JP2006156797A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明は、基板にワイヤボンディングにより接続される半導体チップと、基板に配設される複数の個別部品とを備えた半導体装置に関し、高密度に実装できると共に、小型化することのできる半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 領域D内において、複数の個別部品の中で高さが一番高い個別部品125により第2の半導体チップ130を基板101に対して支持し、第1の半導体チップ実装領域Gよりも外側で、かつ第2の接続パッド106よりも内側に位置する基板101上に個別部品125よりも高さの低い他の個別部品を配設する。
【選択図】 図4
【解決手段】 領域D内において、複数の個別部品の中で高さが一番高い個別部品125により第2の半導体チップ130を基板101に対して支持し、第1の半導体チップ実装領域Gよりも外側で、かつ第2の接続パッド106よりも内側に位置する基板101上に個別部品125よりも高さの低い他の個別部品を配設する。
【選択図】 図4
Description
本発明は、半導体装置に係り、特に基板にワイヤボンディングにより接続される半導体チップと、基板に配設される複数の個別部品とを備えた半導体装置に関する。
従来の半導体装置は、基板と、複数の半導体チップと、複数の個別部品とを有しており、基板上に複数の半導体チップと複数の個別部品とが実装された構成とされている。このような半導体装置の中には、半導体チップをワイヤボンディングにより基板に接続させたものがある。また、近年の高密度実装化及び小型化の要求により、後述する図1乃至図3に示すように、複数の半導体チップを基板の厚さ方向に積層(スタック構造)させて基板に接続して、半導体装置の高密度実装化及び小型化を図ったものがある。
次に、図1乃至図3を参照して、従来の半導体装置の構成について説明する。図1乃至図3は、従来の半導体装置の断面図である。なお、図1に示したAはワイヤ34が配設されるワイヤ配設領域(第2の接続パッド16が配設された領域)よりも内側の領域(以下、「領域A」とする)、図2に示したBはワイヤ57〜59が配設されるワイヤ配設領域(第3の接続パッド44が配設された領域)よりも内側の領域(以下、「領域B」とする)、図3に示したCはワイヤ87が配設されるワイヤ配設領域(第2の接続パッド73が配設された領域)よりも内側の領域(以下、「領域C」とする)をそれぞれ示している。また、図2及び図3において、図1に示した半導体装置10と同一構成部分には同一符号を付す。
図1に示すように、半導体装置10は、基板11と、第1の半導体チップ27と、第2の半導体チップ32と、複数の個別部品36とを有した構成とされている。基板11は、大略すると基材12と、基材12を貫通する貫通ビア13と、基材12の上面側に設けられた第1及び第2の接続パッド15,16、個別部品用接続パッド17、及びソルダーレジスト18と、基材12の下面側に設けられた配線21、ソルダーレジスト24、及びはんだボール25とを有した構成とされている。個別部品36が接続される個別部品用接続パッド17は、領域Aよりも外側に位置する基材12上に設けられている。
第1の半導体チップ27は、電極パッド28を有しており、電極パッド28と第1の接続パッド15との間はフリップチップ接続されている。第2の半導体チップ32は、第1の半導体チップ27よりも外形が大きい半導体チップであり、電極パッド33を有した構成とされている。電極パッド33は、ワイヤ34により第2の接続パッド16と接続されている。第2の半導体チップ32は、接着剤31により第1の半導体チップ27に接着されている。複数の個別部品36は、はんだペースト37により個別部品用接続パッド17と接続されている。個別部品36は、トランジスタ、ダイオード、抵抗、コンデンサ等の基本となる電気的素子であり、かつ1つの機能が1つの部品となっているものである(「ディスクリート部品」ともいう)。第1及び第2の半導体チップ27,32及び複数の個別部品36は、ワイヤ34を保護するための樹脂39により覆われている。
図2に示すように、半導体装置40は、第1乃至第3の接続パッド42〜44を備えた基板41と、外形の大きさが異なる第1乃至第3の半導体チップ46,49,54と、複数の個別部品36とを有した構成とされている。外形の大きさが一番大きい第1の半導体チップ46は、基材12の上面に配設されている。第1の半導体チップ46に設けられた電極パッド47は、ワイヤ57により第1の接続パッド42と接続されている。
