JP2006187112A - 積層型圧電素子 - Google Patents

Abstract

【課題】 リード線による電極同士の接続を不要にすると共に、外部との接続を一側の面だけで行うことができる積層型圧電素子を提供する。
【解決手段】 積層型圧電素子の積層体２は、圧電体７〜１０で形成されている。圧電体８は、２行２列に配列された内部電極部１２Ａ〜１２Ｄを有し、対角の内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ同士は接続されている。圧電体９は、２行２列に配列された内部電極部１５Ａ〜１５Ｄを有し、対角の内部電極部１５Ａ，１５Ｄ同士は接続されている。圧電体１０は内部電極部１８を有している。積層体２の一側面には、電極部１２Ａ，１５Ａと接続された側面電極と、電極部１２Ｂ，１５Ｂと接続された側面電極と、電極部１８と接続された側面電極とが設けられ、積層体２の他側面には、電極部１２Ｃ，１５Ｃと接続された側面電極と、電極部１２Ｄ，１５Ｄと接続された側面電極とが設けられている。
【選択図】 図３

Description

本発明は、例えば超音波モータ（振動モータ）等に用いられる積層型圧電素子に関するものである。

従来における超音波モータ用の積層型圧電素子としては、例えば特許文献１に記載されているものが知られている。この特許文献１に記載の積層型圧電素子は、２行２列に配列された４つの分割電極を有する圧電体と１つの電極を有する圧電体とを積層してなり、４つの分割電極のうち対角に位置する２つの分割電極を同時に駆動させるものである。
特表２００３−５０１９８８号公報

しかしながら、上記従来技術においては、４つの分割電極のうち対角に位置する２つの分割電極同士の電気的接続や、異なる層の圧電体における対応する電極同士の電気的接続が、全てリード線を用いて行われているので、積層型圧電素子の製作に手間がかかってしまう。また、近年では、積層型圧電素子の小型化や省スペース化等に対処すべく、電圧源等といった外部との接続を積層型圧電素子の一側の面だけで行うことが望まれている。

本発明の目的は、リード線による電極同士の接続を不要にすると共に、外部との接続を一側の面だけで行うことができる積層型圧電素子を提供することである。

本発明は、２行２列に配列された４つの第１内部電極部を有する第１圧電体と、各第１内部電極部と対応するように２行２列に配列された４つの第２内部電極部を有する第２圧電体と、各第１内部電極部に対応する領域を含む第３内部電極部を有する第３圧電体とを積層してなる構造をもった積層体を備え、４つの第１内部電極部のうち、何れか一方の対角に位置する２つの第１内部電極部同士は接続され、他の２つの第１内部電極部は孤立しており、４つの第２内部電極部のうち、他方の対角に位置する２つの第２内部電極部同士は接続され、他の２つの第２内部電極部は孤立しており、積層体の一側の側面には、各第１内部電極部、各第２内部電極部及び第３内部電極部と接続され、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部及び対応する２つの第２内部電極部と第３内部電極部との間、または他方の対角に位置する２つの第１内部電極部及び対応する２つの第２内部電極部と第３内部電極部との間に電圧を印加するための少なくとも３つの端子電極が設けられていることを特徴とするものである。

このような積層型圧電素子を用いて、例えば当該圧電素子の側方に配置された回転体等の可動体を駆動させる場合には、積層型圧電素子に可動体と係合する押し付け用突起部を設け、この突起部を介して積層型圧電素子の変位を可動体に伝えるようにする。例えば、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部及びこれに対応する２つの第２内部電極部と第３内部電極部との間に電圧を印加すると、積層型圧電素子に略Ｓ字状の変位が生じ、この変位によって可動体が所定方向に駆動され、もう一方の対角に位置する２つの第１内部電極部及びこれに対応する２つの第２内部電極部と第３内部電極部との間に電圧を印加すると、積層型圧電素子に反対方向の略Ｓ字状の変位が生じ、この変位によって可動体が反対方向に駆動される。ここで、上記のように電圧を印加するための全ての端子電極は、積層体の一側の側面に設けられているので、外部電圧源との接続を積層体の一側の側面だけで行うことができる。また、そのような端子電極を積層体の側面に設けることで、リード線による内部電極部同士の電気的接続が不要となる。

好ましくは、積層体の一側の側面には、当該一側に位置する孤立した第１内部電極部及び対応する第２内部電極部とそれぞれ接続された第１側面電極と、当該一側に位置する孤立した第２内部電極部及び対応する第１内部電極部とそれぞれ接続された第２側面電極と、第３内部電極部と接続された第３側面電極とが設けられ、積層体の他側の側面には、当該他側に位置する孤立した第１内部電極部及び対応する第２内部電極部とそれぞれ接続された第４側面電極と、当該他側に位置する孤立した第２内部電極部及び対応する第１内部電極部とそれぞれ接続された第５側面電極とが設けられ、少なくとも３つの端子電極は、第１側面電極、第２側面電極及び第３側面電極である。

この場合、第１側面電極と第３側面電極との間に電圧を印加すると、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部及びこれに対応する２つの第２内部電極部と第３内部電極部との間に電圧が印加され、第２側面電極と第３側面電極との間に電圧を印加すると、もう一方の対角に位置する２つの第１内部電極部及びこれに対応する２つの第２内部電極部と第３内部電極部との間に電圧が印加されることになる。このような構成では、外部電圧源との接続箇所としては３つだけあれば良い。また、積層体の上面及び下面に、外部電圧源を接続するための外部電極を設けなくて済む。

また、第１圧電体は、積層体の他側に位置する孤立した第１内部電極部と接続され、一側の側面に向けて延びる第１引き出し部を更に有し、第２圧電体は、積層体の他側に位置する孤立した第２内部電極部と接続され、一側の側面に向けて延びる第２引き出し部を更に有し、積層体の一側の側面には、当該一側に位置する孤立した第１内部電極部及び対応する第２内部電極部とそれぞれ接続された第１側面電極と、当該一側に位置する孤立した第２内部電極部及び対応する第１内部電極部とそれぞれ接続された第２側面電極と、第３内部電極部と接続された第３側面電極と、第１引き出し部と接続された第４側面電極と、第２引き出し部と接続された第５側面電極とが設けられ、少なくとも３つの端子電極は、第１側面電極、第２側面電極、第３側面電極、第４側面電極及び第５側面電極である構成であってもよい。

この場合、第１側面電極及び第４側面電極と第３側面電極との間に電圧を印加すると、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部及びこれに対応する２つの第２内部電極部と第３内部電極部との間に電圧が印加され、第２側面電極及び第５側面電極と第３側面電極との間に電圧を印加すると、もう一方の対角に位置する２つの第１内部電極部及びこれに対応する２つの第２内部電極部と第３内部電極部との間に電圧が印加されることになる。このような構成では、外部電圧源と接続される端子電極を積層体の一側の側面のみに設ければ良い。また、積層体の上面及び下面に、外部電圧源を接続するための外部電極を設けなくて済む。

また、本発明は、２行２列に配列された４つの第１内部電極部を有する第１圧電体と、各第１内部電極部と対応するように２行２列に配列された４つの第２内部電極部を有する第２圧電体とを積層してなる構造をもった積層体を備え、４つの第１内部電極部のうち、何れか一方の対角に位置する２つの第１内部電極部同士は接続され、他の２つの第１内部電極部は孤立しており、４つの第２内部電極部のうち、他方の対角に位置する２つの第２内部電極部同士は接続され、他の２つの第２内部電極部は孤立しており、積層体の一側の側面には、各第１内部電極部及び各第２内部電極部と接続され、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部と対応する２つの第２内部電極部との間、または他方の対角に位置する２つの第１内部電極部と対応する２つの第２内部電極部との間に電圧を印加するための少なくとも３つの端子電極が設けられていることを特徴とするものである。

このような積層型圧電素子を用いて、例えば当該圧電素子の側方に配置された回転体等の可動体を駆動させる場合には、積層型圧電素子に可動体と係合する押し付け用突起部を設け、この突起部を介して積層型圧電素子の変位を可動体に伝えるようにする。例えば、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧を印加すると、積層型圧電素子に略Ｓ字状の変位が生じ、この変位によって可動体が所定方向に駆動され、もう一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧を印加すると、積層型圧電素子に反対方向の略Ｓ字状の変位が生じ、この変位によって可動体が反対方向に駆動される。ここで、上記のように電圧を印加するための全ての端子電極は、積層体の一側の側面に設けられているので、外部電圧源との接続を積層体の一側の側面だけで行うことができる。また、そのような端子電極を積層体の側面に設けることで、リード線による内部電極部同士の電気的接続が不要となる。さらに、使用する圧電体としては、第１圧電体及び第２圧電体といった２種類だけあれば良い。

好ましくは、積層体の一側の側面には、当該一側に位置する孤立した第１内部電極部及び孤立した第２内部電極部とそれぞれ接続された第１側面電極と、当該一側に位置する他の第１内部電極部と接続された第２側面電極と、当該一側に位置する他の第２内部電極部と接続された第３側面電極とが設けられ、積層体の他側の側面には、当該他側に位置する孤立した第１内部電極部及び孤立した第２内部電極部とそれぞれ接続された第４側面電極が設けられ、積層体の上面及び下面の少なくとも一方には、第１側面電極と第４側面電極とを接続する補助電極が設けられ、少なくとも３つの端子電極は、第１側面電極、第２側面電極及び第３側面電極である。

