JP2006134486A - Master disk and method for manufacturing the same - Google Patents

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洋一 林
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To easily and rapidly specify the recording position of manufacturing history information recorded to a master disk coping with abnormality in a slave disk and in addition, to easily and rapidly perform positioning even when positioning of the master disk at the time of punching of a center hole and magnetic transfer. <P>SOLUTION: A rugged pattern 18 corresponding to preformat information (for example, a servo signal), a rugged pattern 20 corresponding to the manufacturing history information of the master disk, and a rugged pattern 22 corresponding to the positioning information associated with the rugged pattern position corresponding to the manufacturing history information are formed on the master disk 10. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、マスターディスク及びその製造方法に係り、特に情報が担持されたマスターディスクから被転写用ディスクへ該情報を転写するためのマスターディスク及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a master disk and a manufacturing method thereof, and more particularly to a master disk for transferring information from a master disk carrying information to a transfer target disk and a manufacturing method thereof.

磁気記録媒体等の記録媒体においては一般に、情報量の増加に伴い、多くの情報を記録する大容量で、安価で、かつ、好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せる、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれている。それらの一例として高密度フレキシブルディスクや高密度ハードディスクが知られている。その大容量を実現するためには、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドが走査し、高いＳ／Ｎ比で信号を再生する、いわゆるトラッキングサーボ技術が、大きな役割を担っている。ディスクの１周の中で、ある間隔でトラッキング用のサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が、いわゆるプリフォーマット情報として書き込まれる。磁気ヘッドはこのようなプリフォーマット情報を読み取って自らの位置を修正することにより正確にトラック上を走行することが可能に設定されている。   In general, a recording medium such as a magnetic recording medium has a large capacity for recording a large amount of information as the amount of information increases, it is inexpensive, and so-called high-speed access is possible, preferably allowing a required portion to be read out in a short time. Media is desired. High density flexible disks and high density hard disks are known as examples of these. In order to realize such a large capacity, so-called tracking servo technology in which a magnetic head accurately scans a narrow track width and reproduces a signal with a high S / N ratio plays a major role. In one round of the disk, tracking servo signals, address information signals, reproduction clock signals, etc. are written as so-called preformat information at certain intervals. The magnetic head is set to be able to travel on the track accurately by reading such preformat information and correcting its position.

この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、時間がかかることから、プリフォーマット情報が書き込まれているマスターディスクにより一括転写する方法が効率的であり、磁気転写装置（例えば特許文献１）が提案されている。   Although this writing can be performed by a magnetic head, it takes time. Therefore, the method of batch transfer using a master disk in which preformat information is written is efficient, and a magnetic transfer device (for example, Patent Document 1) is used. Proposed.

この磁気転写は、被転写用ディスクに転写すべき情報に対応する凹凸パターンを有するマスターディスクを用意し、このマスターディスクと被転写用ディスクを密着させた状態で、転写用磁界を印加することにより、マスターディスクの凹凸パターンに対応するプリフォーマット情報（例えばサーボ信号）を被転写用ディスクに磁気転写する。このマスターディスクは繰り返しの使用により摩耗してくるため交換が必要となるため、同一の凹凸パターンを有するマスターディスクが複数用意され、適宜交換されて使用されている。   For this magnetic transfer, a master disk having a concavo-convex pattern corresponding to information to be transferred to a transfer disk is prepared, and a magnetic field for transfer is applied while the master disk and the transfer disk are in close contact with each other. Then, preformat information (for example, a servo signal) corresponding to the concave / convex pattern of the master disk is magnetically transferred to the transfer target disk. Since this master disk is worn due to repeated use and needs to be replaced, a plurality of master disks having the same concave / convex pattern are prepared and used by appropriately replacing them.

ところで、マスターディスクから情報が磁気転写された被転写用ディスクに後工程で異常が発生した場合、若しくは、製品として出荷後に異常が発生した場合に、その原因の解析、対策を行うには、この製品の生産における各種情報すなわち製品情報が必要となる。従って、被転写用ディスクに異常が発生した際の原因を究明するためには、どのマスターディスクによって製造されたかが重要となる場合があり、マスターディスクの特定がより迅速な原因の解析およびその対策に繋がる。   By the way, if an abnormality occurs in a post-process on the transfer target disk on which information is magnetically transferred from the master disk, or if an abnormality occurs after shipping as a product, this cause can be analyzed and countermeasures taken. Various information in product production, that is, product information is required. Therefore, in order to investigate the cause when an abnormality has occurred in the transferred disk, it may be important to determine which master disk was manufactured, and the identification of the master disk is a quicker cause analysis and countermeasure. Connected.

このことから、出願人は、特許文献２において、サーボ信号のようなプリフォーマット情報の他に、マスターディスクの製造履歴情報に対応する凹凸パターンをマスターディスクに備えることを提案した。この場合、製品情報が磁気ヘッドで読み出せる信号のみでは被転写用ディスクの製品情報は読み取れても、マスターディスクやその原盤の製品情報を読み取ることができない。また、例えばサーボ領域の不具合などで磁気ヘッドでの読み取りができない場合には、磁気現像等で画像として読み取れることが必要になる。このことから、特許文献２では、製品情報は、読取ヘッドにより読み取られ得る信号として記録されるものに限らず、磁気現像を行うことにより視覚的に確認可能なアルファベットや数字等の文字で記録されてもよいことを提案した。
特開平１０−２６９５６６号公報 特開２００２−２３０７５０号公報 From this, the applicant proposed in Patent Document 2 that the master disk is provided with an uneven pattern corresponding to the manufacturing history information of the master disk in addition to the preformat information such as the servo signal. In this case, the product information of the master disk and its master cannot be read even if the product information of the transfer target disk can be read only by a signal from which the product information can be read by the magnetic head. Further, for example, when reading with a magnetic head is impossible due to a problem in the servo area, it is necessary to read as an image by magnetic development or the like. For this reason, in Patent Document 2, product information is not limited to being recorded as a signal that can be read by a reading head, but is recorded in letters such as alphabets and numbers that can be visually confirmed by performing magnetic development. Proposed that it may be.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-269566 JP 2002-230750 A

しかしながら、マスターディスクにパターン形成される凹凸パターンの深さは０．１μｍ以下であり、製品情報がアルファベット、数字等の文字情報の場合には、その文字サイズは１０〜１００μｍ程度と極めて小さいと共に、それを読み取る顕微鏡やマイロスコープの視野は極めて狭い。従って、磁気現像した後に顕微鏡やマイロスコープで製品情報を読み取る際に、製品情報を読み取る以前にマスターディスクのどこに記録されているかを探すのが極めて困難であるという欠点がある。このような欠点は、何も製品情報に限ったことではなく、製品情報以外のフォーマットデータの情報をマスターディスクにパターン形成する場合も同様である。   However, the depth of the concavo-convex pattern formed on the master disk is 0.1 μm or less, and when the product information is character information such as alphabets and numbers, the character size is as extremely small as about 10 to 100 μm. The field of view of the microscope or myoscope that reads it is extremely narrow. Therefore, when reading product information with a microscope or a microscope after magnetic development, it is extremely difficult to find where the data is recorded on the master disk before reading the product information. Such drawbacks are not limited to product information, but are the same when pattern information other than product information is formed on a master disk.

また、マスターディスクは、サーボ信号等のプリフォーマット情報をパターン形成した後でセンター孔等を打ち抜く際の金型との位置決めや、被転写用ディスクへ磁気転写する際の位置決め等が必要になり、例えば十字マークのようなポイントマークで位置決めするが、小さなポイントマークがどこにあるかを探すのが極めて困難であるという欠点がある。   Also, the master disk needs to be positioned with the mold when punching the center hole after pattern formation of preformat information such as servo signals, positioning when magnetically transferring to the disk for transfer, etc. For example, positioning is performed with a point mark such as a cross mark, but there is a drawback that it is extremely difficult to find where the small point mark is.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、被転写用ディスクに異常が発生した場合に対応するマスターディスクに記録された製品情報等の記録位置を容易且つ迅速に特定できるだけでなく、センター孔の打ち抜きや転写時のマスターディスクの位置決めの際にも容易且つ迅速に位置決めできるマスターディスク及びその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and can not only easily and quickly specify the recording position of product information or the like recorded on the master disk corresponding to the occurrence of an abnormality in the transfer target disk. Another object of the present invention is to provide a master disk that can be easily and quickly positioned at the time of punching a center hole or positioning a master disk at the time of transfer, and a manufacturing method thereof.

