JP2006145409A - 光源装置 - Google Patents
光源装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006145409A JP2006145409A JP2004336884A JP2004336884A JP2006145409A JP 2006145409 A JP2006145409 A JP 2006145409A JP 2004336884 A JP2004336884 A JP 2004336884A JP 2004336884 A JP2004336884 A JP 2004336884A JP 2006145409 A JP2006145409 A JP 2006145409A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- source device
- receiving element
- light source
- illuminance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
【課題】 光量を減らすことなく、光量検出が行える光源装置を実現することを目的にする。
【解決手段】 本発明は、複数の発光素子と、これらの発光素子の光を入射面から入射し、光束をほぼ同一照度分布とし出射面から照射する照度均一化素子と、この照度均一化素子の入射面側に設けられ、照度均一化素子の反射光の光量を検出する受光素子とを備えたことを特徴とするものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 本発明は、複数の発光素子と、これらの発光素子の光を入射面から入射し、光束をほぼ同一照度分布とし出射面から照射する照度均一化素子と、この照度均一化素子の入射面側に設けられ、照度均一化素子の反射光の光量を検出する受光素子とを備えたことを特徴とするものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば、CCDセンサ、CMOSセンサ等のイメージセンサの検査に用いられる光源装置に関し、照射光の光量を減らすことなく、光量検出が行える光源装置に関するものである。
従来、CCD(電荷結合素子)センサやCMOS(相補正金属酸化膜半導体)センサ等のイメージセンサの検査では光源装置を用いて、被検査対象であるイメージセンサに既知の色や光量の光を照射し、イメージセンサからの出力された電気信号をモニタするという構成が用いられている。例えば特許文献1,2に示されている。
以下図2を用いて説明する。図2において、光源10は複数のLED(発光素子)からなる。拡散板20は、例えば擦りガラスまたは乳白色のアクリル等で、光源10からの光束を入射面から入射し、拡散して光を出射する。レンズ30は、拡散板20から出射された光束を、必要とする広がり角を持つ光束にする。ビームスプリッタ40は、例えば研磨したガラス板にハーフミラー膜を付着させたもので、一定の光量を通過させ、残りの光量を反射する。レンズ50は、ビームスプリッタ40の反射光を集光する。受光素子60は例えばフォトダイオードで、レンズ50からの光が入射される。制御部70は、受光素子60の出力を入力し、光源10の制御を行う。CCDセンサ80は被検査対象で、ビームスプリッタ40からの透過光が入射される。
このような装置の動作を以下に説明する。制御部70が光源10を制御し、光源10が複数のLEDから光を拡散板20に出射し、拡散板20が光を拡散して、レンズ30を介して、ビームスプリッタ40に出射する。ビームスプリッタ40で反射された光がレンズ50で集光され、受光素子60に入射される。そして、受光素子60が入射光に応じた電気信号を制御部7に出力し、この電気信号に基づいて、制御部70は光源10の制御を行う。また、ビームスプリッタ40で透過された光がCCDセンサ80に入射され、図示しない装置により、CCDセンサ80の試験が行われる。
このような装置では、照度、つまり、光量を検出するために、ビームスプリッタ40で分光し、レンズ50で集光する必要があり、CCDセンサ80に入射する光量が減ってしまうという問題点があった。
そこで、本発明の目的は、照射光の光量を減らすことなく、光量検出が行える光源装置を実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
複数の発光素子と、
これらの発光素子の光を入射面から入射し、光束をほぼ同一照度分布とし出射面から照射する照度均一化素子と、
この照度均一化素子の入射面側に設けられ、照度均一化素子の反射光の光量を検出する受光素子と
を備えたことを特徴とするものである。
複数の発光素子と、
これらの発光素子の光を入射面から入射し、光束をほぼ同一照度分布とし出射面から照射する照度均一化素子と、
この照度均一化素子の入射面側に設けられ、照度均一化素子の反射光の光量を検出する受光素子と
を備えたことを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、
複数の発光素子が搭載され、照度均一化素子の反射光を背面に導く貫通穴が設けられる第1の基板と、
この第1の基板の背面側に設けられ、第1の基板の貫通穴の対向位置に受光素子が設けられる第2の基板と
を有することを特徴とするものである。
複数の発光素子が搭載され、照度均一化素子の反射光を背面に導く貫通穴が設けられる第1の基板と、
この第1の基板の背面側に設けられ、第1の基板の貫通穴の対向位置に受光素子が設けられる第2の基板と
を有することを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の発明において、
受光素子の出力を入力し、発光素子の出力を制御する制御部を有することを特徴とするものである。
受光素子の出力を入力し、発光素子の出力を制御する制御部を有することを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、
被検査対象に所望の光の照射に用いることを特徴とするものである。
被検査対象に所望の光の照射に用いることを特徴とするものである。
