JP2006203763A - Piezoelectric vibrating piece, method for adjusting characteristic thereof and piezoelectric device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、圧電振動片とパッケージやケース内に圧電振動片を収容した圧電デバイスの改良、ならびに圧電振動片の特性調整方法に関する。 The present invention relates to an improvement in a piezoelectric device including a piezoelectric vibrating piece and a piezoelectric vibrating piece housed in a package or case, and a method for adjusting the characteristics of the piezoelectric vibrating piece.
HDD(ハード・ディスク・ドライブ)、モバイルコンピュータ、あるいはICカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器や圧電ジャイロセンサー等において、圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。
図4は、圧電デバイスに従来より用いられている圧電振動片の一例を示す概略平面図である。
Piezoelectric vibrators and piezoelectrics in small information devices such as HDDs (hard disk drives), mobile computers, IC cards, mobile communication devices such as mobile phones, car phones, and paging systems, and piezoelectric gyro sensors Piezoelectric devices such as oscillators are widely used.
FIG. 4 is a schematic plan view showing an example of a piezoelectric vibrating piece conventionally used in a piezoelectric device.
図において、圧電振動片1は、水晶などの圧電材料をエッチングすることにより、図示する外形を形成するもので、パッケージ(図示せず)等に取付けられる矩形の基部2と、基部2から図において上方に延長された一対の振動腕3,4を備えており、これら振動腕の主面(表裏面)に長溝5,6が形成されている(特許文献1参照)。
長溝5,6内には、駆動用の電極としての励振電極7,8が形成されており、励振電極7,8は、長溝5,6内と、各振動腕の側面とに形成され、各振動腕について長溝内の電極と、側面に設けた電極が対となるようにされている。そして、各励振電極7,8は、それぞれ引出し電極7a,8aとして、基部2に引き回されている。
In the figure, a piezoelectric vibrating
そして、引出し電極7a,8aは、図示しないパッケージ側に塗布された導電性接着剤9,9の上に載置されて、接合されるようになっている。
このような圧電振動片1においては、励振電極7,8を介して駆動電圧が印加されると、各振動腕3,4の先端部を近接・離間するようにして、屈曲振動することにより、所定の周波数の信号が取り出されるようになっている。
The
In such a piezoelectric
図5は圧電振動片を用いて形成される水晶振動子の等価回路を示している。図において、L1は振動子の固有のインダクタンス、C1は固有の容量、C0は誘電体としての圧電材料を電極で挟んだコンデンサとしての容量である。損失としての抵抗成分R1はクリスタルインピーダンス(CI)と呼ばれる。
このような等価回路においては、周波数fとの関係で、次式が成立する。
f=1/2π・1/(L1・C1)−1/2・・・・・式1
ここで、周波数fを一定に維持して、圧電振動片1を小型化しようとすると、L1は振動腕の質量に対応するので、C1を大きくしなければならない。
FIG. 5 shows an equivalent circuit of a crystal resonator formed using a piezoelectric vibrating piece. In the figure, L1 is a specific inductance of the vibrator, C1 is a specific capacity, and C0 is a capacity as a capacitor in which a piezoelectric material as a dielectric is sandwiched between electrodes. The resistance component R1 as a loss is called crystal impedance (CI).
In such an equivalent circuit, the following equation is established in relation to the frequency f.
f = 1 / 2π · 1 / (L1 · C1) −1/2
Here, if the frequency f is kept constant and the piezoelectric vibrating
図6は圧電振動片(水晶振動片)を実装する際に、負荷容量CLを決めて使用する状態を示す図であり、この負荷容量CLの変動は、図5の容量C1を変更することに相当する。そして、負荷容量CLの値は、実装の都合などにより、多少の変動を持って決定され使用されるのが実際である。
ここで、負荷容量CLの変化もしくは変動に対して、周波数fの変化量をここではCL特性と呼ぶ。CL特性は容量C1を変更することにより変化するが、例えば、C1を小さくしようとすることは、上述したように圧電振動片1の小型化、特に、長手方向の寸法を小型化して、現行の圧電振動片1をさらに小型にしようとする上で障害となるので、選択することができない。
FIG. 6 is a diagram showing a state in which the load capacity CL is determined and used when the piezoelectric vibrating piece (quartz crystal vibrating piece) is mounted. The fluctuation of the load capacity CL changes the capacity C1 in FIG. Equivalent to. The value of the load capacity CL is actually determined and used with some variation depending on the mounting convenience.