この場合、第１側面電極と第２側面電極との間に電圧を印加すると、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧が印加され、第１側面電極と第３側面電極との間に電圧を印加すると、もう一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧が印加されることになる。このような構成では、外部電圧源との接続箇所としては３つだけあれば良い。

また、第１圧電体は、積層体の他側に位置する孤立した第１内部電極部と接続され、一側の側面に向けて延びる第１引き出し部を更に有し、第２圧電体は、積層体の他側に位置する孤立した第２内部電極部と接続され、一側の側面に向けて延びる第２引き出し部を更に有し、積層体の一側の側面には、当該一側に位置する孤立した第１内部電極部及び孤立した第２内部電極部とそれぞれ接続された第１側面電極と、当該一側に位置する他の第１内部電極部と接続された第２側面電極と、当該一側に位置する他の第２内部電極部と接続された第３側面電極と、第１引き出し部と接続された第４側面電極と、第２引き出し部と接続された第５側面電極とが設けられ、少なくとも３つの端子電極は、第１側面電極、第２側面電極、第３側面電極、第４側面電極及び第５側面電極である構成であってもよい。

この場合、第１側面電極及び第４側面電極と第２側面電極との間に電圧を印加すると、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧が印加され、第１側面電極及び第５側面電極と第３側面電極との間に電圧を印加すると、もう一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧が印加されることになる。このような構成では、外部電圧源と接続される端子電極を積層体の一側の側面のみに設ければ良い。また、積層体の上面及び下面に、外部電圧源を接続するための外部電極を設けなくて済む。

さらに、積層体の一側の側面には、当該一側に位置する孤立した第１内部電極部と接続された第１側面電極と、当該一側に位置する孤立した第２内部電極部と接続された第２側面電極と、当該一側に位置する他の第１内部電極部及び他の第２内部電極部とそれぞれ接続された第３側面電極とが設けられ、積層体の他側の側面には、当該他側に位置する孤立した第１内部電極部と接続された第４側面電極と、当該他側に位置する孤立した第２内部電極部と接続された第５側面電極とが設けられ、積層体の上面及び下面の少なくとも一方には、第１側面電極と第４側面電極とを接続する第１補助電極と、第２側面電極と第５側面電極とを接続する第２補助電極とが設けられ、少なくとも３つの端子電極は、第１側面電極、第２側面電極及び第３側面電極である構成であってもよい。

この場合、第１側面電極と第３側面電極との間に電圧を印加すると、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧が印加され、第２側面電極と第３側面電極との間に電圧を印加すると、もう一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧が印加されることになる。このような構成では、外部電圧源との接続箇所としては３つだけあれば良い。

また、第１圧電体は、積層体の他側に位置する孤立した第１内部電極部と接続され、一側の側面に向けて延びる第１引き出し部を更に有し、第２圧電体は、積層体の他側に位置する孤立した第２内部電極部と接続され、一側の側面に向けて延びる第２引き出し部を更に有し、積層体の一側の側面には、当該一側に位置する孤立した第１内部電極部と接続された第１側面電極と、当該一側に位置する孤立した第２内部電極部と接続された第２側面電極と、当該一側に位置する他の第１内部電極部及び他の第２内部電極部とそれぞれ接続された第３側面電極と、第１引き出し部と接続された第４側面電極と、第２引き出し部と接続された第５側面電極とが設けられ、少なくとも３つの端子電極は、第１側面電極、第２側面電極、第３側面電極、第４側面電極及び第５側面電極である構成であってもよい。

この場合、第１側面電極及び第４側面電極と第３側面電極との間に電圧を印加すると、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧が印加され、第２側面電極及び第５側面電極と第３側面電極との間に電圧を印加すると、もう一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧が印加されることになる。このような構成では、外部電圧源と接続される端子電極を積層体の一側の側面のみに設ければ良い。また、積層体の上面及び下面に、外部電圧源を接続するための外部電極を設けなくて済む。

さらに、本発明は、２行２列に配列された４つの第１内部電極部を有する第１圧電体と、各第１内部電極部と対応するように２行２列に配列された４つの第２内部電極部を有する第２圧電体とを積層してなる構造をもった積層体を備え、４つの第１内部電極部のうち、積層体の一側に位置する２つの第１内部電極部同士は接続され、他の２つの第１内部電極部は孤立しており、４つの第２内部電極部のうち、積層体の他側に位置する２つの第２内部電極部同士は接続され、他の２つの第２内部電極部は孤立しており、積層体の一側の側面には、各第１内部電極部及び各第２内部電極部と接続され、４つの第１内部電極部のうち何れか一方の対角に位置する２つの第１内部電極部と対応する２つの第２内部電極部との間、または４つの第１内部電極部のうち他方の対角に位置する２つの第１内部電極部と対応する２つの第２内部電極部との間に電圧を印加するための少なくとも３つの端子電極が設けられていることを特徴とするものである。

このような積層型圧電素子を用いて、例えば当該圧電素子の側方に配置された回転体等の可動体を駆動させる場合には、積層型圧電素子に可動体と係合する押し付け用突起部を設け、この突起部を介して積層型圧電素子の変位を可動体に伝えるようにする。例えば、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧を印加すると、積層型圧電素子に略Ｓ字状の変位が生じ、この変位によって可動体が所定方向に駆動され、もう一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧を印加すると、積層型圧電素子に反対方向の略Ｓ字状の変位が生じ、この変位によって可動体が反対方向に駆動される。ここで、上記のように電圧を印加するための全ての端子電極は、積層体の一側の側面に設けられているので、外部電圧源との接続を積層体の一側の側面だけで行うことができる。また、そのような端子電極を積層体の側面に設けることで、リード線による内部電極部同士の電気的接続が不要となる。さらに、使用する圧電体としては、第１圧電体及び第２圧電体といった多くても２種類あれば良い。

好ましくは、第１圧電体は、積層体の他側に位置する孤立した２つの第１内部電極部とそれぞれ接続され、一側の側面に向けて延びる２つの第１引き出し部を更に有し、第２圧電体は、積層体の他側に位置する各第２内部電極部と接続され、一側の側面に向けて延びる第２引き出し部を更に有し、積層体の一側の側面には、当該一側に位置する各第１内部電極部及び第２引き出し部とそれぞれ接続された第１側面電極と、当該一側に位置する２つの第２内部電極部とそれぞれ接続された２つの第２側面電極と、２つの第１引き出し部とそれぞれ接続された２つの第３側面電極とが設けられ、少なくとも３つの端子電極は、第１側面電極、２つの第２側面電極及び２つの第３側面電極である。

この場合、第１側面電極と一方の第２側面電極及び一方の第３側面電極との間に電圧を印加すると、一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧が印加され、第１側面電極と他方の第２側面電極及び他方の第３側面電極との間に電圧を印加すると、もう一方の対角に位置する２つの第１内部電極部とこれに対応する２つの第２内部電極部との間に電圧が印加されることになる。このような構成では、外部電圧源と接続される端子電極を積層体の一側の側面のみに設ければ良い。また、積層体の上面及び下面に、外部電圧源を接続するための外部電極を設けなくて済む。さらに、第１圧電体と第２圧電体とを同一構造とすることができ、この場合には、使用する圧電体としては１種類で済む。

本発明によれば、リード線による電極同士の接続を行わなくて済むので、積層型圧電素子の製作の容易化を図ることができる。また、積層型圧電素子の一側の面だけで外部との接続を行うことができるので、積層型圧電素子の使用時に、外部との接続のための配線効率を向上させ、省スペース化を図ることが可能となる。

以下、本発明に係わる積層型圧電素子の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

まず、本発明に係わる積層型圧電素子の第１実施形態を図１〜図６により説明する。図１は、本実施形態の積層型圧電素子を超音波モータ（振動モータ）に適用した場合の平面図である。

同図において、積層型圧電素子１は直方体状の積層体２を備え、この積層体２の一端面には、回転体３と係合する押し付け用突起部４が設けられている。積層体２は、図２に示すように、複数の圧電層５と複数の内部電極層６とを有している。圧電層５は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を主成分とする圧電セラミック材料で形成されている。内部電極層６は、Ａｇ，Ｐｄを主成分とする導電材料で形成されている。

具体的には、積層体２は、図３に示すようなフタ用圧電体７及び電極付き圧電体８〜１０を積層して形成されている。これらの圧電体７〜１０は、長方形状を有している。圧電体７〜１０の寸法は、例えば縦６ｍｍ、横１．５ｍｍ、厚さ１００μｍ程度である。図３（ａ）に示すフタ用圧電体７は、最上層の圧電層５を構成するものである。

図３（ｂ）に示す電極付き圧電体８は、圧電層５を構成する圧電部１１の上面に、複数の内部電極層６の一部を構成する４つの内部電極部１２Ａ〜１２Ｄを形成したものである。内部電極部１２Ａ〜１２Ｄは、２行２列（田の字形）に配列されている。内部電極部１２Ａ〜１２Ｄのうち、一方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ同士は接続部１３を介して接続され、他方の対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄは孤立している。

