JP2006145962A - 二次元光偏向器及び該二次元光偏向器を用いた光学機器 - Google Patents
二次元光偏向器及び該二次元光偏向器を用いた光学機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006145962A JP2006145962A JP2004337381A JP2004337381A JP2006145962A JP 2006145962 A JP2006145962 A JP 2006145962A JP 2004337381 A JP2004337381 A JP 2004337381A JP 2004337381 A JP2004337381 A JP 2004337381A JP 2006145962 A JP2006145962 A JP 2006145962A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical deflector
- gimbal
- movable mirror
- movable
- torsion bar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【課題】 ジンバル構造による二軸駆動光偏向器において、可動ミラーの撓みを低減する二次元光偏向器を提供する。
【解決手段】 第一のトーションバーでねじり回転可能に片側支持するジンバルと、ジンバルを第二の可動ミラーの回転軸と直交する軸方向にねじり回転可能に支持する支持体とを有し、可動ミラーとジンバルをねじり回転させるための駆動手段を有する光偏向器を提供する。
【選択図】 図1
【解決手段】 第一のトーションバーでねじり回転可能に片側支持するジンバルと、ジンバルを第二の可動ミラーの回転軸と直交する軸方向にねじり回転可能に支持する支持体とを有し、可動ミラーとジンバルをねじり回転させるための駆動手段を有する光偏向器を提供する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、マイクロメカニクスの手法にて作製される光偏向器に関するものである。
光偏向器は、例えばレーザー光を偏向する用途などに利用されるものである。レーザー光を偏向走査する走査ミラーとしてガルバノミラーがある。ガルバノミラーの駆動原理は磁界中に配置した可動コイルに電流を流すと、電流と磁束とに関連して電磁力が発生して電流に比例したトルクが生じる。このトルクとバネ力とが平衡する角度まで可動コイルが回転し、この可動コイルを介して指針を振らせて電流の有無や大小を検出するというガルバノメータの原理を利用したもので、可動コイルと一体に回転する軸に、前記指針の代わりに反射鏡を設けて構成される。
しかしながら、ガルバノミラーでは機械巻きの駆動コイルと磁界発生のための大型ヨークが必要であり、主に出力トルクの理由から、これらの機械要素の小型化には限度がある。また同時に、各構成部材を組み上げる際のスペース等から、光偏向のための装置全体のサイズが大きくなっていた。
小型の光偏向器としては、半導体製造技術を応用して微小機械を半導体基板上に一体形成するマイクロマシニング技術を用いて作製した光偏向器がある。例えば、K.E.Petersen等によりシリコンで形成されるTorsional Scanning Mirrorが非特許文献1に提案されている。この光偏向器は図11に示すように、機械的可動部3が光偏向板としてのミラー3aとミラー3aを支持する梁3bからなり、ミラー3aと基板上に形成した固定電極2との間に駆動電圧を印加し生じる静電引力により、梁にねじりモーメントを与えねじり回転し、ミラー3aの偏向角度をかえるものである。ミラー部の最大偏向角はミラー部と基板との空隙間隔t0にて一義的に決定される。光偏向器においては偏向角が大きいほど良く、これには空隙間隔を大きくとる必要がある。空隙間隔を大きくとると、固定電極とミラーとの距離を増加し駆動電圧が著しく増加してしまう。逆に低電圧を図るには空隙間隔を短くし、偏向角を抑える必要があり、駆動電圧の低減化と大偏向角化は合い矛盾する課題であった。
また、図12に示すように上記のような偏向器を二軸偏向可能に配置した構造のアクチュエータも開発されている(特許文献2)。すなわち、可動ミラーが2つのトーションバーでジンバルに支持され、ジンバルが2つのトーションバーで基板に支持され、可動ミラーとジンバルとの駆動軸が互いに直交する構造を有しており、可動部と対向電極との間の静電引力により駆動する。この構成においては可動ミラーとジンバルとの共振周波数を所望の値にすることにより、ラスタ走査による画像形成が可能な二軸光偏向器を提供することができる。また、この構成の可動ミラーおよびジンバル上にコイルを形成し、永久磁石をコイルに近接して配置することで可動ミラーおよびジンバルを駆動するアクチュエーターも公開されている。
IBM J.RES. DEVELOP.,VOL.24,NO5,9,1980.P631-637 特開昭60−107017号公報
IBM J.RES. DEVELOP.,VOL.24,NO5,9,1980.P631-637