Here, the amount of change in the frequency f with respect to the change or fluctuation of the load capacitance CL is referred to herein as the CL characteristic. Although the CL characteristic changes by changing the capacitance C1, for example, reducing C1 reduces the size of the piezoelectric vibrating
そこで、図5の容量C0を変更することにより、CL特性を調整することができる。
この場合、容量C0は、図4の引出し電極7a,8aの対向距離dを変更することによって行うことができると考えられ、特に、対向距離dを小さくすることによって、CL特性における周波数の変化の緩急を改善して、急激な周波数変化を緩和することができる。
しかしながら、従来の圧電振動片1は、図4に示すように、導電性接着剤9,9によりパッケージに接合されることから、引出し電極7a,8aの対向距離dを小さくすると、導電性接着剤9,9同士が触れて、短絡の危険があり、このような調整手段を用いることができない。
特に、圧電振動片1の小型化が進むと、基部2自体の幅寸法も可能な限り小さくされていることから、引出し電極7a,8aの対向距離dを小さくすることは、一層、短絡の危険を生じさせることにつながる。
Therefore, the CL characteristic can be adjusted by changing the capacitance C0 in FIG.
In this case, it is considered that the capacitance C0 can be achieved by changing the facing distance d of the
However, since the conventional
In particular, as the size of the
本発明は、以上の課題を解決するためになされたもので、小型化を進める上で、短絡の危険を回避しつつ負荷容量であるCLの変化に対して、急峻な周波数変化を生じることのないCL特性に優れた圧電振動片と、圧電デバイスならびに圧電振動片の特性調整方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and in advancing the miniaturization, a sharp frequency change is caused with respect to a change in the load capacity CL while avoiding the danger of a short circuit. An object of the present invention is to provide a piezoelectric vibrating piece having excellent CL characteristics, a piezoelectric device, and a method for adjusting the characteristics of the piezoelectric vibrating piece.
上記目的は、第1の発明にあっては、圧電材料により形成された基部と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕と、前記基部の前記一端側より所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アームと、前記各振動腕に形成された対となる駆動用の電極と、前記対となる駆動用の電極が、互いに距離を隔てて対向するようにそれぞれ前記基部に引き回されることにより形成された引出し電極と、これら引出し電極が対応する前記支持用アームに引き回されることにより形成された接続用の電極とを備えており、前記基部の表裏面の前記引出し電極の少なくとも一方について、前記対向距離を最小に設定する構成とした圧電振動片により、達成される。 According to the first aspect of the present invention, in the first invention, a base portion formed of a piezoelectric material, a plurality of vibrating arms extending from one end side of the base portion, and the other end side separated by a predetermined distance from the one end side of the base portion A support arm extending in the width direction and extending in the same direction as the vibrating arm on the outside of the vibrating arm, a pair of driving electrodes formed on each vibrating arm, and the paired driving Formed by being routed to the base so as to be opposed to each other at a distance from each other, and by being drawn by the corresponding support arm. And at least one of the lead electrodes on the front and back surfaces of the base portion, which is achieved by a piezoelectric vibrating piece configured to set the facing distance to a minimum.
