JP2006080738A - 圧電デバイス及び電子機器、並びに圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 TABテープを介して圧電素子をパッケージに実装した構成において、TABテープの振動を抑えることができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス1は、圧電素子2を収容するパッケージ3と、そのパッケージ3に収容され、絶縁テープ6の下面6Aに配線パターン8が設けられたTABテープ5と、パッケージ3のうち、下面6Aに対向する上面3Aaの一部の領域に設けられた電極部10とを備えている。そして、下面6Aに設けられた配線パターン8の一部と上面3Aaに設けられた電極部10とが接続され、下面6Aと上面3Aaとの間には、下面6A及び上面3Aaのそれぞれに接続し、TABテープ5の振動を抑えるための樹脂20が設けられている。
【選択図】 図1
【解決手段】 圧電デバイス1は、圧電素子2を収容するパッケージ3と、そのパッケージ3に収容され、絶縁テープ6の下面6Aに配線パターン8が設けられたTABテープ5と、パッケージ3のうち、下面6Aに対向する上面3Aaの一部の領域に設けられた電極部10とを備えている。そして、下面6Aに設けられた配線パターン8の一部と上面3Aaに設けられた電極部10とが接続され、下面6Aと上面3Aaとの間には、下面6A及び上面3Aaのそれぞれに接続し、TABテープ5の振動を抑えるための樹脂20が設けられている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、圧電デバイス及び電子機器、並びに圧電デバイスの製造方法に関するものである。
従来より、圧電デバイスは、加速度検出器や角速度検出器、あるいは移動体通信機器等の様々な電子機器に用いられている。下記特許文献1には、TABテープを介して圧電素子をパッケージに実装した技術が開示されている。
特開2004−153408号公報
上記特許文献に開示されている技術は、TABテープを介して圧電素子をパッケージに実装しており、圧電素子の接続破壊を抑えることができる等の利点を有している。しかしながら、圧電素子を駆動したとき、TABテープも一緒に振動する不都合が生じる場合があることが分かった。特に、圧電素子の駆動に基づいてTABテープが共振すると、発生する振動のレベルが大きくなる。そのため、この圧電デバイスを角速度検出器として用いた場合、検出精度が劣化する不都合が生じる。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、TABテープを介して圧電素子をパッケージに実装した構成において、TABテープの振動を抑えることができる圧電デバイス及びその圧電デバイスを備えた電子機器、並びに圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の圧電デバイスは、圧電素子を収容するパッケージを備えた圧電デバイスであって、前記パッケージに収容され、絶縁テープの第1面に第1導電部が設けられたTABテープと、前記パッケージのうち、前記第1面に対向する第2面の一部の領域に設けられた第2導電部とを備え、前記第1面に設けられた前記第1導電部の一部と前記第2面に設けられた第2導電部とが接続され、前記第1面と前記第2面との間には、前記第1面及び前記第2面のそれぞれに接続し、前記TABテープの振動を抑えるための樹脂が設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、TABテープとパッケージとの間に樹脂を設けることにより、その樹脂によってTABテープの共振周波数を変えることができ、TABテープの共振を抑えることができる。また、樹脂によるダンパ効果によってもTABテープの振動を抑えることができる。したがって、この圧電デバイスを例えば角速度検出器(ジャイロセンサ)に適用した場合であっても、その角速度検出器の検出精度の劣化を抑えることができる。
本発明の圧電デバイスにおいて、前記樹脂は、前記第2導電部が設けられた以外の領域に設けられている構成を採用することができる。
本発明によれば、第2導電部が設けられた以外の領域に樹脂を設けることで、その樹脂が絶縁性材料であっても、第1導電部と第2導電部との電気的な接続を確保することができる。
本発明の圧電デバイスにおいて、前記第2導電部は複数設けられており、前記樹脂は前記第2導電部どうしの間の領域に設けられている構成を採用することができる。
本発明によれば、複数設けられた第2導電部どうしの間の領域に樹脂を設けることで、TABテープの振動を効果的に抑えることができる。
本発明の圧電デバイスにおいて、前記樹脂は、前記第1面及び前記第2面に応じて環状に設けられている構成を採用することができる。
本発明によれば、第1面及び第2面が環状に設けられている場合、その第1面及び第2面の形状に応じて樹脂も環状に設けることで、TABテープの振動をより効果的に抑えることができる。
