JP2006069148A - Mold forming method and vacuum pump equipped with stator column manufactured by the method - Google Patents

Mold forming method and vacuum pump equipped with stator column manufactured by the method Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mold forming method capable of forming, at a low cost with reduced labor and with a simple shaping tool, a molding part of a shape retracted a little from the inner side face of an inner component on the periphery of the inner component, and to provide a vacuum pump equipped with a stator column manufactured by the method. <P>SOLUTION: In this mold forming method, a core 51 whose coefficient of thermal expansion is larger than those of the stator column's 4 as a cylindrical body and of its inner components', i.e. radial electromagnets' 10-2, a radial-direction displacement sensor's 10-3 and stators' 12-1 of a drive motor, is used. After inserting and setting this core 51 in the inside of the stator column 4 and in the state of the core 51 being expanded due to difference of thermal expansion coefficient, a molding material such as a resin is filled between the core 51 and the stator column 4, and the molding material is cured. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、筒体の内周側に設置した内装部品の周囲に、モールド部を成形するモールド成形方法に関し、特に、その内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部を、簡単な成形治具と少ない工数で安価に成形できるようにしたものである。   The present invention relates to a mold forming method for forming a mold part around an interior part installed on the inner peripheral side of a cylindrical body, and in particular, a simple molding of a mold part that is slightly retracted from the inner surface of the interior part. It can be formed at low cost with a small number of jigs and man-hours.

例えば、図１に示すような真空ポンプにおいては、ステータコラムの内周側に、内装部品として、真空ポンプの回転軸を支持するための電磁石や、その回転軸を回転駆動するためのモータの固定子等を設置している。そして、その内装部品の周囲には、上記のような各種内装部品の内側面、すなわち回転軸の外周面と対向する内装部品の面より少し引っ込んだ形態のモールド部が成形され、このモールド部により、電磁石のコイル部やモータの固定子のコイル部が保護されるとともに、電磁石やモータの固定子等が固定される構造となっている。   For example, in a vacuum pump as shown in FIG. 1, an electromagnet for supporting the rotary shaft of the vacuum pump as an interior part and a motor for rotationally driving the rotary shaft are fixed on the inner peripheral side of the stator column. A child is installed. Then, around the interior part, a mold part is formed that is slightly retracted from the inner surface of the various interior parts as described above, that is, the surface of the interior part facing the outer peripheral surface of the rotating shaft. The electromagnet coil portion and the motor stator coil portion are protected, and the electromagnet and motor stator are fixed.

尚、上記のように各種内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部を成形する必要性は、次の通りである。すなわち、例えば、内装部品の内側面と一致させてモールド部を成形すると、モータが高負荷状態で連続運転されて、その固定子のコイル部が発熱した場合に、その熱でモールド部が熱膨張しロータ軸に接触するといった事態が発生しうるため、これを未然に防止する必要がある。この点については本発明も同様である。   In addition, the necessity of shape | molding the mold part of the form slightly retracted from the inner surface of various interior components as mentioned above is as follows. That is, for example, when the mold part is formed so as to coincide with the inner surface of the interior part, when the motor is continuously operated in a high load state and the coil part of the stator generates heat, the mold part is thermally expanded by the heat. However, since a situation such as contact with the rotor shaft may occur, it is necessary to prevent this in advance. This is the same in the present invention.

ところで、上記形態のモールド部を成形するモールド成形方法としては、例えば、特許文献１に記載の方法がある（同文献１の段落００１４〜００１５参照）。この特許文献１においては、上記のようなステータコラムを構成する筒体に相当する部品としてケーシング（符号１６）があり、このケーシングの内側にモータステータコア（符号４１）等の内装部品が設置され、その内装部品の周囲に上記形態のモールド部が成形される。このモールド部の成形方法は、特許文献１によると、ケーシングの内側に弾性体の中子を挿入し、その後、この中子の中空構造部分に空気等の流体を加圧・圧入して中子を拡張させ、この状態で中子とケーシングとの間に樹脂等のモールド材を充填し、この充填したモールド材の硬化後に、上記中子の中空構造部分を減圧することで中子を収縮させ抜き取るというものである。   By the way, as a mold forming method for forming the mold part of the above form, for example, there is a method described in Patent Document 1 (see paragraphs 0014 to 0015 of the same Document 1). In Patent Document 1, there is a casing (reference numeral 16) as a part corresponding to the cylindrical body constituting the stator column as described above, and interior parts such as a motor stator core (reference numeral 41) are installed inside the casing, The mold part having the above configuration is formed around the interior part. According to Patent Document 1, the molding method of this mold part is to insert an elastic core inside the casing, and then pressurize and pressurize fluid such as air into the hollow structure portion of the core. In this state, a mold material such as resin is filled between the core and the casing, and after the filled mold material is cured, the hollow structure portion of the core is decompressed to contract the core. It is a sampling.