第1の発明の構成によれば、圧電振動片は、前記基部からさらに延長して設けた支持用アームを有しており、この支持用アームを利用して、パッケージなどの収容容器に接合されることができる。このため、本発明の圧電振動片では、前記基部が接合に関与しないので、前記基部において、互いに距離を隔てて対向するように引き回された引出し電極には、導電性接着剤などの電気的、機械的結合を行うための手段が付着することがない。このため、前記基部において互いに対向して配置される前記引出し電極の対向距離を小さくして、電極同士を近接させても、電極の短絡の危険がなく、負荷容量の変化に対応した周波数変化を緩やかなものとすることができる。この場合、基部の表面と裏面に前記引出し電極が同じように形成されているので、表裏面の一方について引出し電極同士のの対向距離を小さくしてもよく、両面において、引出し電極同士のの対向距離を小さくしてもよい。 According to the configuration of the first aspect of the invention, the piezoelectric vibrating reed has the supporting arm that is further extended from the base portion, and is joined to a storage container such as a package using the supporting arm. Can be. For this reason, in the piezoelectric vibrating piece according to the present invention, the base portion does not participate in the bonding. Therefore, in the base portion, an extraction electrode that is routed so as to face each other with a distance is electrically The means for performing the mechanical connection does not adhere. For this reason, even if the opposing distance of the extraction electrodes arranged opposite to each other at the base is reduced and the electrodes are brought close to each other, there is no risk of short-circuiting of the electrodes, and the frequency change corresponding to the change of the load capacity is achieved. It can be gradual. In this case, since the extraction electrodes are formed in the same manner on the front surface and the back surface of the base, the opposing distance between the extraction electrodes may be reduced for one of the front and back surfaces, and the opposing surfaces of the extraction electrodes on both sides may be reduced. The distance may be reduced.
また、上記目的は、第2の発明にあっては、パッケージまたはケース内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、前記圧電振動片が、圧電材料により形成された基部と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕と、前記基部の前記一端側より所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アームと、前記各振動腕に形成された対となる駆動用の電極と、前記対となる駆動用の電極が互いに距離を隔てて対向するようにそれぞれ前記基部に引き回されることにより形成された引出し電極と、これら引出し電極が、対応する前記支持用アームに引き回されて形成された接続用の電極とを備えており、前記基部の表裏面の前記引出し電極の少なくとも一方について、前記対向距離を最小に設定する構成とした圧電デバイスにより、達成される。
第2の発明の構成によれば、第1の発明の構成において説明したのと同様の原理により、圧電デバイスの電極の短絡の危険を生じることなく、負荷容量の変化に対応した周波数変化を緩やかなものとすることができる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric device in which a piezoelectric vibrating piece is accommodated in a package or a case, wherein the piezoelectric vibrating piece includes a base formed of a piezoelectric material, and a A plurality of resonating arms extending from one end side, and extending in the width direction from the other end side separated from the one end side of the base by a predetermined distance, and extending in the same direction as the resonating arm outside the resonating arm An arm, a pair of driving electrodes formed on each vibrating arm, and the pair of driving electrodes are formed by being routed to the base so as to face each other with a distance therebetween. And at least one of the extraction electrodes on the front and back surfaces of the base, the connection electrodes formed by being routed to the corresponding support arm. The piezoelectric device has a configuration to set the serial opposing distance minimizes, is achieved.
According to the configuration of the second invention, the frequency change corresponding to the change of the load capacity is moderated without causing a risk of short circuit of the electrodes of the piezoelectric device, based on the same principle as described in the configuration of the first invention. Can be.
また、上記目的は、第3の発明にあっては、圧電材料により形成された基部と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕と、前記基部の前記一端側より所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アームと、前記各振動腕に形成された対となる駆動用の電極と、前記対となる駆動用の電極が、互いに距離を隔てて対向するようにそれぞれ前記基部に引き回されて形成された引出し電極と、これら引出し電極が対応する前記支持用アームに引き回されることにより形成された接続用の電極とを備える圧電振動片の特性を調整する方法であって、前記基部の表裏面の前記引出し電極の少なくとも一方について、前記対向距離を変更することにより、負荷容量の変化に対応する周波数変化を調整する圧電振動片の特性調整方法によっても、達成される。
第3の発明の構成によれば、前記基部における前記引出し電極の前記対向距離を最小に設定するだけでなく、前記対向距離を調整することにより、CL特性をコントロールする手法を含むものである。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a base portion formed of a piezoelectric material, a plurality of vibrating arms extending from one end side of the base portion, and a predetermined distance from the one end side of the base portion. A supporting arm extending in the width direction from the end side and extending in the same direction as the vibrating arm on the outside of the vibrating arm, a pair of driving electrodes formed on each vibrating arm, and the pair The drive electrodes are formed by being drawn around the base so as to face each other at a distance from each other, and the lead electrodes are drawn around the corresponding support arms. And adjusting the characteristic of a piezoelectric vibrating piece having a connection electrode, wherein the opposing distance is changed for at least one of the lead electrodes on the front and back surfaces of the base to cope with a change in load capacity. By characteristic adjusting method of a piezoelectric vibrating piece to adjust the frequency change to be achieved.