本発明によれば、照度均一化素子の反射光を、入射面側の受光素子で検出するので、照射光の光量を減らすことなく、光量検出を行うことができる。また、入射角と波長に依存する反射透過特性を有するビームスプリッタが不要になるので、照射光の波長による照度むらを防止できる。また、ビームスプリッタやレンズ等の光学系が不要になるので、構成が簡単になり、小型化を図ることができる。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。
図1において、複数のLED(発光素子)1は、第1の基板2に搭載される。基板2は、貫通穴21がほぼ中央に設けられる。照度均一化素子3は、例えば研磨したガラスの円柱や角柱のようないわゆるライトパイプ等で、複数のLED1の光を入射面から入射し、光束をほぼ同一照度分布とし出射面から照射する。受光素子4は、照度均一化素子3の入射面側に設けられ、照度均一化素子3の反射光の光量を検出する。第2の基板5は、表面層をアルミ金属等の遮光性のある材料で覆い、基板2の背面側に設けられ、基板2の貫通穴21の対向位置に受光素子4が搭載される。シールドケース6は、遮光性のある材料、例えばアルミ金属等からなり、受光素子4を覆い、基板2の貫通穴21に挿入され、照度均一化素子3の入射面に密着させ、反射光のみを受光素子4に導く。制御部7は、受光素子6の出力を入力し、LED1の制御を行う。CCDセンサ8は被検査対象で、照度均一化素子3からの光が入射される。
このような装置の動作を以下に説明する。制御部7が複数のLED1を制御し、複数のLED1から光が照度均一化素子3に入射され、照度均一化素子3が照度を均一化して、CCDセンサ8に出射され、図示しない装置により、CCDセンサ8の試験が行われる。また、一部の光が照度均一化素子3の出射面で、反射し、入射面から出射する。この光の一部がシールドケース21の内部を通過し、受光素子4に入射される。そして、受光素子4が入射光に応じた電気信号を制御部7に出力し、この電気信号に基づいて、制御部7はLED1の制御を行う。
このように、照度均一化素子3の出射面の反射光を、入射面側の受光素子4で検出するので、照射光の光量を減らすことなく、光量検出を行うことができる。また、入射角と波長に依存する反射透過特性を有するビームスプリッタが不要になるので、照射光の波長による照度むらを防止できる。また、ビームスプリッタやレンズ等の光学系が不要になるので、構成が簡単になり、小型化を図ることができる。
そして、LED1を搭載する基板2と受光素子4を搭載する基板5とを分け、電気的な絶縁を図ることで、LED1と受光素子4との配線間の電磁結合ノイズを防止することができる。
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、照度均一化素子3の反射光を導く、シールドケース6の導光部に、収光率を向上させるレンズ、ライトパイプなどを取り付ける構成にしてもよい。
また、基板5は受光素子4のみを搭載した例を示したが、I/Vアンプ、A/D変換器を搭載してもよい。これにより、受光素子4の直近でデジタル信号に変換できるので、S/N比の向上を図ることができる。なお、図1におけるI/Vアンプ、A/D変換器は制御部7に含まれている。
また、基板2,5を分ける構成を示したが、同一基板上に、複数のLED1、受光素子4を設ける構成にしてもよい。この場合、LED1の光が受光素子4に入射しないようにシールドを設けることはいうまでもない。
また、図2に示すように、照度均一化素子3とCCD8との間に、所望の広がり角により、光束を広げるレンズを設ける構成でもよい。
また、貫通穴21を基板2のほぼ中央に設けた構成を示したが、中央でなくとも、照度均一化素子3の反射光を受光素子4が受光できれば、どの位置でもよい。
また、制御部7は、受光素子4の出力により、LED1を制御する構成を示したが、常時、受光素子4の出力を監視して、LED1を制御するだけでなく、所望期間ごとに、受光素子4の出力からLED1を制御する構成でもよい。
1 LED
2,5 基板
21 貫通穴
3 照度均一化素子
4 受光素子
6 シールドケース
7 制御部
8 CCDセンサ
2,5 基板
21 貫通穴
3 照度均一化素子
4 受光素子
6 シールドケース
7 制御部
8 CCDセンサ
Claims (4)
- 複数の発光素子と、
これらの発光素子の光を入射面から入射し、光束をほぼ同一照度分布とし出射面から照射する照度均一化素子と、
この照度均一化素子の入射面側に設けられ、照度均一化素子の反射光の光量を検出する受光素子と
を備えたことを特徴とする光源装置。 - 複数の発光素子が搭載され、照度均一化素子の反射光を背面に導く貫通穴が設けられる第1の基板と、
この第1の基板の背面側に設けられ、第1の基板の貫通穴の対向位置に受光素子が設けられる第2の基板と
を有することを特徴とする請求項1記載の光源装置。 - 受光素子の出力を入力し、発光素子の出力を制御する制御部を有することを特徴とする請求項1または2記載の光源装置。
- 被検査対象に所望の光の照射に用いることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004336884A JP2006145409A (ja) | 2004-11-22 | 2004-11-22 | 光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004336884A JP2006145409A (ja) | 2004-11-22 | 2004-11-22 | 光源装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006145409A true JP2006145409A (ja) | 2006-06-08 |
Family