二番目に外形の大きい第2の半導体チップ49は、第1の半導体チップ46上に配設されている。第2の半導体チップ49に設けられた電極パッド51は、ワイヤ58により第2の接続パッド43と接続されている。外形が一番小さい第3の半導体チップ54は、第2の半導体チップ49上に配設されている。第3の半導体チップ54に設けられた電極パッド55は、ワイヤ59により第3の接続パッド44と接続されている。個別部品36は、はんだペースト37を介して、領域Bよりも外側の位置に設けられた個別部品用接続パッド17と電気的に接続されている(例えば、特許文献1参照)。
図3に示すように、半導体装置70は、第1及び第2の接続パッド72,73を備えた基板71と、外形の大きさの異なる第1及び第2の半導体チップ76,85と、スペーサ82と、複数の個別部品36とを有した構成とされている。第2の半導体チップ85よりも外形の小さい第1の半導体チップ76は、基材12の上面に配設されている。第1の半導体チップ76に設けられた電極パッド77は、ワイヤ78により第1の接続パッド72と接続されている。
スペーサ82は、第1の半導体チップ76上に配設されている。スペーサ82は、第2の半導体チップ85を支持すると共に、ワイヤ78が第2の半導体チップ85と接触しないように、第2の半導体チップ85の高さ方向の配設位置を調節するためのものである。
第2の半導体チップ85は、スペーサ82上に配設されている。第2の半導体チップ85に設けられた電極パッド86は、ワイヤ87により第2の接続パッド73と接続されている。個別部品36は、はんだペースト37を介して、領域Cよりも外側の位置に設けられた個別部品用接続パッド17と電気的に接続されている。
特開2004−214258号公報
しかしながら、半導体装置には、さらなる高密度実装化や小型化の要求があり、上記スタック構造を適用した従来の半導体装置10,40,70では、半導体装置のさらなる高密度実装化及び小型化を実現することは困難であるという問題があった。
そこで本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、高密度に実装できると共に、小型化することのできる半導体装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
請求項1記載の発明では、半導体チップと、該半導体チップがワイヤにより電気的に接続される基板と、前記基板に配設された複数の個別部品とを有した半導体装置において、前記複数の個別部品を、前記基板の前記ワイヤが配設されるワイヤ配設領域よりも内側の基板に配設したことを特徴とする半導体装置により、解決できる。
上記発明によれば、複数の個別部品を基板のワイヤが配設されるワイヤ配設領域よりも内側に位置する基板に配設したことにより、高密度に実装することができると共に、半導体装置を小型化することができる。
請求項2記載の発明では、前記半導体チップは、少なくとも4つ以上の前記個別部品によって前記基板に支持されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置により、解決できる。
上記発明によれば、少なくとも4つ以上の個別部品によって半導体チップを支持することで、基板に対して半導体チップを安定して支持することができる。
請求項3記載の発明では、前記複数の個別部品の高さが異なる場合、前記半導体チップは、高さの一番高い個別部品によって前記基板に支持されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置により、解決できる。
上記発明によれば、高さの一番高い個別部品により半導体チップを支持することで、半導体チップと対向する基板に他の個別部品を配設することができる。
請求項4記載の発明では、前記半導体チップと前記基板との間に、他の半導体チップを配設したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置により、解決できる。
上記発明によれば、半導体チップと基板との間に、他の半導体チップを配設することで、実装の高密度化を図ることができる。
請求項5記載の発明では、前記半導体チップは、半導体チップを収容したパッケージによって前記基板に支持されており、前記パッケージの高さは、前記複数の個別部品の高さよりも高いことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置により、解決できる。