本発明の圧電デバイスにおいて、前記樹脂は異方性導電材料を含む構成を採用することができる。
本発明によれば、たとえ第1導電部と第2導電部との間に樹脂が配置された場合であっても、その樹脂は、異方性導電膜(ACF:anisotropic conductive film)や異方性導電ペースト(ACP:anisotropic conductive paste、NCP:Non Conductive Paste)を含む異方性導電性材料であるため、第1導電部と第2導電部との電気的な接続を確保することができる。
本発明の圧電デバイスにおいて、前記第1導電部と前記第2導電部との間には該第1導電部と第2導電部とを接続するための接続用材料が介在しており、前記第1導電部及び前記第2導電部のうち少なくとも前記接続用材料と接触する領域は粗面処理されている構成を採用することができる。
本発明によれば、第1導電部及び第2導電部のうち少なくとも接続用材料と接触する領域を粗面処理しておくことで、その接続用材料と前記領域との接触面積を大きくすることができ、接着強度を向上することができる。
本発明の電気機器は、上記記載の圧電デバイスを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、不要な振動(共振)の発生を抑えられた圧電デバイスを含む検出器を搭載することによって、検出精度の向上された検出器を有する電子機器を提供することができる。
本発明の圧電デバイスの製造方法は、TABテープを構成する絶縁テープの第1面に設けられた第1導電部と、圧電素子を収容するパッケージの内側の第2面に設けられた第2導電部とを接続する工程を有する圧電デバイスの製造方法であって、前記第1面と前記第2面との間に樹脂を設けた状態で前記第1面と前記第2面とを接近させ、前記第1導電部の一部と前記第2導電部とを電気的に接続するとともに、前記第1面と前記第2面との間のうち前記第2導電部が設けられた以外の領域に、前記第1面及び前記第2面のそれぞれに接続するように前記樹脂を配置することを特徴とする。
本発明によれば、TABテープとパッケージとの間に樹脂を設けることにより、その樹脂によってTABテープの共振周波数を変えることができ、TABテープの共振を抑えることができる。また、樹脂によるダンパ効果によってもTABテープの振動を抑えることができる。また、樹脂は第2導電部が設けられた以外の領域に配置されるので、その樹脂が絶縁性材料であっても、第1導電部と第2導電部との電気的な接続を確保することができる。したがって、この圧電デバイスを例えば角速度検出器(ジャイロセンサ)に適用した場合であっても、その角速度検出器の検出精度の劣化を抑えることができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内における所定方向をX軸方向、水平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向のそれぞれに直交する方向(すなわち鉛直方向)をZ軸方向とする。更には、X軸、Y軸、及びZ軸まわりの回転方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
<圧電デバイス>
圧電デバイスの一実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は本実施形態に係る圧電デバイス1の側断面図、図2は圧電デバイス1の一部を抽出した斜視図である。本実施形態においては、圧電デバイス1として、角速度を検出するための角速度検出器(ジャイロセンサ)に適用した場合を例にして説明する。
圧電デバイスの一実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は本実施形態に係る圧電デバイス1の側断面図、図2は圧電デバイス1の一部を抽出した斜視図である。本実施形態においては、圧電デバイス1として、角速度を検出するための角速度検出器(ジャイロセンサ)に適用した場合を例にして説明する。
図1及び図2において、圧電デバイス1は、圧電素子2と、その圧電素子2を収容するパッケージ3とを備えている。本実施形態においては、圧電素子2として音叉型の圧電振動片が用いられている。パッケージ3は、ベース部材3Aと、ベース部材3A上に接続された枠部材3Bと、枠部材3Bの上端面に接続された蓋部材3Cとを備えており、その内側に、圧電素子2を収容するための内部空間4が形成されている。パッケージ3を形成する材料としては、例えばセラミックス、ガラス、金属、及び合成樹脂等が挙げられる。
