JP2006142215A - 圧力調整弁、機能液供給装置、描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 内蔵する弁体付勢ばねまたは負圧保持ばねを簡単に交換することができる圧力調整弁、機能液供給装置、描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】 ダイヤフラム１７５が受ける大気圧を基準調整圧力として、機能液を機能液タンク９１から機能液滴吐出ヘッド４１に供給する圧力調整弁１６１において、１次室１７２と２次室１７３とを連通する連通流路１７４を開閉する弁体１７６に付勢する弁体付勢ばね２６７は、蓋体１９０のハウジング本体１９２からの離脱に伴って共に離脱可能に構成されている。
【選択図】 図８

Description

本発明は、液滴吐出ヘッドに機能液を供給する圧力調整弁、機能液供給装置、描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関する。

描画装置の一種であるインクジェットプリンタを工業用に応用した描画装置では、機能液（インク）を充填した機能液タンクと機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）との間に、機能液タンクの機能液滴吐出ヘッドに対する設置位置の自由度を持たせるために、圧力調整弁（液体供給用バルブユニット）を付設している。その圧力調整弁は、ハウジング（ユニットケース）と、ハウジングとこれに熱溶着された第１のフィルム部材とで形成され機能液タンクに連なる１次室（インク供給室）と、ハウジングとこれに熱溶着された第２のフィルム部材（ダイヤフラム）とで形成され機能液滴吐出ヘッドに連なる２次室（圧力室）と、１次室と２次室とを連通する連通流路（インク流路）と、連通流路を開閉する弁体（可動バルブ）と、により構成されている。
第１のフィルム部材にはばね受け部材が内側から付設され、ばね受け部材と弁体との間には弁体を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばねが配設されている。また、ダイヤフラムとハウジングの間にはダイヤフラムを内側から大気に抗して付勢する負圧保持ばねが配設されている。
液滴吐出ヘッドからのインク吐出を受けて２次室内が大気圧に対して負圧になると、ダイヤフラムが負圧保持ばねおよび弁体付勢ばねに抗するようにして弁体を開弁させる。その結果、１次室の機能液が連通流路を介して２次室に流入する。この流入がすすみ２次室の負圧状態が解消されると、弁体付勢ばねは弁体を２次室側に押し戻し、負圧保持ばねはダイヤフラムを大気圧と平衡状態になるまで押し戻す。これにより弁体が閉弁される。このように、負圧保持ばねおよび弁体付勢ばねが１次室内および２次室内の圧力変化に応じて伸縮することにより、機能液タンクの機能液を液滴吐出ヘッドに一定の圧力で供給することが可能となる。
特開２００４−１４２４０５号公報（頁４７、図２５、図２６）

ところで、前記圧力調整弁に比重の異なる機能液を使用する際に、１次室および２次室の圧力が変化するためにそれまで使用していた弁体付勢ばねおよび負圧保持ばねを、使用する機能液の比重に応じた反発力を持ったものに交換する必要がある。例えば、比重の大きな機能液を使用する場合には、前記液滴吐出ヘッドと前記弁体との水頭差から発生する圧力が大きくなり前記弁体のシール性を高めるために前記弁体付勢ばねの反発力を強くすることが必要になる。また、逆に比重の軽い機能液を使用する場合にはばねの反発力を小さくすることが必要になる。さらに、機能液によっては前記弁体付勢ばねや前記負圧保持ばねが腐食することがありこれらを交換する必要がある。
しかしながら、従来の圧力調整弁では前記弁体付勢ばねが収容されている１次室が第１のフィルム部材で封止され、また負圧保持ばねが収容されている２次室が第２のフィルム部材で封止されているため、ばねを単体として交換することができず圧力調整弁全体を交換することが必要になる。あるいは、機能液タンクや弁体の高さ位置を変更する必要がある。しかし、このような交換作業や調整作業は作業が煩雑になる問題がある。

そこで、本発明は、内蔵する弁体付勢ばねまたは負圧保持ばねを簡単に交換することができる圧力調整弁、機能液供給装置、描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。

本発明の圧力調整弁は、機能液を吐出してワークに描画を行うための機能液滴吐出ヘッドと機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクとの間に介設され、機能液タンクから１次室に導入した機能液を、２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、２次室の１つの面を構成すると共に大気に面したダイヤフラムが受ける大気圧を基準調整圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路を開閉する、圧力調整弁において、１次室および２次室を形成したバルブハウジングと、連通流路を開閉する弁体と、バルブハウジングのばね受け部を受けとして弁体を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばねと、を備え、バルブハウジングは、ハウジング本体と、ばね受け部を有すると共にハウジング本体に着脱自在に取り付けられた蓋体と、から構成され、弁体付勢ばねは、蓋体の離脱に伴って共に前記ハウジング本体に対し離脱可能に構成されていることを特徴とする。

この構成によれば、機能液の比重が変更された際にはハウジング本体から蓋体を外すことで１次室を開放し、弁体付勢ばねをその比重に対応した反発力を持つものに交換することができる。また、腐食性等の比重以外の特性に関しても同様の交換作業で対応できる。すなわち、交換用部品として、機能液の素材特性によらず共通で使用できる共通部品と素材特性特有の対応部品とを組み立て前の状態で用意しておけばよい。従って、圧力調整弁全体を交換すること、あるいは機能液タンクや圧力調整弁の高さ位置を変更すること等を要しない。

この場合、弁体付勢ばねと蓋体とが連結されていることが好ましい。

この構成によれば、機能液の比重変更に対し前記蓋体といっしょに弁体付勢ばねを着脱することが可能となり、交換作業を簡単かつ短時間に完結することができる。

この場合、弁体は、弁体付勢ばねの離脱に伴ってハウジング本体に対し離脱可能に構成されていることが好ましい。

この構成によれば、機能液の素材変更に伴って弁体の素材または特性を変更する際に、または弁体が劣化した際に、弁体付勢ばねを取り外した後に弁体も交換することができる。

この場合、弁体付勢ばねと弁体とが連結されていることが好ましい。

この構成によれば、弁体付勢ばねといっしょに弁体を着脱することが可能となり交換作業を短時間に完結することができる。

この場合、弁体は弁体本体と、弁体本体に着脱自在に装着されたバルブシールと、で構成されていることが好ましい。

この構成によれば、バルブシールが劣化した際にもバルブシールのみを交換することができる。

この場合、弁体付勢ばねはコイルスプリングで構成され、弁体には、弁体付勢ばねの弁体側先端部が位置決め状態で係合する先端係合部が設けられていることが好ましい。

この構成によれば、交換用の弁体付勢ばねをハウジングに組み込まれている弁体に付設する際に、それら両者間の相対位置精度が容易に確保されると共にその付設作業を短時間に完結することができる。

この場合、蓋体には、弁体付勢ばねの蓋体側基端部が位置決め状態で係合する基端係合部が設けられていることが好ましい。

この構成によれば、交換用の弁体付勢ばねを弁体に付設した後に蓋体をその弁体付勢ばねに付設する際に、それら蓋体と弁体付勢ばねとの相対位置精度が容易に確保されると共にその付設作業を短時間に完結することができる。

本発明の他の圧力調整弁は、機能液を吐出してワークに描画を行うための機能液滴吐出ヘッドと機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクとの間に介設され、機能液タンクから１次室に導入した機能液を、２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、２次室の１つの面を構成すると共に大気に面したダイヤフラムが受ける大気圧を基準調整圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路を開閉する圧力調整弁において、１次室および２次室を形成したバルブハウジングと、連通流路を開閉する弁体と、バルブハウジングのばね受け部を受けとして弁体を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばねと、を備え、バルブハウジングは、２次室および連通流路を形成した２次室ハウジングと、ばね受け部を有すると共に２次室ハウジングに着脱自在に取り付けられた１次室ハウジングと、から構成され、弁体付勢ばねは、１次室ハウジングの離脱に伴って２次室ハウジングに対し離脱可能に構成されていることを特徴とする。

