JP2007033040A - 光切断法による３次元形状計測装置における光学ヘッド部のキャリブレーション方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 三次元形状計測装置における従来のキャリブレーション方法では，歪み補正プレートを用いたカメラの歪み補正と，キャリブレーションブロックを用いた高さ方向のキャリブレーションを，別々に行っているので，時間がかかり，またカメラの倍率補正は行っていない。
【解決手段】 そこで本発明では，縦方向に配置されたキャリブレーションパターンをカメラで撮影して，着目図形の中心の，画像面上の座標と，実空間における座標との対応関係を求めてマッピングテーブルとして保存し，光切断法による測定対象の測定に際しては，スリット光の着目点に対して画像面上の座標を求めると共に，着目点に近接する複数の中心の座標を抽出し，複数の画像面上の座標と着目点の画像面上の座標との相対位置関係及び複数の画像面上の座標と，それらの実空間における座標との対応関係から，着目点の実空間における座標を求める方法を提案している。
【選択図】 図１

Description

本発明は，光切断法による３次元形状計測装置における光学ヘッド部のキャリブレーション方法及び装置に関するものである。

スリット光源から扇状に拡がるスリット光を対象物に照射すると共に，対象物をカメラで撮像し，スリット光が対象物に生じる輝線により対象物の三次元形状を計測する三次元形状計測装置では，対象部分のカメラの画像上の位置と，実空間における位置とを対応させるための作業，いわゆるキャリブレーションが必要である。

このような三次元形状計測装置における代表的なキャリブレーションの方法としては，例えば図８，図９に模式的に示されるように，カメラの歪み補正をまず行い，次いで高さ補正を行う方法が行われている。

これらの図において，符号ａは光学ヘッド部を示すもので，この光学ヘッド部ａには，スリット光源ｂと，このスリット光源ｂからのスリット光の照射方向ｃに対して光軸ｄを所定角度傾斜させてカメラｅを設置している。

一方，図８において，符号ｆは，計測装置によって，例えば段差等の三次元形状を計測する物体（図示省略）を配送するための配送台であり，この配送台ｆに，４５度の斜面を有する固定ブロックｇを設置すると共に，固定ブロックｇの斜面に歪み補正プレートｈをセット可能としており，上記カメラｅは，その光軸ｄが歪み補正プレートｈの法線に一致させる配置としている。即ち，カメラｅは，図中鉛直方向に向いているスリット光の照射方向に対して，光軸を４５度傾斜させて設置している。歪み補正プレートｈは，この場合，図２に示すと同様に，平面の黒色の地に，所定の径の白色の円を，所定のピッチで縦横に配置した構成としている。一方，図９において，符号ｉは寸法，特に高さが既知のキャリブレーションブロックである。

この方法は，以上の構成において，まず図８に示すように，歪み補正プレートｈを固定ブロックｇの斜面にセットして，カメラｅにより撮影して，その画像により，カメラｅの歪み補正を行う。例えば，その画像における全ての隣接している円の中心間のピクセル数を求めて，その平均を全ピクセルのピクセル重さと仮定して，歪みの補正を行う。

次いで，図９に示すように，歪み補正プレートｈと固定ブロックｇを測定部分から外して，かわりに高さが既知のキャリブレーションブロックｉを設置し，その高さを光切断法により測定して，高さ方向のキャリブレーションを行っていた。

尚，この方法では，カメラの倍率補正は行っておらず，代わりに，より倍率変動の少ないレンズを使用していたため，長い焦点距離を必要としていた。

また従来の他のキャリブレーション方法として，特許文献１に示されるものは，光切断法による３次元計測装置のカメラパラメータおよびプロジエクタパラメータを求める方法，即ち，スリツト光の平面方程式を計測する方法に関するもので，この方法では，平面上にある第１の被検出点を，ＸＹＺテーブルで移動して，カメラで少なくとも６点を撮像することにより，ＸＹＺテーブルの座標系と，カメラの座標系との変換係数すなわちカメラパラメータを算出するステップを有し，規則的パターンを用いずにスリツト光の平面方程式の計測を行うことができるとともに，ＸＹＺテーブルの物体座標系とカメラの座標系との変換係数を求めることができるという方法を提案するものである。

