することができるため、当該光学装置では、用いている光学素子の特性を長期間にわたって良好に維持することができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る投影露光装置の構造を説明するための図である。この投影露光装置100は、光学系として、極端紫外線(波長11〜14nm)を発生する光源装置50と、極端紫外線の照明光によってマスクMAを照明する照明光学系60と、マスクMAのパターン像を基板であるウエハWAに転写する投影光学系70とを備え、機械機構として、マスクMAを支持するマスクステージ81と、ウエハWAを支持するウエハステージ82とを備える。また、投影露光装置100は、上記光源装置50の一部及び光学系60,70を収納する真空容器84と、真空容器84中のガスを排気する排気装置85と、イオン化ガスIGを真空容器84中へ供給するためのイオン化ガス発生装置86と、イオン化ガスIGの原料であるヘリウムガスをイオン化ガス発生装置86に供給するガス源87と、イオン化ガスIGにより帯電した劣化要因粒子HPを捕集する捕集電極88と、捕集電極88に所望の電圧を印加する電源装置89とを備える。さらに、投影露光装置100は、光源装置50と、マスクステージ81と、ウエハステージ82と、排気装置85と、イオン化ガス発生装置86と、ガス源87と、電源装置89とを統括して動作の制御を行う制御装置90を備える。
光源装置50は、プラズマ励起用のレーザ光を発生するレーザ光源51と、ターゲット材料であるキセノン等のガスを筐体SC中に供給するチューブ52とを備える。また、この光源装置50には、コンデンサ54やコリメータミラー55が付設されている。チューブ52の先端から出射されるキセノンに対しレーザ光源51からのレーザ光を集光させることにより、その部分のターゲット材がプラズマ化して極端紫外線を発生する。コンデンサ54は、チューブ52の先端Sで発生した極端紫外線を集光する。コンデンサ54を経た極端紫外線は、収束されつつ筐体SC外に射出し、コリメータミラー55に入射する。なお、以上のようなレーザプラズマタイプの光源装置50からの光源光に代えて、放電プラズマ光源、SOR光源からの放射光等を使用することができる。
照明光学系60は、反射型のオプティカルインテグレータ61,62、コンデンサミラー63、偏向ミラー64等により構成される。光源装置50からの光源光を、オプティカルインテグレータ61,62によって照明光として均一化しつつコンデンサミラー63によって集光し、偏向ミラー64を介してマスクMA上の所定領域(例えば帯状領域)に入射させる。これにより、マスクMA上の所定領域を適当な波長の極端紫外線によって均一に照明することができる。
尚、極端紫外線の波長域で十分な透過率を有する物質は存在せず、マスクMAには透過型のマスクではなく反射型のマスクが使用されている。
投影光学系70は、多数のミラー71,72,73,74で構成される縮小投影系である。マスクMA上に形成されたパターン像である回路パターンは、投影光学系70によってレジストが塗布されたウエハWA上に結像してこのレジストに転写される。この場合、回路パターンが一度に投影される領域は、直線状又は円弧状のスリット領域であり、例えばマスクMAとウエハWAとを同期して移動させる走査露光によって、マスクMA上に形成された矩形の回路パターンをウエハWA上の矩形領域に無駄なく転写することができる。
以上の光源装置50のうち極端紫外線の光路上に配置される部分と、照明光学系60と、投影光学系70とは、真空容器84中に配置されており、露光光の減衰が防止されている。つまり、極端紫外線は大気に吸収されて減衰するが、装置全体を真空容器84によって外部から遮断するとともに、極端紫外線の光路を所定の真空度(例えば、1.3×10−3Pa以下)に維持することで、極端紫外線の減衰すなわち転写像の輝度低下やコントラスト低下を防止している。