この構成によれば、機能液の比重が変更された際には圧力調整弁の１次室ハウジングを２次室ハウジングから外すことで１次室を開放し、弁体付勢ばねをその比重に対応した反発力を持つものに交換することができる。また、腐食性等の比重以外の特性に関しても同様の交換作業で対応できる。すなわち、交換用部品として、機能液の素材特性によらず共通で使用できる共通部品と素材特性特有の対応部品とを組み立て前の状態で用意しておけばよい。従って、圧力調整弁全体を交換すること、あるいは機能液タンクや圧力調整弁の高さ位置を変更すること等を要しない。

本発明の他の圧力調整弁は、機能液を吐出してワークに描画を行うための機能液滴吐出ヘッドと前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクとの間に介設され、機能液タンクから１次室に導入した機能液を、２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、２次室の１つの面を構成すると共に大気に面したダイヤフラムが受ける大気圧を基準調整圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路を開閉する圧力調整弁において、１次室および２次室を形成するバルブハウジングと、連通流路を開閉する弁体と、バルブハウジングのばね受け部を受けとして弁体を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばねと、ダイヤフラムを大気圧に抗する方向に付勢する負圧保持ばねと、を備え、ダイヤフラムは、バルブハウジングに着脱自在に取り付けられ、負圧保持ばねは、ダイヤフラムの離脱に伴ってバルブハウジングに対し離脱可能に構成されていることを特徴とする。

この構成によれば、機能液の比重が変更された際にはバルブハウジングからダイヤフラムを外すことで２次室を開放し、負圧保持ばねをその比重に対応した反発力を持つものに交換することができる。また、腐食性等の比重以外の特性に関しても同様の交換作業で対応できる。すなわち、交換用部品として、機能液の素材特性によらず共通で使用できる共通部品と素材特性特有の対応部品とを組み立て前の状態で用意しておけばよい。従って、圧力調整弁全体を交換すること、あるいは機能液タンクや圧力調整弁の高さ位置を変更すること等を要しない。

この場合、ダイヤフラムを張設した状態で保持するダイヤフラムホルダーを、更に備え、ダイヤフラムは、ダイヤフラムホルダーを介してバルブハウジングに着脱自在に取り付けられていることが好ましい。

この構成によれば、ダイヤフラムをダイヤフラムホルダーと共に交換することができるため、ダイヤフラムの交換に際しその張設作業を要せず、ダイヤフラムの交換作業を簡単かつ短時間に完結することが可能となる。

本発明の機能液供給装置は、機能液タンクと、機能液タンクと機能液滴吐出ヘッドとを接続する機能液流路に介設された上記のいずれかの圧力調整弁と、で構成されていることを特徴とする。

この構成によれば、比重の異なる機能液を導入した際に、また圧力調整弁の構成部材の一部に劣化が発生した際に、簡単かつ短時間で対応できる。

本発明は、機能液流路を介して機能液タンクに接続された機能液滴吐出ヘッドを、ワークに対して相対的に移動させ、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することにより、ワーク上に機能液滴による描画を行う描画装置において、機能液流路には、上記いずれかに記載の圧力調整弁が介設されていることを特徴とする。

この構成によれば、弁体付勢ばねを交換可能な圧力調整弁を介設しているので、比重の異なる機能液を導入した際に、また圧力調整弁の構成部材の一部に劣化が発生した際に、弁体付勢ばね等の交換作業に簡単かつ短時間で対応できる。

本発明の電気光学装置の製造方法および電気光学装置は、上記の描画装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

この構成によれば、圧力調整弁の部品交換を簡単かつ短時間に対応できる描画装置を用いて電気光学装置の製造が行われるため、製造過程での装置の停止時間を短縮することができ、成膜部を効率的に形成することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置またはＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した描画装置について説明する。この描画装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１および図２に示すように、描画装置１は、機台２と、機能液滴吐出ヘッド４１を有し、機台２上の全域に広く載置された液滴吐出装置３と、液滴吐出装置３に接続した機能液供給装置４と、液滴吐出装置３に添設するように機台２上に載置したヘッド保守装置５と、を備えている。また、描画装置１には、図外の制御装置６が設けられており、描画装置１では、機能液供給装置４により液滴吐出装置３が機能液の供給を受けながら、制御装置６による制御に基づいて、液滴吐出装置３がワークＷに対する描画動作を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド４１に対して、ヘッド保守装置５が適宜保守動作（メンテナンス）を行うようになっている。

液滴吐出装置３は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸ・Ｙ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ１４と、メインキャリッジ１４に垂設され、機能液滴吐出ヘッド４１を搭載したヘッドユニット１５と、を有している。

Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダ２２を有し、これに吸着テーブル２４およびθテーブル２５等から成るセットテーブル２３を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダ２９を有し、これにヘッドユニット１５を支持する上記のメインキャリッジ１４をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。なお、Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向に平行に配設されており、機台２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３１に支持されており、Ｘ軸テーブル１２およびヘッド保守装置５を跨ぐようにＹ軸方向に延在している（図１および図２参照）。

描画装置１では、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３が交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリア３２、Ｙ軸テーブル１３およびヘッド保守装置５が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド４１に対する機能回復処理を行う保守エリア３３となっており、ワークＷに描画を行う場合には描画エリア３２に、機能回復処理を行う場合には保守エリア３３に、ヘッドユニット１５を臨ませるようになっている。

ヘッドユニット１５は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド４１と、ヘッド保持部材（図示省略）を介して機能液滴吐出ヘッド４１を搭載するヘッドプレート４２と、を備えている。ヘッドプレート４２は、支持フレーム４３に着脱自在に支持されており、ヘッドユニット１５は、支持フレーム４３を介してメインキャリッジ１４に位置決めして搭載される。なお、詳細は後述するが、支持フレーム４３には、ヘッドユニット１５に並んで、機能液供給装置４のバルブユニット７４およびタンクユニット７１が支持されている（図１ないし図３参照）。

図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド４１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針５２を有する機能液導入部５１と、機能液導入部５１に連なる２連のヘッド基板５３と、機能液導入部５１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体５４と、を備えている。接続針５２は、図外の機能液供給装置４に接続され、機能液滴吐出ヘッド４１のヘッド内流路に機能液を供給する。ヘッド本体５４は、キャビティ５５（ピエゾ圧電素子）と、吐出ノズル５８が開口したノズル面５７を有するノズルプレート５６と、で構成されている。ノズル面５７には、多数（１８０個）の吐出ノズル５８から成るノズル列が形成されている。機能液滴吐出ヘッド４１を吐出駆動すると、キャビティ５５のポンプ作用により、吐出ノズル５８から機能液滴を吐出する。

図３に示すように、ヘッドプレート４２は、ステンレス等からなる方形の厚板で構成されている。ヘッドプレート４２には、１２個の機能液滴吐出ヘッド４１を位置決めし、これを、裏面側からヘッド保持部材を介して固定するための１２個の装着開口（図示省略）が形成されている。１２個の装着開口は、２個ずつ６組に分けられており、各組の装着開口は、一部が重複するように、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル列と直交する方向に（ヘッドプレート４２の長手方向）に位置ずれして形成されている。すなわち、１２個の機能液滴吐出ヘッド４１は、２個ずつ６組に分けられ、ノズル列と直交する方向において、各組の機能液滴吐出ヘッド４１のノズル列が一部重複するように、階段状に配置される（図３参照）。