上記のようなジンバル構造を有するアクチュエータにおいて、可動ミラーおよびジンバルは、それぞれトーションバーによりシンバルおよび支持体に両持ち支持されている。この為、以下の原因により可動ミラーに撓みを生じてしまう。
1.シンバル構造と対向電極を形成した基板の接合または接着時に生じる応力
2.シンバル上に形成されるコイルの発熱による応力
3.外部環境の温度変化により、シンバル構造を形成する材料と、それと接合する部材との熱膨張率の差から生じる応力
可動ミラーに撓みは、例えばシンバル構造を画像形成装置に用いた場合には解像度の低下の原因となる。
2.シンバル上に形成されるコイルの発熱による応力
3.外部環境の温度変化により、シンバル構造を形成する材料と、それと接合する部材との熱膨張率の差から生じる応力
可動ミラーに撓みは、例えばシンバル構造を画像形成装置に用いた場合には解像度の低下の原因となる。
本発明は上記観点に鑑みなされたものであり、その目的は、ジンバル構造による二軸駆動光偏向器において、可動ミラーの撓みを低減する二次元光偏向器を提供することにある。
本発明は上記目的を達成するため、以下の(1)〜(8)に記載の光偏向器を提供するものである。
(1)可動ミラーと、前記可動ミラーを第一のトーションバーによりねじり回転可能に片側支持するジンバルと、前記ジンバルを第二のトーションバーにより該可動ミラーの回転軸と直交する軸方向にねじり回転可能に支持する支持体と、前記可動ミラーを前記ジンバルに対してねじり回転させる第一の駆動手段と前記ジンバルを前記支持体に対してねじり回転させる第二の駆動手段とを有することを特徴とする。
また(2)前記可動ミラーと対向する位置に配置される固定電極と、前記可動ミラー上に形成される可動電極を有し、前記固定電極と前記可動電極とが静電引力により前記可動ミラーを前記ジンバルに対してねじり回転させる第一の駆動手段であることを特徴とする(1)に記載の光偏向器。
また(3)前記可動ミラーに形成される可動櫛型電極と、前記可動櫛型電極と隔間してように前記ジンバル上に形成される固定櫛型電極とが静電引力により前記可動ミラーを前記ジンバルに対してねじり回転させる第一の駆動手段であることを特徴とする(1)に記載の光偏向器。
また(4)永久磁石と、前記シンバル上に形成されるコイルとが、電磁力により前記ジンバルを前記支持体に対してねじり回転させる第二の駆動手段であることを特徴とする(1)〜(3)に記載の光偏向器。
また(5)前記第一のトーションバーが1本であることを特徴とする(1)〜(4)に記載の光偏向器。
また(6)前記第一の駆動手段が、前記可動ミラーを共振駆動させる手段であることを特徴とする(1)〜(5)に記載の光偏向器。
また(7)前記第二の駆動手段が、前記ジンバルを共振駆動させる手段であることを特徴とする(1)〜(6)に記載の光偏向器。
また(8)、(1)〜(7)に記載の光偏向器、及び光源を具備したことを特徴とする光学機器。
本発明により、ジンバル構造による二軸駆動光偏向器において、可動ミラーの撓みを低減した2次元光偏向器を提供することかできた。また櫛型電極を用いることで変位角が大きく、低電圧で駆動できた。また本発明により、コンパクトな構成を有し、低電圧で駆動でき、偏向角が大きくかつ可動ミラーの撓みを低減できたことにより高精細な画像が得られる、画像形成装置を提供することができた。
本発明はジンバル構造を有する二次元光偏向器において、可動ミラーがトーションバーによりシンバルに対して片持ち支持されていることを特徴とする。その詳細及び作用について典型的な例によって以下に説明する。図1は本発明の光偏向器の一実施形態の構成を示す上面図。図2は本発明の光偏向器の一実施形態の構成を示す断面図。図3は本発明の光偏向器のシンバルの偏向を説明する図である。図4は本発明の光偏向器の2次元偏向を説明する図である。
この実施形態において、シンバル101は可動ミラー102を第一のトーションバー103によりねじり回転可能に片持ち支持する。また支持体104はジンバル101を第二のトーションバー105によりねじり回転可能に支持する。第二のトーションバーは1本でも2本でも良い。ジンバル101、可動ミラー102、第一のトーションバー103、支持体104、第二のトーションバー105は単結晶シリコンを除去加工して一体形成しても良い。コイル106は絶縁層(不図示)を形成したジンバル上に形成される。またコイル106の配線は、絶縁層(不図示)を形成した第二のトーションバー105上を通って支持体上のコンタクトパッド107に接続している。コイル106の最内周からの配線取り出し部には外周のコイルとの電気的な接続をさけるために中間絶縁層108が形成されている。中間絶縁層108には例えば、ポリイミドを用いることができる。また基板111には固定電極109、110が形成される。固定電極109、110は可動ミラー102の裏面に対向する位置に配置される。支持体104と基板111との間にはスペーサー112が配置され、可動ミラー102がねじれした場合でも固定電極109、110を形成した基板111と可動ミラー102とが干渉することはない。支持体とスペーサー、スペーサーと基板とはそれぞれ、接着剤(不図示)で固定されている。また、永久磁石113、114が第二のトーションバー105に対して略対称な位置に、また、異なる磁極が向き合うように配置される。永久磁石の付近に軟磁性体を配置して磁路を形成しても良い。
