JP2006198830A - エポキシ樹脂組成物およびそれを用いたインターネットヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】長尺化したインクジェットヘッドにおいて、被覆樹脂の剥離を防止する。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子1が形成された基板2上に信頼性のある液流路を形成するために、液状光カチオン硬化型エポキシ樹脂組成物は、少なくとも脂環式エポキシ樹脂とビスフェノールA型エポキシ樹脂とシランカップリング剤と硬化剤とからなる構成とし、その主剤である脂環式エポキシ樹脂に、平均分子量900〜60000のビスフェノールA型エポキシ樹脂を10〜45wt%混合させることにより、被膜樹脂の応力を緩和させる。
【選択図】図1
【解決手段】インク吐出圧力発生素子1が形成された基板2上に信頼性のある液流路を形成するために、液状光カチオン硬化型エポキシ樹脂組成物は、少なくとも脂環式エポキシ樹脂とビスフェノールA型エポキシ樹脂とシランカップリング剤と硬化剤とからなる構成とし、その主剤である脂環式エポキシ樹脂に、平均分子量900〜60000のビスフェノールA型エポキシ樹脂を10〜45wt%混合させることにより、被膜樹脂の応力を緩和させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、インクジェット記録方式に用いる記録液小滴を発生するためのインクジェットヘッドに用いるエポキシ樹脂組成物に関する。
インクの小滴を発生させ、それを紙等の被プリント媒体に付着せしめてプリントを行うインクジェットプリント方式は、プリント時の騒音が極めて少なく、かつ高速プリントが可能であり、しかもインクジェットヘッドを極めて小型化できるため、カラー化及びコンパクト化が容易であるプリント方式である。該インクジェットプリント方式のひとつに発熱素子によってインクを発泡せしめ、この気泡の成長を利用してインクを吐出するタイプがある。
近年記録技術の進展に伴い、インクジェット記録技術にもより高密度高精度な記録が求められている。この要求を満たすインクジェットヘッドとして、特開平6−286149に示されるようなフォトリソ技術を用いて溶解可能な樹脂でインク液流路をパターニングし、該パターンをエポキシ樹脂等で被覆、硬化し、基板を切断した後に、その後溶解可能な樹脂を溶出除去する方法が提案されている。
特開平6−286149号公報
前述した製造方法において、高密度かつ高精度のインクジェットヘッドを得ることをできるものの、近年、プリントスピードの高速化を達成するために、該ヘッドに搭載される吐出エレメントを長尺化する必要がある。
しかしながら、吐出エレメントの長尺化(特に0.5インチ以上)は、該構成部材の線膨張率の違い、液流路壁や吐出孔を形成する樹脂層の応力等により、液流路壁や吐出孔を形成する被覆樹脂層5と平坦化層やヒーター基板との間で剥離が発生してしまう。その結果、良好な印字が得られなかったり、長期に渡る品質信頼性を確保することが困難であった。
本発明の目的は、該吐出エレメントを長尺化しても、液流路壁や吐出孔を形成する被覆樹脂層5がヒーターボード基板と良好に密着することにより、良好な印字状態と長期に渡る信頼性を確保することである。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであって、インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に信頼性ある液流路を形成するために、液状光カチオン硬化型エポキシ樹脂組成物は、少なくとも脂環式エポキシ樹脂とビスフェノールA型エポキシ樹脂とシランカップリング剤と硬化剤からなる構成とすることにより、高精度に液流路形状を形成することとクラックのない信頼性に優れたインクジェットヘッドを得ることを目的としている。さらに、0.5インチ以上に長尺化されたインクジェットヘッドにおいても、長期に渡り高い信頼性を得ることを目的としている。
主剤となる脂環式エポキシ樹脂としては、他の樹脂との相溶性の観点や優れた光カチオン硬化性などから、EHPE−3150(ダイセル化学製)が望ましい。さらに、応力を制御するためのビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、エピコート1001、1007、1010等(分子量900〜5500)(ジャパンエポキシレジン製)から適宜選択することができる。さらに、エピコート1256(分子量50000)(ジャパンエポキシレジン製)のようなエポキシ基を有するフェノキシ樹脂からも適宜選択することができる。
シランカップリング剤としては、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメチルジエトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。シランカップリング剤として汎用的なアミノ系シランカップリング剤は、光硬化反応に寄与するカチオンをトラップしてしまうため、本発明に適用することはできない。上市されている好適な例としては、A−187(日本ユニカー製)が挙げられる。
硬化剤としては、光カチオン重合開始剤として、芳香剤ジアゾニウム塩、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルフォニウム塩、芳香族セレニウム塩等が挙げられる。上市されている好適なものとして、SP−170やSP−172(旭電化工業製)が挙げられる。