真空容器84中において極端紫外線の光路上に配置される反射型の光学素子であるコンデンサ54、コリメータミラー55、オプティカルインテグレータ61,62、コンデンサミラー63、偏向ミラー64、ミラー71,72,73,74やマスクMAは、下地となる例えば石英ガラス製の基材上に反射膜を形成したものである。反射膜は、真空に対する屈折率が異なる2種類の物質からなる薄膜層を当該基材上に交互に積層することによって形成した数層から数百層の多層膜である。この多層膜を構成する2種類の薄膜層として、例えばMo層及びSi層を用いることができる。この際、光学素子54,55,61,62,63,64,71,72,73,74の光学面の形状は、平面に限らず、凹面、凸面、多面等組み込む場所によって適宜調整する。
排気装置85は、排気口85aを介して真空容器84に接続された真空ポンプを有しており、真空容器84内部を必要な真空度に維持する。つまり、真空ポンプによって、真空容器84内部の雰囲気が排気口85aから排気装置85内部へ吸引され、真空ポンプの動作を制御することによって、真空容器84内部の真空度が調整される。尚、排気装置85において、排気口85aと真空ポンプとの間に導管、補助室等を介在させ、両者を分離して配置することもできる。
イオン化ガス発生装置86は、容量結合方式によりプラズマを発生させるRF(高周波)電極86aと接地電極86bとを真空槽86c内に内蔵するとともに、イオン化ガスIGの材料となるヘリウムガスの供給源であるガス源87に接続されている。イオン化ガス発生装置86は、ガス源87から流入するヘリウムガスを、RF電極86aと接地電極86bとによりプラズマ化することで、劣化要因粒子HPを帯電させるためのイオン化ガスIGを発生させる。尚、RF電極86aは、ブロッキングコンデンサ86dを介してRF電源86eに接続されている。一方、接地電極86bは、アースされている。
尚、発生したイオン化ガスIGが真空容器84内にくまなく行き渡るために、排気装置85とイオン化ガス発生装置86とは、対極した位置になるように真空容器84に取り付けられている。
捕集電極88は、板状の電極であり、排気装置85の排気口85aの近傍に設置されている。より具体的には、捕集電極88は、一対の板状電極であり、両板状電極間の間隙が排気口85aの正面に位置するように排気口85aに近接して設置されている。また、捕集電極88は、電源装置89に接続されている。電源装置89により捕集電極88に所望の電圧が印加される。捕集電極88に印加する電圧とは、例えば、所定のDC電圧とするが、DC電圧以外にも、例えば、連続パルス状の電圧とすることもできる。
以下、図1に示す投影露光装置100内における劣化要因粒子HPの捕捉について説明する。ガス源87からイオン化ガス発生装置86に流入されたヘリウムガスは、イオン化ガス発生装置86の真空槽86c内に注入される。RF電源86eが制御装置90によって制御されることにより、平行に配置されたRF電極86aと接地電極86bとの間で電界が生じ、ヘリウムガスがプラズマ化する。これにより、ヘリウムイオンと電子とがRF電極86aと接地電極86bとの間において混在した状態となり、劣化要因粒子HPを帯電させるためのイオン化ガスIGとしてヘリウムイオンを発生させることができる。
ここで、劣化要因粒子HPとは、炭素化合物微粒子や炭素化合物分子等を意味し、分子レベルの粒子から塵のような大きな粒子までを含む。劣化要因粒子HPは、投影露光装置等において、光学系のおかれる環境(ここでは真空容器84内)で高い真空性を維持したとしても、光学系を構成する光学素子の周囲から完全に排除することはできない。劣化要因粒子HPは、例えば極端紫外線下での光化学気相堆積等により、光学系の光学素子表面にカーボン膜を生成し、光学系の寿命を短くする。従って、劣化要因粒子HPを捕捉あるいは集塵し、真空容器84内から取り除くことは重大な課題である。
イオン化ガス発生装置86及びガス源87は、制御装置90の制御下で駆動され、真空容器84内の雰囲気圧との差圧によってイオン化ガスIGを真空容器84中に適当なタイミングで必要量だけ供給する。イオン化ガスIGを真空容器84に供給する量は、光学素子表面のカーボン膜形成を防止できる程度のものに制御される。また、イオン化ガスIGを供給するタイミングは、例えば、制御装置90がマスクステージ81及びウエハステージ82等の動作に関連させて制御を行うことで、極端紫外線を照射しないウエハWAの交換時とすることができる。これにより、極端紫外線の光路を所定の真空度に維持することが可能となり、かつ、スループットを低下させることがない。尚、イオン化ガスIGとして、当該プラズマ化によって生じるヘリウムイオンを用いているため、特にイオン化ガスIGによる極端紫外線の吸収が少ない。