圧電素子2はパッケージ3の内部空間4に収容されている。圧電素子2は、例えば水晶等の圧電材料で形成されている。そして、圧電素子2は、TABテープ5を介してパッケージ3に実装されている。TABテープ5もパッケージ3の内部空間4に収容されている。TABテープ5は、ポリイミド樹脂等からなる絶縁テープ6と、その絶縁テープ6の下面(第1面)6Aに設けられた導電性を有する配線パターン8とを備えている。絶縁テープ6の中央部には開口部7が形成されている。したがって、絶縁テープ6は全体として環状に形成されており、その下面6Aも環状に形成されている。また、配線パターン8は絶縁テープ6の周縁部から中央部に向かって延びるように形成されており、その中央部側の端部は開口部7に配置されている。その配線パターン8の中央部側(開口部7側)の端部は、絶縁テープ6の下面6A側から上面側に向かって立ち上がるように形成されており、圧電素子2と電気的に接続される実装端子9を形成している。圧電素子2は配線パターン8の実装端子9とに電気的に接続している。図2に示すように、配線パターン8は、開口部7を挟んで、絶縁テープ6の+X側及び−X側のそれぞれに複数ずつ(ここでは3つずつ、計6つ)設けられている。そして、各配線パターン8は開口部7の内側に向かって延びるように形成されており、開口部7の内側に配線パターン8に応じた複数の実装端子9が配置されている。また、パッケージ3の内側において、TABテープ5の下面6A側には集積回路部11が設けられている。TABテープ5の配線パターン8は、集積回路部11をバンプ12を介して接続可能なように形成されており、集積回路部11は、配線パターン8に対して例えばフリップチップボンディング等により接続されている。
パッケージ3の内側であって、ベース部材3Aの上面(第2面)3Aaには複数の電極部10が設けられている。電極部10が設けられているベース部材3Aの上面3Aaは、TABテープ5のうち、配線パターン8が形成された絶縁テープ6の下面6Aと対向している。そして、TABテープ5のうち、下面6Aに設けられた配線パターン8の一部と、上面3Aaに設けられた電極部10とが電気的に接続している。また、ベース部材3Aの下面3Abには、電極部10と電気的に接続し、圧電デバイス1とプリント配線板の実装領域との接続端子として機能する外部端子(不図示)が設けられる。
TABテープ5(絶縁テープ6)の下面6Aとベース部材3Aの上面3Aaとの間には樹脂20が設けられている。樹脂20は、TABテープ5の振動を抑えるためのものであって、図2に示すように、下面6Aと上面3Aaとの間において、電極部10が設けられている以外の領域に設けられており、下面6Aと上面3Aaとのそれぞれに接続(密着)している。すなわち、樹脂20は、下面6Aと上面3Aaとの間において、少なくとも配線パターン8と電極部10とが接続している接続領域以外の領域に配置されている。樹脂20としては、導電粒子を含まない異方性導電接続用ペースト(NCP:Non Conductive Paste)、導電粒子を含む異方性導電接続用ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)、導電粒子を含む異方性導電接続用フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)等の異方性導電材料を用いることができる。あるいは、絶縁性を有する公知の合成樹脂であってもよい。
本実施形態においては、樹脂20としてACPが用いられており、下面6Aと上面3Aaとの間において、電極部10が設けられている領域にも設けられている。このACPからなる樹脂20は、配線パターン8と電極部10とを接続する接続用材料として機能し、配線パターン8と電極部10とを電気的及び物理的に接続している。
図3はパッケージ3のベース部材3Aを上から見た図である。図3に示すように、電極部10は、ベース部材3Aの上面3Aaにおいて、配線パターン8のそれぞれに対応する位置に複数(6つ)設けられている。樹脂20は、複数設けられた電極部10どうしの間の領域にも設けられており、本実施形態においては、環状に設けられた絶縁テープ6の下面6A及びその下面6Aに対向するベース部材3Aの上面3Aaの形状に応じて、環状に配置されている。
図4は、配線パターン8と電極部10との接続部近傍の拡大断面図である。図4に示すように、配線パターン8のうち接続用材料(樹脂)20と接触する領域は粗面処理されている。本実施形態においては、粗面処理として、配線パターン8の表面(下面)には多数のV溝が形成されている。なお粗面処理としては、図5に示すように、断面視矩形状の四角溝であってもよい。あるいは、サンドブラストに基づく手法によって粗面処理が施されていてもよい。また、配線パターン8のみならず、電極部10が粗面処理されていてもよいし、電極部10のみが粗面処理されていてもよい。配線パターン8及び電極部10のうち少なくとも接続用材料20と接触する領域を粗面処理しておくことで、接続用材料20と前記領域との接触面積を大きくすることができ、接着強度を向上することができる。