また特許文献２に示されるものは，光切断法による３次元計測装置におけるキャリブレーション方法に関するもので，この方法は，３次元空間に配置され，かつ位置が既知である複数の格子点を有する平面を該平面に垂直方向に少なくとも１回移動させ，該移動前後の上記平面を上記センサ系に含まれる２次元の撮像面を有する撮像手段により撮像し，該撮像データに基づいて上記３次元空間の座標系と上記撮像面の座標系との変換係数である第１のパラメータを演算した後，上記センサ系に含まれる光源よりスリット光を上記平面に照射しつつ，上記移動と撮像とをもう１度繰り返し，該繰り返し時における撮像データを上記第１のパラメータを用いて上記撮像面の座標系に変換し，該変換データに基づいて上記スリット光の投光面を定義する第２のパラメータを演算するというものである。
特公平６−６３７４２号公報 特開平８−３５８２８号公報

以上の従来の方法では，以下に示すような課題があった。
まず，図８，図９に示される方法では，歪み補正プレートを用いたカメラの歪み補正と，キャリブレーションブロックを用いた高さ方向のキャリブレーションを，別々に行っているので，時間がかかるという欠点がある。また，この方法では，カメラの倍率変動補正は行っておらず，代わりに，より倍率変動の少ないレンズを使用していたため，長い焦点距離を必要とするという課題があった。

また特許文献１に示されるキャリブレーション方法では，キャリブレーションにおいて，ＸＹＺテーブルにより，着目点としてのマークを移動させることが必須であるため，キャリブレーションに時間がかかると共に，キャリブレーションの精度が，ＸＹＺテーブルの精度に依存してしまうという課題があった。

また特許文献２に示されるキャリブレーション方法では，位置が既知である複数の格子点を有する平面を，この平面に垂直方向に移動させることでキャリブレーションを行うことにより，三次元方向に移動させるものと比較して，移動時間と移動距離が短縮されるのであるが，テーブルを利用するため，やはり特許文献１のものと同様にキャリブレーションに時間がかかり，またキャリブレーションの精度がテーブルの精度に依存してしまうという課題があった。
本発明は以上の課題を解決することを目的とするものである。

以上の課題を解決するために，本発明では，スリット光源と，このスリット光源のスリット光の照射方向に対して光軸を傾斜させて配置したカメラとを有する光学ヘッド部をキャリブレーション台に載置すると共に，キャリブレーション台には，載置した光学ヘッド部のカメラの斜め下方位置に，多数の着目図形を平面上に縦横に配置したキャリブレーションパターンを有するキャリブレーション板を立設し，上記カメラによりキャリブレーションパターンを撮影して，その画像から上記各着目図形に対して，夫々の中心の画像面上の座標を求めると共に，それらの中心の実空間における座標を，キャリブレーションパターンとカメラとの相対的位置関係から求めて，それらの座標を対応させてマッピングテーブルとして保存し，スリット光源によりスリット光を照射して光切断法により測定対象を測定する際には，カメラにより撮影した画像中のスリット光の着目点に対して，画像面上の座標を求めると共に，マッピングテーブルとして保存されている上記着目図形の中心の画像面上の座標から，上記着目点に近接する複数の着目図形の中心の座標を抽出し，抽出した複数の画像面上の座標と着目点の画像面上の座標との相対位置関係及び複数の画像面上の座標と，それらの実空間における座標との対応関係から，上記スリット光の着目点の実空間における座標を求めることとした光切断法による３次元形状計測装置における光学ヘッド部のキャリブレーション方法を提案する。

また本発明では，上記の構成において，着目図形の中心は，重心として求めることを提案する。

また本発明では，上記の構成において，マッピングテーブルとして保存されている着目図形の中心の画像面上の座標から，上記着目点に近接するものとして抽出する複数の座標は，画像面の横軸方向に隣接する一対と，そのいずれかを共通として縦軸方向に隣接する一対の３つとし，着目点の画像面上の座標と，夫々の軸方向に隣接する一対の着目図形の中心の画像面上の座標と，それらに対応する実空間上の座標とから，比例配分により着目点の各軸方向の実空間上の座標を求めることを提案する。

次に本発明では，光切断法による３次元形状計測装置において，スリット光源と，このスリット光源からのスリット光の照射方向に対して，光軸を所定角度傾斜させたカメラを設置した光学ヘッド部を分離可能に構成すると共に，分離した光学ヘッド部を所定姿勢で載置するキャリブレーション台を構成し，キャリブレーション台には，載置した光学ヘッド部のカメラと所定角度を成して対向する位置に多数の着目図形を平面上に縦横に配置したキャリブレーションパターンを有するキャリブレーション板を立設した構成の光切断法による３次元形状計測装置における光学ヘッド部のキャリブレーション装置を提案する。