なお、各機能液滴吐出ヘッド４１に形成された２列のノズル列は、４ドット分のピッチを有して配設された多数（１８０個）の吐出ノズル５８によってそれぞれ構成されており、両ノズル列は、列方向に２ドット分位置ずれして配設されている。すなわち、各機能液滴吐出ヘッド４１には、２列のノズル列により、２ドットピッチの描画ラインが形成されている。一方、同一組の隣接する２個の機能液滴吐出ヘッド４１は、それぞれの（２ドットピッチの）描画ラインが列方向に１ドット分位置ずれするように配設され、一組の機能液滴吐出ヘッド４１により、１ドットピッチの描画ラインが形成される。すなわち、同一組２個の機能液滴吐出ヘッド４１は、１／４解像度の各ノズル列が相互位置ずれするように配置され、他の５組１０個の機能液滴吐出ヘッド４１と合わせて、１描画ラインの高解像度（１解像度）のノズル列が構成されるようになっている。

メインキャリッジ１４は、図２に示すように、Ｙ軸テーブル１３に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材６１と、吊設部材６１の下面に取り付けられ、（ヘッドユニット１５の）θ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構６２と、θ回転機構６２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体６３と、で構成されており、キャリッジ本体６３が、支持フレーム４３を介してヘッドユニット１５を支持するようになっている。図示省略したが、キャリッジ本体６３には、支持フレーム４３を遊嵌するための方形の開口が形成されていると共に、支持フレーム４３を位置決めするための位置決め機構が設けられており、ヘッドユニット１５を位置決めした状態で固定できるようになっている。

図１ないし図３に示すように、機能液供給装置４は、上記の支持フレーム４３にヘッドユニット１５と共に搭載されており、機能液を貯留する複数（１２個）の機能液タンク９１から成るタンクユニット７１と、各機能液タンク９１および各機能液滴吐出ヘッド４１を接続する複数（１２本）の機能液供給チューブ（機能液流路）７２と、各機能液供給チューブ７２を各機能液タンク９１および各機能液滴吐出ヘッド４１に接続するための複数（１２個）の接続具７３と、複数の機能液供給チューブ７２に介設した複数（１２個）の圧力調整弁１６１から成るバルブユニット７４と、を有している。

図３に示すように、支持フレーム４３は、略方形の枠状に形成されており、その長手方向に対し、ヘッドユニット１５、バルブユニット７４、タンクユニット７１の順でこれらを搭載している。なお、支持フレーム４３には、その長辺部分に、一対のハンドル８１が取り付けられており、この一対のハンドル８１を手持ち部位として、支持フレーム４３をメインキャリッジ１４（キャリッジ本体６３）に着脱可能に投入できるようになっている。

タンクユニット７１は、１２個の機能液タンク９１と、これらを位置決めする１２個のセット部１１１を有し、１２個の機能液タンク９１を支持するタンクプレート９２と、各機能液タンク９１を各セット部１１１に装着（セット）するためのタンクセット治具９３と、で構成されている。機能液タンク９１は、カートリッジ形式のものであり、機能液を真空パックした機能液パック１０１と、機能液パック１０１を収容する樹脂製のカートリッジケース１０８と、を有している。なお、機能液パック１０１に貯留される機能液は、予め脱気されており、その溶存気体量は略ゼロとなっている。

機能液パック１０１は、２枚の長方形の（可撓性の）フィルムシート１０２（図示省略）を重ね合わせて熱溶着した袋状のものに、機能液を供給する樹脂製の供給口１０３を取り付けたものである。供給口１０３には、パック内に連通する連通開口１０４が形成されている。連通開口１０４は、機能液耐食性を有するブチルゴム等の弾性材で構成した閉塞部材１０５により閉栓されており、連通開口１０４から空気（酸素）や湿気が侵入することを防止できるようになっている。

タンクプレート９２は、ステンレス等の厚板で略平行四辺形に形成されている。図３に示すように、タンクプレート９２には、機能液タンク９１の供給口１０３をバルブユニット７４側に向けた状態で機能液タンク９１を縦置きに位置決めすると共に、これを着脱自在にセットする１２個のセット部１１１が設けられている。同図に示すように、セット部１１１は、ヘッドプレート４２に搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド４１の配置に倣い配置されている。すなわち、１２個の機能液タンク９１は、２個ずつ６組に分けられ、供給口１０３（機能液タンク９１の前面）を機能液滴吐出ヘッド４１に向けた状態で、タンクプレート９２の長辺に沿うように支持フレーム４３の短辺方向に位置ずれして配置される。

タンクセット治具９３は、機能液タンク９１の後面（機能液タンク９１の前面に対向する面）を前方に押し込むことにより、機能液タンク９１を前方にスライドさせてセット部１１１にセットするものであり、機能液タンク９１を押し出す押圧レバー１２１と、押圧レバー１２１を支持する支持部材１２２と、を有している。機能液タンク９１のセット位置に合わせて支持部材１２２を移動させることにより、押圧レバー１２１を各機能液タンク９１に対峙させ、機能液タンク９１を適切にセットできるようになっている。

機能液供給チューブ７２は、各機能液タンク９１および各圧力調整弁１６１を接続するタンク側チューブ１３１と、各圧力調整弁１６１および各機能液滴吐出ヘッド各圧力調整弁１６１を接続するヘッド側チューブ１３２と、を有している。

接続具７３は、機能液タンク９１およびタンク側チューブ１３１を接続するためのタンク側アダプタ１４１と、機能液滴吐出ヘッド４１およびヘッド側チューブ１３２を接続するためのヘッド側アダプタ１５８と、を有している。タンク側アダプタ１４１には、軸心に流路を形成した接続針１５２が設けられており、接続針１５２は、上記した機能液パック１０１（連通開口１０４）の閉塞部材１０５を貫いて差し込まれることにより機能液パック１０１に接続されている。

バルブユニット７４は、１２個の圧力調整弁１６１と、１２個の圧力調整弁１６１を支持する１２個のバルブ支持部材１６２と、バルブ支持部材を介して１２個の圧力調整弁１６１を支持するステンレス製のバルブプレート１６３と、で構成されている（図３参照）。

バルブプレート１６３には、１２個のバルブ支持部材１６２が立設され、この１２個のバルブ支持部材１６２に１２個の圧力調整弁１６１を支持フレーム４３の短辺方向に位置ずれした状態で支持している（図３参照）。

図６ないし図８に示すように、圧力調整弁１６１は、バルブハウジング１７１内に、機能液タンク９１に連なる１次室１７２と、機能液滴吐出ヘッド４１に連なる２次室１７３と、１次室１７２および２次室１７３を連通する連通流路１７４とを形成したものであり、２次室１７３の１の面には外部に面してダイヤフラム１７５が設けられ、連通流路１７４にはダイヤフラム１７５により開閉動作する弁体１７６が設けられている。機能液タンク９１から１次室１７２に導入された機能液は、２次室１７３を介して機能液滴吐出ヘッド４１に供給されるが、その際、ダイヤフラム１７５により大気圧を調整基準圧力として、連通流路１７４に設けた弁体１７６を開閉動作させることで２次室１７３の圧力調整を行うようになっている。

図８に示すように、圧力調整弁１６１は、ダイヤフラム１７５を垂直にした縦置きで用いられるため、以下、同図に倣って紙面の先方を「上」、手前を「下」、左方を「前」および右方を「後」として説明を進める。なお、図６および図７では、圧力調整弁１６１に、これをフレーム等（本実施形態ではバルブ支持部材１６２）に取り付けるための取り付けプレート１８１、上記のタンク側チューブ１３１を繋ぎ込むための流入コネクタ１８２（ユニオン継手）および上記のヘッド側チューブを繋ぎ込むための流出コネクタ１８３（ユニオン継手）を組み込んだ状態を表している。