真空容器84中に射出されたイオン化ガスIGは、真空容器84内の雰囲気圧との差圧によりジェット状に真空容器84内にくまなく行き渡る。これにより、イオン化ガスIG(図1中白丸で誇張して表示)は、真空容器84中に浮遊して存在する炭素化合物微粒子や炭素化合物分子等の劣化要因粒子HP(図1中黒丸で誇張して表示)に衝突する。この際、正に帯電したヘリウムイオンであるイオン化ガスIGが有する電荷を劣化要因粒子HPに与えることで、劣化要因粒子HPが正に帯電する。一方、排気装置85の近傍に設置されている捕集電極88には、電源装置89により適当な負の電圧が印加されている。つまり、電源装置89が制御装置90の制御下で駆動され、正に帯電した劣化要因粒子HPが捕集電極88に吸引されるように捕集電極88の周辺に電界勾配が形成される。これにより、正に帯電した劣化要因粒子HPは、捕集電極88側即ち排気装置85の近傍に引き寄せられて捕集電極88を通過し、制御装置90の制御下で排気装置85が電源装置89に連動して駆動されることにより、効率よく排気装置85を介して真空容器84外に排出される。
通常、劣化要因粒子HPである炭素化合物微粒子や炭素化合物分子等は、真空容器84内に浮遊しているが、真空容器84は、内部が所定の真空度に維持されているため、気流による劣化要因粒子HPの捕捉は困難である。また、劣化要因粒子HPは、電気的、磁性的に中性であるため、電界や磁界をかけても捕捉することはできない。しかし、本実施形態における投影露光装置100では、イオン化ガスIGとの衝突によって劣化要因粒子HPが帯電するので、排気装置85の近傍に設置された捕集電極88の周辺に電界が発生し、劣化要因粒子HPを引き寄せて捕捉することが可能となる。
劣化要因粒子HPを捕捉することにより、光学素子54,55,61,62,63,64,71,72,73,74,MA表面にカーボン膜が生成することを抑制できるので、各光学系60,70やマスクMAの寿命を延ばすことができる。
以下、図1に示す投影露光装置100の露光動作について説明する。この投影露光装置では、照明光学系60からの照明光によってマスクMAが照明され、マスクMAのパターン像が投影光学系70によってウエハWA上に投影される。これにより、マスクMAのパターン像がウエハWAに転写される。
以上説明した投影露光装置では、高反射率で高精度に制御された光学素子54,55,61,62,63,64,71,72,73,74,MAが用いられており、高精度の露光が可能になる。さらに、この投影露光装置では、光学素子54,55,61,62,63,64,71,72,73,74,MAの表面すなわち光学面において保護層の存在によってカーボン膜の生成が抑制されているので、これら光学素子の反射特性が劣化するのを防ぎ、投影露光装置の寿命を長くすることができる。
また、イオン化ガスIGを真空容器84中に供給するタイミングの例示として、極端紫外線を照射しないウエハWAの交換時としたが、露光過程において大きな影響が出るほどのスループットの低下が生じなければ、これ以外のタイミングであってもよい。例えば、極端紫外線を規定回数又は規定時間照射した後、一旦照射を中止してからイオン化ガスIGを供給し、劣化要因粒子HPを帯電させ、さらに、排気装置85により、イオン化ガスIGや劣化要因粒子HPを含む真空容器84中の雰囲気を排気してもよい。
また、電極86aは、容量結合方式によりプラズマを発生させるものとしているが、所望のイオン化ガスIGを得られるのであれば、これ以外の方法であってもかまわない。例えば、同じくRFを用いるものとして、誘導結合方式によってもプラズマを発生させることができ、また、この他にも、例えば、フィラメントを用いたプラズマ発生方法であってもよい。
また、捕集電極88は、板状の電極としたが、電源装置89により電圧が印加されることで捕集電極88の周辺に劣化要因粒子HPを捕捉するための適当な電界を発生させることができれば、捕集電極88の形状はこれに限られない。例えば、図2(a)、(b)のようなハニカム状の捕集電極188であってもよい。この場合、より効果的な劣化要因粒子HPの捕捉が可能となる。