上記発明によれば、複数の個別部品よりも高さの高いパッケージにより半導体チップを支持することで、半導体チップと対向する基板に複数の個別部品を配設することができる。
本発明によれば、高密度に実装できると共に、小型化することのできる半導体装置を提供できる。
次に、図面に基づいて本発明の実施例を説明する。
(第1実施例)
図4及び図5を参照して、本発明の第1実施例による半導体装置100について説明する。図4は、本発明の第1実施例による半導体装置の断面図であり、図5は、図4に示した半導体装置を平面視した際の個別部品及び半導体チップの位置関係を示した図である。なお、図4及び図5に示したDはワイヤ配設領域(第2の接続パッド106が配設された領域)よりも内側の領域(以下、「領域D」とする)、Gは第1の半導体チップ118が実装される領域(以下、「第1の半導体チップ実装領域G」とする)をそれぞれ示している。また、図5に斜線で示したFは第2の半導体チップ130と基板101との間に形成される空間(以下、「空間F」とする)を示している。
(第1実施例)
図4及び図5を参照して、本発明の第1実施例による半導体装置100について説明する。図4は、本発明の第1実施例による半導体装置の断面図であり、図5は、図4に示した半導体装置を平面視した際の個別部品及び半導体チップの位置関係を示した図である。なお、図4及び図5に示したDはワイヤ配設領域(第2の接続パッド106が配設された領域)よりも内側の領域(以下、「領域D」とする)、Gは第1の半導体チップ118が実装される領域(以下、「第1の半導体チップ実装領域G」とする)をそれぞれ示している。また、図5に斜線で示したFは第2の半導体チップ130と基板101との間に形成される空間(以下、「空間F」とする)を示している。
半導体装置100は、大略すると基板101と、第1の半導体チップ118と、第2の半導体チップ130と、複数の個別部品125,127とを有した構成とされている。また、基板101上に設けられた第1及び第2の半導体チップ118,130及び複数の個別部品125,127は、後述するワイヤ133を保護する樹脂134により封止されている。
基板101は、インターポーザであり、大略すると基材102と、貫通ビア103と、第1及び第2の接続パッド105,106と、個別部品用接続パッド107と、ソルダーレジスト108と、配線111と、ソルダーレジスト114と、はんだボール116とを有した構成とされている。貫通ビア103は、基材102を貫通するよう基材102に設けられている。貫通ビア103は、第1及び第2の接続パッド105,106、及び個別部品用接続パッド107と、配線111との間を電気的に接続するためのものである。なお、基材102には、例えば、樹脂基材、セラミック基材、ガラス基材等を用いることができる。
第1の接続パッド105は、領域Dの中央付近に位置する基材102の上面102Aに設けられている。第1の接続パッド105は、貫通ビア103と電気的に接続されている。第1の接続パッド105は、第1の半導体チップ118を実装するためのものである。第2の接続パッド106は、第1の接続パッド105から離間した領域D内に位置する基材102上に設けられている。第2の接続パッド106は、貫通ビア103と電気的に接続されている。第2の接続パッド106は、ワイヤ133を介して第2の半導体チップ130と電気的に接続されている。ワイヤ133には、例えば、Auワイヤを用いることができる。
個別部品用接続パッド107は、第1の接続パッド105と第2の接続パッド106との間に位置する基材102上に設けられている。個別部品用接続パッド107は、個別部品125,127と電気的に接続されるものである。
ソルダーレジスト108は、第1及び第2の接続パッド105,106と個別部品用接続パッド107とが設けられていない基材102の上面102Aに形成されている。配線111は、接続部112を有した構成とされており、貫通ビア103と電気的に接続されるよう基材102の下面102Bに設けられている。ソルダーレジスト114は、接続部112以外の配線111部分を覆うよう基材102の下面102B側に設けられている。はんだボール116は、接続部112に配設されている。はんだボール116は、他の基板、例えば、マザーボード等に接続するための外部接続端子である。