図2に示すように、圧電素子2は、基部15と、その基部15の一方側(+X側)に延びる一対の励振用振動片16と、基部15の他方側(−Y側)に延びる検出用振動片17とを備えている。励振用振動片16のそれぞれには、この励振用振動片16を励振するための励振電極18が設けられており、検出用振動片17には、この検出用振動片17から発生した電界を検出するための検出電極19が設けられている。
圧電素子2においては、励振電極18に駆動電圧が印加されると、励振用振動片16が、図2中、Y軸方向にいわゆる音叉振動する。励振用振動片16の振動(音叉振動)は検出用振動片17に伝達され、励振用振動片16の振動に伴って、検出用振動片17もY軸方向に音叉振動する。そして、検出用振動片17がY軸方向に振動した状態で、圧電素子2がθX方向に回転すると、すなわち、θX方向に角速度ωが作用すると、振動方向(Y軸方向)と角速度ωとのベクトル積の方向に働くコリオリ力により、検出用振動片17にはZ軸方向への振動が発生する。なおこのとき、検出用振動片17のそれぞれは、+Z方向と−Z方向とに交互に振動するようになっている(ウォーク振動)。この検出用振動片17のZ軸方向への振動もしくは変位により、検出用振動片17内部に電界が生じる。検出用振動片17内部に生じた電界は、検出電極19によって検出される。検出電極19の検出信号は、TABテープ5の配線パターン8、電極部10、及び上述したベース部材3Aの下面3Abに設けられた外部端子を介して圧電デバイス1の外部に出力される。そして、圧電デバイス1の外部に設けられている処理装置(不図示)が、検出電極8の検出結果に基づいて、角速度ωを求めることができる。
<圧電デバイスの製造方法>
次に、上述した構成を有する圧電デバイス1を製造する手順について説明する。まず、図6(A)に示すように、ベース部材3Aの上面3Aaに電極部10が形成される。電極部10は、例えば電界メッキ法や無電界メッキ法などの公知の技術によって形成可能である。そして、本実施形態においては、配線パターン8と電極部10とはACPからなる樹脂20によって接続されるので、図3に示したように、電極部10上を含む上面3Aa上に、環状に樹脂20が配置される。樹脂20を配置する場合には、例えばディスペンサーやインクジェット装置(液滴吐出装置)を用いることができる。そして、図6(B)に示すように、電極部10と配線パターン8とを位置決めしつつ、上面3AaとTABテープ5の下面6Aとを対向させ、上面3Aaと下面6Aとを接近させる。次いで、図6(C)に示すように、TABテープ5(絶縁テープ6)の上面のうち、電極部10と配線パターン8とが対向する領域のみを押圧部材100を使って下方に押圧する。これにより、電極部10と配線パターン8との間に配置された樹脂20に圧力が加わる。電極部10と配線パターン8とを接続する接続用材料としてACPが用いられているので、圧力が加わった領域のみにおいて導電性が付与される。したがって、上面3Aaのほぼ全域に樹脂20を配置しても、電極部10と配線パターン8とが対向する領域のみを押圧部材100を使って押圧することで、電極部10と配線パターン8との電気的な接続が確保されるとともに、隣り合う電極部10どうし及び隣り合う配線パターン8どうしが電気的に接続されることを防止できる。これにより、配線パターン8と電極部10とが樹脂20を介して電気的に接続されるとともに、電極部10が設けられた以外の領域に、上面3Aa及び下面6Aのそれぞれに接続するように、TABテープ5の振動を抑えるための樹脂20が配置される。
次に、上述した構成を有する圧電デバイス1を製造する手順について説明する。まず、図6(A)に示すように、ベース部材3Aの上面3Aaに電極部10が形成される。電極部10は、例えば電界メッキ法や無電界メッキ法などの公知の技術によって形成可能である。そして、本実施形態においては、配線パターン8と電極部10とはACPからなる樹脂20によって接続されるので、図3に示したように、電極部10上を含む上面3Aa上に、環状に樹脂20が配置される。樹脂20を配置する場合には、例えばディスペンサーやインクジェット装置(液滴吐出装置)を用いることができる。そして、図6(B)に示すように、電極部10と配線パターン8とを位置決めしつつ、上面3AaとTABテープ5の下面6Aとを対向させ、上面3Aaと下面6Aとを接近させる。次いで、図6(C)に示すように、TABテープ5(絶縁テープ6)の上面のうち、電極部10と配線パターン8とが対向する領域のみを押圧部材100を使って下方に押圧する。これにより、電極部10と配線パターン8との間に配置された樹脂20に圧力が加わる。電極部10と配線パターン8とを接続する接続用材料としてACPが用いられているので、圧力が加わった領域のみにおいて導電性が付与される。したがって、上面3Aaのほぼ全域に樹脂20を配置しても、電極部10と配線パターン8とが対向する領域のみを押圧部材100を使って押圧することで、電極部10と配線パターン8との電気的な接続が確保されるとともに、隣り合う電極部10どうし及び隣り合う配線パターン8どうしが電気的に接続されることを防止できる。これにより、配線パターン8と電極部10とが樹脂20を介して電気的に接続されるとともに、電極部10が設けられた以外の領域に、上面3Aa及び下面6Aのそれぞれに接続するように、TABテープ5の振動を抑えるための樹脂20が配置される。