しかし、特許文献１の成形方法によると、上記の通り、中子の拡張方式として、その中子を内側から流体で加圧し拡張させる方式を採っている。このため、加圧機器ないしは加圧設備等が必要となり、その設備費用等が発生する。また、加圧と減圧という工程が含まれるので、それだけ作業工数が多く、手間がかかり、成形コストが高くなる。さらに、この特許文献１の成形方法によると、モールド材の硬化の途中で中子に圧入されている流体がリークすると、その中子が収縮してしまい、上記形態のモールド部が得られなくなる。このため、中子に圧入された流体を確実に機密に保持する構造が必要になることから、成形治具自体が複雑かつ高価なものとならざるを得ない。   However, according to the molding method of Patent Document 1, as described above, the core is expanded by pressurizing the core with a fluid from the inside to expand. For this reason, a pressurizing device or pressurizing equipment is required, and the equipment cost is generated. In addition, since the steps of pressurization and decompression are included, the number of work steps is increased, which takes time and increases the molding cost. Furthermore, according to the molding method of Patent Document 1, when the fluid press-fitted into the core is leaked during the curing of the molding material, the core contracts, and the mold part having the above-described form cannot be obtained. For this reason, a structure that reliably keeps the fluid press-fitted into the core in a secret manner is required, and thus the molding jig itself must be complicated and expensive.

また、特許文献１のように中子の拡張方式とは別に、図６に示すように、スリーブとマンドレルを用いて中子を機械的に拡張する方式もある。この機械的な中子の拡張方式ではまず、同図に示すように真空ポンプのステータコラム４の内側に、弾性部材からなる筒状の中子５１を配置する。そして、この中子５１の内側にスリーブ５５を挿入し、さらに該スリーブ５５の両側にマンドレル５６−１、５６−２を挿入した上で、両側のマンドレル５６−１、５６−２を締結しているボルト５７を締める。そうすると、その両側のマンドレル５６−１、５６−２どうしが互いに接近する。このとき、スリーブ５５の内周テーパ部５８とこれに当接するマンドレル外周のテーパ部５９との相互作用により、スリーブ５５に形成されている縦割りのスリット（図示省略）が開き、これにより、当該スリーブ５５が径方向に拡張して中子５１を径方向に拡張させるというものである。   In addition to the core expansion method as in Patent Document 1, as shown in FIG. 6, there is also a method of mechanically expanding the core using a sleeve and a mandrel. In this mechanical core expansion method, first, a cylindrical core 51 made of an elastic member is arranged inside the stator column 4 of the vacuum pump as shown in FIG. Then, the sleeve 55 is inserted inside the core 51, and the mandrels 56-1 and 56-2 are inserted on both sides of the sleeve 55, and then the mandrels 56-1 and 56-2 on both sides are fastened. Tighten the bolt 57. Then, the mandrels 56-1 and 56-2 on both sides approach each other. At this time, due to the interaction between the inner circumferential tapered portion 58 of the sleeve 55 and the tapered portion 59 on the outer periphery of the mandrel that contacts this, a vertically divided slit (not shown) formed in the sleeve 55 is opened. The sleeve 55 expands in the radial direction to expand the core 51 in the radial direction.

しかし、上記のような機械的な中子の拡張方法によると、スリーブ５５の挿入作業、マンドレル５６−１、５６−２の挿入作業等、多数の作業を行わなければならず、作業工数が多く、手間がかかり、成形コストが高くなる。また、精密に加工されたテーパ部を有するスリーブ５５やマンドレル５６−１、５６−２等のように、比較的多加工で精密な成形治具も必要となり、高価な成形治具を使用しなければならない。   However, according to the mechanical core expansion method as described above, many operations such as the sleeve 55 insertion operation and the mandrels 56-1 and 56-2 insertion operations must be performed, which requires a large number of work steps. , It takes time and increases the molding cost. In addition, a precision forming jig is required, such as a sleeve 55 and mandrels 56-1 and 56-2 having a precisely processed taper portion, and an expensive forming jig must be used. I must.

特開２００１−２６８８６３号JP 2001-268863 A

本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、内装部品の周囲に該内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部を、簡単な成形治具と少ない作業工数で安価に成形できる、モールド成形方法と、その方法により作製したステータコラムを備える真空ポンプを提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the object of the present invention is to form a mold part in a form slightly retracted from the inner surface of the interior part around the interior part and a simple molding jig. An object of the present invention is to provide a molding method that can be molded at low cost with a small number of work steps, and a vacuum pump including a stator column manufactured by the method.