図３（ｃ）に示す電極付き圧電体９は、圧電層５を構成する圧電部１４の上面に、複数の内部電極層６の一部を構成する４つの内部電極部１５Ａ〜１５Ｄを形成したものである。内部電極部１５Ａ〜１５Ｄは、内部電極部１２Ａ〜１２Ｄと対応するように２行２列に配列されている。内部電極部１５Ａ〜１５Ｄのうち、一方の対角（内部電極部１２Ａ，１２Ｄに対応する対角）に位置する内部電極部１５Ａ，１５Ｄ同士は接続部１６を介して接続され、他方の対角（内部電極部１２Ｂ，１２Ｃに対応する対角）に位置する内部電極部１５Ｂ，１５Ｃは孤立している。

図３（ｄ）に示す電極付き圧電体１０は、圧電層５を構成する圧電部１７の上面に、複数の内部電極層６の一部を構成する内部電極部１８を形成したものである。内部電極部１８は、上記の内部電極部１２Ａ〜１２Ｄ及び内部電極部１５Ａ〜１５Ｄに対応する領域を含んでいる。

積層体２は、下から電極付き圧電体１０、電極付き圧電体９、電極付き圧電体１０、電極付き圧電体８及びフタ用圧電体７を積層した構造をなしている。このとき、内部電極部１２Ａ〜１２Ｄ及び内部電極部１５Ａ〜１５Ｄは、互いに重なり合う領域を有している。また、内部電極部１８は、内部電極部１２Ａ〜１２Ｄ及び内部電極部１５Ａ〜１５Ｄに対して重なり合う領域を有している。

図２に示すように、積層体２の一方の側面２ａ側に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｂ，１５Ａ，１５Ｂは、当該側面２ａに露出している。積層体２の他方の側面２ｂ側に位置する内部電極部１２Ｃ，１２Ｄ，１５Ｃ，１５Ｄは、当該側面２ｂに露出している。内部電極部１８は、積層体２の両側面２ａ，２ｂに露出している。

積層体２の側面２ａには、内部電極部１２Ａ，１５Ａと接続された側面端子電極１９と、内部電極部１２Ｂ，１５Ｂと接続された側面端子電極２０と、各内部電極部１８と接続された側面端子電極２１とが設けられている。側面端子電極２１は、側面端子電極１９，２０間に形成されている。積層体２の側面２ｂには、内部電極部１２Ｃ，１５Ｃと接続された側面端子電極２２と、内部電極部１２Ｄ，１５Ｄと接続された側面端子電極２３と、各内部電極部１８と接続された側面端子電極２４とが設けられている。側面端子電極２４は、側面端子電極２２，２３間に形成されている。側面端子電極１９〜２４は、例えばＡｇ、Ａｕ及びＣｕのいずれかを主成分とする導電材料で形成されている。

このような積層型圧電素子１を製造する場合は、まず例えばＰＺＴを主成分とした複数枚の圧電セラミックグリーンシートを作製する。このグリーンシートは、上記のフタ用圧電体７及び圧電部１１，１４，１７に相当するものである。次いで、例えばスクリーン印刷法を用いてグリーンシートの一面に内部電極を印刷することにより、上記の電極付き圧電体８〜１０に相当する電極付きグリーンシートを形成する。次いで、これらのグリーンシートを所定の枚数・順序で積層し、更にプレス加工を行った後、所定の温度で焼成し切断することにより、上記の積層体２を形成する。

その後、例えば焼付処理、スパッタリング法や無電解メッキ法等を用いて、積層体２の側面２ａに側面端子電極１９〜２１を形成し、積層体２の側面２ｂに側面端子電極２２〜２４を形成する。最後に、このような積層体２に対して分極処理を行う。これにより、積層型圧電素子１が完成する。

以上のように構成した積層型圧電素子１において、内部電極部１８をグランド電極とした状態で、一方の対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄ及びこれに対応する内部電極部１５Ａ，１５Ｄと内部電極部１８との間に交流電圧（例えば２００ｋＨｚで５〜１０Ｖ）を印加すると、内部電極部１２Ａ，１２Ｄ及び内部電極部１５Ａ，１５Ｄと内部電極部１８との間に電界が生じる。すると、これらの内部電極層６間の圧電層５は、図４（ａ）に示すように略Ｓ字状の撓み変形を起こした状態で振動するようになる。そして、この振動が押し付け用突起部４に伝えられ、押し付け用突起部４が図４（ａ）に示すような方向で回転体３に周期的に当接し、この時の摩擦力によって回転体３が時計回りに回転するようになる。

また、もう一方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ及びこれに対応する内部電極部１５Ｂ，１５Ｃと内部電極部１５との間に同じ交流電圧を印加すると、内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ及び内部電極部１５Ｂ，１５Ｃと内部電極部１８との間に電界が生じる。すると、これらの内部電極層６間の圧電層５は、図４（ｂ）に示すように反対側に略Ｓ字状の撓み変形を起こした状態で振動するようになる。そして、この振動が押し付け用突起部４に伝えられ、押し付け用突起部４が図４（ｂ）に示すような方向で回転体３に周期的に当接し、この時の摩擦力によって回転体３が反時計回りに回転するようになる。

このように対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄ，１５Ａ，１５Ｄまたは内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ，１５Ｂ，１５Ｃに同時に電圧を供給することにより、積層体２の中心部が押えられた状態で圧電層５が変位（振動）することになるため、回転体３を双方向に安定して回転させることが可能となる。

ところで、従来における積層型圧電素子の積層体としては、例えば図５に示すように、上記のフタ用圧電体７及び電極付き圧電体１０と電極付き圧電体２０１とを積層して形成したものがある。電極付き圧電体２０１は、圧電部２０２の上面に、４つの内部電極部２０３Ａ〜２０３Ｄを形成したものである。内部電極部２０３Ａ〜２０３Ｄは、２行２列に配列されていると共に互いに孤立している。

このようなフタ用圧電体７及び電極付き圧電体１０，２０１からなる積層体２００は、例えば図６に示すように、電極付き圧電体１０，２０１を交互に積層し、更にその上にフタ用圧電体７を積層して形成される。積層体２００の側面２００ａには、各内部電極部２０３Ａと接続された側面電極２０４と、各内部電極部２０３Ｂと接続された側面電極２０５と、各内部電極部１８と接続された側面電極２０６とが設けられている。積層体２００の側面２００ｂには、各内部電極部２０３Ｃと接続された側面電極２０７と、各内部電極部２０３Ｄと接続された側面電極２０８と、各内部電極部１８と接続された側面電極２０９とが設けられている。また、積層体２００の上面２００ｃには、側面電極２０４〜２０８とそれぞれ接続された上面電極２１０〜２１４が設けられている。これにより、積層型圧電素子が形成される。

このような積層型圧電素子において、一方の対角に位置する内部電極部２０３Ａ，２０３Ｄと内部電極部１８との間に電圧を印加するには、側面電極２０４，２０８と側面電極２０６または側面電極２０９との間、あるいは上面電極２１０，２１４と上面電極２１２との間に電圧を印加することになる。他方の対角に位置する内部電極部２０３Ｂ，２０３Ｃと内部電極部１８との間に電圧を印加するには、側面電極２０５，２０７と側面電極２０６または側面電極２０９との間、あるいは上面電極２１１，２１３と上面電極２１２との間に電圧を印加することになる。

しかし、外部電圧源との接続を側面電極２０４〜２０９で行う場合には、積層体２００の両側面２００ａ，２００ｂが必要となるので、配線のための広いスペースがとられると共に、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等を用いて外部電圧源と接続することができない。一方、外部電圧源との接続を上面電極２１０〜２１４で行う場合には、電極位置等をうまく設計しないとＦＰＣ等による接続が困難なうえに、外部電圧源と接続するための多くの電極を積層体２００の上面２００ｃに形成する必要があるため、積層型圧電素子の製造に手間がかかってしまう。

これに対し本実施形態の積層型圧電素子１では、一方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ同士が接続部１３を介して接続され、他方の対角に位置する内部電極部１５Ａ，１５Ｄ同士が接続部１６を介して接続されている。そして、積層体２の側面２ａには側面端子電極１９〜２１が設けられ、積層体２の側面２ｂには側面端子電極２２〜２４が設けられている。このため、一方の対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄ及び内部電極部１５Ａ，１５Ｄと内部電極部１８との間に電圧を印加するためには、側面端子電極１９と側面端子電極２１との間または側面端子電極２３と側面端子電極２４との間に電圧を印加すれば良い。また、他方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ及び内部電極部１５Ｂ，１５Ｃと内部電極部１８との間に電圧を印加するためには、側面端子電極２０と側面端子電極２１との間または側面端子電極２２と側面端子電極２４との間に電圧を印加すれば良い。この場合には、積層体２の側面２ａ，２ｂの何れか一方のみで外部電圧源との接続が行えるので、配線のために大きなスペースをとらずに済むと共に、外部電圧源との接続をＦＰＣ等により容易に行うことができる。

また、内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ同士、内部電極部１５Ａ，１５Ｄ同士、内部電極部１２Ａ，１５Ａ、内部電極部１２Ｂ，１５Ｂ同士、内部電極部１２Ｃ，１５Ｃ同士、内部電極部１２Ｄ，１５Ｄ同士、更には異なる層の内部電極部１８同士の電気的接続を、リード線を用いて行わなくて済む。さらに、外部電圧源との接続を行うための外部電極を積層体２の上面や下面に形成する必要も無くなる。以上により、積層型圧電素子の製造工程を簡略化することができる。

さらに、外部電圧源との接続ポイントは、側面端子電極１９〜２１または側面端子電極２２〜２４といった３箇所だけで済むので、積層型圧電素子１を動作させる時の作業性が向上する。

