JP2006165452A - チップボンディング装置及びチップボンディング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】チップボンディング済みのパッケージをモジュールに搭載したときに、モジュール内で半導体チップの位置にばらつきが生じるという欠点があった。
【解決手段】ボンディング用パレット11の凹部18内に収容されたパッケージ19に半導体チップ13をボンディングするとともに、このボンディングに際して半導体チップ13を保持するコレット10を備えるチップボンディング装置において、コレット10を内側コレット14と外側コレット15の二重構造とする。内側コレット14は、半導体チップ13を位置決め状態で吸着保持するものとし、外側コレット15は、ボンディング用パレット11の凹部18内でパッケージ19を横方向に片寄せする片寄せ部17を有し、この片寄せ部17でパッケージ19の外周部を突き当て基準部18Aに突き当てて位置決めするものとする。
【選択図】図3
【解決手段】ボンディング用パレット11の凹部18内に収容されたパッケージ19に半導体チップ13をボンディングするとともに、このボンディングに際して半導体チップ13を保持するコレット10を備えるチップボンディング装置において、コレット10を内側コレット14と外側コレット15の二重構造とする。内側コレット14は、半導体チップ13を位置決め状態で吸着保持するものとし、外側コレット15は、ボンディング用パレット11の凹部18内でパッケージ19を横方向に片寄せする片寄せ部17を有し、この片寄せ部17でパッケージ19の外周部を突き当て基準部18Aに突き当てて位置決めするものとする。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体チップをパッケージにボンディングする際に用いられるチップボンディング装置及びチップボンディング方法に関する。
半導体製造に係る組み立て工程では、ウエハ状態でダイシングにより個片に分離された半導体チップを1つずつピックアップして、ソケットタイプやCANタイプのパッケージにボンディング(実装)するチップボンディング装置が用いられている。チップボンディング装置では、チップボンディング済みのパッケージを基板等のモジュールに高い位置精度で再現性良く組み込むために、パッケージに対して半導体チップを高精度にボンディングする必要がある。
そこで従来においては、パッケージの所定の位置にアライメントマークを設け、このアライメントマークを基準に半導体チップを位置決めする技術が知られている。また、下記特許文献1には、半導体チップを保持するコレットの位置を、パッケージの内壁を利用してメカ的に規制することにより、半導体チップの中心とパッケージのキャビディ中心を精度良く位置合わせしてボンディングする技術が記載されている。
一般に、チップボンディング済みのパッケージを用いて製品化された半導体装置をモジュールに搭載する場合は、パッケージの外周部を基準にして半導体装置を位置決めしている。これに対して、従来のチップボンディング装置では、基本的にパッケージのキャビティ中心に半導体チップの中心を位置合わせするかたちでパッケージと半導体チップを位置決めしている。そのため、モジュールにパッケージを搭載するときの位置決め基準と、パッケージに半導体チップを実装するときの位置決め基準が互いに異なるものとなっている。したがって、チップボンディング済みのパッケージをモジュールに搭載したときに、モジュール内で半導体チップの位置にばらつきが生じるという欠点があった。
本発明に係るチップボンディング装置は、ボンディング用パレットの凹部内に収容されたパッケージに半導体チップをボンディングするとともに、このボンディングに際して半導体チップを保持するコレットを備えるチップボンディング装置であって、コレットは、半導体チップを位置決め状態で吸着保持する内側コレットと、ボンディング用パレットの凹部内でパッケージをに片寄せする片寄せ部を有し、この片寄せ部でパッケージの外周部を突き当て基準部に突き当てて位置決めする外側コレットとからなるものである。
本発明に係るチップボンディング装置においては、外側コレットの片寄せ部によりパッケージをに片寄せすることにより、パッケージの外周部を突き当て基準部に突き当てて位置決めし、この状態のもとで、内側コレットにより吸着保持した半導体チップをパッケージにボンディングすることにより、パッケージの外周部を基準にして半導体チップの位置決めがなされる。