上記目的を達成するために、本発明に係るモールド成形方法は、筒体の内周側に設置した内装部品の周囲に、モールド部を成形するモールド成形方法であって、上記筒体やその上記内装部品よりも熱膨張率の大きい中子を用い、該中子を上記筒体の内側に挿入セットした後、その熱膨張率の差により上記中子を拡張させた状態で、上記中子と上記筒体との間に樹脂等のモールド材を充填し、該モールド材を硬化させることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a mold forming method according to the present invention is a mold forming method for forming a mold part around an interior part installed on the inner peripheral side of a cylinder, the cylinder and the cylinder Using a core having a larger coefficient of thermal expansion than an interior part, inserting and setting the core inside the cylindrical body, and then expanding the core due to the difference in coefficient of thermal expansion, the core and A mold material such as a resin is filled between the cylinders, and the mold material is cured.

本発明に係るモールド成形方法では、筒体やその内装部品よりも熱膨張率の大きい中子を用いている。このため、中子を筒体の内側に挿入セットした後、筒体やその内装部品とともに中子が加熱されると、それらの熱膨張率の差により、中子が全体的に径方向に拡張し、その中子の一部が内装部品の内側面に内接する。この際、中子全体のうち、内装部品と内接しない部分は、上記内接時の中子の径（内接径）よりも大きく膨らんで、内装部品間の隙間や内装部品内の隙間にくい込む。そして、このように中子がくい込んだ状態のまま、中子と筒体との間にモールド材が充填され、この充填されたモールド材が上記隙間に入り込んで硬化することにより、内装部品の周囲にモールド部が成形される。従って、このモールド部は、上記中子のくい込み深さ分だけ、内装部品の内側面より少し引っ込んだ位置に設けられるものとなる。   In the molding method according to the present invention, a core having a thermal expansion coefficient larger than that of the cylindrical body and its interior parts is used. For this reason, after the core is inserted and set inside the cylinder, when the core is heated together with the cylinder and its interior parts, the core expands in the overall radial direction due to the difference in coefficient of thermal expansion. A part of the core is inscribed in the inner surface of the interior part. At this time, a portion of the entire core that is not inscribed in the interior part swells larger than the diameter (inscribed diameter) of the core at the time of the inscription, so that a gap between the interior parts or a gap in the interior part is difficult. Include. Then, the core material is filled in between the core and the cylindrical body in this state, and the filled mold material enters the gap and hardens, so that the periphery of the interior part A mold part is formed. Therefore, this mold part is provided at a position slightly retracted from the inner surface of the interior part by the depth of the core.

上記本発明に係るモールド成形方法は、例えば真空ポンプのステータコラムの製造に適用される。この場合、上記筒体は、その内側に真空ポンプの回転軸が挿入され、かつ、少なくとも該回転軸を支持する磁気軸受の構成部品および該回転軸を回転駆動するモータの構成部品を上記内装部品として備えるように構成され、そして、その内装部品、すなわち磁気軸受やモータの各構成部品の周囲に上記本発明による樹脂等のモールド部が成形される。   The molding method according to the present invention is applied to the manufacture of a stator column of a vacuum pump, for example. In this case, the cylindrical body has the rotating shaft of the vacuum pump inserted therein, and at least the components of the magnetic bearing that supports the rotating shaft and the components of the motor that rotationally drives the rotating shaft are the interior parts. Then, a molded part of resin or the like according to the present invention is formed around each of the interior parts, that is, the respective components of the magnetic bearing and the motor.

本発明に係る真空ポンプは、上記本発明によるモールド成形方法を適用して製造されたステータコラムを有するものである。   The vacuum pump according to the present invention has a stator column manufactured by applying the molding method according to the present invention.

本発明にあっては、中子を拡張させる方式として、筒体やその内装部品より熱膨張率の大きい中子を用い、その熱膨張率の差により中子を拡張させるという方式を採用した。このため、中子を内側から流体で加圧し拡張させる従来方式のように、加圧機器や加圧・減圧といった作業、並びに中子に圧入された流体を確実に機密に保持する構造を必要としない。また、スリーブとマンドレルを用いて中子を拡張させる従来方式のように、スリーブやマンドレルといった成形治具を必要とせず、スリーブやマンドレルの挿入作業も必要としないから、上記形態のモールド部、すなわち内装部品の周囲に該内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部を、簡単な成形治具と少ない作業工数で安価に成形することができる。   In the present invention, as a method of expanding the core, a method of using a core having a larger thermal expansion coefficient than that of the cylindrical body or its interior part and expanding the core due to a difference in the thermal expansion coefficient is adopted. For this reason, as in the conventional system in which the core is pressurized and expanded from the inside, work such as pressurization equipment, pressurization / depressurization, and a structure that securely holds the fluid press-fitted into the core are required. do not do. Also, unlike the conventional method of expanding the core using a sleeve and a mandrel, a molding jig such as a sleeve or a mandrel is not required, and an insertion operation of the sleeve or mandrel is not required. A mold portion that is slightly recessed from the inner surface of the interior part around the interior part can be molded at low cost with a simple molding jig and a small number of work steps.