なお、積層体２の積層構造としては、図２に示す構造には限られず、例えば下から順に電極付き圧電体１０、電極付き圧電体９、電極付き圧電体１０、電極付き圧電体９、電極付き圧電体１０、電極付き圧電体８、電極付き圧電体１０、電極付き圧電体８及びフタ用圧電体７というように、要は電極付き圧電体８，９の少なくとも一方側が電極付き圧電体１０と隣接するように積層すれば良い。

本発明に係わる積層型圧電素子の第２実施形態を図７及び図８により説明する。図中、第１実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図７は、本実施形態の積層型圧電素子を示す平面図及び両側面図である。同図において、積層型圧電素子３０は、上記の積層体２に代えて積層体３１を備えている。積層体３１は、図８に示すようなフタ用圧電体７及び電極付き圧電体１０，３２，３３を積層して形成されている。

図８（ｂ）に示す電極付き圧電体３２は、圧電部１１の上面に形成された内部電極部１２Ａ〜１２Ｄを有している。図３（ｂ）に示す電極付き圧電体８と同様に、内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ同士は接続部１３を介して接続され、内部電極部１２Ａ，１２Ｄは孤立している。また、圧電部１１の上面には、孤立した内部電極部１２Ｄから反対側（内部電極部１２Ｂ側）の側面に向かって延びる引き出し部３４が形成されている。

図８（ｃ）に示す電極付き圧電体３３は、圧電部１４の上面に形成された内部電極部１５Ａ〜１５Ｄを有している。図３（ｃ）に示す電極付き圧電体９と同様に、内部電極部１５Ａ，１５Ｄ同士は接続部１６を介して接続され、内部電極部１５Ｂ，１５Ｃは孤立している。また、圧電部１４の上面には、孤立した内部電極部１５Ｃから反対側（内部電極部１５Ａ側）の側面に向かって延びる引き出し部３５が形成されている。

積層体３１は、下から電極付き圧電体１０、電極付き圧電体３３、電極付き圧電体１０、電極付き圧電体３２及びフタ用圧電体７を積層した構造をなしている。図７に示すように、積層体３１の一方の側面３１ａ側に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｂ，１５Ａ，１５Ｂ及び引き出し部３４，３５は、当該側面３１ａに露出している。積層体３１の他方の側面３１ｂ側に位置する内部電極部１２Ｃ，１２Ｄ，１５Ｃ，１５Ｄは、当該側面３１ｂに露出している。内部電極部１８は、圧電体３１の両側面３１ａ，３１ｂに露出している。

積層体３１の側面３１ａには、内部電極部１２Ａ，１５Ａと接続された側面端子電極３６と、内部電極部１２Ｂ，１５Ｂと接続された側面端子電極３７と、各内部電極部１８と接続された側面端子電極３８と、引き出し部３４と接続された側面端子電極３９と、引き出し部３５と接続された側面端子電極４０とが設けられている。側面端子電極３６，３７は、側面端子電極３８の両側に形成されている。そして、その側面端子電極３６，３７の外側に側面端子電極４０，３９が形成されている。

以上のように構成した積層型圧電素子３０において、内部電極部１８をグランド電極とした状態で、一方の対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄ及びこれに対応する内部電極部１５Ａ，１５Ｄと内部電極部１８との間に電界を発生させるには、側面端子電極３６，３９と側面端子電極３８との間に交流電圧を印加する。また、他方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ及びこれに対応する内部電極部１５Ｂ，１５Ｃと内部電極部１８との間に電界を発生させるには、側面端子電極３７，４０と側面端子電極３８との間に交流電圧を印加する。

以上のような本実施形態にあっては、積層体３１の一つの側面３１ａのみで外部電圧源との接続が行えるので、配線のためのスペース効率が向上すると共に、ＦＰＣ等を用いて容易に接続することができる。また、リード線を用いて電極同士を接続しなくて済むと共に、外部電圧源との接続を行うための外部電極を積層体３１の側面３１ｂ、上面及び下面に形成しなくて済む。これにより、積層型圧電素子の製造工程を簡略化することができる。

上記第２実施形態に係わる積層型圧電素子３０の変形例を図９に示す。同図において、積層体３１は、電極付き圧電体３２，３３の代わりに、図１０（ｂ），（ｃ）に示すような電極付き圧電体４１，４２を用いて構成されている。

電極付き圧電体４１は、上記の内部電極部１２Ａ〜１２Ｄ及び引き出し部３４に加えて、孤立した内部電極部１２Ａから反対側（内部電極部１２Ｃ側）に向かって延びる引き出し部４３を更に有している。電極付き圧電体４２は、上記の内部電極部１５Ａ〜１５Ｄ及び引き出し部３５に加えて、孤立した内部電極部１５Ｂから反対側（内部電極部１５Ｄ側）に向かって延びる引き出し部４４を更に有している。引き出し部４３，４４は、積層体３１の側面３１ｂに露出している。

積層体３１の側面３１ｂには、内部電極部１２Ｃ，１５Ｃと接続された側面端子電極４５と、内部電極部１２Ｄ，１２Ｄと接続された側面端子電極４６と、各内部電極部１８と接続された側面端子電極４７と、引き出し部４３と接続された側面端子電極４８と、引き出し部４４と接続された側面端子電極４９とが設けられている。

このように構成した積層型圧電素子３０では、内部電極部１８をグランド電極とした状態で、一方の対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄ及び内部電極部１５Ａ，１５Ｄと内部電極部１８との間に電界を発生させるには、側面端子電極３６，３９と側面端子電極３８との間に交流電圧を印加しても良いし、側面端子電極４６，４８と側面端子電極４７との間に交流電圧を印加しても良い。また、他方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｄ及び内部電極部１５Ｂ，１５Ｄと内部電極部１８との間に電界を発生させるには、側面端子電極３７，４０と側面端子電極３８との間に交流電圧を印加しても良いし、側面端子電極４５，４９と側面端子電極４７との間に交流電圧を印加しても良い。従って、このような積層型圧電素子３０を変位動作させる際には、外部電圧源の接続箇所及び接続形態を適宜選択することができる。

本発明に係わる積層型圧電素子の第３実施形態を図１１及び図１２により説明する。図中、第１実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１１は、本実施形態の積層型圧電素子を示す平面図及び両側面図である。同図において、本実施形態の積層型圧電素子５０は、第１実施形態における積層体２に代えて積層体５１を備えている。積層体５１は、図１２に示すようなフタ用圧電体７及び電極付き圧電体５２，５３を積層して形成されている。

図１２（ｂ）に示す電極付き圧電体５２は、圧電部１１の上面に形成された内部電極部１２Ａ〜１２Ｄを有している。図３（ｂ）に示す電極付き圧電体８と同様に、内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ同士は接続部１３を介して接続され、内部電極部１２Ａ，１２Ｄは孤立している。

図１２（ｃ）に示す電極付き圧電体５３は、圧電部１４の上面に形成された内部電極部１５Ａ〜１５Ｄを有している。図３（ｃ）に示す電極付き圧電体９と同様に、内部電極部１５Ａ，１５Ｄ同士は接続部１６を介して接続され、内部電極部１５Ｂ，１５Ｃは孤立している。

積層体５１は、電極付き圧電体５２，５３を交互に積層し、更にその上にフタ用圧電体７を積層した構造をなしている。このとき、内部電極部１２Ａ〜１２Ｄ及び内部電極部１５Ａ〜１５Ｄは、互いに重なり合う領域を有している。図１１に示すように、積層体５１の一方の側面５１ａ側に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｂ，１５Ａ，１５Ｂは、当該側面５１ａに露出している。積層体５１の他方の側面５１ｂ側に位置する内部電極部１２Ｃ，１２Ｄ，１５Ｃ，１５Ｄは、当該側面５１ｂに露出している。

積層体５１の側面５１ａには、各内部電極部１２Ａ，１５Ｂと接続された側面端子電極５４と、各内部電極部１２Ｂと接続された側面端子電極５５と、各内部電極部１５Ａと接続された側面端子電極５６とが設けられている。側面端子電極５５，５６は、側面端子電極５４の両側に形成されている。積層体５１の側面５１ｂには、各内部電極部１２Ｄ，１５Ｃと接続された側面端子電極５７と、各内部電極部１２Ｃと接続された側面端子電極５８と、各内部電極部１５Ｄと接続された側面端子電極５９とが設けられている。側面端子電極５８，５９は、側面端子電極５７の両側に形成されている。また、積層体５１の上面５１ｃには、側面端子電極５４，５７同士を接続する補助電極６０が設けられている。なお、補助電極６０は、積層体５１の下面に設けても良い。補助電極６０は、側面端子電極５４〜５９と同じ導電材料で形成されている。

以上のように構成した積層型圧電素子５０において、内部電極部部１２Ａ，１２Ｄ，１５Ｂ，１５Ｃをグランド電極とした状態で、一方の対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄとこれに対応する内部電極部１５Ａ，１５Ｄとの間に交流電圧を印加すると、内部電極部１２Ａ，１２Ｄと内部電極部１５Ａ，１５Ｄとの間に電界が生じ、これらの内部電極層６間の圧電層５は、略Ｓ字状の撓み変形（図４（ａ）参照）を起こした状態で振動する。また、もう一方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｃとこれに対応する内部電極部１５Ｂ，１５Ｃとの間に同じ交流電圧を印加すると、内部電極部１２Ｂ，１２Ｃと内部電極部１５Ｂ，１５Ｃとの間に電界が生じ、これらの内部電極層６間の圧電層５は、反対側に略Ｓ字状の撓み変形（図４（ｂ）参照）を起こした状態で振動する。