バルブハウジング１７１は、ハウジング本体１９２と、ハウジング本体１９２と共に内部に１次室１７２を形成した蓋体１９０と、ハウジング本体１９２と共に内部に２次室１７３を形成し、ハウジング本体１９２にダイヤフラム１７５を固定するリングプレート１９３との３部材で構成され、いずれもステンレス等の耐食性材料で形成されている。蓋体１９０およびリングプレート１９３は、ハウジング本体１９２に対し、前後からリングプレート１９３および蓋体１９０を重ね、複数本の段付平行ピン１９４でそれぞれ位置決めした後、ねじ止めするようにして組み立てられており、いずれも円形のダイヤフラム１７５の中心を通る軸線と同心円となる多角形（８角形）あるいは円形の外観を有している。そして、蓋体１９０およびハウジング本体１９２は、パッキン（Ｏリング）１９６を介して相互に気密に突合せ接合され、ハウジング本体１９２およびリングプレート１９３は、ダイヤフラム１７５の縁部およびパッキン１９７を挟込み込んで相互に気密に突合せ接合されている。

ハウジング本体１９２と蓋体１９０とで形成された１次室１７２は、ダイヤフラム１７５と同心となる略円筒形状に形成されており、その開放端を蓋体１９０により閉蓋されている。また、ハウジング本体１９２の１次室１７２側背面上部に形成した上部ボス部１９８の左部には１次室１７２から径方向斜めに延びる流入ポート２０１が形成され、流入ポート２０１には上記の流入コネクタ１８２が接続されている。

流入ポート２０１は、ハウジング本体１９２の外周面に開口した流入口２１１と、流入口２１１と１次室１７２の内周面とを連通する流入経路２１３とから成り、流入口２１１に対し流入経路２１３は、１次室１７２側に偏心して形成されている。流入口２１１には、流入コネクタ１８２が螺合（テーパネジ）しており、この流入コネクタ１８２を介して上記のタンク側チューブ１３１が接続されている。流入コネクタ１８２の内部流路は、下流端で拡開形成されており、内部流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。同様に、流入口２１１の下流端はテーパ形状を為し流入経路２１３との間で段部が生じないようになっている。

また、ハウジング本体１９２の１次室１７２外面には、１次室１７２と同心円の円形取付溝１９９が形成され、この円形取付溝１９９に蓋体１９０が着脱自在に付設されている。

図８に示すように、ハウジング本体１９２にはダイヤフラム１７５を取り付けるための前面を開放した円錐台（略円筒）形状の２次室１７３の主室２２１と、主室２２１の後方に連なり、主室側に拡開した円錐台（略円筒）形状の２次室１７３のばね室２２２と、ばね室２２２と１次室１７２を連通する上記の連通流路１７４とが形成されている。また、これら主室２２１、ばね室２２２および連通流路１７４は、いずれもダイヤフラム１７５と同心の円形断面を有している。ただし、連通流路１７４は、後述する弁体１７６の軸部２６２がスライド自在に収容される円形断面の軸遊挿部２２３と、軸遊挿部２２３から径方向四方に延びる十字状断面の流路部２２４とで構成されている（図７参照）。なお、ハウジング本体１９２のダイヤフラム１７５側対向面には、後述のパッキン１９７用に環状のハウジング本体１９２環状溝２５１が形成されている。

流出ポート２４１は、ハウジング本体１９２の下部に位置する下部ボス部２４２に形成されおり、ハウジング本体１９２の下部に開口した流出口２４３と、２次室１７３の下端部に開口した２次室側開口２４４と、これらを連通する流出流路２４５とで構成されている。流出流路２４５は、主室２２１のテーパ面から斜めに延びて下向きの流出口２４３に連通している。流出口２４３は、流出流路２４５の軸線方向から流出コネクタ１８３が螺合しており、この流出コネクタ１８３が介して上記のヘッド側チューブ１３２が接続されている。流出コネクタ１８３の内部流路は、上流端で拡開形成されており、内部流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。２次室１７３から流出する機能液は、２次室側開口２４４から流出流路２４５の勾配に従って斜めに流下し、機能液滴吐出ヘッド４１側に流出する。

また、主室２２１の壁面には、ばね室２２２から十字状に延びる排液・排気溝２２６が形成されている。この排液・排気溝２２６のうちの下溝部は、流出口２４３の近停あるいは流出口２４３まで延びている。
実施形態の圧力調整弁１６１では、機能液の初期充填時や異種の機能液導入に先立つ液抜き時に、上記の吸引ユニットにより、吸引動作を行うようにしているが、かかる場合に２次室１７３側が負圧になると弁体１７６が開放してもダイヤフラム１７５が主室２２１の壁面（テーパ面）に密着してしまって連通流路１７４と流出口２４３との間の流路が遮断されてしまうおそれがある。
そこで上記の排液・排気溝２２６により、ダイヤフラム１７５が主室２２１の壁面に密着しても、連通流路１７４と流出口２４３との連通状態を維持できるようにしている。また、２次室１７３内の液抜きやエアー抜きを円滑に行えるようにしている。

リングプレート１９３は、ハウジング本体１９２の前面との間にダイヤフラム１７５を挟持固定するものであり、ハウジング本体１９２の形状に合わせて多角形（８角形）あるいは円形に形成されている。本実施形態では、上記したハウジング本体１９２環状溝２５１に挿入したパッキン１９７とダイヤフラム１７５とを挟み込んだ状態で、リングプレート１９３とハウジング本体１９２に密着させるようになっている。

ダイヤフラム１７５は、樹脂フィルムで構成したダイヤフラム本体２５２と、ダイヤフラム本体２５２の内側に貼着した樹脂性の受圧板２５３とで構成されている。受圧板２５３は、ダイヤフラム本体２５２と同心の円板状に、且つダイヤフラム本体２５２に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に後述する弁体１７６の軸部２６２が当接する。ダイヤフラム本体２５２は、耐熱ＰＰ（ポリプロピレン）と特殊ＰＰとシリカを蒸着したＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）とを積層して構成されており、ハウジング本体１９２の前面と同径の円形に形成されている。ダイヤフラム１７５は、所定の張りを持たせた状態で、リングプレート１９３によりハウジング本体１９２の前面に気密に固定される。なお、受圧板２５３は、ダイヤフラム本体２５２の外側に設けてもよいが、後述する弁体１７６の軸部２６２が離接を繰り返すため、ダイヤフラム本体２５２の損傷を防止すべく本実施形態では内側に設けている。

弁体１７６は、円板状の弁体本体２６１と、弁体本体２６１の中心から断面横「Ｔ」字状を為すように一方向に延びる軸部２６２と、弁体本体２６１の軸部側（前面）に設けた（接着した）環状のバルブシール２６３とで構成されている。弁体本体２６１および軸部２６２は、ステンレス等の耐食材料で一体に形成されており、弁体本体２６１の前面には、軸部２６２の外側に位置して環状の小突起２６４が形成されている。バルブシール２６３は、軟質のシリコンゴムで構成され、その前面には、上記の小突起２６４に対応して、環状の突起となるシール突起２６５が突設されている。このため、弁体１７６の閉弁時には、弁座となるハウジング本体１９２の１次室１７２側壁面、すなわち連通流路１７４の開口縁にシール突起２６５が強く当接して、連通流路１７４が１次室１７２側から液密に閉塞される。なお、２次室１７３の僅かな圧力変動に応じて弁体１７６を開閉可能とするために、弁体本体２６１は、ダイヤフラム１７５よりも十分に小さく形成されている（図８参照）。