以上の構成において，本発明では，多数の着目図形を平面上に縦横に配置したキャリブレーションパターンを有するキャリブレーション板を立設し，従って縦方向に配置されたキャリブレーションパターンをカメラで撮影して，上記着目図形の中心の，画像面上の座標と，実空間における座標との対応関係を求めてマッピングテーブルとして保存し，光切断法による測定対象の測定に際しては，カメラの画像中のスリット光の着目点に対して画像面上の座標を求めると共に，マッピングテーブルとして保存されている上記着目図形の中心の画像面上の座標から，上記着目点に近接する複数の着目図形の中心の座標を抽出し，抽出した複数の画像面上の座標と着目点の画像面上の座標との相対位置関係及び複数の画像面上の座標と，それらの実空間における座標との対応関係から，上記スリット光の着目点の実空間における座標を求めることができる。

この際，本発明においてキャリブレーションは，縦方向に配置されたキャリブレーションパターンを，その斜め上方に配置したカメラにより撮影して行うので，撮影されたキャリブレーションパターンの画像中には高さ方向の情報も含まれる。このため，キャリブレーションパターンの上記各着目図形に対して，夫々の中心の画像面上の座標を求め，これを，実空間におけるキャリブレーションパターンの配置により求められる，各着目図形の中心の実空間における座標とを対応させて，マッピングテーブルとして保存することにより，カメラの倍率変動及び歪みの補正に加えて，高さ方向の補正を行うための，画像面上の座標と，実空間における座標との対応関係を得ることができる。

本発明では，光切断法による３次元形状計測装置において，スリット光源と，このスリット光源からのスリット光の照射方向に対して，光軸を所定角度傾斜させたカメラを設置した光学ヘッド部を分離可能に構成すると共に，分離した光学ヘッド部を所定姿勢で載置するキャリブレーション台を構成し，キャリブレーション台には，載置した光学ヘッド部のカメラと所定角度を成して対向する位置に多数の着目図形を平面上に縦横に配置したキャリブレーションパターンを有するキャリブレーション板を立設することにより，非常に簡単な構成で，しかもテーブル等の可動機構の精度に依存しないキャリブレーション装置を構成することができる。

次に本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
図１は本発明に係る装置の全体構成を概念的に示す模式図であり，符号１は光切断法による三次元形状測定装置の構成要素である光学ヘッド部であり，この光学ヘッド部１には，スリット光源２と，このスリット光源２のスリット光３の照射方向に対して光軸４を傾斜させてカメラ５を配置している。この実施の形態では，カメラ５の光軸はスリット光３の照射方向に対して４５°傾斜している。

符号６は上記光学ヘッド部１を載置して支持するキャリブレーション台であり，このキャリブレーション台６には凹部７を形成しており，この凹部７内にキャリブレーション板８を立設している。そしてこのキャリブレーション板８において，カメラ５と対向する面には，多数の着目図形９を所定の間隔で平面上に縦横に配置したキャリブレーションパターン１０を構成している。例えば図２に示すキャリブレーションパターン１０は，黒地１１に，着目図形としての多数の白円９を所定の間隔で縦横に配置した構成としている。この例では，着目図形を円形としているが，その形状は正方形等，他の形状も可能である。

以上の構成において，図１に示すようにキャリブレーション台６の所定位置に光学ヘッド部１を載置して支持すると，カメラ５の斜め下方位置にキャリブレーション板８のキャリブレーションパターン１０が位置することとなる。この実施の形態では，キャリブレーションパターン１０の平面の法線とカメラ５の光軸４とが成す角度は４５°である。

以上の配置において，カメラ５によりキャリブレーションパターン１０を撮影すると，キャリブレーションパターン１０の平面の法線とカメラ５の光軸とが成す角度は４５°であるので，キャリブレーションパターン１０の画像は，図３に一部を示すように，縦軸方向のみが１／√２に圧縮される。即ち，着目図形としての円形は楕円形に変形する。一方，キャリブレーションパターン１０は，実空間において縦方向に配置されているので，画像の縦軸方向は高さ方向に対応し，即ち，撮影されたキャリブレーションパターン１０の画像中には高さ方向の情報が含まれることになる。