本発明のチップボンディング装置によれば、パッケージの外周部を位置決めの基準として、チップボンディング済みのパッケージを基板等のモジュールに搭載するときに、半導体チップの位置決め基準とパッケージの位置決め基準を共通化することができる。したがって、チップボンディング済みのパッケージをモジュールに搭載したときに、モジュール内で半導体チップの位置を精度良く保証することができる。
以下、本発明の具体的な実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
図1は本発明が適用されるチップボンディング装置の構成例を示す斜視図である。図示したチップボンディング装置1は、ボンディングヘッドユニット2と、パレット供給マガジン3と、パレット搬送ユニット4と、パレット回収マガジン5と、ウエハ供給マガジン6と、ウエハ搬送ユニット7と、ウエハテーブル8とを備えた構成となっている。
ボンディングヘッドユニット2は、可動アーム9と、コレット10と、これらを水平方向及び垂直方向に移動可能に支持するヘッド駆動部(不図示)とを備えている。コレット10は、可動アーム9の先端部に取り付けられている。
パレット供給マガジン3は、チップボンディング前のパッケージを所定数だけ収容したボンディング用パレット11を積載状態で格納するものである。図2にボンディング用パレット11の具体的な構成例を示す。ボンディング用パレット11は、平面視長方形(長尺状)に形成され、その長手方向に一定の間隔で複数の凹部18が設けられている。また、ボンディング用パレット11には、パレット搬送時にボンディング用パレット11を位置決めするための位置決め孔11Aが設けられている。
パレット搬送ユニット4は、パレット供給マガジン3に格納されたボンディング用パレット11を1つずつ取り出して搬送するものである。このパレット搬送時には、パレット供給マガジン3からボンディング用パレット11が1つ供給されるたびに、マガジン内でパレットの格納位置(積載位置)が1段ずつ下げられる。パレット搬送ユニット4によるパレット搬送経路の途中にはボンディングステージ12が設けられている。パレット回収マガジン5は、パレット搬送ユニット4によって搬送されたチップボンディング済みのボンディング用パレット11を回収するものである。このパレット回収時には、パレット回収マガジン5にボンディング用パレット11が1つ回収されるたびに、マガジン内でパレットの格納位置(積載位置)が1段ずつ上げられる。
ウエハ供給マガジン6は、ダイシングによって複数の半導体チップに分割されたウエハを積載状態で格納するものである。ウエハ供給マガジン6の内部には、各々のウエハが伸縮性の高いウエハシートに貼着された状態で格納されている。ウエハ搬送ユニット7は、ウエハ供給マガジン6に格納されたウエハをウエハシートとともに1つずつ取り出して搬送するものである。このウエハ搬送時には、ウエハ供給マガジン6からウエハが1枚供給されるたびに、マガジン内でウエハの格納位置(積載位置)が1段ずつ下げられる。ウエハテーブル8は、ウエハ搬送ユニット7によって搬送されたウエハを、当該ウエハに貼り付いたウエハシートを円周方向に延ばした状態で水平に支持するものである。ウエハテーブル8は水平方向(X−Y方向)に移動可能に設けられている。また、ウエハテーブル8の内部にはピックアップ用の突き上げピン(不図示)が設けられている。
続いて、上記構成からなるチップボンディング装置1の動作について説明する。まず、チップボンディング前のパッケージを収容したボンディング用パレット11は、パレット供給マガジン3から1つずつ供給されるとともに、パレット搬送ユニット4によってボンディングステージ12まで搬送される。一方、ウエハシートに貼着されたウエハは、ウエハ供給マガジンから1枚ずつ供給されるとともに、ウエハ搬送ユニット7によってウエハテーブル8まで搬送される。
次に、ボンディングヘッドユニット2の駆動により可動アーム9先端のコレット10がウエハテーブル8の直上位置まで進出するとともに、ウエハテーブル8に支持されたウエハ内の1つの半導体チップが突き上げピンにより突き上げられる。このとき、コレット10は、突き上げピンによる半導体チップの突き上げに先立って、突き上げ対象となる半導体チップの近傍まで下降する。これにより、実際に突き当てピンで突き上げられた半導体チップがコレット10の下端部に突き当てられ、そこで吸着保持される。