本発明の請求項１は前記目的を達成するために、被転写用ディスクに情報を転写するための凹凸パターンを備えたマスターディスクの製造方法において、前記情報に対応する凹凸パターンをマスターディスクにパターン形成する際に、前記情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成することを特徴とする。   According to a first aspect of the present invention, in order to achieve the above object, in a method of manufacturing a master disk having a concavo-convex pattern for transferring information to a transfer target disk, the concavo-convex pattern corresponding to the information is patterned on the master disk. When forming, the uneven pattern corresponding to the positioning information linked | related with the uneven | corrugated pattern position of the said information is pattern-formed.

このように、被転写用ディスクに情報を転写するための凹凸パターンを備えたマスターディスクを製造する際に、前記情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成しておけば、位置決め情報の凹凸パターンを利用して情報の凹凸パターン位置を容易且つ迅速に特定できる。また、マスターディスクに位置決め情報の凹凸パターンを形成しておけば、センター孔等を打ち抜く際や被転写用ディスクに磁気転写する際に、位置決めを容易且つ迅速に行うことができる。この場合、前記情報の凹凸パターンを基準に位置決め情報が入っているので、高精度な位置決めを行うことができる。   Thus, when manufacturing a master disk having a concavo-convex pattern for transferring information to a transfer target disk, a concavo-convex pattern corresponding to the positioning information associated with the concavo-convex pattern position of the information should be formed. For example, the concave / convex pattern position of information can be easily and quickly specified using the concave / convex pattern of positioning information. If a concave / convex pattern of positioning information is formed on the master disk, positioning can be performed easily and rapidly when punching out the center hole or the like or when magnetically transferring to the disk to be transferred. In this case, since the positioning information is entered based on the concavo-convex pattern of the information, highly accurate positioning can be performed.

位置決め情報の凹凸パターンを形成するには、情報に対応する凹凸パターンをマスターディスクにパターン形成する際に、位置決め情報に対応する凹凸パターンも同時にパターン形成することが好ましい。   In order to form the concave / convex pattern of the positioning information, it is preferable to form the concave / convex pattern corresponding to the positioning information simultaneously when forming the concave / convex pattern corresponding to the information on the master disk.

請求項２は請求項１において、前記情報内には、前記マスターディスクの製品情報を含むことを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the information includes product information of the master disk.

被転写用ディスクに転写する基本的な情報としては、サーボ情報やフォーマット情報等の記録メディアの機能としての情報であるが、情報内にマスターディスクの製品情報（例えば製造履歴情報）を含む場合、その製品情報に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成することは特に意義がある。これにより、被転写用ディスクに異常が発生した場合に対応するマスターディスクに記録された製品情報の記録位置を容易且つ迅速に特定できるからである。ただし、製品情報だけに限定するものではなく、その他の情報においても情報に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成することは有意義である。   Basic information to be transferred to the transfer target disk is information as a function of a recording medium such as servo information and format information. However, when the information includes master disk product information (for example, manufacturing history information), It is particularly meaningful to form a concavo-convex pattern corresponding to the positioning information associated with the product information. This is because it is possible to easily and quickly specify the recording position of the product information recorded on the master disk corresponding to the occurrence of an abnormality in the transfer target disk. However, it is not limited to product information alone, and it is meaningful to form a concavo-convex pattern corresponding to positioning information associated with information in other information as well.

請求項３は請求項１又は２において、前記転写は磁気転写であることを特徴とする。   A third aspect of the present invention is the method according to the first or second aspect, wherein the transfer is a magnetic transfer.

請求項３は、マスターディスクが磁気ディスクで、磁気転写により被転写用ディスクに転写する場合である。しかし、本発明は磁気ディスクのみならず、光ディスク（光磁気ディスクも含む）等の各種の媒体に適用することができる。   The third aspect is a case where the master disk is a magnetic disk and is transferred to a transfer target disk by magnetic transfer. However, the present invention can be applied not only to magnetic disks but also to various media such as optical disks (including magneto-optical disks).

請求項４は請求項１〜３の何れか１において、前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、前記マスターディスクの円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマークと、該円周状位置決めマーク上の少なくとも１カ所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマークとから成ると共に、前記ポイント状位置決めマークの直近に、前記製品情報に対応する凹凸パターンがパターン形成されていることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the concavo-convex pattern corresponding to the positioning information includes a circumferential positioning mark formed in an annular pattern along the circumference of the master disk, and the circumference A point-shaped positioning mark patterned in a point shape at least at one place on the shape-shaped positioning mark, and a concavo-convex pattern corresponding to the product information is patterned in the immediate vicinity of the point-shaped positioning mark. Features.

請求項４は、位置決め情報の好ましい凹凸パターンの構成と、位置決め情報と情報（例えば製品情報）の関連づけを示したもので、環状に形成された円周状位置決めマークを探して、その円周状位置決めマークをたどって行けばポイント状位置決めマークを探すことができるので、小さなポイント状位置決めマークを簡単に探すことができる。そして、このポイント状位置決めマークの直近に、例えば製品情報の凹凸パターンをパターン形成しておけば、製品情報の記録位置を容易且つ迅速に特定できる。更に、マスターディスクの位置決めを行う場合にも、環状をした円周状位置決めマークを使用することで、従来のように十字マークのようなポイントマークで位置決めする場合には比べて簡単に且つ高精度な位置決めを行うことができる。また、位置決めの際にマスターディスクの円周方向の位置決めが必要な場合には円周状位置決めマークとポイント状位置決めマークとの両方を使用することで簡単にできる。   A fourth aspect of the present invention shows a preferred uneven pattern configuration of positioning information and the association between positioning information and information (for example, product information). A circular positioning mark formed in an annular shape is searched for, By following the positioning mark, it is possible to search for a point-shaped positioning mark, so that a small point-shaped positioning mark can be easily searched. If, for example, a concave / convex pattern of product information is formed in the immediate vicinity of the point-shaped positioning mark, the recording position of the product information can be easily and quickly specified. Furthermore, even when positioning the master disk, the use of an annular circumferential positioning mark makes it easier and more accurate than when positioning with a point mark such as a cross mark as in the past. Positioning can be performed. Further, when positioning in the circumferential direction of the master disk is necessary at the time of positioning, it can be easily performed by using both the circumferential positioning mark and the point-shaped positioning mark.

ここで、円周状位置決めマークとは、位置決め情報に対応する凹凸パターンのうちのマスターディスクの円周に沿って環状に形成された凹凸パターンをいい、ポイント状位置決めマークとは、位置決め情報に対応する凹凸パターンのうちの点状（十字状も含む）に形成された凹凸パターンを言う。尚、位置決め情報に凹凸パターンの位置が関連づけられる情報としては、アルファベットや数字等の文字、あるいはバーコードや２次元コード等の各種の態様を採用することができる。   Here, the circumferential positioning mark refers to an uneven pattern formed in an annular shape along the circumference of the master disk among the uneven patterns corresponding to the positioning information, and the point-shaped positioning mark corresponds to the positioning information. The uneven | corrugated pattern formed in the dot shape (a cross shape is also included) among the uneven | corrugated patterns to perform is said. In addition, as information for associating the position of the concavo-convex pattern with the positioning information, various forms such as letters such as alphabets and numbers, bar codes, and two-dimensional codes can be employed.

本発明の請求項５は前記目的を達成するために、被転写用ディスクに情報を転写するための凹凸パターンがパターン形成されたマスターディスクにおいて、前記情報に対応する凹凸パターンと、前記情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンと、がパターン形成されていることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in order to achieve the above object, in a master disk on which a concavo-convex pattern for transferring information is patterned, a concavo-convex pattern corresponding to the information and the concavo-convex pattern of the information are transferred. An uneven pattern corresponding to the positioning information associated with the pattern position is patterned.

請求項５は、本発明のマスターディスクであり、情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンがパターン形成されているので、位置決め情報の凹凸パターンを利用して情報の凹凸パターン位置を容易且つ迅速に特定できる。また、マスターディスクに位置決め情報の凹凸パターンを形成しておけば、センター孔等を打ち抜く際や被転写用ディスクに転写する際に、位置決めを容易且つ迅速に行うことができる。   Since the concave / convex pattern corresponding to the positioning information associated with the concave / convex pattern position of the information is patterned, the concave / convex pattern position of the information is utilized by using the concave / convex pattern of the positioning information. Can be identified easily and quickly. In addition, if a concave / convex pattern of positioning information is formed on the master disk, positioning can be performed easily and quickly when punching the center hole or the like or when transferring it to the disk to be transferred.