また本発明の組成物には、さらにフッ素含有ジオール等の各種添加物を適宜選択して加えることができる。
本件出願人らが鋭意検討した結果、インクジェットヘッドを0.5インチ以上に長尺化しても剥がれない高い信頼性を得るためには、ビスフェノールA型エポキシ樹脂の平均分子量は900〜60000であり、かつ脂環式エポキシ樹脂に対して10〜45wt%含有することが望ましいという結論に到達した。
さらに、信頼性を高めるために被覆樹脂層の密着向上手段は、脂環式エポキシ樹脂とビスフェノールA型エポキシ樹脂の総量に対して、シランカップリング剤の配合量は、1〜10wt%であり、好ましくは、2〜6wt%であることが望ましいという結論に到達した。前記配合量が、1wt%より少ない場合は、シランカップリング剤としての添加効果が得られず、10wt%より多く混合すると、UV光によりパターニングした際、良好な寸法精度を得られないということが判明した。
本発明における記載や図示は、サイドシューターであるが、本発明は、エッジシューターのインクジェットヘッドにも適用することができるのは言うまでもない。
以上、説明したように、本発明によれば、脂環式エポキシ樹脂とビスフェノールA型エポキシ樹脂の混合系とすることで、0.5インチ以上の長尺化されたインクジェットヘッドの吐出エレメントを形成する際に、剥れのない吐出性能の安定した長期に渡って信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる。
以下、本発明のインクジェットヘッドの製造方法の一例を、図1を参照しつつ説明する。
まず、図1に示すようにシリコンウエハ上に液体吐出エネルギー発生素子であるヒーター1を設け、ヒーターボード基板2とする。該ヒーター基板2上にスピンコート法にて、最終的にインク液流路となるべく溶解可能な固体層3として、レジストを塗布する。該レジスト材料は、ポリメチルイソプロペニルケトンからなり、ネガ型のレジストとして作用し、インク液流路の形状にフォトリソ技術によりパターニングされる。
続いて、液流路壁や吐出孔を形成すべく被覆樹脂層5を形成する。該被覆樹脂層5は、従来より知られているコーティング法を適宜選択することができ、インク液流路パターンが形成されたヒーター基板上に塗布することができる。塗布された被覆樹脂層5は、フォトリソ技術にてパターニングされる。下記記載の実施例および比較例の組成物を用いて該被覆樹脂層5を形成した。
(感光性樹脂組成物溶液A)
脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル化学製)90重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エピコート1010、ジャパンエポキシレジン社製)10重量部、重合開始剤(SP−172、旭電化工業社製)1重量部、シランカップリング剤(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)(A−187、日本ユニカー製)5重量部をジグライムに溶解し、感光性樹脂組成物溶液Aを得た。
脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル化学製)90重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エピコート1010、ジャパンエポキシレジン社製)10重量部、重合開始剤(SP−172、旭電化工業社製)1重量部、シランカップリング剤(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)(A−187、日本ユニカー製)5重量部をジグライムに溶解し、感光性樹脂組成物溶液Aを得た。
(感光性樹脂組成物溶液B)
脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル化学社製)80重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エピコート1007、ジャパンエポキシレジン社製)20重量部、重合開始剤(SP−172、旭電化工業社製)1重量部、シランカップリング剤(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)(A−187、日本ユニカー製)5重量部をジグライムに溶解し、感光性樹脂組成物溶液Bを得た。
脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル化学社製)80重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エピコート1007、ジャパンエポキシレジン社製)20重量部、重合開始剤(SP−172、旭電化工業社製)1重量部、シランカップリング剤(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)(A−187、日本ユニカー製)5重量部をジグライムに溶解し、感光性樹脂組成物溶液Bを得た。
(感光性樹脂組成物溶液C)
脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル化学製)90重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エピコート1256、ジャパンエポキシレジン社製)10重量部、重合開始剤(SP−172、旭電化工業社製)1重量部、シランカップリング剤(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)(A−187、日本ユニカー製)5重量部をジグライムに溶解し、感光性樹脂組成物溶液Cを得た。
脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル化学製)90重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エピコート1256、ジャパンエポキシレジン社製)10重量部、重合開始剤(SP−172、旭電化工業社製)1重量部、シランカップリング剤(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)(A−187、日本ユニカー製)5重量部をジグライムに溶解し、感光性樹脂組成物溶液Cを得た。
(感光性樹脂組成物溶液D)
脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル化学製)100重量部、重合開始剤(SP−172、旭電化工業社製)1重量部、シランカップリング剤(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)(A−187、日本ユニカー製)5重量部をジグライムに溶解し、感光性樹脂組成物溶液Dを得た。
脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル化学製)100重量部、重合開始剤(SP−172、旭電化工業社製)1重量部、シランカップリング剤(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)(A−187、日本ユニカー製)5重量部をジグライムに溶解し、感光性樹脂組成物溶液Dを得た。
(感光性樹脂組成物溶液E)
脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル化学製)60重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エピコート1256、ジャパンエポキシレジン社製)40重量部、重合開始剤(SP−172、旭電化工業社製)1重量部、シランカップリング剤(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)(A−187、日本ユニカー製)5重量部をジグライムに溶解し、感光性樹脂組成物溶液Eを得た。
脂環式エポキシ樹脂(EHPE−3150、ダイセル化学製)60重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エピコート1256、ジャパンエポキシレジン社製)40重量部、重合開始剤(SP−172、旭電化工業社製)1重量部、シランカップリング剤(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)(A−187、日本ユニカー製)5重量部をジグライムに溶解し、感光性樹脂組成物溶液Eを得た。
前記、実施例および比較例の樹脂組成物を用いて、スピンコート法により前記被膜樹脂層5を形成した後、フォトリソ技術にて重合硬化反応させ、液流路壁及び吐出孔形状を形成する。その後、ヒーター基板裏面よりインク液供給孔7として、異方性エッチング法、サンドプラスト法、異方性プラズマエッチング法などにより、ヒーター基板裏面からインク供給孔を形成する。最も好ましくは、テトラメチルヒドロキシアミン(TMAH)、NaOHやKOH等を用いた化学的シリコン異方性エッチング法により、インク液供給孔7を形成した。
続いて、溶解可能な固体層3、4を除去すべく、Deep−UV光による全面露光を行った後、現像、乾燥を行った。
以上の工程によりノズル部が作成された基板を、ダイシングソーなどにより分離切断、チップ化し、発熱抵抗体1を駆動するための電気的接合とインク供給部材の接合を行い、インクジェットヘッドが完成する。
前記感光性樹脂組成物溶液Aを用いて、前記工程に基づいてインクジェットヘッドAを得た。該ヘッドAは、pH10の強アルカリインクにおいても安定な吐出を実現し、さらに、該インクに60℃、3ヶ月浸漬した後も放置した後も良好な印字結果を得ることができた。被膜樹脂層5を観察したところ、ヒーター基板2との間に剥れは観察されなかった。
前記感光性樹脂組成物溶液Bを用いて、前記工程に基づいてインクジェットヘッドBを得た。該ヘッドBは、pH10の強アルカリインクにおいても安定な吐出を実現し、さらに、該インクに60℃、3ヶ月浸漬した後も良好な印字結果を得ることができた。被膜樹脂層5を観察したところ、ヒーター基板2との間に剥れは観察されなかった。
前記感光性樹脂組成物溶液Cを用いて、前記工程に基づいてインクジェットヘッドCを得た。該ヘッドCは、pH10の強アルカリインクにおいても安定な吐出を実現し、さらに、該インクに60℃、3ヶ月浸漬した後も良好な印字結果を得ることができた。被膜樹脂層5を観察したところ、ヒーター基板2との間に剥れは観察されなかった。
(比較例1)
前記感光性樹脂組成物溶液Dを用いて、前記工程に基づいてインクジェットヘッドDを得た。該ヘッドDは、pH10の強アルカリインクにおいても安定な吐出を実現したものの、該インクに60℃、3ヶ月浸漬した後の印字結果は、ヨレや不吐出により、不良であった。該インクジェットヘッドの被覆樹脂層5を観察したところ、剥れが確認された。