ここで、一方の対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄと内部電極部１５Ａ，１５Ｄとの間に電界を発生させるには、側面端子電極５６と側面端子電極５４との間または側面端子電極５７と側面端子電極５９との間に交流電圧を印加する。また、他方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｃと内部電極部１５Ｂ，１５Ｃとの間に電界を発生させるには、側面端子電極５５と側面端子電極５４との間または側面端子電極５７と側面端子電極５８との間に交流電圧を印加する。

以上のような本実施形態にあっては、積層体５１の側面５１ａ，５１ｂの何れか一方のみで外部電圧源との接続が行えるので、配線のためのスペース効率が向上すると共に、ＦＰＣ等を用いて容易に接続することができる。また、リード線を用いて電極同士を接続しなくて済むと共に、外部電圧源との接続を行うための多くの外部電極を積層体５１の上面や下面に形成しなくて済む。これにより、積層型圧電素子の製造工程を簡略化することができる。

さらに、外部電圧源との接続ポイントが３箇所だけで済むので、積層型圧電素子を動作させる時の作業性が向上する。また、積層体５１の一部を構成する電極付きの圧電体としては、電極付き圧電体５２，５３といった２種類だけ用意すれば良い。

本発明に係わる積層型圧電素子の第４実施形態を図１３及び図１４により説明する。図中、第１実施形態及び第３実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１３は、本実施形態の積層型圧電素子を示す平面図及び両側面図である。同図において、本実施形態の積層型圧電素子７０は、第３実施形態における積層体５１に代えて積層体７１を備えている。積層体７１は、図１４に示すようなフタ用圧電体７及び電極付き圧電体７２，７３を積層して形成されている。

図１４（ｂ）に示す電極付き圧電体７２は、圧電部１１の上面に形成された内部電極部１２Ａ〜１２Ｄを有している。図１２（ｂ）に示す電極付き圧電体５２と同様に、内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ同士は接続部１３を介して接続され、内部電極部１２Ａ，１２Ｄは孤立している。また、圧電部１１の上面には、孤立した内部電極部１２Ｄから反対側（内部電極部１２Ｂ側）の側面に向かって延びる引き出し部７４が形成されている。

図１４（ｃ）に示す電極付き圧電体７３は、圧電部１４の上面に形成された内部電極部１５Ａ〜１５Ｄを有している。図１２（ｃ）に示す電極付き圧電体５３と同様に、内部電極部１５Ａ，１５Ｄ同士は接続部１６を介して接続され、内部電極部１５Ｂ，１５Ｃは孤立している。また、圧電部１４の上面には、孤立した内部電極部１５Ｃから反対側（内部電極部１５Ａ側）の側面に向かって延びる引き出し部７５が形成されている。

積層体７１は、電極付き圧電体７２，７３を交互に積層し、更にその上にフタ用圧電体７を積層した構造をなしている。図１３に示すように、積層体７１の一方の側面７１ａ側に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｂ，１５Ａ，１５Ｂ及び引き出し部７４，７５は、当該側面７１ａに露出している。積層体７１の他方の側面７１ｂ側に位置する内部電極部１２Ｃ，１２Ｄ，１５Ｃ，１５Ｄは、当該側面７１ｂに露出している。

積層体７１の側面７１ａには、各内部電極部１２Ａ，１５Ｂと接続された側面端子電極７６と、各内部電極部１２Ｂと接続された側面端子電極７７と、各内部電極部１５Ａと接続された側面端子電極７８と、各引き出し部７４と接続された側面端子電極７９と、各引き出し部７５と接続された側面端子電極８０とが設けられている。側面端子電極７７，７８は、側面端子電極７６の両側に形成されている。そして、その側面端子電極７７，７８の外側に側面端子電極７９，８０が形成されている。

このように構成した積層型圧電素子７０において、内部電極部１２Ａ，１２Ｄ，１５Ｂ，１５Ｃをグランド電極とした状態で、一方の対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄとこれに対応する内部電極部１５Ａ，１５Ｄとの間に電界を発生させるには、側面端子電極７８，７９と側面端子電極７６との間に交流電圧を印加する。また、他方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｃとこれに対応する内部電極部１５Ｂ，１５Ｃとの間に電界を発生させるには、側面端子電極７７，８０と側面端子電極７６との間に交流電圧を印加する。

以上のような本実施形態にあっては、積層体７１の一つの側面７１ａのみで外部電圧源との接続が行えるので、配線のためのスペース効率が向上すると共に、ＦＰＣ等を用いて容易に接続することができる。また、リード線を用いて電極同士を接続しなくて済むと共に、外部電圧源との接続を行うための外部電極を積層体７１の側面７１ｂ、上面及び下面に形成しなくて済む。これにより、積層型圧電素子の製造工程を簡略化することができる。さらに、積層体７１の一部を構成する電極付きの圧電体としては、電極付き圧電体７２，７３といった２種類だけ用意すれば良い。

なお、上記の第４実施形態では、積層体７１の側面７１ａのみに側面端子電極７６〜８０を設ける構成としたが、図９及び図１０に示すように、積層体７１の側面７１ｂにも５つの側面端子電極を設けても良い。この場合には、電極付き圧電体７２に、内部電極部１２Ａから反対側に延びる引き出し部を設けると共に、電極付き圧電体７３に、内部電極部１５Ｂから反対側に延びる引き出し部を設けるようにする。

本発明に係わる積層型圧電素子の第５実施形態を図１５及び図１６により説明する。図中、第１実施形態及び第３実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１５は、本実施形態の積層型圧電素子を示す平面図及び両側面図である。同図において、本実施形態の積層型圧電素子９０は、第３実施形態における積層体５１に代えて積層体９１を備えている。積層体９１は、図１６に示すようなフタ用圧電体７及び電極付き圧電体９２，９３を積層して形成されている。

図１６（ｂ）に示す電極付き圧電体９２は、圧電部１１の上面に形成された内部電極部１２Ａ〜１２Ｄを有している。図１２（ｂ）に示す電極付き圧電体５２と同様に、内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ同士は接続部１３を介して接続され、内部電極部１２Ａ，１２Ｄは孤立している。また、圧電部１１の上面には、孤立した内部電極部１２Ｄから反対の端面側（内部電極部１２Ｃ側）に向かって延びる引き出し部９４が形成されている。

図１６（ｃ）に示す電極付き圧電体９３は、圧電部１４の上面に形成された内部電極部１５Ａ〜１５Ｄを有している。図１２（ｃ）に示す電極付き圧電体５３と同様に、内部電極部１５Ａ，１５Ｄ同士は接続部１６を介して接続され、内部電極部１５Ｂ，１５Ｃは孤立している。また、圧電部１４の上面には、孤立した内部電極部１５Ｃから反対の端面側（内部電極部１５Ｄ側）に向かって延びる引き出し部９５が形成されている。

積層体９１は、電極付き圧電体９２，９３を交互に積層し、更にその上にフタ用圧電体７を積層した構造をなしている。図１５に示すように、積層体９１の一方の側面９１ａ側に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｂ，１５Ａ，１５Ｂは、当該側面９１ａに露出している。積層体９１の他方の側面９１ｂ側に位置する引き出し部９４，９５は、当該側面９１ｂに露出している。

積層体９１の側面９１ａには、各内部電極部１２Ａと接続された側面端子電極９６と、各内部電極部１５Ｂと接続された側面端子電極９７と、各内部電極部１２Ｂ，１５Ａと接続された側面端子電極９８とが設けられている。側面端子電極９８は、側面端子電極９６，９７間に形成されている。積層体９１の側面９１ｂには、各引き出し部９４と接続された側面電極９９と、各引き出し部９５と接続された側面電極１００とが設けられている。また、積層体９１の上面９１ｃには、側面端子電極９６と側面電極９９とを接続する補助電極１０１と、側面端子電極９７と側面電極１００とを接続する補助電極１０２とが設けられている。

このように構成した積層型圧電素子９０において、内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ，１５Ａ，１５Ｄをグランド電極とした状態で、一方の対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄとこれに対応する内部電極部１５Ａ，１５Ｄとの間に電界を発生させるには、側面端子電極９６と側面端子電極９８との間に交流電圧を印加する。また、他方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｃとこれに対応する内部電極部１５Ｂ，１５Ｃとの間に電界を発生させるには、側面端子電極９７と側面端子電極９８との間に交流電圧を印加する。

以上のような本実施形態にあっては、積層体９１の一つの側面９１ａのみで外部電圧源との接続が行えるので、配線のためのスペースが向上すると共に、ＦＰＣ等を用いて容易に接続することができる。また、リード線を用いて電極同士を接続しなくて済むと共に、外部電圧源との接続を行うための多くの外部電極を積層体９１の上面や下面に形成しなくて済む。これにより、積層型圧電素子の製造工程を簡略化することができる。

さらに、外部電圧源との接続ポイントが３箇所だけで済むので、積層型圧電素子を動作させる時の作業性が向上する。また、積層体９１の一部を構成する電極付きの圧電体としては、電極付き圧電体９２，９３といった２種類だけ用意すれば良い。