以上説明したように、TABテープ5の下面6Aとパッケージ3のベース部材3Aの上面3Aaとの間に樹脂20を設けることにより、その樹脂20によってTABテープ5の共振周波数を変えることができ、TABテープ5の共振を抑えることができる。また、樹脂20によるダンパ効果によってもTABテープ5の振動を抑えることができる。したがって、この圧電デバイス1を例えば角速度検出器(ジャイロセンサ)に適用した場合であっても、その角速度検出器の検出精度の劣化を抑えることができる。
なお、上述した実施形態においては、電極部10上を含む上面3Aa上に、環状に一括して樹脂20を配置しているが、電極部10上に導電性ペースト(例えば銀ペースト)等の導電性材料を配置し、その導電性材料を介して、電極部10と配線パターン8とを電気的に接続するようにしてもよい。そして、電極部10が設けられた以外の領域に、例えば絶縁性の樹脂20を配置するようにしてもよい。
なお、上述した実施形態においては、ベース部材3Aの上面3Aa上に樹脂を配置した後、上面3AaとTABテープ5の下面6Aとを接近しているが、もちろん、TABテープ5の下面6Aに樹脂(あるいは導電性材料)を配置した後、上面3Aaと下面6Aとを接近させてもよいし、上面3Aa及び下面6Aの双方に樹脂を配置した後、それら上面3Aaと下面6Aとを接近させてもよい。また、樹脂を配置する場合、TABテープ5の振動を抑えることができるのであれば、下面6A及び上面3Aaの形状に応じて環状に配置することなく、あるいは電極部10どうしの間の領域に配置することなく、上面3Aaと下面6Aとの間の所定の位置に樹脂20を配置することができる。
<電子機器>
図7は、上記プリント配線板9に実装された圧電デバイス1を含む検出器(ジャイロセンサ)を備えた電子機器の一例を示す図であって、デジタルスチールカメラの概略構成を示す斜視図である。図7に示すようにこのデジタルスチールカメラ300は、前記半導体装置をその筐体内部に配設したものである。
図7は、上記プリント配線板9に実装された圧電デバイス1を含む検出器(ジャイロセンサ)を備えた電子機器の一例を示す図であって、デジタルスチールカメラの概略構成を示す斜視図である。図7に示すようにこのデジタルスチールカメラ300は、前記半導体装置をその筐体内部に配設したものである。
1…圧電デバイス、2…圧電素子、3…パッケージ、3A…ベース部材、3Aa…上面(第2面)、5…TABテープ、6…絶縁テープ、6A…下面(第1面)、8…配線パターン(第1導電部)、10…電極部(第2導電部)、20…樹脂(接続用材料)
Claims (8)
- 圧電素子を収容するパッケージを備えた圧電デバイスであって、
前記パッケージに収容され、絶縁テープの第1面に第1導電部が設けられたTABテープと、
前記パッケージのうち、前記第1面に対向する第2面の一部の領域に設けられた第2導電部とを備え、
前記第1面に設けられた前記第1導電部の一部と前記第2面に設けられた第2導電部とが接続され、
前記第1面と前記第2面との間には、前記第1面及び前記第2面のそれぞれに接続し、前記TABテープの振動を抑えるための樹脂が設けられている圧電デバイス。 - 前記樹脂は、前記第2導電部が設けられた以外の領域に設けられている請求項1記載の圧電デバイス。
- 前記第2導電部は複数設けられており、前記樹脂は前記第2導電部どうしの間の領域に設けられている請求項1又は2記載の圧電デバイス。
- 前記樹脂は、前記第1面及び前記第2面に応じて環状に設けられている請求項1〜3のいずれか一項記載の圧電デバイス。
- 前記樹脂は異方性導電材料を含む請求項1〜4のいずれか一項記載の圧電デバイス。
- 前記第1導電部と前記第2導電部との間には該第1導電部と第2導電部とを接続するための接続用材料が介在しており、前記第1導電部及び前記第2導電部のうち少なくとも前記接続用材料と接触する領域は粗面処理されている請求項1〜5のいずれか一項記載の圧電デバイス。
- 請求項1〜請求項6のいずれか一項記載の圧電デバイスを備えた電子機器。
- TABテープを構成する絶縁テープの第1面に設けられた第1導電部と、圧電素子を収容するパッケージの内側の第2面に設けられた第2導電部とを接続する工程を有する圧電デバイスの製造方法であって、
前記第1面と前記第2面との間に樹脂を設けた状態で前記第1面と前記第2面とを接近させ、前記第1導電部の一部と前記第2導電部とを電気的に接続するとともに、前記第1面と前記第2面との間のうち前記第2導電部が設けられた以外の領域に、前記第1面及び前記第2面のそれぞれに接続するように前記樹脂を配置する圧電デバイスの製造方法。
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