According to the configuration of the third aspect of the invention, the method includes not only setting the facing distance of the extraction electrode at the base to a minimum, but also controlling the CL characteristics by adjusting the facing distance.
図1および図2は、本発明の圧電デバイスの実施形態を示しており、図1はその概略平面図、図2は図1のA−A線切断端面図である。
これらの図において、圧電デバイス30は、圧電振動子を構成した例を示しており、この圧電デバイス30は、基体であるパッケージ57内に圧電振動片32を収容している。
パッケージ57は、図1および図2に示すように、例えば、矩形の箱状に形成されている。具体的には、パッケージ57は、第1の基板55と第2の基板56とを積層して形成されており、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して図示の形状とした後で、焼結して形成されている。
1 and 2 show an embodiment of the piezoelectric device of the present invention. FIG. 1 is a schematic plan view thereof, and FIG. 2 is an end view taken along line AA of FIG.
In these drawings, the
As shown in FIGS. 1 and 2, the
パッケージ57は、図2に示すように、第2の基板56の内側の材料を除去することで、内部空間Sのスペースを形成している。この内部空間Sが圧電振動片32を収容するための収容空間である。そして、第1の基板55に形成した電極部31,31の上に、導電性接着剤43,43を用いて、圧電振動片32の支持用アーム61,62の後述する接続用電極の形成箇所を載置して接合している。
As shown in FIG. 2, the
なお、電極部31,31はパッケージ裏面の実装端子41と導電スルーホールなどで接続されている。パッケージ57は、圧電振動片32を収容した後で、透明なガラス製の蓋体40が封止材58を用いて接合されることにより、気密に封止されている。これにより、蓋体40を封止した後で、外部からレーザ光を照射して圧電振動片32の電極などをトリミングして、周波数調整できるようになっている。
The
圧電振動片32は、例えば水晶で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム,ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。この圧電振動片32は、図1に示すように、基部51と、この基部51の一端(図において右端)から、右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕35,36を備えている。
各振動腕35,36の主面の表裏には、好ましくは、それぞれ長さ方向に延びる長溝33,34をそれぞれ形成し、図1および図2に示すように、この長溝内に駆動用の電極である励振電極37,38が設けられている。
尚、この実施形態では、各振動腕35,36の先端部は、ややテーパ状に次第に拡幅されることにより、重量増加され、錘の役割を果たすようにされている。これにより、振動腕の屈曲振動がされやすくなっている。
The piezoelectric vibrating piece 32 is formed of, for example, quartz, and a piezoelectric material such as lithium tantalate or lithium niobate can be used in addition to quartz. As shown in FIG. 1, the piezoelectric vibrating piece 32 includes a base 51 and a pair of vibrating
In this embodiment, the tip portions of the resonating
また、圧電振動片32は、その基部51の振動腕を形成した一端より、図1において、基部長さに対応する所定距離だけ隔てた他端(図において左端)において、基部51の幅方向に延長され、かつ振動腕35,36の両外側の位置で、各振動腕35,36の延びる方向(図1において右方向)に、これら振動腕35,36と平行に延びている支持用アーム61,62を備えている。
このような圧電振動片32の音叉状の外形と、各振動腕に設ける長溝は、それぞれ例えば水晶ウエハなどの材料をフッ酸溶液などでウエットエッチングしたり、ドライエッチングすることにより精密に形成することができる。
Further, the piezoelectric vibrating piece 32 extends in the width direction of the base 51 at the other end (the left end in the figure) separated from the one end where the vibrating arm of the base 51 is formed by a predetermined distance corresponding to the base length in FIG. The
The tuning fork-shaped outer shape of the piezoelectric vibrating piece 32 and the long groove provided in each vibrating arm should be precisely formed by wet etching a material such as a quartz wafer with a hydrofluoric acid solution or dry etching, for example. Can do.