なお、上記実施形態では、補助電極１０１，１０２を積層体９１の上面９１ｃに設ける構成としたが、補助電極１０１，１０２を積層体９１の下面に設けても良い。また、電極付き圧電体９２，９３にそれぞれ引き出し部９４，９５を設けずに、内部電極部１２Ｄ，１５Ｃを積層体９１の側面９１ｂに直接露出させ、側面電極９９，１００をそれぞれ内部電極部１２Ｄ，１５Ｃと接続させても良い。この場合には、補助電極１０１，１０２の一方を積層体９１の上面９１ｃに設け、補助電極１０１，１０２の他方を積層体９１の下面に設ける構成とする。

本発明に係わる積層型圧電素子の第６実施形態を図１７及び図１８により説明する。図中、第１実施形態及び第３実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１７は、本実施形態の積層型圧電素子を示す平面図及び両側面図である。同図において、本実施形態の積層型圧電素子１１０は、第３実施形態における積層体５１に代えて積層体１１１を備えている。積層体１１１は、図１８に示すようなフタ用圧電体７及び電極付き圧電体１１２，１１３を積層して形成されている。

図１８（ｂ）に示す電極付き圧電体１１２は、圧電部１１の上面に形成された内部電極部１２Ａ〜１２Ｄを有している。図１２（ｂ）に示す電極付き圧電体５２と同様に、内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ同士は接続部１３を介して接続され、内部電極部１２Ａ，１２Ｄは孤立している。また、圧電部１１の上面には、孤立した内部電極部１２Ｄから反対側（内部電極部１２Ｂ側）の側面に向かって延びる引き出し部１１４が形成されている。

図１８（ｃ）に示す電極付き圧電体１１３は、圧電部１４の上面に形成された内部電極部１５Ａ〜１５Ｄを有している。図１２（ｃ）に示す電極付き圧電体５３と同様に、内部電極部１５Ａ，１５Ｄ同士は接続部１６を介して接続され、内部電極部１５Ｂ，１５Ｃは孤立している。また、圧電部１４の上面には、孤立した内部電極部１５Ｃから反対側（内部電極部１５Ａ側）の側面に向かって延びる引き出し部１１５が形成されている。

積層体１１１は、電極付き圧電体１１２，１１３を交互に積層し、更にその上にフタ用圧電体７を積層した構造をなしている。図１７に示すように、積層体１１１の一方の側面１１１ａ側に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｂ，１５Ａ，１５Ｂ及び引き出し部１１４，１１５は、当該側面１１１ａに露出している。積層体１１１の他方の側面１１１ｂ側に位置する内部電極部１２Ｃ，１２Ｄ，１５Ｃ，１５Ｄは、当該側面１１１ｂに露出している。

積層体１１１の側面１１１ａには、各内部電極部１２Ａと接続された側面端子電極１１６と、各内部電極部１５Ｂと接続された側面端子電極１１７と、各内部電極部１２Ｂ，１５Ａと接続された側面端子電極１１８と、各引き出し部１１４と接続された側面端子電極１１９と、各引き出し部１１５と接続された側面端子電極１２０とが設けられている。側面端子電極１１６，１１７は、側面端子電極１１８の両側に形成されている。そして、その側面端子電極１１６，１１７の外側に側面端子電極１２０，１１９が形成されている。

このように構成した積層型圧電素子１１０において、内部電極部１２Ｂ，１２Ｃ，１５Ａ，１５Ｄをグランド電極とした状態で、一方の対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄとこれに対応する内部電極部１５Ａ，１５Ｄとの間に電界を発生させるには、側面端子電極１１６，１１９と側面端子電極１１８との間に交流電圧を印加する。また、他方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｃとこれに対応する内部電極部１５Ｂ，１５Ｃとの間に電界を発生させるには、側面端子電極１１７，１２０と側面端子電極１１８との間に交流電圧を印加する。

以上のような本実施形態にあっては、積層体１１１の一つの側面１１１ａのみで外部電圧源との接続が行えるので、配線のためのスペース効率が向上すると共に、ＦＰＣ等を用いて容易に接続することができる。また、リード線を用いて電極同士を接続しなくて済むと共に、外部電圧源との接続を行うための外部電極を積層体１１１の側面１１１ｂ、上面及び下面に形成しなくて済む。これにより、積層型圧電素子の製造工程を簡略化することができる。さらに、積層体１１１の一部を構成する電極付きの圧電体としては、電極付き圧電体１１２，１１３といった２種類だけ用意すれば良い。

なお、上記の第６実施形態では、積層体１１１の側面１１１ａのみに側面端子電極１１６〜１２０を設ける構成としたが、図９及び図１０に示すように、積層体１１１の側面１１１ｂにも５つの側面端子電極を設けても良い。この場合には、電極付き圧電体１１２に、内部電極部１２Ａから反対側に延びる引き出し部を設けると共に、電極付き圧電体１１３に、内部電極部１５Ｂから反対側に延びる引き出し部を設けるようにする。

本発明に係わる積層型圧電素子の第７実施形態を図１９及び図２０により説明する。図中、第１実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１９は、本実施形態の積層型圧電素子を示す平面図及び両側面図である。同図において、本実施形態の積層型圧電素子１３０は、第１実施形態における積層体２に代えて積層体１３１を備えている。積層体１３１は、図２０に示すようなフタ用圧電体７及び電極付き圧電体１３２，１３３を積層して形成されている。

図２０（ｂ）に示す電極付き圧電体１３２は、圧電部１１の上面に２行２列に形成された内部電極部１２Ａ〜１２Ｄを有している。内部電極部１２Ａ〜１２Ｄのうち、一側に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｂ同士は接続部１３４を介して接続され、他側の内部電極部１２Ｃ，１２Ｄは孤立している。

また、圧電部１１の上面には、孤立した内部電極部１２Ｃから反対側（内部電極部１２Ａ側）の側面に向かって延びる引き出し部１３５と、孤立した内部電極部１２Ｄから反対側（内部電極部１２Ｂ側）の側面に向かって延びる引き出し部１３６と、接続部１３４から反対側（内部電極部１２Ｃ，１２Ｄ側）の側面に向かって延びる引き出し部１３７とが形成されている。引き出し部１３７は、内部電極部１２Ｃ，１２Ｄに挟まれるように形成されている。

図２０（ｃ）に示す電極付き圧電体１３３は、内部電極部１２Ａ〜１２Ｄと対応するように圧電部１４の上面に２行２列に形成された内部電極部１５Ａ〜１５Ｄを有している。内部電極部１５Ａ〜１５Ｄのうち、一側に位置する内部電極部１５Ｃ，１５Ｄ同士は接続部１３８を介して接続され、他側の内部電極部１５Ａ，１５Ｂは孤立している。

また、圧電部１４の上面には、孤立した内部電極部１５Ａから反対側（内部電極部１５Ｃ側）の側面に向かって延びる引き出し部１３９と、孤立した内部電極部１５Ｂから反対側（内部電極部１５Ｄ側）の側面に向かって延びる引き出し部１４０と、接続部１３８から反対側（内部電極部１５Ａ，１５Ｂ側）の側面に向かって延びる引き出し部１４１とが形成されている。引き出し部１４１は、内部電極部１５Ａ，１５Ｂに挟まれるように形成されている。

電極付き圧電体１３２を１８０度回転させた状態では、電極付き圧電体１３２における内部電極部１２Ａ〜１２Ｄ及び引き出し部１３５〜１３７の形状及び配置部位は、電極付き圧電体１３３における内部電極部１５Ａ〜１２Ｄ及び引き出し部１３９〜１４１の形状及び配置部位と一致する。つまり、電極付き圧電体１３２，１３３は、同じ構造を有している。

積層体１３１は、電極付き圧電体１３２，１３３を交互に積層し、更にその上にフタ用圧電体７を積層した構造をなしている。このとき、内部電極部１２Ａ〜１２Ｄ及び内部電極部１５Ａ〜１５Ｄは、互いに重なり合う領域を有している。図１９に示すように、積層体１３１の一方の側面１３１ａ側に位置する内部電極部１５Ａ，１５Ｂ、接続部１３４及び引き出し部１３５，１３６，１４１は、当該側面１３１ａに露出している。積層体１３１の他方の側面１３１ｂ側に位置する内部電極部１２Ｃ，１２Ｄ、接続部１３８及び引き出し部１３７，１３９，１４０は、当該側面１３１ｂに露出している。

積層体１３１の側面１３１ａには、各接続部１３４及び各引き出し部１４１と接続された側面端子電極１４２と、各内部電極部１５Ａと接続された側面端子電極１４３と、各内部電極部１５Ｂと接続された側面端子電極１４４と、各引き出し部１３５と接続された側面端子電極１４５と、各引き出し部１３６と接続された側面端子電極１４６とが設けられている。側面端子電極１４３，１４４は、側面端子電極１４２の両側に形成されている。そして、その側面端子電極１４３，１４４の外側に側面端子電極１４５，１４６が形成されている。

このように構成した積層型圧電素子１３０において、内部電極部１２Ａ，１２Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄをグランド電極とした状態で、一方の対角に位置する内部電極部１２Ａ，１２Ｄとこれに対応する内部電極部１５Ａ，１５Ｄとの間に電界を発生させるには、側面端子電極１４３，１４６と側面端子電極１４２との間に交流電圧を印加する。また、他方の対角に位置する内部電極部１２Ｂ，１２Ｃとこれに対応する内部電極部１５Ｂ，１５Ｃとの間に電界を発生させるためには、側面端子電極１４４，１４５と側面端子電極１４２との間に交流電圧を印加する。