軸部２６２は、連通流路１７４にスライド自在に遊嵌され、閉弁状態でその半球径の先端が中立位置にあるダイヤフラム１７５の受圧板２５３に当接する。すなわち、ダイヤフラム１７５が外部に向かって膨出するプラス変形の状態では、軸部２６２の前端と受圧板２５３との間には所定の間隙が生じており、この状態からダイヤフラム１７５がマイナス側に変形してゆくと、リングプレート１９３と平行な中立状態で軸部２６２の前端と受圧板２５３とが当接し、さらにダイヤフラム１７５のマイナス変形がすすむと、受圧板２５３が軸部２６２を介して弁体本体２６１を押し開弁させることになる。したがって、２次室１７３の容積のうち、ダイヤフラム１７５がプラス変形から中立状態となる容積分は、１次室１７２側の圧力を一切受けることなく、機能液の供給が為される。

一方、弁体１７６（弁本本体２６１）の背面２６１ａと蓋体１９０との間には、弁体を２次室１７３側、すなわち閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね２６７が介設されている。同様に、上記の受圧板２５３と２次室１７３のばね室２２２との間には、受圧板２５３を介してダイヤフラム本体２５２を外部に向かって付勢する負圧保持ばね２６８が介設されている。この場合、弁体付勢ばね２６７は、弁体１７６の背面２６１ａに加わる機能液タンク９１の水頭を補完するものであり、機能液タンク９１の水頭とこの弁体付勢ばね２６７のばね力により、弁体１７６が閉塞方向に押圧される。かつ、閉弁時にはバルブシール２６３のシール性を維持する一方、負圧保持ばね２６８は、ダイヤフラム１７５のプラス変形を補完するものであり、大気圧に対し２次室１７３が僅かに負圧になるように作用する。なお、実施形態の弁体付勢ばね２６７および負圧保持ばね２６８は、いずれもコイルばねで構成されている。

詳細は後述するが、圧力調整弁１６１は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド４１に連なる２次室１７３と圧力バランスにより弁体１７６が進退して開閉するが、その際、弁体付勢ばね２６７および負圧保持ばね２６８に力が分散して作用し、且つ軟質シリコンゴムのバルブシール２６３（の弾性力）により、弁体１７６は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体１７６の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド４１の吐出駆動に影響を与えないようになっている。もちろん、機能液タンク側（１次側）で発生する脈動等も、弁体１７６で縁切りされるため、これを吸収する（ダンパー機能）ことができる。

図６および図７に示すように、取付プレート１８１は、四角を面取りした方形のステンレス板で構成されており、ハウジング本体１９２の側部背面に固定されている。取付プレート１８１の両面には、その上下中間位置にダイヤフラム１７５の中心位置を示す線状のマーク２７１が刻設されており、このマーク２７１により、後述する機能液滴吐出ヘッド４１に対し圧力調整弁１６１を所定の高低差を持って設置するときの指標としている。なお、図中の符号２７２は、取付プレート１８１のマーク２７１とダイヤフラム１７５の中心位置とを位置合わせするための長孔であり、取付プレート１８１はこの位置合わせを行った後、バルブハウジング１７１に固定される。

次に、図９を参照して、圧力調整弁１６１の動作原理について説明する。１次室１７２には、機能液タンク９１に貯留した機能液の液位に基づく水頭（設計上は、機能液パック１０１の供給口の中心軸と１次室１７２の中心軸との間の水頭差）が作用しており、この水頭に基づく圧力と弁体付勢ばね２６７のばね力とが、弁体の閉弁力として作用する。
すなわち、水頭に基づく単位面積当たりの圧力をＰ１とし、弁体本体２６１の背面２６１ａの面積をＳ１とし、弁体付勢ばね２６７のばね力をＷ１としたときに、一次室側から弁体１７６に作用する力：Ｆ１は、
Ｆ１＝（Ｐ１×Ｓ１）＋Ｗ１
となる。なお、Ｗ１は、バルブシール２６３の弾性力を考慮した値となっており、ここでは、ばね力とバルブシール２６３の弾性力（付勢力）との合計をＷ１としている。
一方、二次室側から弁体１７６に作用する力：Ｆ２は、２次室１７３の内圧をＰ２とし、ダイヤフラム１７５の面積（大気圧受圧面積）をＳ２とし、負圧保持ばね２６８のばね力をＷ２としたときに、
Ｆ２＝−（Ｐ２×Ｓ２）＋（Ｐ２×Ｓ１）−Ｗ２
となる。なお、Ｐ１およびＰ２は、ゲージ圧力である。
Ｆ２＞Ｆ１の状態で弁体が開弁動作し、Ｆ１＞Ｆ２の状態で弁体が閉弁動作する。この関係に従い、本実施形態では、弁体本体２６１の背面２６１ａの面積、ダイヤフラム１７５の面積、１次室１７２および２次室１７３の圧力に基づいて、Ｗ１およびＷ２が設定されており、略大気圧を基準調整圧力として（（Ｐ２×Ｓ２）＋Ｗ２＜０のときに）弁体が開閉するようにした。

すなわち、ダイヤフラム１７５がプラス変形の状態から、機能液滴吐出ヘッド４１により機能液が消費（吐出）され、２次室１７３が負圧になると、ダイヤフラム１７５が大気圧に押されて中立状態からマイナス変形に移行する。これにより、受圧板２５３を介して弁体１７６が押されてゆっくり開弁する。弁体１７６が開弁すると、連通流路１７４を介して１次室１７２から２次室１７３に機能液が流入する。これにより２次室１７３の圧力が増し、弁体１７６がゆっくりと閉弁する。そして、弁体１７６の閉弁後も大気圧に抗して負圧保持ばね２６８が作用してゆき、ダイヤフラム１７５をプラス変形させると共に、２次室１７３内の機能液圧力を僅かに負圧状態にさせる。上記の動作をゆっくり繰り返すことにより、２次室１７３をほぼ一定の圧力に維持したまま、機能液が供給される。

同様に、機能液の初期充填においても、機能液滴吐出ヘッド側からの機能液の強制吸引により上記の動作が為され、バルブ内流路に機能液が充填される。なお、２次室１７３内の機能液の圧力は、負圧保持ばね２６８により大気圧よりも低い圧力に維持されている。このため、機能液滴吐出ヘッド４１（ノズル面５７）の位置と、圧力調整弁１６１（ダイヤフラム１７５の中心）の位置との高低差を一定の値にしておくことにより、機能液滴吐出ヘッド４１からの液垂が防止されている。

図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド４１および圧力調整弁１６１の水頭差は、予め設定されており、この設定値に基づいて機能液滴吐出ヘッド４１および圧力調整弁１６１の高低差が定められている。具体的には、設定された水頭差に基づいて、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面５７の高さ位置よりも、ダイヤフラム１７５の中心位置の高さが所定の高さだけ高くなるように、ダイヤフラム１７５の中心位置が決定される。

また、本実施形態では、圧力調整弁１６１の高さ位置に基づいて、機能液タンク９１の高さ位置が設定されており、圧力調整弁１６１の１次室１７２と、機能液タンク９１との水頭差（自然流下）により、機能液タンク９１から圧力調整弁１６１に機能液が流れるように構成されている。

一方、図１に示すように、ヘッド保守装置５は、機台２上に載置され、Ｘ軸方向に延在する移動テーブル２９１と、移動テーブル２９１上に載置した吸引ユニット２９２と、吸引ユニット２９２に並んで移動テーブル２９１上に配設されたワイピングユニット２９３と、を備えている。移動テーブル２９１は、Ｘ軸方向に移動可能に構成されており、機能液滴吐出ヘッド４１の保守時には、吸引ユニット２９２およびワイピングユニット２９３を適宜保守エリア３３に移動させる構成となっている。なお、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド４１から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド４１から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット等を、ヘッド保守装置５に搭載することが好ましい。

