JP2006114605A - 窒化物半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、対向する2つの共振器面に対して略垂直な水平方向光閉じ込めリッジストライプ構造を有する窒化物半導体レーザ素子において、前記ストライプ構造は、少なくとも狭ストライプ領域および移行領域を含み、前記狭ストライプ領域の幅W1は、1.3μm〜1.8μmの範囲内であり、かつ狭ストライプ領域の長さL1は、150μm以上であり、前記移行領域の最大幅W3は、2μm〜4μmの範囲内であり、前記狭ストライプ領域の長さL1は、前記ストライプ構造の全長Lに対して85%以下であり、前記狭ストライプ領域に対する前記移行領域の広がり角θが2°以下であることを特徴とする窒化物半導体レーザ素子を提供する。
【選択図】 図1
Description
本実施例において、図1および2に示すような窒化物半導体レーザ素子を作製した。半導体層等の具体的な構造は、図5に示すような構造を用いた。リッジストライプ部の形状および寸法を図6に示す。図6において、W1=1.4μm、L1=150μm、W2=2.4μm、L2=430μm、L3=20μm、θ=1.57°である。このような構造の窒化物半導体レーザ素子の特性を評価したところ、閾値電流Ith=42mA、スロープ効率SE=1.2、FFPは単峰であり、実用上全く問題ない特性であることが分かった。また、光出力30mW時の駆動電圧は、4.8Vで、90mWまでキンクは発生しなかった。
上記実施例に対して、幅1.4μmで共振器長600μmの単調ストライプ構造を有する以外は同様にして窒化物半導体レーザ素子を作製した。この素子では、キンクに関しては、同じく90mWまで発生しなかったものの、光出力30mW時の駆動電圧は6.4Vと実施例の素子に比べ悪化していた。また、比較例における幅2.5μmで共振器長600μmの単調ストライプ構造では、光出力30mW時の駆動電圧に関しては、4.6Vと十分に低かったが、キンクが35mWで発生した。
Claims (7)
- 対向する2つの共振器面に対して略垂直な水平方向光閉じ込めリッジストライプ構造を有する窒化物半導体レーザ素子において、
前記ストライプ構造は、少なくとも狭ストライプ領域および移行領域を含み、
前記狭ストライプ領域の幅W1は、1.3μm〜1.8μmの範囲内であり、かつ狭ストライプ領域の長さL1は、150μm以上であり、
前記移行領域の最大幅W3は、2μm〜4μmの範囲内であり、
前記狭ストライプ領域の長さL1は、前記ストライプ構造の全長Lに対して85%以下であり、
前記狭ストライプ領域に対する前記移行領域の広がり角θが2°以下であることを特徴とする、窒化物半導体レーザ素子。 - 前記ストライプ構造の全長Lは、300μm〜1500μmの範囲内であることを特徴とする、請求項1に記載の窒化物半導体レーザ素子。
- 広ストライプ領域の幅W2は、2.0μm〜4.0μmの範囲内であり、かつ前記広ストライプ領域の長さL2は、150μm以上であることを特徴とする、請求項1または2に記載の窒化物半導体レーザ素子。
- リッジストライプ構造の全長Lは、400μm以上1000μm以下であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の窒化物半導体レーザ素子。
- リッジストライプ構造において、狭ストライプ領域、移行領域、広ストライプ領域、移行領域および狭ストライプ領域がこの順番で形成されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の窒化物半導体レーザ素子。
- リッジストライプ構造において、狭ストライプ領域および移行領域のみから形成されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の窒化物半導体レーザ素子。
- リッジストライプ構造において、狭ストライプ領域、移行領域、広ストライプ領域および移行領域がこの順番で形成されて1つのユニットをなし、該ユニットが繰り返し形成されていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の窒化物半導体レーザ素子。
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