JP2006141052A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各感光セルでは、フォトダイオード101と、転送ゲート102と、フローティング拡散層部103と、増幅トランジスタ104と、リセットトランジスタ105とが、素子分離領域に囲まれた一つの活性領域100内に形成される。感光セルに含まれるフローティング拡散層部103は、当該セルに含まれる増幅トランジスタ104ではなく、当該感光セルと列方向に隣接する感光セル含まれる増幅トランジスタ104のゲートに接続される。ポリシリコン配線111は同じ列に配列された転送ゲート102を接続し、ポリシリコン配線112は同じ行に配列されたリセットトランジスタ105を接続する。これら行方向の接続を行う配線には、ポリシリコン配線のみが使用される。
【選択図】図7
Description
2、102 転送ゲート
3、103 フローティング拡散層部
4、104 増幅トランジスタ
5、105 リセットトランジスタ
10 電源ライン
11 垂直シフトレジスタ
12 垂直信号線
13 負荷トランジスタ
14 雑音抑圧回路
15 水平トランジスタ
16 水平シフトレジスタ
100 活性領域
111〜113 ポリシリコン配線
121〜123 金属配線
131〜1334 コンタクトホール
Claims (7)
- 入射した光信号の強度に応じた電気信号を出力する固体撮像装置であって、
半導体基板上に、入射光を光電変換し得られた信号電荷を蓄積するフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷をゲート電極に印加されたパルス信号に従って転送する転送トランジスタと、転送された前記信号電荷を一時的に蓄積するフローティング拡散層部と、増幅トランジスタと、前記フローティング拡散層部に蓄積された信号電荷をゲート電極に印加されたパルス信号に従ってリセットするリセットトランジスタとを含む感光セルを行及び列方向の2次元状に配列した感光領域と、
前記増幅トランジスタのドレインに共通して接続される電源ラインと、
同一列に配列された前記増幅トランジスタのソースに共通して接続される複数の垂直信号線と、
同一行に配置された前記転送トランジスタのゲート電極からなる第1ゲート電極群を共通接続する複数の第1水平信号線と、
同一行に配置された前記リセットトランジスタのゲート電極からなる第2ゲート電極群を共通接続する複数の第2水平信号線とを備え、
前記感光セルでは、前記フォトダイオードと、前記転送トランジスタと、前記フローティング拡散層部と、前記増幅トランジスタと、前記リセットトランジスタとが、素子分離領域に囲まれた一つの活性領域内に形成されており、
前記感光セルに含まれる前記フローティング拡散層部は、当該感光セルと列方向に隣接する感光セルに含まれる前記増幅トランジスタのゲートに接続されており、該フローティング拡散層部に蓄積された信号電荷は該隣接する感光セルに含まれる前記増幅トランジスタで増幅され、
各前記第1水平信号線と前記第1ゲート電極群とは同一材料かつ同層で連続的に形成され、かつ各前記第2水平信号線と前記第2ゲート電極群とは同一材料かつ同層で連続的に形成されていることを特徴とする、固体撮像装置。 - 前記複数の第1水平信号線と前記複数の第2水平信号線とが、同一材料で形成されており、かつ、前記フローティング拡散層部は、同じ感光セルに含まれる前記転送トランジスタのゲート電極に接続される前記第1水平信号線と、同じ感光セルに含まれる前記リセットトランジスタのゲート電極に接続される前記第2水平信号線との間に挟まれていることを特徴とする、請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記フローティング拡散層部と前記増幅トランジスタのゲートとを接続するために、当該フローティング拡散層部に設けられる第1のコンタクトホールと、前記増幅トランジスタと前記リセットトランジスタとの共通ドレインを前記電源ラインに接続するために、当該共通ドレインに設けられる第2のコンタクトホールと、前記増幅トランジスタのソースを前記垂直信号線に接続するために、当該ソースに設けられる第3のコンタクトホールと、前記フローティング拡散層部と前記増幅トランジスタのゲートとを接続するために、当該ゲートに設けられる第4のコンタクトホールとが、ほぼ一直線上に並んでいることを特徴とする、請求項1又は2に記載の固体撮像装置。
- 前記フローティング拡散層部と前記増幅トランジスタのゲートとを接続するために、当該フローティング拡散層部に設けられる第1のコンタクトホールと、前記増幅トランジスタと前記リセットトランジスタとの共通ドレインを前記電源ラインに接続するために、当該共通ドレインに設けられる第2のコンタクトホールと、前記増幅トランジスタのソースを前記垂直信号線に接続するために、当該ソースに設けられる第3のコンタクトホールとが、ほぼ一直線上に並んでいることを特徴とする、請求項1又は2に記載の固体撮像装置。
- 前記フローティング拡散層部と前記増幅トランジスタのゲートとを接続する信号線と、前記電源ラインと、前記垂直信号線とが、同一の金属配線層で形成されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の固体撮像装置。
- 前記電源ラインは、同じ列に配列された前記増幅トランジスタのドレインに共通して接続される複数の垂直電源ラインを含み、
前記フローティング拡散層部と前記増幅トランジスタのゲートとを接続する信号線は、当該フローティング拡散層部と同じ感光セルに含まれる前記増幅トランジスタに接続される前記垂直信号線と、当該増幅トランジスタのドレインに接続される前記垂直電源ラインとの間に挟まれていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記感光セルに含まれるすべてのトランジスタが、nチャンネル型MOSトランジスタであることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005356455A JP4330579B2 (ja) | 2005-12-09 | 2005-12-09 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003062282A Division JP3794637B2 (ja) | 2003-03-07 | 2003-03-07 | 固体撮像装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2006141052A true JP2006141052A (ja) | 2006-06-01 |
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JP2010051538A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Panasonic Corp | 撮像装置 |
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