第1の半導体チップ118は、電極パッド119を有しており、電極パッド119と第1の接続パッド105との間は、フリップチップ接続されている。具体的には、電極パッド119に設けられたスタッドバンプ121が、はんだ122により第1の接続パッド105と接続され、第1の半導体チップ118と基板101との間にアンダーフィル樹脂123が充填されている。アンダーフィル樹脂123は、第1の半導体チップ118と基板101との間の熱膨張率のミスマッチを防止するためのものである。また、第1の半導体チップ118は、第2の半導体チップ130と対向する基板101上に配設されている。このように、第1の半導体チップ118を第2の半導体チップ130と対向する基板101上に配設することで、実装の高密度化を図ることができる。なお、第1の半導体チップ118の厚さは、例えば、100μm〜300μmとすることができる。
第2の半導体チップ130は、第1の半導体チップ118よりも外形が大きく、基板101に対してワイヤボンディング接続される半導体チップである。第2の半導体チップ130は、電極パッド131を有しており、電極パッド131が設けられていない側の第2の半導体チップ130は、接着剤129により個別部品125と接着されている。また、電極パッド131は、ワイヤ133を介して第2の接続パッド106と電気的に接続されている。
第2の半導体チップ130は、略高さの等しい4個の個別部品125により基板101に対して支持されている。このように、略高さの等しい4個の個別部品125により第2の半導体チップ130の四隅を支持することで、基板101に対して第2の半導体チップ130を安定して支持することができる。これにより、ワイヤ133を精度良く配設することができる。なお、4個以上の個別部品125により第2の半導体チップ130を支持しても良い。なお、第2の半導体チップ130の厚さは、例えば、100μm〜300μmとすることができる。
次に、複数の個別部品125,127について説明する。本実施例における個別部品125,127とは、トランジスタ、ダイオード、抵抗、コンデンサ等の基本となる電気的素子であり、かつ1つの機能が1つの部品となっているもののことである(「ディスクリート部品」ともいう)。
個別部品125は、電極126を有しており、電極126と個別部品用接続パッド107とは、はんだペースト128により電気的に接続されている。個別部品125は、個別部品127よりも高さの高い部品である。個別部品125の高さは、例えば、0.3mm〜1.0mmとすることができる。4個の個別部品125は、第2の半導体チップ130の四隅を基板101に対して支持可能な位置に配設されている。個別部品125と第2の半導体チップ130とは、接着剤129で接着されており、第2の半導体チップ130は、第1の半導体チップ118よりも高い位置に配置されている。なお、個別部品127は、基板101に設けられた個別部品用接続パッド(図示していない)と電気的に接続されている。
このように、複数の個別部品125,127の中で高さの高い個別部品125(高さが一番高い個別部品)により第2の半導体チップ130を支持し、第2の半導体チップ130と基板101との間に空間Fを形成し、この空間Fに対応した基板101上に複数の個別部品127を配設することで、高密度な実装を行うことができる。また、従来、領域Dよりも外側に設けられていた個別部品接続用パッド107を領域D内に設けることで、半導体装置100を小型化することができる。
なお、個別部品127は、領域D内において、ワイヤ133と接触しないように第2の半導体チップ130の外形位置よりも外側にはみ出して設けても良い。また、複数の半導体チップを基材102の厚さ方向に配置する場合には、外形の最も大きい半導体チップを基板101に対してワイヤボンディング接続することで、本実施例と同様な効果を得ることができる。さらに、個別部品の高さが3種類以上ある場合には、最も高さの高い個別部品で第2の半導体チップ130を支持すると良い。
図6は、第1実施例の変形例である半導体装置の断面図である。なお、図6において、図4に示した半導体装置100と同一構成部分には同一の符号を付す。 図6に示すように、半導体装置140は、第2の半導体チップ130よりも外形の小さい第1の半導体チップ145を、接着剤147により基板141に接着し、第1の半導体チップ145に設けられた電極パッド146と第1の接続パッド148とをワイヤ149により接続した構成とされている。このような構成とされた半導体装置140においても、第1実施例の半導体装置100と同様な効果を得ることができる。
(第2実施例)