図１に示すように、吸引ユニット２９２は、キャップスタンド３０１と、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面５７に密着させるキャップ３０２と、各キャップ３０２を介して（１２個の）機能液滴吐出ヘッド４１を吸引可能な単一の吸引ポンプ３０３と、各キャップ３０２と吸引ポンプ３０３とを接続する吸引チューブ（図示省略）と、を有している。なお、図示省略したが、キャップスタンド３０１には、モータ駆動により、各キャップ３０２を昇降させるキャップ昇降機構３０５が組み込まれており、吸引チューブのキャップ３０２の下流側（吸引ポンプ３０３側）には、吸引圧力を検出する吸引圧検出センサ３０６、吸引チューブを通過する機能液の有無を検出する液体検出センサ３０７が設けられている。

そして、機能液滴吐出ヘッド４１の吸引を行う場合には、キャップ昇降機構３０５を駆動して、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面５７にキャップ３０２を密着させると共に、吸引ポンプ３０３を駆動する。これにより、キャップ３０２を介して機能液滴吐出ヘッド４１に吸引力を作用させることができ、機能液滴吐出ヘッド４１から機能液が強制的に排出される。この機能液の吸引は、機能液滴吐出ヘッド４１の目詰まりを解消／防止するために行われる他、描画装置１を新設した場合や、機能液滴吐出ヘッド４１のヘッド交換場合などに、機能液タンク９１から機能液滴吐出ヘッド４１に至る機能液流路に機能液を充填するために行われる。

図１に示すように、ワイピングユニット２９３は、巻取りモータ３１２（図示省略）の駆動により、ロール状に巻回したワイピングシート３１３を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット３１１と、洗浄液ノズル（噴霧ノズル：図示省略）を有し、繰り出したワイピングシート３１３に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット３１４と、洗浄液が散布されたワイピングシート３１３でノズル面５７を拭取る拭取りユニット３１５と、を備えている。そして、保守エリア３３に位置するヘッドユニット１５に対してワイピングユニット２９３を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面５７を、洗浄液を含浸したワイピングシート３１３でワイピング動作（拭き取り）することにより、ノズル面５７に付着する（機能液）汚れを除去する。

制御装置６は、パソコン等で構成されている。図示省略したが、装置本体には、キーボードやマウス等の入力装置、ＦＤドライブやＣＤ−ＲＯＭドライブ等の各種ドライブ（図示省略）、モニタディスプレイ等の周辺機器が接続されている。

次に、図１６を参照しながら描画装置１の主制御系について説明する。描画装置１は、液滴吐出装置３を有する液滴吐出部３２１と、ヘッド保守装置５を有するヘッド保守部３２２と、液滴吐出装置３やヘッド保守装置５の各種センサを有し、各種検出を行う検出部３２３と、各部を駆動する駆動部３２４と、各部に接続され、描画装置１全体の制御を行う制御部３２５（制御装置６）と、を備えている。

制御部３２５には、液滴吐出装置３およびヘッド保守装置５を接続するためのインタフェース３３１、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ３３２、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ３３３、ワークＷに描画を行うための描画データや、液滴吐出装置３およびヘッド保守装置５からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク３３４、ＲＯＭ３３３やハードディスク３３４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ３３５、これらを互いに接続するバス３３６、が備えられている。

そして、制御部３２５は、液滴吐出装置３、ヘッド保守装置５等からの各種データを、インタフェース３３１を介して入力すると共に、ハードディスク３３４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ３３５に演算処理させ、その処理結果を、インタフェース３３１を介して液滴吐出装置３やヘッド保守装置５等に出力することにより、各手段を制御している。

ところで、上記の弁体付勢ばね２６７および負圧保持ばね２６８はいずれも弁体１７６を閉弁方向に付勢する復帰ばねとして機能しているが、閉弁時に弁座に密接するバルブシール２６３から機能液をもれないように封止する封止力を付与する機能も有している。従って、異なる比重の機能液を導入する場合にはこれらのばね力を比重に合わせて、即ち１次室１７２と２次室１７３との圧力差に合わせて、交換することが必要になる。具体的には、比重が大きい機能液を導入する場合には、弁体付勢ばね２６７および負圧保持ばね２６８の少なくとも一方をばね力の強いものにすることで対応できる。同様に比重の小さい機能液を導入する場合には、弁体付勢ばね２６７および負圧保持ばね２６８の少なくとも一方をばね力の小さいものにすることで対応できる。

そこで、本実施形態では、上述のようにハウジング本体１９２の１次室１７２側に蓋体１９０を設け、この蓋体１９０を取り外すことで弁体付勢ばね２６７を交換できるようになっている。
蓋体１９０は円板状に形成され、ハウジング本体１９２に形成した円形取付溝１９９に嵌合させた状態で、４本の皿ねじ２７７により、ハウジング本体１９２に着脱自在に取り付けられている。円形取付溝１９９に嵌合した蓋体１９０は、ハウジング本体１９２の１次室１７２側の面と面一になるように形成され、圧力調整弁１６１の厚さ方向に突出しないように配設されている。
蓋体１９０の内面には、弁体付勢ばね２６７の一端が位置決めされる円形凹溝２７３（基部係合部）が形成されると共に、円形凹溝２７３の外側に位置し、上記のパッキン１９６が収容される蓋体環状溝２６９が形成されている。なお、弁体本体２６１のヘッド部には、弁体付勢ばね２６７の他端が位置決めされる円形段部２７４（先端係合部）が形成されている。（図１０参照）

このような構成では、異なる比重の機能液を導入する場合には、皿ねじ２７７を外し、さらに、蓋体１９０をハウジング本体１９２から外して１次室１７２を開放し、弁体付勢ばね２６７を適切なものに交換できるようになっている。また、弁体付勢ばね２６７を１次室１７２から取り出した状態では、弁体１７６も１次室１７２側に引き抜き可能となる。したがって、異なる比重の機能液を導入し、バルブシール２６３のばね力を変更する場合にあっては、弁体１７６を取り出し、バルブシール２６３を交換することもできる。

従って、異なる比重の機能液で描画する場合には、機能液の比重に対応したばね力を備えた弁体付勢ばね２６７に交換できる。このため、圧力調整弁１６１の一括交換、圧力調整弁１６１のセット高さの調整等は不要となる。

さらに、弁体付勢ばね２６７および弁体１７６あるいはパッキン１９６に対して腐食性を持つ機能液で描画する場合には、上記実施形態と同様の手順で蓋体１９０を外し、それらを耐腐食性素材部品と交換することができる。

次に、上記第１実施形態の第１変形例について図１１を参照して説明する。この変形例では、本発明の弁体１７６には、弁体１７６が弁体付勢ばね２６７と係合する部分には、弁体付勢ばね２６７からの力を受ける、ほぼ平坦なばね受け部２８５とそのばね受け部２８５から弁体付勢ばね側に向かって先細りテーパ状に延びた円錐凸部２８６とで構成された先端係合部２８７が形成されている。その円錐凸部２８６の基端部は弁体付勢ばね２６７の内径とほぼ同一の外径を有している。また、蓋体１９０が弁体付勢ばね２６７と係合する部分には、弁体付勢ばね２６７からの力を受ける、ほぼ平坦なばね受け部２８８とそのばね受け部から弁体付勢ばね側に向かってテーパ状に開放された円錐凹部２８９とで構成された基端係合部２９０が形成されている。その円錐凹部２８９の基端部は弁体付勢ばね２６７の外径とほぼ同一の内径を有している。なお、円錐凹部２８９に代えて、円形凹溝２７３の内側に弁体付勢ばね２６７の内側と同一の蓋側円錐凸部２８９ｋを形成するようにしてもよい。

このような構成では、弁体付勢ばね２６７の交換作業で弁体付勢ばね２６７を弁体１７６に係合する際に、弁体付勢ばね２６７を上記円錐凸部２８６のテーパに沿わせて押し込むことにより弁体１７６と弁体付勢ばね２６７との相対位置精度が容易に確保できる。同様に、蓋体１９０を弁体付勢ばね２６７に係合する際にも、基端部係合部２９０の形状により、蓋体１９０と弁体付勢ばね２６７との相対位置精度が容易に確保できる。