励振電極37,38は、長溝33,34内と、各振動腕の側面とに形成され、各振動腕について長溝内の電極と、側面に設けた電極が対となるようにされている。そして、各励振電極37,38は、それぞれ引出し電極37a,38aとして、基部51に引き回され、該基部51の表面と裏面とに、それぞれ同じ構成で形成されている。さらに、引出し電極37a,38aは、各支持用アーム61,62の表裏面に延長されて、接続用電極63,64とされている。
ここで、基部51においては、対となる引出し電極37a,38aは電極間距離Dを隔てて互いに対向することにより電気的に分離されている。
The
Here, in the base 51, the pair of
これにより、圧電デバイス30を実装基板などに実装した場合に、外部からの駆動電圧が、実装端子41から、電極部31,31を介して圧電振動片32の各支持用アーム61,62の各接続用電極63,64および基部51の各引出し電極37a,38aに伝えられ、各励振電極37,38に伝えられるようになっている。
そして、長溝33,34内の励振電極に駆動電圧が印加されることによって、駆動時に、各振動腕の長溝が形成された領域の内部の電界効率を高めることができるようになっている。
Thereby, when the
Then, by applying a driving voltage to the excitation electrodes in the
また、好ましくは、基部51には、基部51の振動腕側の端部から十分離れた位置において、両側縁に、基部51の幅方向の寸法を部分的に縮幅して形成した凹部もしくは切り込み部71,72を設けている。切り込み部71,72の深さは、例えば、それぞれ近接する振動腕35,36の外側の側縁と一致する程度まで縮幅されると好ましい。
これにより、振動腕35,36が屈曲振動する際に振動漏れが基部51側に漏れ、支持用アーム61,62に伝搬することを抑制し、CI値を低く抑えることができる。
Preferably, the base 51 is provided with a recess or notch formed by partially reducing the widthwise dimension of the base 51 on both side edges at a position sufficiently away from the end of the base 51 on the vibrating arm side.
Thereby, when the vibrating
ここで、本実施形態では、基部51の表面及び裏面の少なくとも一方において、互いに対向している引出し電極37a,38aの図1に示す電極間距離Dが最小となるように設定されている。
これは、次の理由による。
図3は、横軸に負荷容量(CL)の値をとり、縦軸に周波数変化ΔF(Δf)をとり、負荷容量の変動に対応した周波数変化の度合いを次式(式2)によりグラフ化したものである。
Δf/f=C1/2(C0+CL)・・・・式2
(なお、f(F)は「周波数」、Δf(F)は「周波数変化量」、C1は「固有の容量」、C0は誘電体としての圧電材料を電極で挟んだコンデンサとしての容量で、ここでは「電極間容量」である)
Here, in the present embodiment, at least one of the front surface and the back surface of the base 51 is set so that the interelectrode distance D shown in FIG. 1 of the
This is due to the following reason.
In FIG. 3, the horizontal axis represents the load capacity (CL) value, the vertical axis represents the frequency change ΔF (Δf), and the degree of frequency change corresponding to the load capacity variation is graphed by the following formula (Formula 2). It is a thing.
Δf / f = C1 / 2 (C0 + CL)
(F (F) is “frequency”, Δf (F) is “frequency change amount”, C1 is “inherent capacitance”, C0 is a capacitance as a capacitor with a piezoelectric material as a dielectric sandwiched between electrodes, Here, it is “capacitance between electrodes”)
図3において、曲線Aは図1の電極間距離Dを従来と同様に0.150mm程度としたものであり、この時の電極間容量C0は比較的小さく、1.00pF(ピコファラド)である。曲線Bは電極間距離Dを最小にし、例えば0.030mm程度としたもので、この時の電極間容量C0は最も大きくなり、2.00pFである。
図示されているように、電極間距離Dを小さくすると、電極間容量C0は大きくなり、負荷容量CLの変化(変動)に対して、周波数変化を緩やかにすることができる。すなわち、負荷容量CLが変化しても周波数変化をより小さくすることができる。このような効果は、図3から、負荷容量CLが、12pFよりも小さい場合に特に顕著である。
In FIG. 3, a curve A is obtained by setting the inter-electrode distance D in FIG. 1 to about 0.150 mm as in the conventional case, and the inter-electrode capacitance C0 at this time is relatively small and is 1.00 pF (picofarad). The curve B has a minimum inter-electrode distance D, for example, about 0.030 mm. At this time, the inter-electrode capacitance C0 is the largest, which is 2.00 pF.