ID=36625272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004336884A Pending JP2006145409A (ja) | 2004-11-22 | 2004-11-22 | 光源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006145409A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101629838B1 (ko) * | 2015-03-16 | 2016-06-13 | (주)이즈미디어 | 카메라 모듈 검사 장치 및 그 제어 방법 |
JP2021007828A (ja) * | 2016-03-31 | 2021-01-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光源と、光検出器と、制御回路とを備える撮像装置 |
JP7128403B1 (ja) | 2021-04-15 | 2022-08-31 | 株式会社インターアクション | 瞳モジュール及び検査装置 |
CN115376435A (zh) * | 2022-04-11 | 2022-11-22 | 江苏锦花电子股份有限公司 | 一种显示器发光均匀性检测装置 |
-
2004
- 2004-11-22 JP JP2004336884A patent/JP2006145409A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101629838B1 (ko) * | 2015-03-16 | 2016-06-13 | (주)이즈미디어 | 카메라 모듈 검사 장치 및 그 제어 방법 |
JP2021007828A (ja) * | 2016-03-31 | 2021-01-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光源と、光検出器と、制御回路とを備える撮像装置 |
JP7128403B1 (ja) | 2021-04-15 | 2022-08-31 | 株式会社インターアクション | 瞳モジュール及び検査装置 |
WO2022220069A1 (ja) * | 2021-04-15 | 2022-10-20 | 株式会社インターアクション | 瞳モジュール及び検査装置 |
JP2022164061A (ja) * | 2021-04-15 | 2022-10-27 | 株式会社インターアクション | 瞳モジュール及び検査装置 |
JP7388766B2 (ja) | 2021-04-15 | 2023-11-29 | 株式会社インターアクション | 瞳モジュール及び検査装置 |
CN115376435A (zh) * | 2022-04-11 | 2022-11-22 | 江苏锦花电子股份有限公司 | 一种显示器发光均匀性检测装置 |
CN115376435B (zh) * | 2022-04-11 | 2023-07-21 | 江苏锦花电子股份有限公司 | 一种显示器发光均匀性检测装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4788577B2 (ja) | ライトガイド、光源装置及び電子機器 | |
US7271889B2 (en) | Device and method for inspecting an object | |
TWI325953B (en) | A high-speed optical sensing device abling to sense luminous intensity and chromaticity and an optical measuring system with the high-speed optical sensing device | |
TWI645182B (zh) | 用於晶圓邊緣之小型化成像裝置 | |
US20070222741A1 (en) | Liquid crystal display apparatus and backlight unit used in liquid crystal display apparatus | |
JP2009301200A (ja) | 画像読取装置 | |
US7783187B2 (en) | Illumination controller, illumination control method, and imaging apparatus | |
US20120026490A1 (en) | Surface inspection apparatus | |
CN107102008B (zh) | 检测及/或轨道监视装置与操作方法及装置中布置的应用 | |
WO2016170823A1 (ja) | 光源装置 | |
KR20080093850A (ko) | 패턴 검사 장치 및 패턴 검사 방법 | |
US20130169795A1 (en) | Illumination system, illumination method, and inspection system | |
CN104471455B (zh) | 光电元件用安装装置以及安装方法 | |
TW201411122A (zh) | 表面異物檢查系統及其控制方法 | |
US7427731B2 (en) | Illumination unit and method for the operation thereof | |
JP2006145409A (ja) | 光源装置 | |
JPH11260572A (ja) | 照明装置 | |
US20100181483A1 (en) | Through-substrate optical imaging device and method | |
JP2006220578A (ja) | 表面検査装置 | |
JP3114410B2 (ja) | イメージセンサの試験方法 | |
JP2011106912A (ja) | 撮像照明手段およびパターン検査装置 | |
JP2006202665A (ja) | 光源装置 | |
JP2003042971A (ja) | パターン検査装置および検査方法 | |
KR101180833B1 (ko) | 엘이디를 이용한 적외선 검사장치 | |
JP2024084488A (ja) | 照明装置及び撮像システム |