JP2006201015A - 直線ライン状紫外照明光を用いた検査装置 - Google Patents
直線ライン状紫外照明光を用いた検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006201015A JP2006201015A JP2005012478A JP2005012478A JP2006201015A JP 2006201015 A JP2006201015 A JP 2006201015A JP 2005012478 A JP2005012478 A JP 2005012478A JP 2005012478 A JP2005012478 A JP 2005012478A JP 2006201015 A JP2006201015 A JP 2006201015A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- ultraviolet
- linear
- shaped
- light guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【解決手段】紫外波長域を含む可視光源装置1と、該光源装置より発する可視光をガイドする多成分ガラス素材を用いたライン状ライトガイド2と、該光源装置より発する光の波長域のうち前記ライン状ライトガイドの多成分ガラス素材にてガイド可能な紫外波長域の光を選択する光学フィルター4と、前記ライン状ライトガイド先端から発する紫外波長域の光を直線ライン状の紫外照明光に変換するプレート状ライトガイド3とから構成された直線ライン状照明手段と、該照明手段のプレート状ライトガイド3下端側から発する直線ライン状紫外照明光L1 により照明された被検査体Bの表面からの正反射光及び拡散反射光を紫外光感度域にて画像として検出する光像検出手段11とから構成される。
【選択図】図1
Description
機械工学便覧B.応用編(日本機械学会編 1993.7.30 発行)B4-158頁 光学ガラス
外透過率、紫外波長域を使用して検査するようにした直線ライン状紫外照明光を用いた検査装置であり、紫外光を使った検査装置が高価であるため、本発明における直線ライン状紫外照明手段によって、可視光源装置から発する光を、紫外光のみを透過する光学フィルターを用いて紫外波長域のみの光としてフィルタリングし、多成分ガラス素材を用いたライトガイドによってガイド可能な紫外波長域とした後に、直線ライン状の紫外照明光としたものであり、本発明における直線ライン状紫外照明手段によって直線ライン状に照明される被検査体の表面にて反射した紫外光は、紫外域波長360nm以上、400nm未満の紫外域における長波長側に60〜70%程度の高い透過率を持つレンズ(例えば、高純度ガラス原料(例えば光学ガラスBK7を用いた高透過率レンズ)を透し、CCDカメラ等の光像検出手段(電子撮像素子)のわずかにある紫外光波長域の感度を利用して、被検査体表面の画像(映像)として撮像が可能であり、その被検査体表面の状態を検査することが可能になる。
置等の検査装置となるものである。
B…被検査体
1…紫外光を含む可視光源装置
2…ライン状ライトガイド
2a…ガイド基端部
2b…先端部
3…プレート状ライトガイド
4…光学フィルター
11…光像検出手段
12…光学レンズ部
Claims (3)
- 紫外波長域を含む可視光源装置と、該可視光源装置より発する可視光をガイドする多成分ガラス素材を用いたファイバーにより作製されたライン状ライトガイドと、該可視光源装置より発する光の波長域のうち前記ライン状ライトガイドの多成分ガラス素材にてガイド可能な紫外波長域の光を選択する紫外光透過光学フィルターと、前記ライン状ライトガイド先端から発する紫外波長域の光を直線ライン状の紫外照明光に変換するプレート状ライトガイドとから構成された直線ライン状照明手段と、該直線ライン状照明手段のプレート状ライトガイド先端側から発する直線ライン状紫外照明光により照明された被検査体の表面からの正反射光及び拡散反射光を紫外光感度域にて画像として検出するCCDカメラ等の光像検出手段とから構成されることを特徴とする直線ライン状紫外照明光を用いた検査装置。
- 前記プレート状ライトガイドには、1基乃至複数基の前記可視光源装置のランイ状ライトガイトが接続されている請求項1記載の直線ライン状紫外照明光を用いた検査装置。
- 前記光像検出手段が、リニア型又はエリア型のCCDカメラである請求項1又は2記載の直線ライン状紫外照明光を用いた検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005012478A JP2006201015A (ja) | 2005-01-20 | 2005-01-20 | 直線ライン状紫外照明光を用いた検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005012478A JP2006201015A (ja) | 2005-01-20 | 2005-01-20 | 直線ライン状紫外照明光を用いた検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006201015A true JP2006201015A (ja) | 2006-08-03 |
Family
ID=36959149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005012478A Pending JP2006201015A (ja) | 2005-01-20 | 2005-01-20 | 直線ライン状紫外照明光を用いた検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006201015A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010008173A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 光透過性フィルムの欠陥検出装置 |
CN105650528A (zh) * | 2016-02-16 | 2016-06-08 | 江南大学 | 一种用于异种纤维智能分拣的复合光源装置 |
CN112781838A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-05-11 | 苏州清江精密机械科技有限公司 | 一种导光板检测器及其使用方法 |
CN113125453A (zh) * | 2021-04-27 | 2021-07-16 | 贵州航天精工制造有限公司 | 一种渗透检测psm试块退化实验拍照装置及其使用方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS441838Y1 (ja) * | 1967-11-29 | 1969-01-23 | ||
JPS5768801A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-27 | Fuji Photo Optical Co Ltd | Linear lighting equipment |
JPH01272945A (ja) * | 1988-04-26 | 1989-10-31 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥の検査方法 |
JPH07333169A (ja) * | 1994-06-10 | 1995-12-22 | Ibiden Co Ltd | パターン検査装置 |
JPH09230444A (ja) * | 1996-02-21 | 1997-09-05 | Koshiro Nakai | リード部検出用照光器 |
JP2000057841A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Hamamatsu Photonics Kk | スポット光源装置 |
JP2000266681A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kk | ライン照明装置 |