また、図1では、排気装置85及び捕集電極88を一箇所に設けているが、これらを複数個所に設けることにより、さらに捕捉効果を高めることも可能である。尚、単一の排気装置85に対して排気口85aを複数設けることもできる。
以上実施形態に即して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記本実施形態では、光学素子光学素子54,55,61,62,63,64,71,72,73,74,MA等が極端紫外線に用いられるものとして説明したが、上記のような光学素子54,55,61,62,63,64,71,72,73,74,MA等は、これらの光学素子反射面の形状やこれを形成する多層膜の設計変更によって軟X線顕微鏡、軟X線分析装置等の軟X線光学機器を構成する多層膜反射鏡として用いることもできる。このような、X線光学機器に適合するように真空容器中に組み込まれた光学素子も、上記実施形態の場合と同様に、長期間使用しても反射率が低下しないので、その初期性能を維持し続けることができる。
また、上記本実施形態では、露光光として極端紫外線を用いる投影露光装置について説明したが、露光光として極端紫外線以外の紫外線を用いる投影露光装置においても、同様の技術によりカーボン付着による光学素子の反射特性の劣化を抑制することができる。
100…露光装置、 50…光源装置、 51…レーザ光源、 52…チューブ、 54,55,61,62,63,64,71,72,73,74…光学素子、 60…照明光学系、 70…投影光学系、 81…マスクステージ、 82…ウエハステージ、 84…真空容器、 85…排気装置、 86…イオン化ガス発生装置、 87…ガス源、 88…捕集電極、 MA…マスク、 WA…ウエハ
Claims (6)
- 紫外線及び極端紫外線の少なくとも1つの波長域にある光源光を発生させる光源と、
前記光源からの光源光を転写用のマスクに導く照明光学系と、
前記マスクのパターン像を基板上に形成する投影光学系と、
前記マスク、前記照明光学系及び前記投影光学系に用いる光学素子のうち少なくとも一部を収容する真空容器と、
劣化要因粒子を帯電させるためのイオン化ガスを前記真空容器中へ供給するイオン化ガス発生装置と、
前記イオン化ガスにより帯電した前記劣化要因粒子を捕集する捕集電極と、
前記真空容器内を排気する排気装置と
を備える投影露光装置。 - 前記イオン化ガス発生装置は、前記イオン化ガスを間欠的に前記真空容器内に供給することを特徴とする請求項1記載の投影露光装置。
- 前記捕集電極は、前記排気装置の近傍に設置されることを特徴とする請求項1及び請求項2のいずれか一項記載の投影露光装置。
- 前記イオン化ガス発生装置は、前記真空容器内の雰囲気圧との差圧によって前記イオン化ガスを供給することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項記載の投影露光装置。
- 前記イオン化ガス発生装置は、RF電極によるヘリウムガスのプラズマ化によって前記イオン化ガスを発生させることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項記載の投影露光装置。
- 紫外線波長以下の所定波長の電磁波に対して使用される光学素子と、
前記光学素子を収容する真空容器と、
劣化要因粒子を帯電させるためのイオン化ガスを前記真空容器中へ供給するイオン化ガス発生装置と、
前記イオン化ガスにより帯電した前記劣化要因粒子を捕集する捕集電極と、
前記真空容器内を排気する排気装置と
を備える光学装置。
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JP2011159939A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-18 | Canon Inc | 捕獲器、真空容器、処理装置、及びデバイス製造方法 |
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