その後、コレット10と突き上げピンが同期(一体化)して上昇し、この上昇量が規定量に到達したところで突き上げピンだけが下降する。一方、コレット10は、半導体チップを吸着保持したまま所定の高さまで上昇した後、可動アーム9の水平移動によりボンディング用パレット11(ボンディングステージ12)の直上位置へと移動する。さらに、コレット10は、半導体チップを吸着保持しまま下降することにより、ボンディング用トレイ内のパッケージに半導体チップをボンディングする。チップボンディングに際しては、パッケージに半導体チップを固定するために樹脂などの接合材料が用いられる。また、半導体チップやパッケージには、ボンディング用の加圧力に加え、必要に応じて超音波振動や熱などが加えられる。
以降は、ウエハテーブル8とボンディングステージ12との間をコレット10が往復しながら、ボンディング用パレット11に収容された全てのパッケージに半導体チップをボンディングする。その後、チップボンディング済みのパッケージを収容したボンディング用パレット11をパレット回収マガジン5へと搬送・格納し、それと入れ替わるようにチップボンディング前のパッケージを収容したボンディング用パレット11をボンディングステージ12へと搬送する。また、ウエハテーブル8上に存在する全ての半導体チップ(良品チップ)のボンディングを終えた場合は、その都度、ウエハ搬送ユニット7により新たなウエハをウエハテーブル8へと搬送・供給する。
図3は本発明の実施形態に係るチップボンディング装置で採用されるコレットの構成を示す断面図である。図示のようにコレット10は、半導体チップ13を保持する機能を有するものである。コレット10は、内側コレット14と外側コレット15とを有する多重(二重)コレット構造になっている。内側コレット14は、コレット軸16の下端部に取り付けられている。コレット軸16は、上記可動アーム9の先端部に上下動可能に支持されるものである。
内側コレット14の下端部は、平面視矩形状をなす半導体チップ13の4つの辺に接する4つのテーパー部を有する凹形状となっている。また、4つのテーパー部で囲まれる内側コレット14の中央部には図示しない吸着用の孔が設けられ、この孔を通して真空引きを行うことにより、内側コレット14の下端部に半導体チップ3を吸着保持し得る構成となっている。さらに、この吸着保持状態では、内側コレット14の4つのテーパー部に半導体チップ13の4つの辺が接することにより、内側コレット14で半導体チップ13を位置決めし得る構成となっている。
一方、外側コレット15は、コレット軸16に嵌合された状態で内側コレット14の外側(図の上側)に配置されている。外側コレット15は、コレット軸16の軸方向に対してはスラストベアリング等を用いて移動自在に支持され、コレット軸16廻りの回転方向に対してはコレット位置が規制(回転止め)されている。また、コレット軸16を中心とした径方向(水平方向)においては、コレット軸16との嵌合により外側コレット15の動きを規制することにより、内側コレット14と外側コレット15との相対位置が一義的に決められている。
外側コレット15の外形寸法は、内側コレット14の外形寸法よりも大きく設定されている。外側コレット15は、コレット軸16の軸方向から見て矩形状に形成されている。また、外側コレット15の外周部には片寄せ部17が設けられている。片寄せ部17は、外側コレット15の外周部において互いに直角をなす2辺(図3では1辺に対応する片寄せ部17のみ表示)に設けられている。また、片寄せ部17は、外側コレット15の下面15Aより下方に突出する状態で設けられるとともに、当該下面15Aに対して鈍角をなすように傾斜したテーパー面17Aを一体に有している。これにより、外側コレット15の片寄せ部17は内向きのテーパー構造となっている。
このようなコレット構造に対して、上記ボンディングステージ12上では、ボンディング用パレット11の凹部18内にパッケージ19が収容された状態で待機する。パッケージ19の内部には半導体チップをボンディングするためのキャビディ20が形成されている。また、ボンディング用パレット11にはパレット長手方向に一定の間隔で複数の凹部18が形成されているが、図3ではそのうちの1つを拡大して表示している。ボンディング用パレット11の凹部18は、図4に示すように、平面視矩形状(図例では略正方形)に形成されている。凹部18を形成する4つの辺のうち、互いに直角をなす2つの辺18A,18Bに沿う凹部18の内側面は、当該凹部18内でパッケージ19の突き当て基準部となる。
これに対して、パッケージ19は、その外周部を形成する4つの辺のうち、上記凹部18の辺18A,18Bに対向する2つの辺に沿うパッケージ外周面を位置決め(突き当て)の基準として、基板等のモジュールに搭載されるものである。凹部18の4つのコーナーのうち、上記2つの辺18A,18Bによって形成されるコーナー部分には逃げ部21が設けられている。逃げ部21は、パッケージ19の角部との位置的な干渉を避けるためのものである。凹部18の平面形状は、そこに収容されるパッケージ19の外周形状とほぼ同一の形状となっている。また、凹部18の平面サイズは、パッケージ19の外形寸法よりも若干大きな寸法となっている。したがって、凹部18内ではパッケージ19の横方向(水平方向)の動きが若干許容される。
