JP2006121040A - ステージ装置(stageapparatus) - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ装置1において、ベース7と、ベース7に対して相対移動可能に設けられたステージ5と、ベースに対してステージ5を相対移動させるように設けられた複数の駆動ユニット10、30、50とを含み、各駆動ユニット10、30、50は、ベース7に対してステージ5方向に移動可能に設けられた第1領域及び第1領域の移動方向に垂直な方向に移動可能に設けられた第2領域を有するリンク11、31、51と、リンク11、31、51の第1領域がステージ5を移動させるようにリンクの第2領域を移動させるリンク駆動部25、45、65とを含む。
【選択図】図1
Description
X1=Y+R2/cosθ−R2
X2=X+R1/cosθ−R0tanθ−R1
X3=X+R1/cosθ+R0tanθ−R1
従って、上記の式によってステージ5の移動量X、Y、θが決定されると、各駆動ユニット10、30、50の移動量X1、X2、X3が決定されることができる。
5 ステージ
7 ベース
10 第1駆動ユニット
11 第1リンク
13 接触スライダー
15 補助スライダー
17 固定型ガイド
18 固定型補助ガイド
21 駆動スライダー
23 移動型ガイド
25 第1リンク駆動部
28 第1弾性部材
30 第2駆動ユニット
31 第2リンク
45 第2リンク駆動部
48 第2弾性部材
50 第3駆動ユニット
51 第3リンク
65 第3リンク駆動部
68 第3弾性部材
Claims (8)
- ステージ装置において、
ベースと、
前記ベースに対して相対移動可能に設けられたステージと、
前記ベースに対して前記ステージを相対移動させるように設けられた複数の駆動ユニットとを含み、
前記各駆動ユニットは、
前記ベースに対して前記ステージ方向に移動可能に設けられた第1領域及び前記第1領域の移動方向に垂直な方向に移動可能に設けられた第2領域を有するリンクと、
前記リンクの第1領域が前記ステージを移動させるように前記リンクの第2領域を移動させるリンク駆動部とを含むことを特徴とするステージ装置。 - 前記各駆動ユニットは、
前記リンクの第1領域に前記ステージと接触可能に設けられた接触スライダーと、
前記リンクの第2領域及び前記リンク駆動部に結合され前記リンク駆動部によって移送される駆動スライダーと、
前記ベースに対して支持されて前記接触スライダーを案内する固定型ガイドと、
前記ベースに対して移動可能に設けられ前記駆動スライダーを案内する移動型ガイドとをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載のステージ装置。 - 前記各駆動ユニットは、
前記リンクの第1領域及び第2領域と三角形をなす前記リンクの第3領域に前記接触スライダーの移動方向と垂直な方向に移動可能に設けられた補助スライダーと、
前記ベースに対して支持されて前記補助スライダーを案内する固定型補助ガイドとを含むことを特徴とする、請求項2に記載のステージ装置。 - 前記各駆動ユニットは、前記ベース及び前記ステージに結合されて前記リンクの第1領域が前記ステージを加圧する方向の反対方向に弾性力を提供する弾性部材をさらに含むことを特徴とする、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のステージ装置。
- 前記弾性部材は、前記ステージが前記リンクの第1領域に対して接触可能なように弾性力を提供することを特徴とする、請求項4に記載のステージ装置。
- 前記複数の駆動ユニットは、第1駆動ユニット、第2駆動ユニット及び第3駆動ユニットを含み、
前記第1駆動ユニットは、前記ステージの第1端部に接触可能に設けられ、第2駆動ユニット及び第3駆動ユニットは、前記ステージの第1端部と垂直をなす前記ステージの第2端部に接触可能に設けられたことを特徴とする、請求項1に記載のステージ装置。 - 前記複数の駆動ユニットは、第1駆動ユニット、第2駆動ユニット及び第3駆動ユニットを含み、
前記第1駆動ユニットは、前記ステージの第1端部に接触可能に設けられ、第2駆動ユニット及び第3駆動ユニットは、前記ステージの第1端部と垂直をなす前記ステージの第2端部に接触可能に設けられたことを特徴とする、請求項4に記載のステージ装置。 - 前記リンク駆動部は、駆動モータと、一側が前記移動型ガイドに結合され他側が前記駆動モータによって移動可能に設けられたロッドとを含むことを特徴とする、請求項2に記載のステージ装置。
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- 2004-10-19 KR KR1020040083718A patent/KR100541461B1/ko not_active IP Right Cessation
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- 2005-07-25 JP JP2005214778A patent/JP4220505B2/ja not_active Expired - Fee Related
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