この構成のジンバル構造において、可動ミラー102は固定電極109,110との間に働く静電引力によりシンバル101に対して角変位する。可動ミラー102をGNDにして、固定電極109にプラス電圧を与えることにより可動ミラーは固定電極109に引き付けられる。また固定電極110にプラス電圧を与えることにより可動ミラーは固定電極110に引き付けられる。これを交互に繰り返すことにより可動ミラー102は、ジンバル101に対して角変位運動する。また駆動電圧の周波数を可動ミラー102及び第一のトーションバー103のねじり共振周波数に設定すると可動ミラー102を共振駆動することができる。この場合、非共振駆動の場合に比べて同じ変位角を生じさせるための駆動電圧は大きく低減することができる。
また、図3に示すようにジンバル101は、コイル106に通電することにより生じる磁場と、永久磁石の磁場とが作用することにより生じる電磁力により支持体104に対して角変位する。コイル106に通電する方向を逆にすると逆方向に角変位する。
上記のように可動ミラー102の角変位させる静電駆動とシンバル101を角変位させる電磁駆動とを組み合わせることにより、可動ミラー102の角変位にはジンバル101の角変位が重畳され支持体104に対して図4に示すような二次元の偏向が可能となる。
この構成の光偏向器においては、支持体104がスペーサー112及び基板111に接着剤により固定されているため、外部の温度変化により支持体104には熱膨張率の違いから応力が生じるが、可動ミラー102は第一のトーションバー103によりジンバル101に片持ち支持されており、可動ミラー102が撓みを生じることはない。また両持ち支持する場合に比べて、温度変化により第一のトーションバー103に生じる応力が小さい為、温度変化による共振周波数のシフト量を低減することができ、特に共振駆動する場合においては角変位量の制御が容易になる。
以下実施例を挙げて本発明を詳細に説明する。
本実施例では図5乃至9に示すジンバル構造を有する光偏向器を設計、製作した。図5は本発明の光偏向器の構成を示す上面図。図6は図5の光偏向器のA−A’での断面図(可動ミラーがジンバルに対して角変位した状態)。図7は本発明の光偏向器の主な作製方法を示す上面図である。図8は本発明の光偏向器の主な作製方法を示す図7におけるB−B’での断面図である。図9は本発明の光偏向器の電極分離を説明する図である。
この実施例では、絶縁層501が第一および第二のシリコン層502,503で挟まれたSOI基板を用いた。第一のシリコン層502の厚さは100μm、第二のシリコン層503の厚さは250μmである。可動ミラー504、ジンバル505、第一のトーションバー506、第二のトーションバー507、支持体508は第一のシリコン層502を除去加工して形成される。第二のシリコン層503には貫通孔509が設けられており、可動ミラー504、ジンバル505の回転運動を妨げることはない。支持体508は絶縁層501を挟んで第二のシリコン層で形成される支持枠に固定されている。
シンバル505は可動ミラー504を第一のトーションバー506によりねじり回転可能に片持ち支持する。また支持体508はジンバル505を第二のトーションバー507によりねじり回転可能に支持する。可動ミラー504には電極支持部510及び可動櫛型電極511が形成されている。またジンバル505には可動櫛型電極511と離間して噛合うように固定櫛型電極512が形成されている。ジンバル505および支持体508には絶縁体からなる電極分離層513が形成されている。
コイル514は絶縁層(不図示)を形成したジンバル上に形成される。またコイル514の配線は、絶縁層(不図示)を形成した第二のトーションバー507上を通って支持体上のコンタクトパッド515に接続している。コイル514の最内周からの配線取り出し部には外周のコイルとの電気的な接続をさけるためにポリイミドからなる中間絶縁層516が形成されている。
第二のシリコン層503で形成される支持枠は基板に接着剤(不図示)で固定されている。また、永久磁石517、518が第二のトーションバー507に対して略対称な位置に、また、異なる磁極が向き合うように配置される。
ここで図7、8を用いて本実施例の光偏向器の主な作製方法を説明する。図8は図7のB−B’での断面図である。
まずSOI基板に電極分離パターンを熱酸化膜で形成する(8-a)
次に、ICP-RIEを用いて第一のシリコン層にトレンチを形成する(8-b)。このトレンチの中に電極分離層が形成されることになる。
次に、ICP-RIEを用いて第一のシリコン層にトレンチを形成する(8-b)。このトレンチの中に電極分離層が形成されることになる。
次に、トレンチを形成した表面を熱酸化する(8-c)
次に、熱酸化膜上にPoly―Siを成膜してトレンチを埋める(8-d)
次に、Poly-Siを成膜した面を研磨してトレンチに埋め込まれたPoly-Si以外を 除去する(8-e)
次に、表面に露出した熱酸化膜を弗酸でエッチングした後に、再度熱酸化を行いPoly-Siを熱酸化膜で覆うとともに、SOIの裏面にも熱酸化膜を形成する(8-f)