ここで、内側コレット14と外側コレット15の支持構造の具体例について説明する。先ず、図5(A)に示すコレット支持構造においては、内側コレット支持部100からコレット軸16が垂下し、その先端(下端)に内側コレット14が取り付けられている。また、外側コレット15は、外側コレット支持部200に支持されている。外側コレット支持部200は、スライド機構201により垂直方向に移動(上下動)可能に支持されている。かかる構成においては、スライド機構201により外側コレット15と一緒に内側コレット14が昇降する。また、内側コレット支持部100から垂下したコレット軸16を進退動作させると、外側コレット15が不動のままで内側コレット14だけが昇降する。
また、図5(B)に示すコレット支持構造においては、内側コレット支持部100からコレット軸16が垂下し、その先端に内側コレット14が取り付けられている。また、外側コレット15は、外側コレット支持部200に支持されるとともに、当該外側コレット支持部200を収容する中空構造の外側コレットガイド部材202により上下動可能に支持されている。外側コレット15と外側コレットガイド部材202との嵌合部分は気密状態にシールされている。かかる構成においては、外側コレットガイド部材202の中空内に圧縮エアーを供給したり中空内を負圧にすることにより、外側コレットガイド部材202にガイドされて外側コレット15が内側コレット14と一緒に昇降する。また、内側コレット支持部100から垂下したコレット軸16を進退動作させると、外側コレット15が不動のままで内側コレット14だけが昇降する。
また、図5(C)に示すコレット支持構造においては、バネ受けを兼ねた内側コレット支持部100からコレット軸16が垂下し、その先端に内側コレット14が取り付けられている。また、外側コレット15は、バネ受けを兼ねた外側コレット支持部200に支持されるとともに、外側コレットガイド部材202により上下動可能に支持されている。さらに、内側コレット支持部100と外側コレット支持部200の間にはコイルバネ300が設けられている。コイルバネ300は、コレット軸16に巻装された状態で取り付けられている。かかる構成においては、内側コレット支持部100を押し下げると、コイルバネ300のバネ圧により外側コレット支持部200が外側コレットガイド部材202にガイドされて下降するとともに、この外側コレット支持部200及び外側コレット15と一緒に内側コレット14が下降する。さらに、その状態から内側コレット支持部100を引き上げてバネ圧を開放すると、外側コレット支持部200及び外側コレット15と一緒に内側コレット14が上昇する。また、内側コレット支持部100から垂下したコレット軸16を進退動作させると、外側コレット15が不動のままで内側コレット14だけが昇降する。
続いて、上記図3に示すコレット10を用いたチップボンディング方法について説明する。先ず、上述したチップボンディング装置の動作手順にしたがってコレット10をウエハテーブル8上に移動し、そこで内側コレット14の下端部に半導体チップ13を位置決め状態で吸着保持した後、コレット10をボンディングステージ12上に移動して上記図2に示すようにボンディング用パレット11の直上にコレット10を配置する。このとき、外側コレット15の片寄せ部17の下端鋭角部分は、ボンディング用パレット11の凹部18の外周縁よりも僅かに内側に配置しておく。
次に、コレット軸16と一体にコレット10を下降させることにより、図6(A)に示すように、外側コレット15の片寄せ部17のテーパー面17Aをパッケージ19の辺に接触(当接)させる。コレット10の下降は、上記可動アーム9を下降させて行えばよい。こうして片寄せ部17のテーパー面17Aをパッケージ19の辺に接触させると、その接触圧とテーパー面17Aの傾きによりパッケージ19は横方向の力を受ける。したがって、コレット10の更なる下降によってパッケージ19はボンディング用パレット11の凹部18内で横方向に片寄せされる。これにより、コレット10の下降が停止したときには、図6(B)に示すように、凹部18内において、外側コレット15の片寄せ部17が当接した辺と反対側の辺に沿うパッケージ19の側面が、凹部18の辺18Aの沿う内側面(突き当て基準部)に突き当たった状態となる。また、これと同様の原理で、パッケージ19の他の側面が、凹部18の辺18Bに沿う内側面(突き当て基準部)に突き当たった状態となる。