As illustrated, when the interelectrode distance D is decreased, the interelectrode capacitance C0 is increased, and the frequency change can be moderated with respect to the change (variation) of the load capacitance CL. That is, even if the load capacitance CL changes, the frequency change can be further reduced. Such an effect is particularly remarkable when the load capacitance CL is smaller than 12 pF from FIG.
ここで、図1に示した電極間距離Dは、圧電振動片32の表裏において、必ずしも同じである必要はない。すなわち、必要により表裏面の電極間距離Dを異ならせて、上述の調整を行っても良い。
また、このことは、電極間距離Dを変化させることにより、CL特性を変更することができ、電極間距離Dを変化させることで、電極間容量C0を変更でき、それによって、CL特性を調整する手法を得られることになる。
Here, the inter-electrode distance D shown in FIG. 1 is not necessarily the same on the front and back of the piezoelectric vibrating piece 32. That is, the above-described adjustment may be performed by changing the distance D between the electrodes on the front and back surfaces as necessary.
This also means that the CL characteristic can be changed by changing the interelectrode distance D, and the interelectrode capacitance C0 can be changed by changing the interelectrode distance D, thereby adjusting the CL characteristic. You will get a technique to do.
そして、このような手法は、本実施形態の圧電振動片32が、上述したように、支持用アーム61,62を利用して、パッケージ57などの収容容器に接合することにより、はじめて可能となる。
すなわち、この実施形態の圧電振動片32では、図4で説明した従来の圧電振動片1と異なり、基部51において、互いに距離を隔てて対向するように引き回された引出し電極37a,38aには、導電性接着剤43が付着することがない。このため、引出し電極37a,38aの対向距離dを小さくして、電極同士を近接させても、電極の短絡の危険がなく、負荷容量CLの変化に対応した周波数変化ΔFを緩やかなものとすることができるものである。
Such a technique is possible only when the piezoelectric vibrating piece 32 of the present embodiment is joined to a receiving container such as the
That is, in the piezoelectric vibrating piece 32 of this embodiment, unlike the conventional piezoelectric vibrating
本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、この発明は、箱状のパッケージに圧電振動片を収容したものに限らず、シリンダー状の容器に圧電振動片を収容したもの、圧電振動片をジャイロセンサーとして機能するようにしたもの、さらには、圧電振動子、圧電発振器等の名称にかかわらず、圧電振動片を利用したあらゆる圧電デバイスに適用することができる。さらに、圧電振動片32では、一対の振動腕を形成しているが、これに限らず、振動腕は3本でも、4本以上でもよい。
The present invention is not limited to the above-described embodiment. The configurations of the embodiment and the modified examples can be combined or omitted as appropriate, and can be combined with other configurations not shown.
The present invention is not limited to the case where the piezoelectric vibrating piece is accommodated in a box-shaped package, the case where the piezoelectric vibrating piece is accommodated in a cylindrical container, the piezoelectric vibrating piece functioning as a gyro sensor, Can be applied to any piezoelectric device using a piezoelectric vibrating piece regardless of the name of a piezoelectric vibrator, a piezoelectric oscillator, or the like. Further, the piezoelectric vibrating piece 32 forms a pair of vibrating arms, but is not limited to this, and the number of vibrating arms may be three or four or more.