請求項６は請求項５において、前記情報内には、前記マスターディスクの製品情報を含むことを特徴とする。   A sixth aspect of the present invention is characterized in that in the fifth aspect, the information includes product information of the master disk.

請求項６によれば、被転写用ディスクに異常が発生した場合に対応するマスターディスクに記録された製品情報の記録位置を容易且つ迅速に特定できる。   According to the sixth aspect, it is possible to easily and quickly specify the recording position of the product information recorded on the master disk corresponding to the occurrence of an abnormality in the transfer target disk.

請求項７は請求項５又は６において、前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、前記マスターディスクの円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマークと、該円周状位置決めマーク上の少なくとも１カ所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマークとから成ると共に、前記ポイント状位置決めマークの直近に、前記製品情報に対応する凹凸パターンがパターン形成されていることを特徴とする。   A seventh aspect of the present invention is the method according to the fifth or sixth aspect, wherein the uneven pattern corresponding to the positioning information includes a circumferential positioning mark formed in a ring shape along the circumference of the master disk, and the circumferential positioning mark on the circumferential positioning mark. And a concavo-convex pattern corresponding to the product information is formed in the immediate vicinity of the point-shaped positioning mark.

請求項７は、位置決め情報の好ましい凹凸パターンの構成と、位置決め情報と製品情報の関連づけを示したもので、請求項４で説明したと同様である。   A seventh aspect of the present invention shows a preferable concave / convex pattern configuration of the positioning information and the association between the positioning information and the product information, and is the same as described in the fourth aspect.

請求項８は請求項５〜７の何れか１において、請求項前記ポイント状位置決めマークは前記円周状位置決めマーク上の複数箇所にパターン形成されていることを特徴とする。   According to an eighth aspect of the present invention, in any one of the fifth to seventh aspects, the point-shaped positioning mark is patterned at a plurality of locations on the circumferential positioning mark.

請求項８のように、ポイント状位置決めマークを円周状位置決めマーク上の複数箇所にパターン形成すれば、マスターディスクを円周方向に位置決めするときの角度情報として利用することができ、より効率的な位置決めが可能となる。   If the point-shaped positioning marks are patterned at a plurality of positions on the circumferential positioning mark as in claim 8, it can be used as angle information when positioning the master disk in the circumferential direction, and more efficiently. Positioning is possible.

請求項９は請求項５〜８の何れか１において、前記情報に対応する凹凸パターンと、前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、転写後に視覚的に認識可能であることを特徴とする。   A ninth aspect according to any one of the fifth to eighth aspects is characterized in that the concave / convex pattern corresponding to the information and the concave / convex pattern corresponding to the positioning information can be visually recognized after transfer.

磁気転写後の被転写用ディスクに異常発生が生じ、マスターディスクの情報、例えば製品情報を得たい場合に、磁気ヘッドによる読み取りができない情況であっても、製品情報に対応する凹凸パターンと、位置決め情報に対応する凹凸パターンとを目視又は磁気現像により視覚的に認識可能としておけば、製品情報が１０〜１００μｍ程度と極めて小さい文字情報であっても、位置決め情報に対応する凹凸パターンを利用して製品情報が記載された位置を容易且つ迅速に探すことができる。   When an error occurs in the transferred disk after magnetic transfer, and you want to obtain master disk information, for example, product information, even if it is impossible to read by the magnetic head, the uneven pattern corresponding to the product information and positioning If the uneven pattern corresponding to the information can be visually recognized by visual or magnetic development, the uneven pattern corresponding to the positioning information is used even if the product information is extremely small character information of about 10 to 100 μm. The position where the product information is described can be searched easily and quickly.

本発明の請求項１０は前記目的を達成するために、請求項５〜９の何れか１のマスターディスクにより転写された被転写用ディスクであって、転写により形成された情報に対応する凹凸パターンと、位置決め情報に対応する凹凸パターンは、磁気現像により視覚的に認識可能であることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a tenth aspect of the present invention is a transferred disk transferred by the master disk according to any one of the fifth to ninth aspects, wherein the concave / convex pattern corresponds to the information formed by the transfer. The uneven pattern corresponding to the positioning information can be visually recognized by magnetic development.

請求項１０は、本発明のマスターディスクにより情報が転写されたスレーブディスクであり、スレーブディスクが磁気ヘッドによる読み取りができない情況であっても、情報、例えば製品情報に対応する凹凸パターンと、位置決め情報に対応する凹凸パターンとを磁気現像により視覚的に認識可能としておけば、製品情報が１０〜１００μｍ程度と極めて小さい文字情報であっても、位置決め情報に対応する凹凸パターンを利用して製品情報が記載された位置を容易且つ迅速に探すことができる。   Claim 10 is a slave disk to which information is transferred by the master disk of the present invention, and even in a situation where the slave disk cannot be read by a magnetic head, the uneven pattern corresponding to information, for example, product information, and positioning information If the concavo-convex pattern corresponding to is visually recognizable by magnetic development, the product information can be obtained using the concavo-convex pattern corresponding to the positioning information even if the product information is extremely small character information of about 10 to 100 μm. The described position can be searched easily and quickly.

本発明の請求項１１は前記目的を達成するために、請求項５〜９の何れか１の凹凸パターンを有することを特徴とするマスターディスク原盤を提供する。   In order to achieve the above object, an eleventh aspect of the present invention provides a master disk master having the uneven pattern according to any one of the fifth to ninth aspects.

マスターディスク原盤にも、請求項３〜請求項６の何れか１の凹凸パターンをパターン形成しておけば、本発明のマスターディスクの複製を容易に製造することができる。   If the concavo-convex pattern according to any one of claims 3 to 6 is formed on the master disk master, a replica of the master disk of the present invention can be easily manufactured.

以上説明したように、本発明によれば、被転写用ディスクに異常が発生した場合に対応するマスターディスクに記録された製品情報の記録位置を容易且つ迅速に特定できるだけでなく、センター孔の打ち抜きや転写時のマスターディスクの位置決めの際にも容易且つ迅速に位置決めできる。   As described above, according to the present invention, not only can the recording position of product information recorded on the master disk corresponding to the abnormality in the transferred disk be identified easily and quickly, but also the punching of the center hole Also, the positioning of the master disk during transfer can be done easily and quickly.

以下、添付図面に従って、本発明に係るマスターディスク及びその製造方法の好ましい実施の形態について詳説する。   Hereinafter, preferred embodiments of a master disk and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

尚、本発明は磁気ディスクのみならず、光ディスク（光磁気ディスクも含む）等の各種の媒体に適用することができるが、本実施の形態では、磁気ディスクの例で以下に説明する。   The present invention can be applied not only to a magnetic disk but also to various media such as an optical disk (including a magneto-optical disk). In the present embodiment, an example of a magnetic disk will be described below.

図１は、本発明のマスターディスクの一例を示す上面図であり、図２は図１のＡ−Ａ線に沿った断面図（ａ）、Ｂ−Ｂ線に沿った断面図（ｂ）、Ｃ−Ｃ線に沿った断面図（ｃ）である。尚、図１のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線に沿った断面図である図２には、サーボ信号等のプリフォーマット情報に対応した凹凸パターン１８は示されないが、説明上図２に凹凸パターン１８を図示してある。   FIG. 1 is a top view showing an example of the master disk of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view along the line AA in FIG. 1 (a), a cross-sectional view along the line BB (b), It is sectional drawing (c) along CC line. In FIG. 2, which is a cross-sectional view taken along lines AA, BB, and CC in FIG. 1, the concave / convex pattern 18 corresponding to preformat information such as a servo signal is not shown. The concavo-convex pattern 18 is illustrated in FIG.