図7及び図8を参照して、本発明の第2実施例による半導体装置150の構成について説明する。図7は、本発明の第2実施例による半導体装置の断面図であり、図8は、図7に示した半導体装置を平面視した際の個別部品及び半導体チップの位置関係を示した図である。なお、図7及び図8に示したIはワイヤ配設領域(第2の接続パッド106が配設された領域)よりも内側の領域(以下、「領域I」とする)、Jはパッケージチップ155が実装される領域(以下、「パッケージチップ実装領域J」とする)をそれぞれ示している。また、図8に斜線で示したKは第2の半導体チップ130と基板101との間に形成される空間(以下、「空間K」とする)を示している。また、図7において、図4に示した半導体装置100と同一構成部分には同一の符号を付す。
(第2実施例)
図7及び図8を参照して、本発明の第2実施例による半導体装置150の構成について説明する。図7は、本発明の第2実施例による半導体装置の断面図であり、図8は、図7に示した半導体装置を平面視した際の個別部品及び半導体チップの位置関係を示した図である。なお、図7及び図8に示したIはワイヤ配設領域(第2の接続パッド106が配設された領域)よりも内側の領域(以下、「領域I」とする)、Jはパッケージチップ155が実装される領域(以下、「パッケージチップ実装領域J」とする)をそれぞれ示している。また、図8に斜線で示したKは第2の半導体チップ130と基板101との間に形成される空間(以下、「空間K」とする)を示している。また、図7において、図4に示した半導体装置100と同一構成部分には同一の符号を付す。
半導体装置150は、大略すると基板151と、パッケージチップ155と、第2の半導体チップ130と、複数の個別部品125,127とを有した構成とされており、基板151上に設けられた第2の半導体チップ130、複数の個別部品125,127、及びパッケージチップ155は樹脂134により封止されている。
基板151は、領域Iの中央付近の基材102上に設けられた第1の接続パッド161を有しており、第1の接続パッド161とパッケージチップ155とは、電気的に接続されている。パッケージチップ155は、図示していない半導体チップ(請求項に記載の「他の半導体チップ」)と、パッケージ156とを有した構成とされている。パッケージ156は、パッケージ本体157と、リードフレーム158とを有した構成とされている。パッケージ本体157の上面は平坦な面とされており、パッケージ本体157の内部には、半導体チップ(図示せず)が収容されている。リードフレーム158は、パッケージ本体157に収容された半導体チップと電気的に接続されている。また、リードフレーム158は、はんだにより第1の接続パッド161と電気的に接続されている。また、パッケージ本体157の上面には、接着剤163により第2の半導体チップ130が接着されており、第2の半導体チップ130は、パッケージチップ155により基板151に対して支持されている。
パッケージチップ155には、パッケージチップ実装領域Jが第2の半導体チップ130の外形よりも小さく、かつ高さが個別部品125,127よりも高いものを選択すると良い。このように、パッケージチップ実装領域Jが第2の半導体チップ130の外形よりも小さくなるようなパッケージチップ155により、第2の半導体チップ130を支持し、第2の半導体チップ130と基板151との間に空間Kを形成し、この空間Kに対応した基板151上に複数の個別部品125,127を配設することで、高密度な実装を行うことができる。また、従来、領域Iよりも外側に設けられていた個別部品用接続パッド107を領域I内に設けることで、半導体装置150を小型化することができる。
なお、本実施例では、図7において、パッケージ156の形態の一例としてSOP(small outline package)を図示したが、パッケージには、例えば、CSP(chip size package)やBGA(ball grid array)、SOJ(small outline j-leaded package)等を用いることができる。また、個別部品125,127は、領域I内において、ワイヤ133と接触しないように第2の半導体チップ130の外形位置よりも外側にはみ出して設けても良い。さらに、複数の半導体チップを基材102の厚さ方向に配置する場合には、外形の最も大きい半導体チップを基板151に対してワイヤボンディング接続することで、本実施例と同様な効果を得ることができる。
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。なお、第1実施例及び第2実施例は、はんだボール116を備えていない半導体装置にも適用できる。
本発明によれば、高密度に実装できると共に、小型化することのできる半導体装置に適用できる。
10,40,70,100,140,150 半導体装置
11,41,71,101,141,151 基板