次に、可動部(ジンバル、第一及び第二のトーションバー、可動ミラー、支持体)とコンタクトパッドのパターンを熱酸化膜をエッチングして形成する(8-g)
次に、コイルおよびコイル配線、コンタクトパッドを形成する(8-h)
次に、コイルの最内周からのコイル配線の取り出しのための中間絶縁層を形成し、最内周からのコイル配線を形成する(8-i)
次に、ICP-RIEを用いて第一のシリコン層をSOI基板の表面よりエッチングする(8-j)
次に、ICP-RIEを用いて第二のシリコン層をSOI基板の裏面よりエッチングする(8-k)
最後に、(8-j)(8-k)の工程で露出したSOI基板の絶縁層を除去して可動部をリリースする(8-l)
同一のシリコン層を除去加工して一体形成する可動ミラーの縁に形成される可動櫛型電極とジンバルに形成される固定櫛型電極とは、第一のトーションバーを介して電気的に接続してしまい、可動櫛型電極と固定櫛型電極とに別々の電位を与えることができないと考えられるが、この構成では、ジンバルおよび支持体に絶縁体からなる電極分離層を形成することで図9の塗り潰し部と白抜き部で別々の電位を与えることができる。
次に、熱酸化膜上にPoly―Siを成膜してトレンチを埋める(8-d)
次に、Poly-Siを成膜した面を研磨してトレンチに埋め込まれたPoly-Si以外を 除去する(8-e)
次に、表面に露出した熱酸化膜を弗酸でエッチングした後に、再度熱酸化を行いPoly-Siを熱酸化膜で覆うとともに、SOIの裏面にも熱酸化膜を形成する(8-f)
次に、可動部(ジンバル、第一及び第二のトーションバー、可動ミラー、支持体)とコンタクトパッドのパターンを熱酸化膜をエッチングして形成する(8-g)
次に、コイルおよびコイル配線、コンタクトパッドを形成する(8-h)
次に、コイルの最内周からのコイル配線の取り出しのための中間絶縁層を形成し、最内周からのコイル配線を形成する(8-i)
次に、ICP-RIEを用いて第一のシリコン層をSOI基板の表面よりエッチングする(8-j)
次に、ICP-RIEを用いて第二のシリコン層をSOI基板の裏面よりエッチングする(8-k)
最後に、(8-j)(8-k)の工程で露出したSOI基板の絶縁層を除去して可動部をリリースする(8-l)
同一のシリコン層を除去加工して一体形成する可動ミラーの縁に形成される可動櫛型電極とジンバルに形成される固定櫛型電極とは、第一のトーションバーを介して電気的に接続してしまい、可動櫛型電極と固定櫛型電極とに別々の電位を与えることができないと考えられるが、この構成では、ジンバルおよび支持体に絶縁体からなる電極分離層を形成することで図9の塗り潰し部と白抜き部で別々の電位を与えることができる。
可動櫛型電極にGNDを印加し、固定櫛型電極に正弦波の駆動電圧を印加した。正弦波の周波数は可動ミラーおよび第一のトーションバーのジンバルに対するねじり共振周波数に設定した。可動ミラーは、ジンバルに対して角変位量が正弦波となる角変位運動をした。櫛型電極を用いることで平行平板型電極の場合よりも同じ変位角を生じさせるための駆動電圧は大きく低減することができた。また、ジンバルは、コイルに通電することにより生じる磁場と、永久磁石の磁場とが作用することにより生じる電磁力により支持体に対して角変位する。コイルに通電する方向を逆にすると逆方向に角変位する。上記のように可動ミラーの角変位させる静電駆動とシンバルを角変位させる電磁駆動とを組み合わせることにより、可動ミラーの角変位にはジンバルの角変位が重畳され二次元の角変位が可能となった。
この構成の二軸光偏向器においては、支持枠が基板に接着剤により固定されているため、外部の温度変化により支持体には熱膨張率の違いから応力が生じるが、可動ミラーはトーションバーによりジンバルに片持ち支持されており、可動ミラーが撓みを生じることはない。また両持ち支持する場合に比べて、温度変化によりトーションバーに生じる応力が小さい為、温度変化による共振周波数のシフト量を低減することができ、特に共振駆動する場合においては角変位量の制御が容易になった。
(画像形成装置)
本実施例は本発明による光偏向器を用いた画像形成装置の例である。図10に本実施例の構成を示す。まず、光源変調駆動部1001から出た変調信号1002により直接変調光源1003の変調を行う。本実施例においては直接変調光源1003として赤色の半導体レーザを用いた。直接変調光源1003はまた、赤色、青色、緑色の直接変調可能な光源を用い、これらを混色光学系にて混色して用いても良い。直接変調光源1003から直接変調された出力光54は、光偏向器1005の反射面に照射される。さらに光偏向器1005により偏向された反射光は補正光学系1006を通って画像表示体1007上に画像として表示される。補正光学系1006は共振走査による画像の歪みを補正する光学系である。
本実施例は本発明による光偏向器を用いた画像形成装置の例である。図10に本実施例の構成を示す。まず、光源変調駆動部1001から出た変調信号1002により直接変調光源1003の変調を行う。本実施例においては直接変調光源1003として赤色の半導体レーザを用いた。直接変調光源1003はまた、赤色、青色、緑色の直接変調可能な光源を用い、これらを混色光学系にて混色して用いても良い。直接変調光源1003から直接変調された出力光54は、光偏向器1005の反射面に照射される。さらに光偏向器1005により偏向された反射光は補正光学系1006を通って画像表示体1007上に画像として表示される。補正光学系1006は共振走査による画像の歪みを補正する光学系である。