図１に示すように、マスターディスク１０はディスク状に形成されており、図１の内側点線１２及び外側点線１４で囲まれるドーナツ形状の領域が、被転写用ディスクであるスレーブディスク１６（図２、図４参照）にプリフォーマット情報（例えばサーボ信号）を磁気転写するための凹凸パターン１８が形成されるユーザ使用領域１１である。また、内側点線１２の内周側及び外側点線１４の外周側の領域はスレーブディスク１６におけるユーザ不使用領域１３であり、このユーザ不使用領域１３にマスターディスク１０の製品情報に対応する凹凸パターン２０と該製品情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターン２２とがパターン形成される。図１及び図２では、外側点線１４の外周側のユーザ不使用領域１３に製品情報に対応する凹凸パターン２０と位置決め情報に対応する凹凸パターン２２とを設けた一例である。尚、位置決め情報に関連づける情報としては、製品情報だけに限定するものではなく、製品情報以外のフォーマットデータの情報をマスターディスクにパターン形成する場合も、その情報に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成することが好ましいが、本実施の形態では製品情報の例で説明する。   As shown in FIG. 1, the master disk 10 is formed in a disk shape, and a donut-shaped region surrounded by the inner dotted line 12 and the outer dotted line 14 in FIG. 1 is a slave disk 16 (FIG. 2) that is a transfer target disk. FIG. 4) shows a user use area 11 in which a concavo-convex pattern 18 for magnetic transfer of preformat information (for example, a servo signal) is formed. In addition, areas on the inner peripheral side of the inner dotted line 12 and the outer peripheral side of the outer dotted line 14 are user non-use areas 13 in the slave disk 16. And the concavo-convex pattern 22 corresponding to the positioning information associated with the concavo-convex pattern position of the product information is formed. 1 and 2 show an example in which a concavo-convex pattern 20 corresponding to product information and a concavo-convex pattern 22 corresponding to positioning information are provided in the user nonuse area 13 on the outer peripheral side of the outer dotted line 14. Note that the information associated with the positioning information is not limited to the product information, and when the format data information other than the product information is formed on the master disk, the uneven pattern corresponding to the positioning information associated with the information is used. However, in the present embodiment, an example of product information will be described.

かかる製品情報に対応する凹凸パターン２０及び位置決め情報に対応する凹凸パターン２２は、読取ヘッド（磁気ヘッド）により読み取られ得る信号として記録されるものに限らず、磁気現像を行うことにより視覚的に確認可能な凹凸パターンを使用することができる。例えば、製品情報に対応する凹凸パターン２０としては、アルファベットや数字等の文字、あるいはバーコードや２次元コードでもよく、図１は数字「０１２３４」で示した一例である。   The concave / convex pattern 20 corresponding to the product information and the concave / convex pattern 22 corresponding to the positioning information are not limited to those recorded as signals that can be read by the reading head (magnetic head), but are visually confirmed by performing magnetic development. Possible concavo-convex patterns can be used. For example, the concavo-convex pattern 20 corresponding to the product information may be characters such as alphabets and numbers, or a barcode and a two-dimensional code. FIG. 1 shows an example indicated by a number “01234”.

また、位置決め情報に対応する凹凸パターン２２としては、マスターディスク１０の円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマーク２２Ａと、該円周状位置決めマーク２２Ａ上の少なくとも１カ所に十字形状にパターン形成されたポイント状位置決めマーク２２Ｂとから構成されることが好ましい。これにより、磁気現像したときに、マスターディスク１０の外周沿いに環状の円周状位置決めマーク２２Ａと十字形状のポイント状位置決めマーク２２Ｂとが視覚的に顕在化されるので、顕微鏡やマイクロスコープ等を使用した画像処理により読み取り可能となる。尚、円周状位置決めマーク２２Ａ上にポイント状位置決めマーク２２Ｂをパターン形成するとは、円周状位置決めマーク２２Ａに対応する凹凸パターンとポイント状位置決めマーク２２Ｂに対応する凹凸パターンが重なって形成されるという意味ではなく、図１のように、環状に形成された円周状位置決めマーク２２Ａの環状線上であって凹凸パターンのない部分に、ポイント状位置決めマーク２２Ｂの凹凸パターンが形成されることを意味する。   Further, as the concave / convex pattern 22 corresponding to the positioning information, a circular positioning mark 22A formed in an annular pattern along the circumference of the master disk 10 and a cross in at least one place on the circular positioning mark 22A. It is preferable to be configured with point-shaped positioning marks 22B patterned in a shape. Thereby, when magnetic development is performed, the annular circumferential positioning mark 22A and the cross-shaped point-shaped positioning mark 22B are visually revealed along the outer periphery of the master disk 10, so that a microscope, a microscope, or the like can be used. Reading is possible by the image processing used. The patterning of the point-shaped positioning mark 22B on the circumferential positioning mark 22A means that the concavo-convex pattern corresponding to the circumferential positioning mark 22A and the concavo-convex pattern corresponding to the point-shaped positioning mark 22B are overlapped. It does not mean that, as shown in FIG. 1, it means that the concave / convex pattern of the point-shaped positioning mark 22B is formed on the annular line of the circumferential positioning mark 22A formed in an annular shape and without the concave / convex pattern. .

また、マスターディスク１０の外周沿いに凸パターンで円を描いて円周状位置決めマーク２２Ａとし、この凸パターンの円の表面にパターンのないポイント状位置決めマーク２２Ｂや文字、バーコード等の情報を記載するようにしてもよい。   In addition, a circle is drawn in a convex pattern along the outer periphery of the master disk 10 to form a circumferential positioning mark 22A, and information such as a point-shaped positioning mark 22B having no pattern on the surface of the circle of the convex pattern, characters, and a barcode is described. You may make it do.

更には、位置決め情報に対応する凹凸パターン２２は、凹凸の凸部分で情報を読み取る（磁気現像による読み取りも含む）ことに限定されるものではなく、反転文字のように凹部分で情報が読み取れるようにしてもよい。即ち、マスターディスク１０の外周沿いに環状に凹溝を形成して円周状位置決めマーク２２Ａとし、該円周状位置決めマーク２２Ａ上の少なくとも１カ所に凹状な十字形状を形成してポイント状位置決めマーク２２Ｂとする場合である。更には、円周状位置決めマーク２２Ａとポイント状位置決めマーク２２Ｂのうちの何れか一方を凹部分で読み取れるようにし、他方を凸部分で読み取れるようにすることも可能である。   Furthermore, the concave / convex pattern 22 corresponding to the positioning information is not limited to reading information (including reading by magnetic development) on the convex / concave portion of the concave / convex, and information can be read by the concave portion like reversed characters. It may be. That is, a circular groove is formed along the outer periphery of the master disk 10 to form a circumferential positioning mark 22A, and a concave cross shape is formed at least at one location on the circumferential positioning mark 22A to form a point-shaped positioning mark. This is the case of 22B. Furthermore, either one of the circumferential positioning mark 22A and the point-shaped positioning mark 22B can be read by the concave portion, and the other can be read by the convex portion.

そして、このポイント状位置決めマーク２２Ｂの直近に、製品情報の凹凸パターン２０がパターン形成されている。これにより、環状に形成された円周状位置決めマーク２２Ａを探して、その円周状位置決めマーク２２Ａをたどって行けばポイント状位置決めマーク２２Ｂを探すことができるので、小さなポイント状位置決めマーク２２Ｂを簡単に探すことができる。更に、マスターディスク１０の位置決めを行う場合にも、環状をした円周状位置決めマーク２２Ａを使用することで、従来のように十字マークのような点形状のポイントマークで位置決めする場合に比べて簡単に且つ高精度な位置決めを行うことができる。また、位置決めの際にマスターディスク１０の円周方向の位置決めが必要な場合には円周状位置決めマーク２２Ａとポイント状位置決めマーク２２Ｂとの両方を使用し、円周方向の位置決め基準にポイント状位置決めマーク２２Ｂを使用すればよい。   And the uneven | corrugated pattern 20 of product information is pattern-formed in the immediate vicinity of this point-shaped positioning mark 22B. As a result, the point-shaped positioning mark 22B can be found by searching for the circumferential positioning mark 22A formed in an annular shape and tracing the circumferential positioning mark 22A. Can look into. Furthermore, when positioning the master disk 10, the use of the annular circumferential positioning mark 22 </ b> A is simpler than when positioning with a point-shaped point mark such as a cross mark as in the prior art. In addition, highly accurate positioning can be performed. When positioning of the master disk 10 in the circumferential direction is required for positioning, both the circumferential positioning mark 22A and the point-shaped positioning mark 22B are used, and the point-shaped positioning is performed based on the circumferential positioning reference. The mark 22B may be used.

尚、本実施の形態では、位置決め情報に対応する凹凸パターン２２として、円周状位置決めマーク２２Ａとポイント状位置決めマーク２２Ｂとで構成し、ポイント状位置決めマーク２２Ｂの直近に製品情報に対応する凹凸パターン２０を配置することで、製品情報の記録位置を容易且つ迅速に特定できるだけでなく、センター孔の打ち抜きや磁気転写時のマスターディスク１０の位置決めの際にも容易且つ迅速に位置決めできるようにしたが、これに限定するものではない。例えば、円周状位置決めマーク２２Ａを複数の同心円にしてもよく、正多角形（例えば８角形等）にしてもよい。   In the present embodiment, the concave / convex pattern 22 corresponding to the positioning information is constituted by a circumferential positioning mark 22A and a point-shaped positioning mark 22B, and the concave / convex pattern corresponding to the product information immediately adjacent to the point-shaped positioning mark 22B. By arranging 20, not only can the product information recording position be specified easily and quickly, but also the positioning of the master disk 10 during punching of the center hole or magnetic transfer can be performed easily and quickly. However, the present invention is not limited to this. For example, the circumferential positioning mark 22A may be a plurality of concentric circles, or a regular polygon (for example, an octagon).