図３はカメラ５の倍率変動や歪みがない理想的な場合の画像を示すもので，縦軸方向に圧縮されて楕円形状に変形された白円９の中心Ｃ₁₁，Ｃ₁₂，Ｃ₁₃，…は，図中縦横の一点鎖線の交点により便宜的に示すように，縦横の所定位置に位置している。しかしながら実際の装置においては，カメラ５の倍率変動や歪みのために，画像は図４に示すように変形してしまう。即ち，カメラ５の倍率変動や歪みがない理想的な場合には，白円９の中心Ｃ₁₁，Ｃ₁₂，Ｃ₁₃，…は，図４中の縦横の一点鎖線の交点に位置するべきところ，カメラ５の倍率変動や歪みによって，ずれてしまう。

このように，図４の画像において，白円９の中心Ｃ₁₁，Ｃ₁₂，Ｃ₁₃，…は，本来は縦横の一点鎖線の交点に位置するものであるため，画像面上の白円９の中心Ｃ₁₁，Ｃ₁₂，Ｃ₁₃，…を本来の位置にもたらす対応関係を用いてキャリブレーションを行うことができる。

そこで本発明では，まず全ての着目図形，即ち，この実施の形態では，白円９が縦軸方向に圧縮された楕円形の中心Ｃ（Ｃ₁₁，Ｃ₁₂，Ｃ₁₃，…；Ｃ₂₁，Ｃ₂₂，…；Ｃ₃₁，Ｃ₃₂，Ｃ₃₃，…）の画像面上の座標（Ｘ，Ｙ）（単位：ピクセル）を求めると共に，夫々の中心Ｃの実空間における座標（ｘ，ｙ）（単位：ｍｍ）を求め，これらの画像面上の座標（Ｘ，Ｙ）と，実空間における座標（ｘ，ｙ）を対応させて，例えば表１に示されるようにマッピングテーブルとして保存する。

次いで図５に示すように光切断法による測定対象の測定に際しては，カメラ５の画像中のスリット光の着目点Ａに対して画像面上の座標（Ｘ，Ｙ）を求めると共に，マッピングテーブルとして保存されている上記白円９の中心Ｃの画像面上の座標から，着目点Ａに近接する複数の白円９の中心の座標Ｃ₀，Ｃ₁，Ｃ₂，…を抽出し，抽出した複数の画像面上の座標（Ｘ₀，Ｙ₀）；（Ｘ₁，Ｙ₁），（Ｘ₂，Ｙ₂），…と着目点の画像面上の座標（Ｘ，Ｙ）との相対位置関係及び複数の画像面上の座標（Ｘ₀，Ｙ₀）；（Ｘ₁，Ｙ₁），（Ｘ₂，Ｙ₂），…と，それらの実空間における座標（ｘ₀，ｙ₀），（ｘ₁，ｙ₁），（ｘ₂，ｙ₂），…との対応関係から，上記スリット光の着目点Ａの実空間における座標（ｘ，ｙ）を求めることができる。

この実施の形態では，マッピングテーブルとして保存されている着目図形としての白円９の中心の画像面上の座標から，上記着目点Ａに近接するものとして抽出する複数の座標は，画像面の横軸方向に隣接する一対の白円９の中心の座標，即ち，（Ｘ₀，Ｙ₀）；（Ｘ₁，Ｙ₁）と，そのいずれか，この場合，（Ｘ₀，Ｙ₀）を共通として縦軸方向に隣接する一対（Ｘ₀，Ｙ₀）；（Ｘ₁，Ｙ₁）の３つとする。そして，着目点Ａの画像面上の座標（Ｘ，Ｙ）と，夫々の軸方向に隣接する一対の着目図形の中心の画像面上の座標（Ｘ₀，Ｙ₀）；（Ｘ₁，Ｙ₁），（Ｘ₂，Ｙ₂）と，それらに対応する実空間上の座標（ｘ₀，ｙ₀），（ｘ₁，ｙ₁），（ｘ₂，ｙ₂）とから，比例配分により着目点Ａの各軸方向の実空間上の座標（ｘ，ｙ）を求める。