光偏向器1005は実施例1による光偏向器であり、光偏向器1005を用いて出力光1004をラスタ走査することにより、画像表示体1007に画像を表示する。
本実施例により、コンパクトな構成を有し、低電圧で駆動でき、偏向角が大きく高精細な画像が得られる、画像形成装置を提供することができた。
101 ジンバル
102 可動ミラー
103 第一のトーションバー
104 支持体
105 第二のトーションバー
106 コイル
107 コンタクトパッド
108 中間絶縁層
109 固定電極
110 固定電極
111 基板
112 スペーサー
113 永久磁石
114 永久磁石
501 絶縁層
502 第一のシリコン層
503 第二のシリコン層
504 可動ミラー
505 ジンバル
506 第一のトーションバー
507 第二のトーションバー
508 支持体
509 貫通孔
510 電極支持部
511 可動櫛型電極
512 固定櫛型電極
513 電極分離層
514 コイル
515 コンタクトパッド
516 中間絶縁層
517 永久磁石
518 永久磁石
1001 光源変調駆動部
1002 変調信号
1003 直接変調光源
1004 直接変調された出力光
1005 光偏向器
1006 補正光学系
1007 画像表示体
102 可動ミラー
103 第一のトーションバー
104 支持体
105 第二のトーションバー
106 コイル
107 コンタクトパッド
108 中間絶縁層
109 固定電極
110 固定電極
111 基板
112 スペーサー
113 永久磁石
114 永久磁石
501 絶縁層
502 第一のシリコン層
503 第二のシリコン層
504 可動ミラー
505 ジンバル
506 第一のトーションバー
507 第二のトーションバー
508 支持体
509 貫通孔
510 電極支持部
511 可動櫛型電極
512 固定櫛型電極
513 電極分離層
514 コイル
515 コンタクトパッド
516 中間絶縁層
517 永久磁石
518 永久磁石
1001 光源変調駆動部
1002 変調信号
1003 直接変調光源
1004 直接変調された出力光
1005 光偏向器
1006 補正光学系
1007 画像表示体
Claims (8)
- 可動ミラーと、
前記可動ミラーを第一のトーションバーによりねじり回転可能に片側支持するジンバルと、
前記ジンバルを第二のトーションバーにより該可動ミラーの回転軸と直交する軸方向にねじり回転可能に支持する支持体と、
前記可動ミラーを前記ジンバルに対してねじり回転させる第一の駆動手段と
前記ジンバルを前記支持体に対してねじり回転させる第二の駆動手段と
を有することを特徴とする光偏向器。 - 前記可動ミラーと対向する位置に配置される固定電極と、前記可動ミラー上に形成される可動電極を有し、前記固定電極と前記可動電極とが静電引力により前記可動ミラーを前記ジンバルに対してねじり回転させる前記第一の駆動手段であることを特徴とする請求項1に記載の光偏向器。
- 前記可動ミラーに形成される可動櫛型電極と、前記可動櫛型電極と隔間してように前記ジンバル上に形成される固定櫛型電極とが静電引力により前記可動ミラーを前記ジンバルに対してねじり回転させる前記第一の駆動手段であることを特徴とする請求項1に記載の光偏向器。
- 永久磁石と、前記シンバル上に形成されるコイルとが、電磁力により前記ジンバルを前記支持体に対してねじり回転させる前記第二の駆動手段であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の光偏向器。
- 前記第一のトーションバーが1本であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の光偏向器。
- 前記第一の駆動手段が、前記可動ミラーを共振駆動させる手段であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の光偏向器。
- 前記第二の駆動手段が、前記ジンバルを共振駆動させる手段であることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の光偏向器。
- 請求項1乃至7の何れか一項に記載の光偏向器、及び光源を具備したことを特徴とする光学機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004337381A JP2006145962A (ja) | 2004-11-22 | 2004-11-22 | 二次元光偏向器及び該二次元光偏向器を用いた光学機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004337381A JP2006145962A (ja) | 2004-11-22 | 2004-11-22 | 二次元光偏向器及び該二次元光偏向器を用いた光学機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006145962A true JP2006145962A (ja) | 2006-06-08 |