また、ポイント状位置決めマーク２２Ｂを円周状位置決めマーク２２Ａ上の複数箇所にパターン形成することが好ましい。例えば、図１のように、円周状位置決めマーク２２Ａ上の４箇所９０度ごとに４つの円周状位置決めマーク２２Ｂをパターン形成する。そして、この４つの円周状位置決めマーク２２Ｂの直近に製品情報の凹凸パターン２０をパターン形成する。この場合、４つの製品情報の凹凸パターン２０に同じ情報を入れてもよいし、製品情報を分割して入れてもよい。このように、ポイント状位置決めマーク２２Ｂを円周状位置決めマーク２２Ａ上の複数箇所にパターン形成しておくことで、マスターディスク１０の円周方向の位置決めをするときの角度情報として利用することができるので、より効率的な位置決めが可能となる。また、製品情報を４分割して入れる場合にも、複数のポイント状位置決めマーク２２Ｂと分割された製品情報とを対応させておけば、分割された製品情報を探し易くなる。また、４つの製品情報に同じ情報を入れておけば、磁気転写時に、スレーブディスク１６の欠陥等の原因により一部の情報が記録されなかった場合、もしくは、読み出せなかった場合にも、他の部分に記録された製品情報を読み出して使用することができる。   Further, it is preferable that the point-shaped positioning marks 22B are patterned at a plurality of locations on the circumferential positioning marks 22A. For example, as shown in FIG. 1, four circumferential positioning marks 22B are pattern-formed every 90 degrees on four positions on the circumferential positioning marks 22A. And the uneven | corrugated pattern 20 of product information is pattern-formed in the immediate vicinity of these four circumferential positioning marks 22B. In this case, the same information may be put in the uneven pattern 20 of the four product information, or product information may be divided and put. As described above, the point-shaped positioning marks 22B are patterned at a plurality of locations on the circumferential positioning marks 22A, and can be used as angle information when positioning the master disk 10 in the circumferential direction. Therefore, more efficient positioning becomes possible. Even when product information is divided into four parts, if the plurality of point-shaped positioning marks 22B are associated with the divided product information, the divided product information can be easily found. Also, if the same information is included in the four product information, even if some information is not recorded or cannot be read due to a defect of the slave disk 16 during magnetic transfer, The product information recorded in the part can be read and used.

図２は、マスターディスク１０のユーザ不使用領域１３に形成した製品情報に対応する凹凸パターン２０（図２（ａ））、円周状位置決めマークに対応する凹凸パターン２２Ａ（図２（ｂ））、ポイント状位置決めマークに対応する凹凸パターン２２Ｂ（図２（ｃ））を示すと共に、マスターディスク１０上に凹凸パターンが転写されるスレーブディスク１６を一点鎖線で示している。   2 shows an uneven pattern 20 (FIG. 2A) corresponding to product information formed in the user non-use area 13 of the master disk 10, and an uneven pattern 22A corresponding to a circumferential positioning mark (FIG. 2B). In addition to the concavo-convex pattern 22B (FIG. 2C) corresponding to the point-shaped positioning marks, the slave disk 16 on which the concavo-convex pattern is transferred onto the master disk 10 is indicated by a one-dot chain line.

被転写用ディスクであるスレーブディスク１６は、例えばハードディスク装置やフロッピー（登録商標）ディスク装置に用いられる磁気ディスク媒体であり、マスターディスク１０のユーザ使用領域１１に対応する被転写領域にサーボ信号が磁気転写され、ユーザ不使用領域１３に対応する被転写領域に製品情報及び位置決め情報が磁気転写される。尚、マスターディスク１０の製品情報や位置決め情報がスレーブディスク１６のユーザ不使用領域に磁気転写された場合には、通常の読取ヘッドでは読み取ることができないため、専用の読取ヘッド（専用の読取ドライブ）を用意して読み取る必要がある。   The slave disk 16 as a transfer target disk is a magnetic disk medium used in, for example, a hard disk device or a floppy (registered trademark) disk device, and a servo signal is magnetically generated in a transfer target region corresponding to the user use region 11 of the master disk 10. The product information and the positioning information are magnetically transferred to the transferred area corresponding to the user non-use area 13 after being transferred. In addition, when product information and positioning information of the master disk 10 are magnetically transferred to the user non-use area of the slave disk 16, it cannot be read by a normal reading head, so a dedicated reading head (dedicated reading drive) is used. It is necessary to prepare and read.

次に、マスターディスク１０の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the master disk 10 will be described.

図３はマスターディスク１０表面の微細凹凸パターンを示す部分拡大斜視図である。   FIG. 3 is a partially enlarged perspective view showing a fine uneven pattern on the surface of the master disk 10.

図３に示すマスターディスク１０の基板２４としては、ニッケル、シリコン、石英ガラス等各種組成のガラス、アルミニウム、合金、各種組成のセラミックス、合成樹脂等が使用できる。この基板２４表面の凹凸パターン１８、２０、２２の形成は、フォトファブリケーション法や、フォトファブリケーション法等で形成した原盤によるスタンパー法、等によって行える。   As the substrate 24 of the master disk 10 shown in FIG. 3, glass of various compositions such as nickel, silicon, and quartz glass, aluminum, an alloy, ceramics of various compositions, synthetic resin, and the like can be used. The concave / convex patterns 18, 20, 22 on the surface of the substrate 24 can be formed by a photofabrication method, a stamper method using a master disk formed by a photofabrication method, or the like.

スタンパー法におけるマスター原盤の形成は、たとえば、以下のように行うことができる。   For example, the master master can be formed by the stamper method as follows.

表面が平滑なガラス板（又は石英ガラス板）の上にスピンコート法等によりフォトレジストの層を形成し、プレベーク後に、このガラス板を回転させながら、サーボ信号に対応して変調したレーザー光（又は電子ビーム）を照射し、フォトレジスト層の略全面に所定のパターン、例えば各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサーボ信号に対応する凹凸パターン１８（図１参照）を円周上の各フレームに対応する部分に露光する。このサーボ信号に対応する凹凸パターン１８を形成すると同時に、製品情報に対応する凹凸パターン２０と位置決め情報に対応する凹凸パターン２２を形成する。即ち、位置決め情報に対応する凹凸パターン２２として、マスターディスク１０の円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマーク２２Ａと、該円周状位置決めマーク２２Ａ上の少なくとも１箇所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマーク２２Ｂとを形成し、ポイント状位置決めマーク２２Ｂの直近に製品情報に対応する凹凸パターン２０を形成する。   A photoresist layer is formed on a glass plate (or quartz glass plate) having a smooth surface by spin coating or the like, and after pre-baking, the laser plate is rotated in response to a servo signal while rotating the glass plate ( (Or an electron beam), and a predetermined pattern, for example, a concave / convex pattern 18 (see FIG. 1) corresponding to a servo signal extending linearly from the center of rotation to each track on the circumference is provided on substantially the entire surface of the photoresist layer. The part corresponding to each frame is exposed. Simultaneously with the formation of the concave / convex pattern 18 corresponding to the servo signal, the concave / convex pattern 20 corresponding to the product information and the concave / convex pattern 22 corresponding to the positioning information are formed. That is, as the concave / convex pattern 22 corresponding to the positioning information, a circumferential positioning mark 22A formed in an annular pattern along the circumference of the master disk 10 and a point-like shape at least at one place on the circumferential positioning mark 22A A point-shaped positioning mark 22B that is patterned is formed, and an uneven pattern 20 corresponding to product information is formed in the immediate vicinity of the point-shaped positioning mark 22B.

その後、フォトレジストの層を現像処理し、露光部分が除去されたフォトレジストの層により形成されたそれぞれの凹凸パターン１８、２０、２２を有するガラス原盤を得る。そして、ガラス原盤の表面の凹凸パターン１８、２０、２２を基に、この表面にメッキ（電鋳）を施し所定厚さまで形成することにより、表面にポジ状の凹凸パターン１８、２０、２２を有するＮｉ基板を作成する。そして、この基板をガラス原盤から剥離する。   Thereafter, the photoresist layer is developed to obtain glass masters having respective concave and convex patterns 18, 20, 22 formed by the photoresist layer from which the exposed portions have been removed. Then, based on the concavo-convex patterns 18, 20, and 22 on the surface of the glass master, the surface is plated (electroformed) to form a predetermined thickness, thereby having positive concavo-convex patterns 18, 20, and 22 on the surface. An Ni substrate is created. Then, the substrate is peeled from the glass master.