なお、本発明においては、蓋体１９０の基端部係合部２９０に代えて、あるいは、弁体１７６の先端係合部２８７に代えて、蓋体１９０や弁体１７６を弁体付勢ばね２６７に対して溶接や接着により連結してもよい。また、上記の円錐凸部２８６の先端に外向きにわずかに突出する環状突出部を設けると共に上記の蓋側円錐凸部２８９ｋにも同様の環状突出部を設ければ、溶接等によらず、弁体１７６と弁体付勢ばね２６７、あるいは、蓋体１９０と弁体付勢ばね２６７とを連結することも可能である。

このような構成では、弁体付勢ばね２６７の交換作業において、蓋体１９０をハウジング本体１９２から外すことにより弁体付勢ばね２６７も同時に弁体１７６から外すことができる。その結果、交換作業を短時間に完結できる。また、蓋体１９０と弁体付勢ばね２６７との相対位置精度も確保できる。
上記第２変形例では、蓋体１９０と弁体付勢ばね２６７とを連結した形態について説明したが、弁体付勢ばね２６７と弁体２６７とを連結した形態、さらには、蓋体１９０と弁体付勢ばね２６７と弁体２６７との３部材を連結した形態でも同様の効果がえられる。

次に、図１２を参照して、第２実施形態を説明する。この実施形態では負圧保持ばね２６８を交換可能とするものであり、以降の説明では第１実施形態と異なる部分のみ説明する。なお、この実施形態は、異なる比重の機能液を導入することに起因する１次室１７２と２次室１７３との圧力差の変化を負圧保持ばね２６８のばね力を適正なものに交換することで対応するため、上記の着脱自在な蓋体１９０を必ずしも必要としない。
同図に示すように、ダイヤフラム１７５は必要な引張力を保持した状態でリングプレート１９３と張設リング（ダイヤフラムホルダー）２７８との間に皿ねじ２７６によって固定され、一体化されている。さらに、ダイヤフラム１７５および張設リング２７８と一体化されたリングプレート１９３は、皿ねじ２７５により、ハウジング本体環状溝２５１に付設されたパッキン１９７を介してハウジング本体１９２に着脱自在に取り付けられている。なお、ハウジング本体１９２には、張設リング用円形凹溝２７９が形成され、張設リング２７８を隠蔽している。

この構成では、異なる比重の機能液で描画する場合には、皿ねじ２７５によりダイヤフラム１７５および張設リング２７８と一体化されたリングプレート１９３を外すことで、機能液の比重に対応したばね力を備えた負圧保持ばね２６８に交換できる。また、その際、ダイヤフラム１７５の張り調整を必要としない。なお、治具等によりダイヤフラム１７５の張り調整が容易に行える場合には、第１実施形態の構成で、リングプレート１９３およびダイヤフラム１７５を取り外して負圧保持ばね２６８を交換することも可能である。

次に、図１３、１４、１５を参照して、第３実施形態の圧力調整弁１６１について詳細に説明する。この圧力調整弁１６１も、バルブハウジング１７１内に、機能液タンク９１に連なる１次室１７２と、機能液滴吐出ヘッド４１に連なる２次室１７３と、１次室１７２および２次室１７３を連通する連通流路１７４とを形成したものであり、２次室１７３の１の面には外部に面してダイヤフラム１７５が設けられ、連通流路１７４にはダイヤフラム１７５により開閉動作する弁体１７６が設けられている。機能液タンク９１から１次室１７２に導入された機能液は、２次室１７３を介して機能液滴吐出ヘッド４１に供給されるが、その際、ダイヤフラム１７５により大気圧を調整基準圧力として、連通流路１７４に設けた弁体１７６を開閉動作させることで２次室１７３の圧力調整を行うようになっている。

この圧力調整弁１６１のバルブハウジング１７１は、内部に１次室１７２を形成した１次室ハウジング２９４と、内部に２次室１７３を形成した２次室ハウジング２９５と、２次室ハウジング２９５にダイヤフラム１７５を固定するリングプレート１９３との３部材で構成されている。１次室ハウジング２９４、２次室ハウジング２９５およびリングプレート１９３は、２次室ハウジング２９５に対し、前後からリングプレート１９３および１次室ハウジング２９４を重ね、複数本の段付き平行ピン等でそれぞれ位置決めした後、ねじ止めされている。そして、１次室ハウジング２９４および２次室ハウジング２９５は、Ｏリング１９６を介して相互に気密に突き合わせ接合され、２次室ハウジング２９５およびリングプレート１９３は、ダイヤフラム１７５の縁部およびパッキン１９７を挟み込んで相互に気密に突き合わせ接合されている。

また、１次室ハウジング２９４の背面上部に形成した上部ボス部１９８には、機能液タンク９１に連なる流入ポート２０１および１次室エアー抜きポート２０２が形成されている。１次室エアー抜きポート２０２は、上下方向に延在しており流入ポート２０１は、斜めに延在している。流入ポート２０１の上流端は流入コネクタ１８２に連通し、下流端は１次室１７２に連通している。

２次室ハウジング２９５には、ダイヤフラム１７５を取り付けるための前面を開放した２次室１７３の主室２２１と主室２２１に連なるばね室２２２と、ばね室２２２と１次室１７２を連通する上記の連通流路１７４とが形成されている。

２次室１７３（主室２２１）には、２次室エアー抜きポート２３１（２次室側エアー抜き部）および流出ポート２４１が上下に連通している流出ポート２４１は２次室ハウジング２９５の背面下部に位置して前後方向斜めに延在しており、下流端には流出コネクタ１８３が螺合している。

ダイヤフラム１７５は樹脂フィルムで構成したダイヤフラム本体２５２と、ダイヤフラム本体２５２の内側に貼着した樹脂性の受圧板２５３とで構成されている。ダイヤフラム１７５は、これに外側から添設したパッキン１９７と共にリングプレート１９３により２次室ハウジング２９５の前面に気密に固定される。

弁体１７６は、円板状の弁体本体２６１と、弁体本体２６１の中心から断面積「Ｔ」字状を為すように一方向に延びる軸部２６２と、弁体本体２６１の軸部側（前面）に設けた（接着した）環状のバルブシール２６３とで構成されている。弁体本体２６１および軸部２６２は、ステンレス等の耐食材料で一体に形成されており、弁体本体２６１の前面には、軸部２６２の外側に位置して環状の小突起２６４が形成されている。バルブシール２６３は、例えば軟質のシリコンゴムで構成され、その前面には、上記の小突起２６４に対応して、環状の突起となるシール突起２６５が突設されている。

そして、軸部２６２は、連通流路１７４にスライド自在に遊嵌され、閉弁状態でその先端（前端）が中立位置にあるダイヤフラム１７５の受圧板２５３に当接している。すなわち、ダイヤフラム１７５が外側に向かって膨出するプラス変形の状態では、軸部２６２の前端と受圧板２５３との間には所定の間隙が生じており、この状態からダイヤフラム１７５がマイナス側に変形してゆくと、リングプレート１９３と平行な中立状態で軸部２６２の前端と受圧板２５３とが当接し、さらにダイヤフラム１７５のマイナス変形がすすむと、受圧板２５３が軸部２６２を介して弁体本体２６１を押し開弁させることになる。

一方、弁体１７６の背面と１次室１７２の後面壁との間には、弁体１７６を２次室１７３側、すなわち閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね２６７が介設されている。
このような構成では、２次室ハウジング２９５に対し１次室ハウジング２９４が着脱自在にねじ止めされているため、異なる比重の機能液で描画する場合には、１次室ハウジング２９４を２次室ハウジング２９５から外し弁体付勢ばね２６７を機能液の比重に対応したばね力を備えたものに交換できる。