30・・・圧電デバイス、32・・・圧電振動片、33,34・・・長溝、35,36・・・振動腕、37a,38a・・・引出し電極、61,62・・・支持用アーム、D・・・電極間距離
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記基部の一端側から延びる複数の振動腕と、
前記基部の前記一端側より所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アームと、
前記各振動腕に形成された対となる駆動用の電極と、
前記対となる駆動用の電極が、互いに距離を隔てて対向するようにそれぞれ前記基部に引き回されて形成された引出し電極と、
これら引出し電極が対応する前記支持用アームに引き回されることにより形成された接続用の電極と
を備えており、
前記基部の表裏面の前記引出し電極の少なくとも一方について、前記対向距離を最小に設定する構成とした
ことを特徴とする圧電振動片。 A base formed of piezoelectric material;
A plurality of vibrating arms extending from one end of the base;
A supporting arm that extends in the width direction from the other end side that is a predetermined distance away from the one end side of the base, and extends in the same direction as the vibrating arm outside the vibrating arm;
A pair of driving electrodes formed on each of the vibrating arms;
A lead electrode formed by being routed to the base so that the pair of driving electrodes face each other at a distance;
A connection electrode formed by these extraction electrodes being routed to the corresponding support arm, and
The piezoelectric vibrating piece according to claim 1, wherein the opposing distance is set to a minimum for at least one of the extraction electrodes on the front and back surfaces of the base.
前記圧電振動片が、
圧電材料により形成された基部と、
前記基部の一端側から延びる複数の振動腕と、
前記基部の前記一端側より所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アームと、
前記各振動腕に形成された対となる駆動用の電極と、
前記対となる駆動用の電極が、互いに距離を隔てて対向するようにそれぞれ前記基部に引き回されて形成された引出し電極と、
これら引出し電極が対応する前記支持用アームに引き回されることにより形成された接続用の電極と
を備えており、
前記基部の表裏面の前記引出し電極の少なくとも一方について、前記対向距離を最小に設定する構成とした
ことを特徴とする圧電デバイス。 A piezoelectric device containing a piezoelectric vibrating piece in a package or case,
The piezoelectric vibrating piece is
A base formed of piezoelectric material;
A plurality of vibrating arms extending from one end of the base;
A supporting arm that extends in the width direction from the other end side that is a predetermined distance away from the one end side of the base, and extends in the same direction as the vibrating arm outside the vibrating arm;
A pair of driving electrodes formed on each of the vibrating arms;
A lead electrode formed by being routed to the base so that the pair of driving electrodes face each other at a distance;
A connection electrode formed by these extraction electrodes being routed to the corresponding support arm, and
The piezoelectric device is characterized in that the opposing distance is set to a minimum for at least one of the extraction electrodes on the front and back surfaces of the base.
前記基部の表裏面の前記引出し電極の少なくとも一方について、前記対向距離を変更することにより、負荷容量の変化に対応する周波数変化を調整する
ことを特徴とする圧電振動片の特性調整方法。 A base portion formed of a piezoelectric material; a plurality of vibrating arms extending from one end side of the base portion; and extending in the width direction from the other end side separated by a predetermined distance from the one end side of the base portion, and outside the vibrating arm The supporting arms extending in the same direction as the vibrating arms, the paired driving electrodes formed on the vibrating arms, and the paired driving electrodes are opposed to each other at a distance from each other. And adjusting the characteristics of the piezoelectric vibrating reed comprising: an extraction electrode formed by being routed to the base portion; and a connection electrode formed by the extraction electrode being routed to the corresponding support arm. A way to
A method for adjusting the characteristics of a piezoelectric vibrating piece, comprising: adjusting at least one of the lead electrodes on the front and back surfaces of the base by changing the facing distance to adjust a frequency change corresponding to a change in load capacity.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005015487A JP2006203763A (en) | 2005-01-24 | 2005-01-24 | Piezoelectric vibrating piece, method for adjusting characteristic thereof and piezoelectric device |
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JP2005015487A JP2006203763A (en) | 2005-01-24 | 2005-01-24 | Piezoelectric vibrating piece, method for adjusting characteristic thereof and piezoelectric device |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017069606A (en) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | Tuning-fork type crystal element and crystal device with the tuning-fork type crystal element mounted therein |
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2005
- 2005-01-24 JP JP2005015487A patent/JP2006203763A/en not_active Withdrawn
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