この基板をそのままプレス用のマスター原盤とするか、凹凸パターン１８、２０、２２上に必要に応じて軟磁性層、保護膜等を被覆してプレス用のマスター原盤とする。   This substrate is used as a master master for pressing as it is, or a soft master layer, a protective film or the like is coated on the concavo-convex patterns 18, 20, 22 as necessary to form a master master for pressing.

また、ガラス原盤にメッキを施して、電鋳により第２の原盤を作成し、この第２の原盤に更にメッキを施して、電鋳によりネガ状凹凸パターン１８、２０、２２を有する反転原盤を作成してもよい。更に、第２の原盤にメッキを施して電鋳を行うか、低粘度の樹脂を押し付けて硬化させるかした、第３の原盤を作成し、第３の原盤にメッキを施して電鋳を行い、ポジ状凹凸パターンを有する基板を作成してもよい。   In addition, the glass master is plated, a second master is created by electroforming, the second master is further plated, and an inverted master having negative concavo-convex patterns 18, 20, 22 is formed by electroforming. You may create it. Furthermore, the second master is plated and electroformed, or a low-viscosity resin is pressed and cured to create a third master, and the third master is plated and electroformed. A substrate having a positive uneven pattern may be formed.

基板２４の材料としては、金属ではＮｉ又はＮｉ合金を使用することができる。この基板を作成するメッキ法としては、無電解メッキ、電鋳、スパッタリング、イオンプレーティングを含む各種の金属成膜法等が適用できる。   As the material of the substrate 24, Ni or Ni alloy can be used as the metal. As a plating method for producing this substrate, various metal film forming methods including electroless plating, electroforming, sputtering, and ion plating can be applied.

磁性層２６（軟磁性層）の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。磁性層２６の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）を用いることができる。特に、ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉが好ましく用いることができる。磁性層２６の厚さｔは、５０ｎｍ〜５００ｎｍの範囲が好ましく、１００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲が更に好ましい。   The magnetic layer 26 (soft magnetic layer) is formed by depositing a magnetic material by a vacuum film forming means such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plating method, or the like. As the magnetic material of the magnetic layer 26, Co, Co alloy (CoNi, CoNiZr, CoNbTaZr, etc.), Fe, Fe alloy (FeCo, FeCoNi, FeNiMo, FeAlSi, FeAl, FeTaN), Ni, Ni alloy (NiFe) should be used. Can do. In particular, FeCo and FeCoNi can be preferably used. The thickness t of the magnetic layer 26 is preferably in the range of 50 nm to 500 nm, and more preferably in the range of 100 nm to 400 nm.

尚、磁性層２６の上にダイヤモンドライクカーボン等の保護膜を設けることが好ましく、保護膜の上に更に潤滑剤層を設けてもよい。この場合、保護膜として厚さが５〜３０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン膜と潤滑剤層とする構成が好ましい。また、磁性層２６と保護膜との間に、Ｓｉ等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤は、スレーブディスク４０との接触過程で生じるずれを補正する際の、摩擦による傷の発生などの耐久性の劣化を改善する効果を有する。   A protective film such as diamond-like carbon is preferably provided on the magnetic layer 26, and a lubricant layer may be further provided on the protective film. In this case, the protective film is preferably a diamond-like carbon film having a thickness of 5 to 30 nm and a lubricant layer. Further, an adhesion reinforcing layer such as Si may be provided between the magnetic layer 26 and the protective film. The lubricant has an effect of improving the deterioration of durability such as the occurrence of scratches due to friction when correcting the deviation caused in the contact process with the slave disk 40.

マスターディスク１０として、前記のプレス用のマスター原盤を用いて樹脂基板を作製し、その表面に磁性層を設けて形成してもよい。樹脂基板の樹脂材料としては、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体などの塩化ビニル樹脂、エポキシ樹脂、アモルファスポリオレフィン及びポリエステルなどが使用できる。   The master disk 10 may be formed by producing a resin substrate using the above-described master master for pressing and providing a magnetic layer on the surface thereof. As the resin material of the resin substrate, acrylic resin such as polycarbonate and polymethyl methacrylate, vinyl chloride resin such as polyvinyl chloride and vinyl chloride copolymer, epoxy resin, amorphous polyolefin, and polyester can be used.

このうち、耐湿性、寸法安定性及び価格などの点からポリカーボネートが好ましい。成形品にばりがある場合は、これをバーニシュ又は研磨加工により除去する。また、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂などを使用して、プレス原盤にスピンコート、バーコート等の塗布によりマスターディスク１０を形成してもよい。樹脂基板の凹凸パターン突起の高さは、５０〜１０００ｎｍの範囲が好ましく、１００〜５００ｎｍの範囲が更に好ましい。この樹脂基板の表面の微細パターンの上に磁性層４８を被覆しマスターディスク１０を得る。磁性層２６の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜方法、メッキ法などによる成膜方法で行える。   Of these, polycarbonate is preferable from the viewpoints of moisture resistance, dimensional stability, and price. If there is a flash in the molded product, it is removed by burnishing or polishing. Alternatively, the master disk 10 may be formed on the press master by spin coating, bar coating, or the like using an ultraviolet curable resin, an electron beam curable resin, or the like. The height of the concavo-convex pattern protrusions on the resin substrate is preferably in the range of 50 to 1000 nm, and more preferably in the range of 100 to 500 nm. A magnetic layer 48 is coated on the fine pattern on the surface of the resin substrate to obtain the master disk 10. The magnetic layer 26 can be formed using a vacuum deposition method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, or an ion plating method, or a deposition method such as a plating method.

一方、マスターディスク１０の製造方法の１種であるフォトファブリケーション法は、以下の手順で行う。先ず、たとえば、平板状の基板の平滑な表面にフォトレジストを塗布し、サーボ信号の凹凸パターン１８に応じたフォトマスクを用いた露光、現像処理により、情報に応じた凹凸パターン１８を形成させる。このサーボ信号に対応する凹凸パターン１８を形成すると同時に、製品情報に対応する凹凸パターン２０と位置決め情報に対応する凹凸パターン２２を形成する。即ち、位置決め情報に対応する凹凸パターン２２として、スタンパー法と同様に、マスターディスク１０の円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマーク２２Ａと、該円周状位置決めマーク２２Ａ上の少なくとも１箇所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマーク２２Ｂとを形成し、ポイント状位置決めマーク２２Ｂの直近に製品情報に対応する凹凸パターン２０を形成する。   On the other hand, the photofabrication method, which is one type of manufacturing method of the master disk 10, is performed according to the following procedure. First, for example, a photoresist is applied to a smooth surface of a flat substrate, and a concavo-convex pattern 18 corresponding to information is formed by exposure and development using a photomask corresponding to the concavo-convex pattern 18 of the servo signal. Simultaneously with the formation of the concave / convex pattern 18 corresponding to the servo signal, the concave / convex pattern 20 corresponding to the product information and the concave / convex pattern 22 corresponding to the positioning information are formed. That is, as the concavo-convex pattern 22 corresponding to the positioning information, similar to the stamper method, a circumferential positioning mark 22A formed in an annular pattern along the circumference of the master disk 10, and the circumferential positioning mark 22A A point-shaped positioning mark 22B patterned in a point shape is formed at least at one place, and a concavo-convex pattern 20 corresponding to product information is formed in the immediate vicinity of the point-shaped positioning mark 22B.

次いで、エッチング工程により、凹凸パターン１８、２０、２２に応じて基板のエッチングを行い、磁性層２６の厚さに相当する深さの穴を形成する。次いで、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜方法、メッキ法等により、形成した穴に対応した厚さで基板の表面まで磁性材料を成膜する。そして、フォトレジストをリフトオフ法で除去し、表面を研磨して、ばりがある場合には、これを取り除くとともに、表面を平滑化する。これにより、マスターディスク１０を製造する。   Next, in the etching process, the substrate is etched according to the uneven patterns 18, 20, and 22 to form holes having a depth corresponding to the thickness of the magnetic layer 26. Next, a magnetic material is formed on the surface of the substrate with a thickness corresponding to the formed hole by a vacuum film formation method such as a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plating method, or the like. Then, the photoresist is removed by a lift-off method, the surface is polished, and if there is a flash, it is removed and the surface is smoothed. Thereby, the master disk 10 is manufactured.