前記感光性樹脂組成物溶液Dを用いて、前記工程に基づいてインクジェットヘッドDを得た。該ヘッドDは、pH10の強アルカリインクにおいても安定な吐出を実現したものの、該インクに60℃、3ヶ月浸漬した後の印字結果は、ヨレや不吐出により、不良であった。該インクジェットヘッドの被覆樹脂層5を観察したところ、剥れが確認された。
(比較例2)
前記感光性樹脂組成物溶液Eを用いて、前記工程に基づいてインクジェットヘッドEを得た。しかしながら、露光、現像後に被膜樹脂層5にクラックと剥れが観察され、良好なインクジェットヘッドを形成することはできなかった。
前記感光性樹脂組成物溶液Eを用いて、前記工程に基づいてインクジェットヘッドEを得た。しかしながら、露光、現像後に被膜樹脂層5にクラックと剥れが観察され、良好なインクジェットヘッドを形成することはできなかった。
1 インク吐出圧力発生素子
2 基板
3 溶解可能な固体層(インク流路部)
4 溶解可能な固体層(土台部)
5 被覆樹脂層
6 インク吐出孔
7 インク供給孔
8 溶解可能な固体層除去のための貫通孔
2 基板
3 溶解可能な固体層(インク流路部)
4 溶解可能な固体層(土台部)
5 被覆樹脂層
6 インク吐出孔
7 インク供給孔
8 溶解可能な固体層除去のための貫通孔
Claims (4)
- インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、液流路自体を溶解可能な固体層にてパターニングした後に、該固体層を被覆し、かつ重合硬化することにより液流路壁の少なくとも一部を構成するインクジェットヘッドにおいて、
該液流路壁部材がエポキシ樹脂硬化物からなり、前記エポキシ樹脂組成物が、少なくとも脂環式エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、シランカップリング剤、硬化剤とから構成されるエポキシ樹脂組成物からなることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記ビスフェノールA型エポキシ樹脂の平均分子量は900〜60000であることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
- 前記ビスフェノールA型エポキシ樹脂が、前記脂環式エポキシ樹脂に対して10〜45wt%であることを特徴とする請求項1、2記載のインクジェットヘッド。
- 前記シランカップリング剤が、脂環式エポキシ樹脂とビスフェノールA型エポキシ樹脂の総量に対して1〜10wt%からなることを特徴とする請求項1、2、3記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005011547A JP2006198830A (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | エポキシ樹脂組成物およびそれを用いたインターネットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005011547A JP2006198830A (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | エポキシ樹脂組成物およびそれを用いたインターネットヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006198830A true JP2006198830A (ja) | 2006-08-03 |
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ID=36957247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005011547A Withdrawn JP2006198830A (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | エポキシ樹脂組成物およびそれを用いたインターネットヘッド |
Country Status (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009122211A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Nippon Kayaku Co Ltd | 感光性樹脂転写層の形成方法及び成形体の製造方法 |
JP2012131212A (ja) * | 2010-03-31 | 2012-07-12 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
-
2005
- 2005-01-19 JP JP2005011547A patent/JP2006198830A/ja not_active Withdrawn
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JP2009122211A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Nippon Kayaku Co Ltd | 感光性樹脂転写層の形成方法及び成形体の製造方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080401 |