即ち，縦横方向の夫々一対の画像面上の座標の間においては，カメラの倍率変動及び歪みが変化しないものと仮定すると，夫々の軸方向において，次の式で示す比例関係が成り立つ。
（ｘ−ｘ₀）／（ｘ₁−ｘ₀）＝（Ｘ−Ｘ₀）／（Ｘ₁−Ｘ₀） …（１）
（ｙ−ｙ₀）／（ｙ₁−ｙ₀）＝（Ｙ−Ｙ₀）／（Ｙ₁−Ｙ₀） …（２）
従ってこれらの式（１），（２）から，次の式（３），（４）により，着目点Ａの各軸方向の実空間上の座標（ｘ，ｙ）を求めることができ，従って，光切断法を用いた３Ｄ形状検査装置のキャリブレーションを行うことができる。
ｘ＝ｘ₀＋（ｘ₁−ｘ₀）｛（Ｘ−Ｘ₀）／（Ｘ₁−Ｘ₀）｝ …（３）
ｙ＝ｙ₀＋（ｙ₂−ｙ₀）｛（Ｙ−Ｙ₀）／（Ｙ₂−Ｙ₀）｝ …（４）

次に本発明におけるマッピングテーブルの作成の流れの一例を図６につき説明する。
図示を省略している画像データ取り込みスイッチがＯＮとされると，まずステップＳ１においてトリガー信号の有無を判断して処理の分岐を行う。即ち，トリガー信号が無い場合には，処理を継続してトリガー信号が入るまで待ち，トリガー信号が有となった時点で次のステップＳ２に移行する。

ステップＳ２においては画像データがコンピュータの所定のメモリ領域に取り込まれ，ステップＳ３に移行して画像データを２値化する。次いでステップＳ４において一定面積以上の白円９，この場合は，上述したように縦方向に圧縮された楕円形を抽出する。このステップＳ４の処理では，一定面積以下のノイズを除去することができる。

次いでステップＳ５に移行して，抽出された白円９の中心として，重心を検出し，重心の画像面上の座標（単位：ピクセル）と，実平面上の座標（単位：ｍｍ）を導出する。

ステップＳ５における重心の座標の導出を全ての白円９について行い，次いでステップＳ６において画像面上の座標（単位：ピクセル）と，実平面上の座標（単位：ｍｍ）を対応させて，例えば表１に示すようなマッピングテーブルを作成する。そして，その後処理を終了する。

次に上記マッピングテーブルの作成に続けてキャリブレーションを行う場合のキャリブレーションの流れを図７の流れ図につき説明する。
まずステップＳ１１では，インデックスｎ＝１としてステップＳ１２に移行し，ステップＳ１２においては，補正したいレーザの輝点の個所（レーザ輝度の１ピクセル）の画像面上の座標（Ｘ，Ｙ）を着目点Ａとして読み込む。

次いでステップＳ１３では上記着目点Ａに近接するものとして，画像面の横軸方向に隣接する一対の白円９の中心の座標，即ち，（Ｘ₀，Ｙ₀）；（Ｘ₁，Ｙ₁）と，（Ｘ₀，Ｙ₀）を共通として縦軸方向に隣接する一対（Ｘ₀，Ｙ₀）；（Ｘ₁，Ｙ₁）の３つの座標をマッピングテーブルから抽出する。これらの座標の抽出は，上記着目点Ａからの距離を導出して，最短の３つを選択する手法を用いることができる。

次いでステップＳ１４では，上記式（３），（４）を用いて着目点Ａの各軸方向の実空間上の座標（ｘ，ｙ）を求める。即ち，上述したとおり，着目点の画像面上の座標（Ｘ，Ｙ）は実測により得られ，またｘ₀，ｙ₀，Ｘ₀，Ｙ₀，Ｘ₁，Ｙ₁はマッピングテーブルから得られるので，上記式（３），（４）を用いて着目点Ａの各軸方向の実空間上の座標（ｘ，ｙ）を求めることができる。

次いでステップＳ１５では全ての所定の着目点Ａについてのキャリブレーションが終了したか否かを判断し，終了していないと判断された場合にはステップＳ１６に移行し，インデックスｎ＝ｎ＋１と置き換えてステップＳ１２に移行する。一方，終了したと判断された場合には，ステップＳ１７に移行し，全ての補正後のデータ（ｍｍ値）を補正画像として画像化して処理を終了する。