次に、スレーブディスク１６について説明する。   Next, the slave disk 16 will be described.

スレーブディスク１６は、両面又は片面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体であり、マスターディスク１０に密着させる以前に、グライドヘッド、研磨体などにより表面の微小突起又は付着塵埃を除去するクリーニング処理（バーニッシィング等）が必要に応じて施される。また、スレーブディスク１６には予め初期磁化が施される。   The slave disk 16 is a disk-shaped magnetic recording medium such as a hard disk or a flexible disk having a magnetic recording layer formed on both sides or one side, and has a minute protrusion on the surface by a glide head, a polishing body or the like before being in close contact with the master disk 10. Or the cleaning process (burnishing etc.) which removes adhering dust is given as needed. The slave disk 16 is preliminarily magnetized in advance.

スレーブディスク１６としては、ハードディスク、高密度フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体が使用できる。スレーブディスク１６の磁気記録層には、塗布型磁気記録層、メッキ型磁気記録層、又は金属薄膜型磁気記録層が採用できる。   As the slave disk 16, a disk-shaped magnetic recording medium such as a hard disk or a high-density flexible disk can be used. As the magnetic recording layer of the slave disk 16, a coating type magnetic recording layer, a plating type magnetic recording layer, or a metal thin film type magnetic recording layer can be adopted.

金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ）を用いることができる。これらは、磁束密度が大きいこと、磁界印加方向と同じ方向（面内記録なら面内方向）の磁気異方性を有していることより、明瞭な転写が行えるため好ましい。   As the magnetic material of the metal thin film type magnetic recording layer, Co, Co alloy (CoPtCr, CoCr, CoPtCrTa, CoPtCrNbTa, CoCrB, CoNi, etc.), Fe, Fe alloy (FeCo, FePt, FeCoNi) can be used. These are preferable because clear transfer can be performed because of high magnetic flux density and magnetic anisotropy in the same direction as the magnetic field application direction (in-plane direction for in-plane recording).

そして磁性材料の下（支持体側）に必要な磁気異方性を付与するために、非磁性の下地層を設けることが好ましい。この下地層には、結晶構造と格子定数を磁性層２６に合わすことが必要である。そのためには、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ等を用いることが好ましい。   In order to provide the necessary magnetic anisotropy under the magnetic material (on the support side), it is preferable to provide a nonmagnetic underlayer. The underlayer needs to match the crystal structure and lattice constant with the magnetic layer 26. For that purpose, it is preferable to use Cr, CrTi, CoCr, CrTa, CrMo, NiAl, Ru or the like.

次に、マスターディスク１０を用いてスレーブディスク１６へ情報を転写する磁気転写方法の基本工程を図４および図５に基づき説明する。   Next, the basic steps of the magnetic transfer method for transferring information to the slave disk 16 using the master disk 10 will be described with reference to FIGS.

図４は、スレーブディスク１６とマスターディスク１０とを示す斜視図である。スレーブディスク１６は、例えば、円盤状の記録メディア１６ａの中心部にハブ１６ｂが固着されてなるフレキシブルディスクであり、記録メディア１６ａはフレキシブルなポリエステルシート等の非磁性体からなる円盤状のベース１６ｃの両面に磁性体層が形成された記録面１６ｄ、１６ｅを有する。   FIG. 4 is a perspective view showing the slave disk 16 and the master disk 10. The slave disk 16 is, for example, a flexible disk in which a hub 16b is fixed to the center of a disk-shaped recording medium 16a. The recording medium 16a is a disk-shaped base 16c made of a nonmagnetic material such as a flexible polyester sheet. The recording surfaces 16d and 16e have magnetic layers formed on both sides.

また、マスターディスク１０は、剛体により円環状ディスクに形成され、その片面にスレーブディスク１６の記録面１６ｄ、１６ｅに密着される微細凹凸パターンが形成されてなる転写情報担持面を有するものである。マスターディスク１０、１０’はそれぞれスレーブディスク１６の下側記録面１６ｄ、上側記録面１６ｅ用の凹凸パターンが形成されている。尚、凹凸パターン１８、２０、２２はサーボ信号に対応するもの、マスターディスク１０、１０’の製品情報に対応するもの、及び位置決め情報に対応するものがある。尚、図４に示すマスターディスク１０、１０’は、凹凸パターン１８、２０、２２が形成された基板２４、２４’とその凹凸パターン１８、２０、２２上に形成された軟磁性層２６、２６’とから構成されるが、基板２４、２４’がＮｉなどによる強磁性体である場合には基板２４、２４’のみで磁気転写可能であり、必ずしも磁性層２６、２６’（軟磁性層）を被覆しなくてもよい。但し、転写特性の良い磁性層を設けることでより良好な磁気転写を行うことができる。しかし、基板２４、２４’が非磁性体の場合は磁性層２６、２６’を設ける必要がある。   Further, the master disk 10 is formed into a ring-shaped disk by a rigid body, and has a transfer information carrying surface formed with a fine uneven pattern that is in close contact with the recording surfaces 16d and 16e of the slave disk 16 on one surface thereof. The master disks 10 and 10 'are provided with concave and convex patterns for the lower recording surface 16d and the upper recording surface 16e of the slave disk 16, respectively. The concave / convex patterns 18, 20, and 22 correspond to servo signals, those corresponding to product information of the master disks 10 and 10 ′, and patterns corresponding to positioning information. Note that the master disks 10 and 10 ′ shown in FIG. 4 have substrates 24 and 24 ′ on which the concave and convex patterns 18, 20, and 22 are formed, and soft magnetic layers 26 and 26 formed on the concave and convex patterns 18, 20, and 22, respectively. However, when the substrates 24 and 24 'are ferromagnetic materials such as Ni, magnetic transfer is possible only with the substrates 24 and 24', and the magnetic layers 26 and 26 '(soft magnetic layers) are not necessarily required. May not be coated. However, better magnetic transfer can be performed by providing a magnetic layer with good transfer characteristics. However, when the substrates 24 and 24 'are non-magnetic, it is necessary to provide the magnetic layers 26 and 26'.

また、強磁性金属による基板２４、２４’を用い、その凹凸パターン面に磁性層２６、２６’を被覆する場合には、基板２４、２４’の磁性の影響を断つために、基板２４、２４’と磁性層２６、２６’との間に非磁性層を設けることが好ましい。さらに最上層にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の保護膜を被覆すれば、この保護膜により接触耐久性が向上し多数回の磁気転写が可能となる。さらにはＤＬＣ保護膜の下層にＳｉ膜をスパッタリング等で形成するようにしてもよい。   In addition, when the magnetic layers 26 and 26 ′ are coated on the concavo-convex pattern surfaces using the ferromagnetic metal substrates 24 and 24 ′, the substrates 24 and 24, in order to cut off the influence of the magnetism of the substrates 24 and 24 ′. It is preferable to provide a nonmagnetic layer between 'and the magnetic layers 26, 26'. Furthermore, if a protective film such as diamond-like carbon (DLC) is coated on the uppermost layer, this protective film improves the contact durability and enables multiple times of magnetic transfer. Further, a Si film may be formed under the DLC protective film by sputtering or the like.

図５は、この磁気転写の基本工程を説明するための図であり、図５（ａ）は磁場を一方向に印加してスレーブディスク１６を初期直流磁化する工程、（ｂ）はマスターディスク１０とスレーブディスク１６とを密着して反対方向磁界を印加する工程、（ｃ）は磁気転写後の状態をそれぞれ示す図である。尚、図５においてスレーブディスク１６についてはその下面記録面１６ｄのみを示している。   FIG. 5 is a diagram for explaining the basic process of this magnetic transfer. FIG. 5A is a process in which a magnetic field is applied in one direction and the slave disk 16 is initially DC magnetized, and FIG. (C) is a view showing a state after magnetic transfer, respectively, in which a magnetic field in the opposite direction is applied by closely contacting the slave disk 16 and the magnetic disk. In FIG. 5, only the lower surface recording surface 16d of the slave disk 16 is shown.