12,102 基材
13,103 貫通ビア
15,42,72,105,148,161 第1の接続パッド
16,43,73,106 第2の接続パッド
17,107 個別部品用接続パッド
18,24,108,114 ソルダーレジスト
21,111 配線
25,116 はんだボール
27,46,76,118,145 第1の半導体チップ
28,33,47,51,55,77,86,119,131,146 電極パッド
31,147,163 接着剤
32,49,85,130 第2の半導体チップ
34,57,58,59,78,87,133,149 ワイヤ
36,125,127 個別部品
37,128 はんだペースト
39,134 樹脂
44 第3の接続パッド
54 第3の半導体チップ
82 スペーサ
102A 上面
102B 下面
107 個別部品用接続パッド
112 接続部
121 スタッドバンプ
122 はんだ
123 アンダーフィル樹脂
126 電極
155 パッケージチップ
156 パッケージ
157 パッケージ本体
158 リードフレーム
A〜D,I 領域
F,K 空間
G 第1の半導体チップ実装領域
J パッケージチップ実装領域
11,41,71,101,141,151 基板
12,102 基材
13,103 貫通ビア
15,42,72,105,148,161 第1の接続パッド
16,43,73,106 第2の接続パッド
17,107 個別部品用接続パッド
18,24,108,114 ソルダーレジスト
21,111 配線
25,116 はんだボール
27,46,76,118,145 第1の半導体チップ
28,33,47,51,55,77,86,119,131,146 電極パッド
31,147,163 接着剤
32,49,85,130 第2の半導体チップ
34,57,58,59,78,87,133,149 ワイヤ
36,125,127 個別部品
37,128 はんだペースト
39,134 樹脂
44 第3の接続パッド
54 第3の半導体チップ
82 スペーサ
102A 上面
102B 下面
107 個別部品用接続パッド
112 接続部
121 スタッドバンプ
122 はんだ
123 アンダーフィル樹脂
126 電極
155 パッケージチップ
156 パッケージ
157 パッケージ本体
158 リードフレーム
A〜D,I 領域
F,K 空間
G 第1の半導体チップ実装領域
J パッケージチップ実装領域
Claims (5)
- 半導体チップと、
該半導体チップがワイヤにより電気的に接続される基板と、
前記基板に配設された複数の個別部品とを有した半導体装置において、
前記複数の個別部品を、前記基板の前記ワイヤが配設されるワイヤ配設領域よりも内側の基板に配設したことを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体チップは、少なくとも4つ以上の前記個別部品によって前記基板に支持されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記複数の個別部品の高さが異なる場合、前記半導体チップは、高さの一番高い個別部品によって前記基板に支持されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記半導体チップと前記基板との間に、他の半導体チップを配設したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記半導体チップは、半導体チップを収容したパッケージによって前記基板に支持されており、
前記パッケージの高さは、前記複数の個別部品の高さよりも高いことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
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- 2005-11-24 TW TW094141321A patent/TW200623391A/zh unknown
- 2005-11-28 US US11/288,007 patent/US20060113679A1/en not_active Abandoned
- 2005-11-29 KR KR1020050114820A patent/KR20060060605A/ko not_active Application Discontinuation
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