以上のような本実施形態によれば、積層体１３１の一つの側面１３１ａのみで外部電圧源との接続が行えるので、配線のためのスペース効率が向上すると共に、ＦＰＣ等を用いて容易に接続することができる。また、リード線を用いて電極同士を接続しなくて済むと共に、外部電圧源との接続を行うための外部電極を積層体１３１の側面１３１ｂ、上面及び下面に形成しなくて済む。これにより、積層型圧電素子の製造工程を簡略化することができる。

さらに、積層体１３１の一部を構成する電極付き圧電体１３２，１３３は同一構造を有しているので、使用する電極付き圧電体としては１種類だけ用意すれば良い。これにより、例えば印刷法により電極を形成する場合には、印刷パターンが１つだけあれば良いので、製造面で更に有利となる。

なお、上記の第６実施形態では、積層体１３１の側面１３１ａのみに側面端子電極１４２〜１４６を設ける構成としたが、図９及び図１０に示すように、積層体１３１の側面１３１ｂにも５つの側面端子電極を設けても良い。また、上記のように積層体１３１の側面１３１ｂに側面端子電極を設けない場合には、電極付き圧電体１３３に引き出し部１３９，１４０を必ずしも設けなくても良い。

以上、本発明に係わる積層型圧電素子の好適な実施形態について幾つか説明してきたが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、リード線を用いて電極同士を接続することなく、外部電圧源との接続を行うための端子電極を積層体の一側の側面のみに集約する構成であれば、どのような形態であっても良い。

例えば上記の第１実施形態の変形例として、電極付き圧電体８の内部電極部１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｄ、電極付き圧電体９の内部電極部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ及び電極付き圧電体１０の内部電極部１８とそれぞれ接続された７つの端子電極を積層体２の側面２ａまたは側面２ｂに設けても良い。また、上記の第３実施形態の変形例として、電極付き圧電体５２の内部電極部１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｄ及び電極付き圧電体５３の内部電極部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃとそれぞれ接続された６つの端子電極を積層体５１の側面５１ａまたは側面５１ｂに設けても良い。これらの場合、積層体に別の内部電極を形成したり、積層体の上面、下面及び端面に補助電極を設けても良い。

また、上記実施形態は、回転運動を行うアクチュエータに積層型圧電素子を適用したものであるが、本発明に係わる積層型圧電素子は、直線運動を行うアクチュエータ等にも適用可能である。

本発明に係わる積層型圧電素子の第１実施形態を超音波モータに適用した場合の平面図である。 図１に示した積層体の両側面図である。 図１に示した積層体を構成するための各種圧電体の平面図である。 図１に示した積層体が変位する状態を示す概念図である。 従来における積層型圧電素子の積層体を構成するための各種圧電体の平面図である。 図５に示した各種圧電体を用いて形成される積層体の平面図及び両側面図である。 本発明に係わる積層型圧電素子の第２実施形態を示す平面図及び両側面図である。 図７に示した積層体を構成するための各種圧電体の平面図である。 本発明に係わる積層型圧電素子の第２実施形態の変形例を示す平面図及び両側面図である。 図９に示した積層体を構成するための各種圧電体の平面図である。 本発明に係わる積層型圧電素子の第３実施形態を示す平面図及び両側面図である。 図１１に示した積層体を構成するための各種圧電体の平面図である。 本発明に係わる積層型圧電素子の第４実施形態を示す平面図及び両側面図である。 図１３に示した積層体を構成するための各種圧電体の平面図である。 本発明に係わる積層型圧電素子の第５実施形態を示す平面図及び両側面図である。 図１５に示した積層体を構成するための各種圧電体の平面図である。 本発明に係わる積層型圧電素子の第６実施形態を示す平面図及び両側面図である。 図１７に示した積層体を構成するための各種圧電体の平面図である。 本発明に係わる積層型圧電素子の第７実施形態を示す平面図及び両側面図である。 図１９に示した積層体を構成するための各種圧電体の平面図である。

符号の説明

１…積層型圧電素子、２…積層体、２ａ，２ｂ…側面、８…電極付き圧電体（第１圧電体）、９…電極付き圧電体（第２圧電体）、１０…電極付き圧電体（第３圧電体）、１２Ａ〜１２Ｄ…内部電極部（第１内部電極部）、１３…接続部、１５Ａ〜１５Ｄ…内部電極部（第２内部電極部）、１８…内部電極部（第３内部電極部）、１９…側面端子電極（第１側面電極、第４側面電極、端子電極）、２０…側面端子電極（第２側面電極、第５側面電極、端子電極）、２１…側面端子電極（第３側面電極、端子電極）、２２…側面端子電極（第２側面電極、第５側面電極、端子電極）、２３…側面端子電極（第１側面電極、第４側面電極、端子電極）、２４…側面端子電極（第３側面電極、端子電極）、３０…積層型圧電素子、３１…積層体、３１ａ，３１ｂ…側面、３２…電極付き圧電体（第１圧電体）、３３…電極付き圧電体（第２圧電体）、３４…引き出し部（第１引き出し部）、３５…引き出し部（第２引き出し部）、３６…側面端子電極（第１側面電極、端子電極）、３７…側面端子電極（第２側面電極、端子電極）、３８…側面端子電極（第３側面電極、端子電極）、３９…側面端子電極（第４側面電極、端子電極）、４０…側面端子電極（第５側面電極、端子電極）、４１…電極付き圧電体（第１圧電体）、４２…電極付き圧電体（第２圧電体）、４３…引き出し部（第１引き出し部）、４４…引き出し部（第２引き出し部）、４５…側面端子電極（第２側面電極、端子電極）、４６…側面端子電極（第１側面電極、端子電極）、４７…側面端子電極（第３側面電極、端子電極）、４８…側面端子電極（第４側面電極、端子電極）、４９…側面端子電極（第５側面電極、端子電極）、５０…積層型圧電素子、５１…積層体、５１ａ，５１ｂ…側面、５１ｃ…上面、５２…電極付き圧電体（第１圧電体）、５３…電極付き圧電体（第２圧電体）、５４…側面端子電極（第１側面電極、第４側面電極、端子電極）、５５…側面端子電極（第２側面電極、端子電極）、５６…側面端子電極（第３側面電極、端子電極）、５７…側面端子電極（第１側面電極、第４側面電極、端子電極）、５８…側面端子電極（第２側面電極、端子電極）、５９…側面端子電極（第３側面電極、端子電極）、６０…補助電極、７０…積層型圧電素子、７１…積層体、７１ａ，７１ｂ…側面、７２…電極付き圧電体（第１圧電体）、７３…電極付き圧電体（第２圧電体）、７４…引き出し部（第１引き出し部）、７５…引き出し部（第２引き出し部）、７６…側面端子電極（第１側面電極、端子電極）、７７…側面端子電極（第２側面電極、端子電極）、７８…側面端子電極（第３側面電極、端子電極）、７９…側面端子電極（第４側面電極、端子電極）、８０…側面端子電極（第５側面電極、端子電極）、９０…積層型圧電素子、９１…積層体、９１ａ，９１ｂ…側面、９１ｃ…上面、９２…電極付き圧電体（第１圧電体）、９３…電極付き圧電体（第２圧電体）、９６…側面端子電極（第１側面電極、端子電極）、９７…側面端子電極（第２側面電極、端子電極）、９８…側面端子電極（第３側面電極、端子電極）、９９…側面電極（第４側面電極）、１００…側面電極（第５側面電極）、１０１…補助電極（第１補助電極）、１０２…補助電極（第２補助電極）、１１０…積層型圧電素子、１１１…積層体、１１１ａ，１１１ｂ…側面、１１２…電極付き圧電体（第１圧電体）、１１３…電極付き圧電体（第２圧電体）、１１４…引き出し部（第１引き出し部）、１１５…引き出し部（第２引き出し部）、１１６…側面端子電極（第１側面電極、端子電極）、１１７…側面端子電極（第２側面電極、端子電極）、１１８…側面端子電極（第３側面電極、端子電極）、１１９…側面端子電極（第４側面電極、端子電極）、１２０…側面端子電極（第５側面電極、端子電極）、１３０…積層型圧電素子、１３１…積層体、１３１ａ，１３１ｂ…側面、１３２…電極付き圧電体（第１圧電体）、１３３…電極付き圧電体（第２圧電体）、１３５，１３６…引き出し部（第１引き出し部）、１４１…引き出し部（第２引き出し部）、１４２…側面端子電極（第１側面電極、端子電極）、１４３，１４４…側面端子電極（第２側面電極、端子電極）、１４５，１４６…側面端子電極（第３側面電極、端子電極）。

Claims (10)