こうしてボンディング用パレット11の凹部18内でパッケージ19の位置決めが行われると、これに続いてコレット軸16の進出動作により、図6(C)に示すように、内側コレット14に吸着保持された半導体チップ13がパッケージ19のキャビディ20底面に押し付けられる。これにより、パッケージ19に半導体チップ13が接合固定される。その後、内側コレット14の真空引き(チップ吸着)を解除した状態で、コレット軸16の後退動作により内側コレット14を上昇させるとともに、外側コレット15を含めてコレット10全体をボンディング用パレット11の上方に退避させる。以降は、パレット搬送ユニット4でボンディング用パレット11を1ステップずつ搬送して、各々の凹部18内に収容されたパッケージ19にコレット10を用いて半導体チップ13を順にボンディングする。
このようにチップボンディング用のコレット10を内側コレット14と外側コレット15の多重(二重)構造にするとともに、外側コレット15の片寄せ部17によりパッケージ19を横方向に片寄せした状態で、内側コレット14により吸着保持した半導体チップ13をパッケージ19にボンディングすることにより、パッケージ19の外周部を基準にして半導体チップ13を位置決めすることができる。これにより、パッケージの外周部を位置決めの基準として、チップボンディング済みのパッケージを基板等のモジュールに搭載するときに、半導体チップ13の位置決め基準とパッケージ19の位置決め基準を共通化することができる。したがって、チップボンディング済みのパッケージをモジュールに搭載したときに、モジュール内で半導体チップの位置を精度良く保証することができる。
図7及び図8は本発明の実施形態に係るチップボンディング装置で採用可能なコレットの他の構成を示す図である。
図7(A)に示すコレット構成では、外側コレット15の片寄せ部17が外向きのテーパー構造となっている。そして、コレット下降時には片寄せ部17の外向きテーパー部分がボンディング用パレット11の凹部18の縁部に当接して摺動することにより、凹部18内で片寄せ部17をパッケージ19の外周部に当接させ、パッケージ19を横方向に片寄せして位置決めする構成となっている。
図7(B)に示すコレット構成では、外側コレット15の片寄せ部17がテーパー無しの構造となっているのに対し、ボンディング用パレット11の凹部18の縁部がテーパー付きの構造となっている。そして、コレット下降時には片寄せ部17の下端部が凹部18のテーパー部分に当接して摺動することにより、凹部18内で片寄せ部17をパッケージ19の外周部に当接させ、パッケージ19を横方向に片寄せして位置決めする構成となっている。
図7(C)に示すコレット構成は、上記図7(B)に示すものと同様の構成となっている。ただし、ボンディング用パレット11の凹部18内には、パッケージ19が片寄せされる側の内側面に半球状の突起22が設けられ、この突起22にパッケージ19の外周部(外周面)を点接触で突き当てて位置決めする構成となっている。この点接触による突き当て構造を採用すれば、より高精度な位置決めを実現することが可能となる。
一方、図8(A)に示すコレット構成では、外側コレット15の外周部において、片寄せ部17と対向する側に突き当て基準部23を設けたものとなっている。そして、コレット下降時には片寄せ部17のテーパー部分をパッケージ19の辺に当接させるとともに、この当接によって横方向に移動(片寄せ)するパッケージ19の側面を外側コレット16の突き当て基準部23に突き当てて位置決めする構成となっている。
また、図8(B)に示すコレット構成では、上記図8(A)に示すコレット構成において、外側コレット15の突き当て基準部23に半球状の突起24を設け、この突起24にパッケージの側面を点接触で突き当てて位置決めする構成となっている。このように外側コレット15に突き当て基準部23を一体に設けた構成を採用した場合は、外側コレット15単独でパッケージ19を片寄せして位置決めすることができる。そのため、より高精度にパッケージ19の位置決めを行うことが可能となる。
なお、上記実施形態においては、ソケットタイプのパッケージ19に半導体チップ13をボンディングする場合を例に挙げて説明したが、これ以外にも、例えば、円形のCANタイプのパッケージに半導体チップをボンディングするものでは、ボンディング用トレイの凹部にV字形の突き当て基準部を設け、外側ソケットの片寄せ部でパッケージを横方向に片寄せしたときに突き当て基準部にパッケージの外周部を突き当てて位置決めする構成を採用すればよい。