図５( ａ) に示すように、予めスレーブディスク１６に初期磁界Ｈinをトラック方向の一方向に印加して初期磁化( 直流消磁) を施しておく。その後、図５( ｂ) に示すように、このスレーブディスク１６の記録面１６ｄとマスターディスク１０の基板２４の凹凸パターン１８、２０、２２に磁性層２６が被覆されてなる情報担持面とを密着させ、スレーブディスク１６のトラック方向に初期磁界Ｈinとは逆方向に転写用磁界Ｈduを印加して磁気転写を行う。その結果、図５( ｃ) に示すように、スレーブディスク１６の磁気記録面（トラック）にはマスターディスク１０の情報担持面の凹凸パターン１８、２０、２２に応じた情報（ここでは、サーボ信号、マスターディスクの製品情報、及び位置決め情報）が磁気的に転写記録される。尚、ここでは、スレーブディスク１６の下側記録面１６ｄと下側のマスターディスク１０とについて説明したが、図４に示すように、スレーブディスク１６の上側記録面１６ｅについても上側のマスターディスク１０’と密着させて同様に磁気転写を行う。スレーブディスク１６の上下記録面１６ｄ、１６ｅへの磁気転写は同時になされてもよいし、片面ずつ順次なされてもよい。尚、初期磁界および転写用磁界は、スレーブディスク１６の保持力、マスターディスク及びスレーブディスクの比透磁率を勘案して定められた値を採用することが好ましい。   As shown in FIG. 5A, initial magnetization (DC demagnetization) is applied to the slave disk 16 in advance by applying an initial magnetic field Hin in one direction in the track direction. Thereafter, as shown in FIG. 5 (b), the recording surface 16d of the slave disk 16 and the information carrying surface formed by covering the concave / convex patterns 18, 20, and 22 of the substrate 24 of the master disk 10 with the magnetic layer 26 are brought into close contact with each other. Then, magnetic transfer is performed by applying a transfer magnetic field Hdu in the direction opposite to the initial magnetic field Hin in the track direction of the slave disk 16. As a result, as shown in FIG. 5C, the magnetic recording surface (track) of the slave disk 16 has information corresponding to the concave and convex patterns 18, 20, and 22 on the information carrying surface of the master disk 10 (here, the servo signal). , Master disk product information and positioning information) are magnetically transferred and recorded. Here, the lower recording surface 16d and the lower master disk 10 of the slave disk 16 have been described. However, as shown in FIG. 4, the upper master disk 10 ′ of the upper recording surface 16e of the slave disk 16 is also shown. In the same manner, magnetic transfer is performed. Magnetic transfer to the upper and lower recording surfaces 16d and 16e of the slave disk 16 may be performed simultaneously, or may be sequentially performed one side at a time. The initial magnetic field and the transfer magnetic field preferably employ values determined in consideration of the holding force of the slave disk 16 and the relative magnetic permeability of the master disk and the slave disk.

本発明のマスターディスクの一例を示す上面図The top view which shows an example of the master disk of this invention 図１のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線に沿った断面図Sectional drawing along the AA line of FIG. 1, BB line, and CC line マスターディスク表面の微細凹凸パターンを示す部分拡大斜視図Partial enlarged perspective view showing fine uneven pattern on the surface of the master disk 磁気転写におけるマスターディスクとスレーブディスクを示す斜視図Perspective view showing master disk and slave disk in magnetic transfer 磁気転写の基本工程を説明する説明図Explanatory drawing explaining the basic process of magnetic transfer

符号の説明Explanation of symbols

１０、１０’…マスターディスク、１２…内側点線、１４…外側点線、１６…スレーブディスク、１８…サーボ信号に対応する凹凸パターン、２０…マスターディスクの製品情報に対応する凹凸パターン、２２…位置決め情報に対応する凹凸パターン、２２Ａ…位置決め情報に対応する凹凸パターンのうちの円周状位置決めマーク、２２Ｂ…ポイント状位置決めマーク、２４…基板、２６…磁性層   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 10 '... Master disk, 12 ... Inner dotted line, 14 ... Outer dotted line, 16 ... Slave disk, 18 ... Uneven pattern corresponding to servo signal, 20 ... Uneven pattern corresponding to product information of master disk, 22 ... Positioning information Concavo-convex pattern corresponding to, 22A ... circumferential positioning mark of concavo-convex pattern corresponding to positioning information, 22B ... point-shaped positioning mark, 24 ... substrate, 26 ... magnetic layer

Claims (11)

被転写用ディスクに情報を転写するための凹凸パターンを備えたマスターディスクの製造方法において、
前記情報に対応する凹凸パターンをマスターディスクにパターン形成する際に、前記情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンをパターン形成することを特徴とするマスターディスクの製造方法。 In the manufacturing method of a master disk provided with a concavo-convex pattern for transferring information to a disk for transfer,
A method of manufacturing a master disk, comprising forming a concavo-convex pattern corresponding to positioning information associated with the concavo-convex pattern position of the information when patterning the concavo-convex pattern corresponding to the information on the master disk. 前記情報内には、前記マスターディスクの製品情報を含むことを特徴とする請求項１のマスターディスクの製造方法。   2. The method of manufacturing a master disk according to claim 1, wherein the information includes product information of the master disk. 前記転写は磁気転写であることを特徴とする請求項１又は２のマスターディスクの製造方法。   3. The method of manufacturing a master disk according to claim 1, wherein the transfer is magnetic transfer. 前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、前記マスターディスクの円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマークと、該円周状位置決めマーク上の少なくとも１カ所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマークとから成ると共に、前記ポイント状位置決めマークの直近に、前記製品情報に対応する凹凸パターンがパターン形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１のマスターディスクの製造方法。   The concavo-convex pattern corresponding to the positioning information is formed in a pattern in a point shape at at least one location on the circumferential positioning mark and a circumferential positioning mark that is annularly formed along the circumference of the master disk. The master disk according to claim 1, wherein a concave-convex pattern corresponding to the product information is formed in the immediate vicinity of the point-shaped positioning mark. Manufacturing method. 被転写用ディスクに情報を転写するための凹凸パターンがパターン形成されたマスターディスクにおいて、
前記情報に対応する凹凸パターンと、
前記情報の凹凸パターン位置に関連づけた位置決め情報に対応する凹凸パターンと、がパターン形成されていることを特徴としたマスターディスク。 In the master disk on which a concavo-convex pattern for transferring information to the disk for transfer is patterned,
A concavo-convex pattern corresponding to the information;
A master disk, wherein a concavo-convex pattern corresponding to positioning information associated with the concavo-convex pattern position of the information is formed. 前記情報内には、前記マスターディスクの製品情報を含むことを特徴とする請求項５のマスターディスク。   6. The master disk according to claim 5, wherein the information includes product information of the master disk. 前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、前記マスターディスクの円周に沿って環状にパターン形成された円周状位置決めマークと、該円周状位置決めマーク上の少なくとも１カ所にポイント状にパターン形成されたポイント状位置決めマークとから成ると共に、前記ポイント状位置決めマークの直近に、前記製品情報に対応する凹凸パターンがパターン形成されていることを特徴とする請求項５又は６のマスターディスク。   The concavo-convex pattern corresponding to the positioning information is formed in a pattern in a point shape at at least one location on the circumferential positioning mark and a circumferential positioning mark that is annularly formed along the circumference of the master disk. 7. The master disk according to claim 5 or 6, wherein a concave-convex pattern corresponding to the product information is formed in the immediate vicinity of the point-shaped positioning mark. 前記ポイント状位置決めマークは前記円周状位置決めマーク上の複数箇所にパターン形成されていることを特徴とする請求項５〜７の何れか１のマスターディスク。   8. The master disk according to claim 5, wherein the point-shaped positioning marks are patterned at a plurality of locations on the circumferential positioning marks. 前記情報に対応する凹凸パターンと、前記位置決め情報に対応する凹凸パターンは、転写後に視覚的に認識可能であることを特徴とする請求項５〜８の何れか１のマスターディスク。   9. The master disk according to claim 5, wherein the uneven pattern corresponding to the information and the uneven pattern corresponding to the positioning information are visually recognizable after transfer. 請求項５〜９の何れか１のマスターディスクにより転写された被転写用ディスクであって、転写により形成された情報に対応する凹凸パターンと、位置決め情報に対応する凹凸パターンは、磁気現像により視覚的に認識可能であることを特徴とするスレーブディスク。   A transfer target disk transferred by the master disk according to claim 5, wherein the concavo-convex pattern corresponding to the information formed by the transfer and the concavo-convex pattern corresponding to the positioning information are visualized by magnetic development. A slave disk characterized by being recognizable. 請求項５〜請求項９の何れか１の凹凸パターンを有することを特徴とするマスターディスク原盤。   A master disk master having the uneven pattern according to any one of claims 5 to 9.
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