JP2006084339A - 半導体圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一端面を開口とする断面が凹形状に形成された角形器状外ケースと、前記外ケースを貫通してなる導電部材と、圧力を検知して検知レベルに応じた電気信号を発生する矩形状の半導体圧力センサチップと、前記半導体圧力センサチップと前記導電部材とを導通させるワイヤーとを備え、前記半導体圧力センサチップの受圧面と前記外ケースの開口とが一致する向きにて前記半導体圧力センサチップを前記外ケース内部に搭載し、前記外ケース内に保護部材を充填してなる半導体圧力センサにおいて、前記導電部材が前記外ケースの辺の中央部に対向する位置に、前記外ケースの内壁部に接触した状態で埋設されて成る半導体圧力センサとする。
【選択図】 図1
Description
前記外ケースを貫通してなる導電部材と、圧力を検知して検知レベルに応じた電気信号を発生する矩形状の半導体圧力センサチップと、前記半導体圧力センサチップと前記導電部材とを導通させるワイヤーとを備え、前記半導体圧力センサチップの受圧面と前記外ケースの開口とが一致する向きにて前記半導体圧力センサチップを前記外ケース内部に搭載し、前記外ケース内に保護部材を充填してなる半導体圧力センサにおいて、前記導電部材が前記外ケースの辺の中央部に対向する位置に、前記外ケースの内壁部に接触した状態で埋設されて成る半導体圧力センサとする。
以下、本発明の具体的実施例を図に基づいて詳細に説明する。
図1において、21はセラミック製の角形器状の外ケースで、該外ケースの角形状の辺に相当する部分に対向して角柱状金属導電部材22aから22dが配置されている。また、前記角柱状金属導電部材22aから22dはそれぞれ前記外ケースの内壁部に接触した状態で埋設されている。該構成により、外ケース21の外部側面からの外力に対する強度を向上させており、半導体圧力センサチップ3(以下単にチップという)への悪影響を軽減させる構造としている。また、外ケース21の底面部を貫通した形態で角柱状金属導電部材22aから22dはガラス接着(図2で説明)により配置固定している。この角柱状金属導電部材22aから22dの上端面は、ボンディングワイヤー4が接続され、外ケース1の外部とチップ3が導通となる。ボンディングワイヤー4には金線が利用されているため、その接続強度を得るために角柱状金属導電部材22aから22dの少なくとも上端面(ボンディングワイヤー4を接続する面)は金メッキにて表面処理されている。さらに、角形器状の外ケース1のおおむね中央部にチップ3が、接着材により固定配置されている(接着剤は不図示)。該チップ3の辺の中央部外側に前記導電部材22aから22dが配置される構成である。
2a 金属ピン
2b 金属ピン
2c 金属ピン
2d 金属ピン
3 半導体圧力センサチップ
4 ボンディングワイヤー
5 ガラス接着材
6 ボンディングパッド
21 外ケース
22a 角柱状金属導電部材
22b 角柱状金属導電部材
22c 角柱状金属導電部材
22d 角柱状金属導電部材
25 ガラス接着材
Claims (2)
- 一端面を開口とする断面が凹形状に形成された角形器状外ケースと、
前記外ケースを貫通してなる導電部材と、
圧力を検知して検知レベルに応じた電気信号を発生する矩形状の半導体圧力センサチップと、
前記半導体圧力センサチップと前記導電部材とを導通させるワイヤーとを備え、
前記半導体圧力センサチップの受圧面と前記外ケースの開口とが一致する向きにて前記半導体圧力センサチップを前記外ケース内部に搭載し、前記外ケース内に保護部材を充填してなる半導体圧力センサにおいて、
前記導電部材が前記外ケースの辺の中央部に対向する位置に、前記外ケースの内壁部に接触した状態で埋設されて成ることを特徴とする半導体圧力センサ。 - 前記導電部材が、前記外ケースの辺の中央部に対向する位置であって、且つ、前記半導体圧力センサチップの辺の中央部と対向する位置に埋設されていることを特徴とする請求項1記載の半導体圧力センサ。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11493402B2 (en) * | 2020-03-31 | 2022-11-08 | Denso Corporation | Pressure sensor for evaporated fuel leak detector |
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