JP2002310924A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Toray Ind Inc | シートの欠陥検査装置及びシートの製造方法 |
JP2003121372A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-04-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 鋼板疵検査装置 |
JP2004029180A (ja) * | 2002-06-24 | 2004-01-29 | Nitto Denko Corp | 紫外線偏光光源装置及びそれを用いた液晶配向膜の製造方法 |
JP2006162456A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-22 | Toppan Printing Co Ltd | ライン照明用直管式光源灯 |
-
2005
- 2005-01-20 JP JP2005012478A patent/JP2006201015A/ja active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS441838Y1 (ja) * | 1967-11-29 | 1969-01-23 | ||
JPS5768801A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-27 | Fuji Photo Optical Co Ltd | Linear lighting equipment |
JPH01272945A (ja) * | 1988-04-26 | 1989-10-31 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥の検査方法 |
JPH07333169A (ja) * | 1994-06-10 | 1995-12-22 | Ibiden Co Ltd | パターン検査装置 |
JPH09230444A (ja) * | 1996-02-21 | 1997-09-05 | Koshiro Nakai | リード部検出用照光器 |
JP2000057841A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Hamamatsu Photonics Kk | スポット光源装置 |
JP2000266681A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kk | ライン照明装置 |
JP2002310924A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Toray Ind Inc | シートの欠陥検査装置及びシートの製造方法 |
JP2003121372A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-04-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 鋼板疵検査装置 |
JP2004029180A (ja) * | 2002-06-24 | 2004-01-29 | Nitto Denko Corp | 紫外線偏光光源装置及びそれを用いた液晶配向膜の製造方法 |
JP2006162456A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-22 | Toppan Printing Co Ltd | ライン照明用直管式光源灯 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010008173A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 光透過性フィルムの欠陥検出装置 |
CN105650528A (zh) * | 2016-02-16 | 2016-06-08 | 江南大学 | 一种用于异种纤维智能分拣的复合光源装置 |
CN112781838A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-05-11 | 苏州清江精密机械科技有限公司 | 一种导光板检测器及其使用方法 |
CN113125453A (zh) * | 2021-04-27 | 2021-07-16 | 贵州航天精工制造有限公司 | 一种渗透检测psm试块退化实验拍照装置及其使用方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20050264672A1 (en) | Image pickup apparatus for capturing spectral images of an object and observation system including the same | |
JP4511978B2 (ja) | 表面疵検査装置 | |
US20110317156A1 (en) | Inspection device for defect inspection | |
TW200839227A (en) | Automatic inspection system for flat panel substrate | |
JP2005300553A5 (ja) | ||
JP2010151479A (ja) | 配線パターン検査装置 | |
WO2007020451A3 (en) | Handheld image processing apparatus | |
GB0602137D0 (en) | Chemical and property imaging | |
CN103364405A (zh) | 表面缺陷检测设备及其控制方法 | |
EP2381245A3 (en) | Image inspection device and image forming apparatus | |
CN203069531U (zh) | 透明光学元件表面缺陷的检测装置 | |
EP1698939A3 (en) | Exposure apparatus and method, measuring apparatus, and device manufacturing method | |
JP2006201015A (ja) | 直線ライン状紫外照明光を用いた検査装置 | |
JP2009085691A (ja) | 検査装置 | |
JP2007333563A (ja) | 光透過性シートの検査装置および検査方法 | |
KR20160121716A (ko) | 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치 | |
JP2008004284A5 (ja) | ||
KR101568980B1 (ko) | 자동초점 조절장치 및 자동초점 조절방법 | |
KR101447857B1 (ko) | 렌즈 모듈 이물 검사 시스템 | |
JP2010054465A (ja) | 観察装置 | |
JP2014169988A (ja) | 透過体または反射体の欠陥検査装置 | |
JP5992990B2 (ja) | Atr測定用の対物光学系およびatr測定装置 | |
KR101761980B1 (ko) | 광검사 시스템 | |
JP2011134687A (ja) | 照明装置 | |
KR20160032576A (ko) | 고속 카메라 및 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100511 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100707 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100727 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100927 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110215 |