本発明は以上のとおりであるので，以下に示すような特徴を有し，産業上の利用可能性が大である。
１．カメラの倍率補正、歪補正、光切断法のための高さ校正が同時に可能となり、光切断法を用いた三次元形状検査装置のキャリブレーションが短時間で行えるようになる。
２．従来は，カメラを，できるだけ倍率変動が起こらないように焦点距離を長く取っていたが、本発明では、倍率補正も同時に行うことができるので、カメラと測定対象物との焦点距離を短くすることができるので、装置の小型化が可能となる。
３．キャリブレーションにＸＹＺテーブル等の移動機構を使用しないので，キャリブレーションの精度が，移動機構の精度に依存してしまうことがない。

本発明に係る装置の全体構成を概念的に示す模式図である。 キャリブレーションパターンの一例を示す説明図である。 カメラの倍率変動や歪みがない理想的な場合のキャリブレーションパターンの画像を示す模式図である。 カメラの倍率変動や歪みがある場合のキャリブレーションパターンの画像を示す模式図である。 本発明の方法を模式的に示す説明図である。 本発明におけるマッピングテーブルの作成の流れの一例を示す流れ図である。 本発明におけるキャリブレーションの処理の流れの一例を示す流れ図である。 三次元形状計測装置における従来の代表的なキャリブレーション方法の１つのステップを示す模式図である。 三次元形状計測装置における従来の代表的なキャリブレーション方法の次のステップを示す模式図である。

符号の説明

１ 光学ヘッド部
２ スリット光源
３ スリット光
４ 光軸
５ カメラ
６ キャリブレーション台
７ 凹部
８ キャリブレーション板
９ 着目図形（白円）
１０ キャリブレーションパターン
１１ 黒地

Claims (4)

1. スリット光源と，このスリット光源のスリット光の照射方向に対して光軸を傾斜させて配置したカメラとを有する光学ヘッド部をキャリブレーション台に載置すると共に，キャリブレーション台には，載置した光学ヘッド部のカメラの斜め下方位置に，多数の着目図形を平面上に縦横に配置したキャリブレーションパターンを有するキャリブレーション板を立設し，上記カメラによりキャリブレーションパターンを撮影して，その画像から上記各着目図形に対して，夫々の中心の画像面上の座標を求めると共に，それらの中心の実空間における座標を，キャリブレーションパターンとカメラとの相対的位置関係から求めて，それらの座標を対応させてマッピングテーブルとして保存し，スリット光源によりスリット光を照射して光切断法により測定対象を測定する際には，カメラにより撮影した画像中のスリット光の着目点に対して，画像面上の座標を求めると共に，マッピングテーブルとして保存されている上記着目図形の中心の画像面上の座標から，上記着目点に近接する複数の着目図形の中心の座標を抽出し，抽出した複数の画像面上の座標と着目点の画像面上の座標との相対位置関係及び複数の画像面上の座標と，それらの実空間における座標との対応関係から，上記スリット光の着目点の実空間における座標を求めることを特徴とする光切断法による３次元形状計測装置における光学ヘッド部のキャリブレーション方法
2. 着目図形の中心は，重心として求めることを特徴とする請求項１に記載の光切断法による３次元形状計測装置における光学ヘッド部のキャリブレーション方法
3. マッピングテーブルとして保存されている着目図形の中心の画像面上の座標から，上記着目点に近接するものとして抽出する複数の座標は，画像面の横軸方向に隣接する一対と，そのいずれかを共通として縦軸方向に隣接する一対の３つとし，着目点の画像面上の座標と，夫々の軸方向に隣接する一対の着目図形の中心の画像面上の座標と，それらに対応する実空間上の座標とから，比例配分により着目点の各軸方向の実空間上の座標を求めることを特徴とする請求項１に記載の光切断法による３次元形状計測装置における光学ヘッド部のキャリブレーション方法
4. 光切断法による３次元形状計測装置において，スリット光源と，このスリット光源からのスリット光の照射方向に対して，光軸を所定角度傾斜させたカメラを設置した光学ヘッド部を分離可能に構成すると共に，分離した光学ヘッド部を所定姿勢で載置するキャリブレーション台を構成し，キャリブレーション台には，載置した光学ヘッド部のカメラと所定角度を成して対向する位置に多数の着目図形を平面上に縦横に配置したキャリブレーションパターンを有するキャリブレーション板を立設したことを特徴とする光切断法による３次元形状計測装置における光学ヘッド部のキャリブレーション装置
   

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