Family
ID=36625717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004337381A Withdrawn JP2006145962A (ja) | 2004-11-22 | 2004-11-22 | 二次元光偏向器及び該二次元光偏向器を用いた光学機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006145962A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009093081A (ja) * | 2007-10-11 | 2009-04-30 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
JP2014048615A (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-17 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
-
2004
- 2004-11-22 JP JP2004337381A patent/JP2006145962A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009093081A (ja) * | 2007-10-11 | 2009-04-30 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
JP2014048615A (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-17 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4928301B2 (ja) | 揺動体装置、その駆動方法、光偏向器、及び光偏向器を用いた画像表示装置 | |
JP4092283B2 (ja) | 2次元光スキャナ及び光学装置 | |
JP2005173411A (ja) | 光偏向器 | |
JP4492252B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP2005128147A (ja) | 光偏向器及び光学装置 | |
US8508098B2 (en) | Gimbaled scanning micro-mirror actuation scheme and architecture | |
JP3759598B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP2000235152A (ja) | 光偏向器 | |
US8928963B2 (en) | Light scanning device and display apparatus | |
CN109521561A (zh) | 一种电磁mems微镜 | |
JP4392410B2 (ja) | 電磁力駆動スキャニングマイクロミラー及びこれを使用した光スキャニング装置 | |
JP4720723B2 (ja) | 光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置 | |
JP2005169553A (ja) | マイクロアクチュエータ | |
JP2006145962A (ja) | 二次元光偏向器及び該二次元光偏向器を用いた光学機器 | |
JP2012163792A (ja) | 光走査素子及び画像表示装置 | |
JP5092406B2 (ja) | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 | |
JP2023039221A (ja) | マイクロミラーデバイス及び光走査装置 | |
JP2023039222A (ja) | マイクロミラーデバイス及び光走査装置 | |
JP6579241B2 (ja) | 光スキャナーおよびヘッドマウントディスプレイ | |
JP2013097026A (ja) | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP4720729B2 (ja) | 光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置 | |
JP2007171780A (ja) | 駆動素子及びその製造方法、並びに表示装置 | |
WO2013121774A1 (ja) | 光走査素子および画像表示装置 | |
WO2024062856A1 (ja) | マイクロミラーデバイス及び光走査装置 | |
JP2015001543A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080205 |