次に、本実施形態の描画装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。

先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１７は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１８は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ５１）では、図１８（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ５２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１８（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１８（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド４１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（Ｓ５３）では、図１８（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド４１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド４１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ５４）に移り、図１８（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１９は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１８に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１９において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の描画装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド４１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド４１で行うことも可能である。

図２０は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図２１は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図２２は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２３〜図３１を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２３に示すように、バンク部形成工程（Ｓ６１）、表面処理工程（Ｓ６２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ６３）、発光層形成工程（Ｓ６４）、及び対向電極形成工程（Ｓ６５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ６１）では、図２４に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２５に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ６２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド４１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した描画装置１のセットテーブル２３に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ６３）及び発光層形成工程（Ｓ６４）が行われる。

図２６に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ６３）では、機能液滴吐出ヘッド４１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２７に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ６４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２８に示すように、各色のうちの何れか（図２３の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２９に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド４１を用い、図３０に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ６５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ６５）では、図３１に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図３２は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した描画装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を描画装置１のセットテーブル２３に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド４１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド４１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図３３は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、描画装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、描画装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３４（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３４（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（描画装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（描画装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した描画装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

本発明の実施形態に係る描画装置の平面模式図である。 本発明の実施形態に係る描画装置の正面模式図である。 支持フレーム廻りの平面模式図である。 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 機能液滴吐出ヘッド、圧力調整弁、および機能液タンクの高さ関係を示した図である。 圧力調整弁を背面から見た外観斜視図である。 圧力調整弁の説明図であり、（ａ）は、圧力調整弁の背面図、（ｂ）は、圧力調整弁の正面図である。 圧力調整弁の説明図であり、（ａ）は、圧力調整弁の縦断面図、（ｂ）は、圧力調整弁の流入ポートから弁体を経て流出ポートに至る縦断面模式図である。 圧力調整弁の動作を説明するための説明図である。 本発明の第１実施形態を示す、蓋体廻りの部分図である。 第１実施形態の変形例を示す、蓋体廻りの部分図である。 第２実施形態の圧力調整弁を示す図である。 第３実施形態の圧力調整弁を背面から見た外観斜視図である。 第３実施形態の圧力調整弁の説明図であり、（ａ）は、圧力調整弁の背面図、（ｂ）は、圧力調整弁の正面図である。 第３実施形態の圧力調整弁の説明図であり、（ａ）は、圧力調整弁の縦断面図、（ｂ）は、１次室廻りを拡大した縦断面図である。 描画装置の主制御系について説明したブロック図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１ 描画装置 ３ 液滴吐出装置
４ 機能液供給装置 ４１ 機能液滴吐出ヘッド
７２ 機能液供給チューブ ９１ 機能液タンク
１６１ 圧力調整弁 １７１ バルブハウジング
１７２ １次室 １７３ ２次室
１７４ 連通流路 １７５ ダイヤフラム
１７６ 弁体 １９０ 蓋体
１９２ ハウジング本体 ２６１ 弁体本体
２６３ バルブシール ２６７ 弁体付勢ばね
２６８ 負圧保持ばね ２７８ 張設リング
２８７ 先端係合部 ２９０ 基端係合部
２９４ １次室ハウジング ２９５ ２次室ハウジング
Ｗ ワーク

Claims (15)

1. 機能液を吐出してワークに描画を行うための機能液滴吐出ヘッドと前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクとの間に介設され、
   前記機能液タンクから１次室に導入した機能液を、２次室を介して前記機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、前記２次室の１つの面を構成すると共に大気に面したダイヤフラムが受ける大気圧を基準調整圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路を開閉する、圧力調整弁において、
   前記１次室および前記２次室を形成したバルブハウジングと、
   前記連通流路を開閉する弁体と、
   前記バルブハウジングのばね受け部を受けとして前記弁体を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばねと、を備え
   前記バルブハウジングは、ハウジング本体と、前記ばね受け部を有すると共に前記ハウジング本体に着脱自在に取り付けられた蓋体と、から構成され、
   前記弁体付勢ばねは、前記蓋体の離脱に伴って共に前記ハウジング本体に対し離脱可能に構成されていることを特徴とする圧力調整弁。
2. 前記弁体付勢ばねと前記蓋体とが連結されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力調整弁。
3. 前記弁体は、前記弁体付勢ばねの離脱に伴って前記ハウジング本体に対し離脱可能に構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力調整弁。
4. 前記弁体付勢ばねと前記弁体とが連結されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧力調整弁。
5. 前記弁体は弁体本体と、前記弁体本体に着脱自在に装着されたバルブシールと、で構成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の圧力調整弁。
6. 前記弁体付勢ばねはコイルスプリングで構成され、
   前記弁体には、前記弁体付勢ばねの前記弁体側先端部が位置決め状態で係合する先端係合部が設けられていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧力調整弁。
7. 前記蓋体には、前記弁体付勢ばねの蓋体側基端部が位置決め状態で係合する基端係合部が設けられていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の圧力調整弁。
8. 機能液を吐出してワークに描画を行うための機能液滴吐出ヘッドと前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクとの間に介設され、
   前記機能液タンクから１次室に導入した機能液を、２次室を介して前記機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、前記２次室の１つの面を構成すると共に大気に面したダイヤフラムが受ける大気圧を基準調整圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路を開閉する圧力調整弁において、
   前記１次室および前記２次室を形成したバルブハウジングと、
   前記連通流路を開閉する弁体と、
   前記バルブハウジングのばね受け部を受けとして前記弁体を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばねと、を備え
   前記バルブハウジングは、前記２次室および前記連通流路を形成した２次室ハウジングと、前記ばね受け部を有すると共に前記２次室ハウジングに着脱自在に取り付けられた１次室ハウジングと、から構成され
   前記弁体付勢ばねは、前記１次室ハウジングの離脱に伴って前記２次室ハウジングに対し離脱可能に構成されていることを特徴とする圧力調整弁。
9. 機能液を吐出してワークに描画を行うための機能液滴吐出ヘッドと前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクとの間に介設され、
   前記機能液タンクから１次室に導入した機能液を、２次室を介して前記機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、前記２次室の１つの面を構成すると共に大気に面したダイヤフラムが受ける大気圧を基準調整圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路を開閉する圧力調整弁において、
   前記１次室および前記２次室を形成するバルブハウジングと、
   前記連通流路を開閉する弁体と、
   前記バルブハウジングのばね受け部を受けとして前記弁体を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばねと、
   前記ダイヤフラムを大気圧に抗する方向に付勢する負圧保持ばねと、を備え、
   前記ダイヤフラムは、前記バルブハウジングに着脱自在に取り付けられ、前記負圧保持ばねは、前記ダイヤフラムの離脱に伴って前記バルブハウジングに対し離脱可能に構成されていることを特徴とする圧力調整弁。
10. 前記ダイヤフラムを張設した状態で保持するダイヤフラムホルダーを、更に備え、
    前記ダイヤフラムは、前記ダイヤフラムホルダーを介して前記バルブハウジングに着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項９に記載の圧力調整弁。
11. 前記機能液タンクと、
    前記機能液タンクと前記機能液滴吐出ヘッドとを接続する機能液流路と、
    前記機能液流路に介設した請求項１ないし１０のいずれかに記載の圧力調整弁と、を備えたことを特徴とする機能液供給装置。
12. 請求項１１に記載された機能液供給装置と、
    前記機能液滴吐出ヘッドと、
    ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする描画装置。
13. 請求項１２に記載の描画装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
14. 請求項１２に記載の描画装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
15. 請求項１３に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１４に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

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