1…チップボンディング装置、10…コレット、11…ボンディング用パレット、13…半導体チップ、14…内側コレット、15…外側コレット、17…片寄せ部、18…凹部、19…パッケージ、23…突き当て基準部、24…突起
Claims (4)
- ボンディング用パレットの凹部内に収容されたパッケージに半導体チップをボンディングするとともに、このボンディングに際して前記半導体チップを保持するコレットを備えるチップボンディング装置であって、
前記コレットは、前記半導体チップを位置決め状態で吸着保持する内側コレットと、前記ボンディング用パレットの凹部内で前記パッケージを片寄せする片寄せ部を有し、この片寄せ部で前記パッケージの外周部を突き当て基準部に突き当てて位置決めする外側コレットとからなる
ことを特徴とするチップボンディング装置。 - 前記外側コレットに前記突き当て基準部を設けてなる
ことを特徴とする請求項1記載のチップボンディング装置。 - 前記突き当て基準部に突起を設けてなる
ことを特徴とする請求項2記載のチップボンディング装置。 - ボンディング用パレットの凹部内に収容されたパッケージに半導体チップをボンディングするとともに、このボンディングに際して前記半導体チップを保持する内側コレットと外側コレットからなるコレットを用いるチップボンディング方法であって、
前記内側コレットで前記半導体チップを位置決め状態で吸着保持した後、前記ボンディング用パレットの凹部内で前記パッケージを前記外側コレットでに片寄せすることにより、前記パッケージの外周部を突き当て基準部に突き当てて位置決めし、この位置決め状態で前記半導体チップを前記パッケージにボンディングする
ことを特徴とするチップボンディング方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008078212A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Sanwa System Engineering Kk | 精密部品の位置決め装置 |
JP2010287863A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | 部品位置決め装置 |
JP2013198259A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Yaskawa Electric Corp | ロータ製造装置、ロータ製造方法および永久磁石位置決め方法 |
DE102018208881A1 (de) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestückung eines Trägers mit einem Bauteil |
-
2004
- 2004-12-10 JP JP2004358104A patent/JP2006165452A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008078212A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Sanwa System Engineering Kk | 精密部品の位置決め装置 |
JP2010287863A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | 部品位置決め装置 |
JP2013198259A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Yaskawa Electric Corp | ロータ製造装置、ロータ製造方法および永久磁石位置決め方法 |
DE102018208881A1 (de) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestückung eines Trägers mit einem Bauteil |
DE102018208881B4 (de) * | 2018-06-06 | 2021-04-22 | Vitesco Technologies GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Bestückung eines Trägers mit einem Bauteil |
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