1. ２行２列に配列された４つの第１内部電極部を有する第１圧電体と、前記各第１内部電極部と対応するように２行２列に配列された４つの第２内部電極部を有する第２圧電体と、前記各第１内部電極部に対応する領域を含む第３内部電極部を有する第３圧電体とを積層してなる構造をもった積層体を備え、
   前記４つの第１内部電極部のうち、何れか一方の対角に位置する２つの第１内部電極部同士は接続され、他の２つの第１内部電極部は孤立しており、
   前記４つの第２内部電極部のうち、他方の対角に位置する２つの第２内部電極部同士は接続され、他の２つの第２内部電極部は孤立しており、
   前記積層体の一側の側面には、前記各第１内部電極部、前記各第２内部電極部及び前記第３内部電極部と接続され、一方の対角に位置する前記２つの第１内部電極部及び対応する前記２つの第２内部電極部と前記第３内部電極部との間、または他方の対角に位置する前記２つの第１内部電極部及び対応する前記２つの第２内部電極部と前記第３内部電極部との間に電圧を印加するための少なくとも３つの端子電極が設けられていることを特徴とする積層型圧電素子。
2. 前記積層体の前記一側の側面には、当該一側に位置する孤立した前記第１内部電極部及び対応する前記第２内部電極部とそれぞれ接続された第１側面電極と、当該一側に位置する孤立した前記第２内部電極部及び対応する前記第１内部電極部とそれぞれ接続された第２側面電極と、前記第３内部電極部と接続された第３側面電極とが設けられ、
   前記積層体の他側の側面には、当該他側に位置する孤立した前記第１内部電極部及び対応する前記第２内部電極部とそれぞれ接続された第４側面電極と、当該他側に位置する孤立した前記第２内部電極部及び対応する前記第１内部電極部とそれぞれ接続された第５側面電極とが設けられ、
   前記少なくとも３つの端子電極は、前記第１側面電極、前記第２側面電極及び前記第３側面電極であることを特徴とする請求項１記載の積層型圧電素子。
3. 前記第１圧電体は、前記積層体の他側に位置する孤立した前記第１内部電極部と接続され、前記一側の側面に向けて延びる第１引き出し部を更に有し、
   前記第２圧電体は、前記積層体の他側に位置する孤立した前記第２内部電極部と接続され、前一側の側面に向けて延びる第２引き出し部を更に有し、
   前記積層体の前記一側の側面には、当該一側に位置する孤立した前記第１内部電極部及び対応する前記第２内部電極部とそれぞれ接続された第１側面電極と、当該一側に位置する孤立した前記第２内部電極部及び対応する前記第１内部電極部とそれぞれ接続された第２側面電極と、前記第３内部電極部と接続された第３側面電極と、前記第１引き出し部と接続された第４側面電極と、前記第２引き出し部と接続された第５側面電極とが設けられ、
   前記少なくとも３つの端子電極は、前記第１側面電極、前記第２側面電極、前記第３側面電極、前記第４側面電極及び前記第５側面電極であることを特徴とする請求項１記載の積層型圧電素子。
4. ２行２列に配列された４つの第１内部電極部を有する第１圧電体と、前記各第１内部電極部と対応するように２行２列に配列された４つの第２内部電極部を有する第２圧電体とを積層してなる構造をもった積層体を備え、
   前記４つの第１内部電極部のうち、何れか一方の対角に位置する２つの第１内部電極部同士は接続され、他の２つの第１内部電極部は孤立しており、
   前記４つの第２内部電極部のうち、他方の対角に位置する２つの第２内部電極部同士は接続され、他の２つの第２内部電極部は孤立しており、
   前記積層体の一側の側面には、前記各第１内部電極部及び前記各第２内部電極部と接続され、一方の対角に位置する前記２つの第１内部電極部と対応する前記２つの第２内部電極部との間、または他方の対角に位置する前記２つの第１内部電極部と対応する前記２つの第２内部電極部との間に電圧を印加するための少なくとも３つの端子電極が設けられていることを特徴とする積層型圧電素子。
5. 前記積層体の前記一側の側面には、当該一側に位置する孤立した前記第１内部電極部及び孤立した前記第２内部電極部とそれぞれ接続された第１側面電極と、当該一側に位置する他の前記第１内部電極部と接続された第２側面電極と、当該一側に位置する他の前記第２内部電極部と接続された第３側面電極とが設けられ、
   前記積層体の他側の側面には、当該他側に位置する孤立した前記第１内部電極部及び孤立した前記第２内部電極部とそれぞれ接続された第４側面電極が設けられ、
   前記積層体の上面及び下面の少なくとも一方には、前記第１側面電極と前記第４側面電極とを接続する補助電極が設けられ、
   前記少なくとも３つの端子電極は、前記第１側面電極、前記第２側面電極及び前記第３側面電極であることを特徴とする請求項４記載の積層型圧電素子。
6. 前記第１圧電体は、前記積層体の他側に位置する孤立した前記第１内部電極部と接続され、前記一側の側面に向けて延びる第１引き出し部を更に有し、
   前記第２圧電体は、前記積層体の他側に位置する孤立した前記第２内部電極部と接続され、前記一側の側面に向けて延びる第２引き出し部を更に有し、
   前記積層体の前記一側の側面には、当該一側に位置する孤立した前記第１内部電極部及び孤立した前記第２内部電極部とそれぞれ接続された第１側面電極と、当該一側に位置する他の前記第１内部電極部と接続された第２側面電極と、当該一側に位置する他の前記第２内部電極部と接続された第３側面電極と、前記第１引き出し部と接続された第４側面電極と、前記第２引き出し部と接続された第５側面電極とが設けられ、
   前記少なくとも３つの端子電極は、前記第１側面電極、前記第２側面電極、前記第３側面電極、前記第４側面電極及び前記第５側面電極であることを特徴とする請求項４記載の積層型圧電素子。
7. 前記積層体の前記一側の側面には、当該一側に位置する孤立した前記第１内部電極部と接続された第１側面電極と、当該一側に位置する孤立した前記第２内部電極部と接続された第２側面電極と、当該一側に位置する他の前記第１内部電極部及び他の前記第２内部電極部とそれぞれ接続された第３側面電極とが設けられ、
   前記積層体の他側の側面には、当該他側に位置する孤立した前記第１内部電極部と接続された第４側面電極と、当該他側に位置する孤立した前記第２内部電極部と接続された第５側面電極とが設けられ、
   前記積層体の上面及び下面の少なくとも一方には、前記第１側面電極と前記第４側面電極とを接続する第１補助電極と、前記第２側面電極と前記第５側面電極とを接続する第２補助電極とが設けられ、
   前記少なくとも３つの端子電極は、前記第１側面電極、前記第２側面電極及び前記第３側面電極であることを特徴とする請求項４記載の積層型圧電素子。
8. 前記第１圧電体は、前記積層体の他側に位置する孤立した前記第１内部電極部と接続され、前記一側の側面に向けて延びる第１引き出し部を更に有し、
   前記第２圧電体は、前記積層体の他側に位置する孤立した前記第２内部電極部と接続され、前記一側の側面に向けて延びる第２引き出し部を更に有し、
   前記積層体の前記一側の側面には、当該一側に位置する孤立した前記第１内部電極部と接続された第１側面電極と、当該一側に位置する孤立した前記第２内部電極部と接続された第２側面電極と、当該一側に位置する他の前記第１内部電極部及び他の前記第２内部電極部とそれぞれ接続された第３側面電極と、前記第１引き出し部と接続された第４側面電極と、前記第２引き出し部と接続された第５側面電極とが設けられ、
   前記少なくとも３つの端子電極は、前記第１側面電極、前記第２側面電極、前記第３側面電極、前記第４側面電極及び前記第５側面電極であることを特徴とする請求項４記載の積層型圧電素子。
9. ２行２列に配列された４つの第１内部電極部を有する第１圧電体と、前記各第１内部電極部と対応するように２行２列に配列された４つの第２内部電極部を有する第２圧電体とを積層してなる構造をもった積層体を備え、
   前記４つの第１内部電極部のうち、前記積層体の一側に位置する２つの第１内部電極部同士は接続され、他の２つの第１内部電極部は孤立しており、
   前記４つの第２内部電極部のうち、前記積層体の他側に位置する２つの第２内部電極部同士は接続され、他の２つの第２内部電極部は孤立しており、
   前記積層体の前記一側の側面には、前記各第１内部電極部及び前記各第２内部電極部と接続され、前記４つの第１内部電極部のうち何れか一方の対角に位置する２つの第１内部電極部と対応する２つの前記第２内部電極部との間、または前記４つの第１内部電極部のうち他方の対角に位置する２つの第１内部電極部と対応する２つの前記第２内部電極部との間に電圧を印加するための少なくとも３つの端子電極が設けられていることを特徴とする積層型圧電素子。
10. 前記第１圧電体は、前記積層体の他側に位置する孤立した前記２つの第１内部電極部とそれぞれ接続され、前記一側の側面に向けて延びる２つの第１引き出し部を更に有し、
    前記第２圧電体は、前記積層体の他側に位置する前記各第２内部電極部と接続され、前記一側の側面に向けて延びる第２引き出し部を更に有し、
    前記積層体の前記一側の側面には、当該一側に位置する前記各第１内部電極部及び前記第２引き出し部とそれぞれ接続された第１側面電極と、当該一側に位置する前記２つの第２内部電極部とそれぞれ接続された２つの第２側面電極と、前記２つの第１引き出し部とそれぞれ接続された２つの第３側面電極とが設けられ、
    前記少なくとも３つの端子電極は、前記第１側面電極、前記２つの第２側面電極及び前記２つの第３側面電極であることを特徴とする請求項９記載の積層型圧電素子。
    
    
    
    
    
    
    
    
    

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