以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図１は、本発明によるモールド成形方法を適用して製造されたステータコラムを有する真空ポンプＰの断面図であり、先に、この真空ポンプＰの構造を詳細に説明し、次に、真空ポンプＰのステータコラムの製造方法について詳細に説明する。   FIG. 1 is a cross-sectional view of a vacuum pump P having a stator column manufactured by applying a molding method according to the present invention. First, the structure of the vacuum pump P will be described in detail. A method for manufacturing the P stator column will be described in detail.

図１の真空ポンプＰは、半導体製造装置や液晶ディスプレイパネル製造装置における真空装置の一部として使用され、真空チャンバ内の圧力を所定の真空度とするものである。また、同図の真空ポンプＰは、外装ケース１内に、ターボ分子ポンプＰｔとして機能する部位とネジポンプＰｓとして機能する部位とを有する複合ポンプである。   The vacuum pump P in FIG. 1 is used as a part of a vacuum apparatus in a semiconductor manufacturing apparatus or a liquid crystal display panel manufacturing apparatus, and makes the pressure in the vacuum chamber a predetermined degree of vacuum. Moreover, the vacuum pump P of the figure is a composite pump having a part functioning as the turbo molecular pump Pt and a part functioning as the screw pump Ps in the exterior case 1.

外装ケース１は、筒状のポンプケース１−１と有底筒状のポンプベース１−２とをその筒軸方向にボルトで一体に連結した有底円筒形のケース構造となっている。また、ポンプケース１−１の上端部側はガス吸気口２として開口し、ポンプベース１−２の下端部側面にはガス排気口３が開設されている。   The outer case 1 has a bottomed cylindrical case structure in which a cylindrical pump case 1-1 and a bottomed cylindrical pump base 1-2 are integrally connected with bolts in the direction of the cylinder axis. Moreover, the upper end part side of the pump case 1-1 opens as the gas inlet port 2, and the gas exhaust port 3 is opened in the lower end side surface of the pump base 1-2.

ガス吸気口２は、ポンプケース１−１上縁のフランジに設けられている図示しないボルトを介し、たとえば半導体製造装置のプロセスチャンバ等、高真空となる真空容器（図示省略）側に接続される。また、ガス排気口３は図示しない補助ポンプ側に連通するように接続される。   The gas inlet 2 is connected to a vacuum container (not shown) side that is high vacuum, such as a process chamber of a semiconductor manufacturing apparatus, via a bolt (not shown) provided on the flange at the upper edge of the pump case 1-1. . Further, the gas exhaust port 3 is connected to communicate with an auxiliary pump (not shown).

ポンプケース１−１内の中央部には、各種電装品を内蔵するアルミ合金製のステータコラム４が設けられている。ステータコラム４は、後述する各種内装部品の設置ベース部品として円筒状に形成され、その筒の下端側がポンプベース１−２上にネジ止め固定されてポンプベース１−２上に立設される構造となっている。   An aluminum alloy stator column 4 containing various electrical components is provided at the center of the pump case 1-1. The stator column 4 is formed in a cylindrical shape as an installation base part for various interior parts to be described later, and has a structure in which the lower end side of the cylinder is screwed and fixed on the pump base 1-2 and is erected on the pump base 1-2. It has become.

上記ステータコラム４の内周側には回転軸５が挿入される。この回転軸５は、その軸上端がガス吸気口２の方向を向き、その軸下端がポンプベース１−２の方向を向くように配置されている。また、回転軸５の軸上端は、ステータコラム４の上端面から突出するように形成されている。   A rotating shaft 5 is inserted on the inner peripheral side of the stator column 4. The rotary shaft 5 is arranged such that the upper end of the rotary shaft 5 faces the direction of the gas intake port 2 and the lower end of the shaft faces the direction of the pump base 1-2. Further, the upper end of the rotating shaft 5 is formed so as to protrude from the upper end surface of the stator column 4.

上記ステータコラム４の外周側にはロータ６が設けられる。このロータ６は、ステータコラム４の外周面を囲むような円筒状に形成され、かつ、回転軸５の上端部側に一体に取り付け固定されている。回転軸５へのロータ６の取り付け固定構造については各種考えられる。図１の真空ポンプＰでは、その構造例として、ロータ６の上端部内側にボス孔７付のフランジ８を一体に設けるとともに、回転軸５の軸上端外周に段部９を形成し、この段部９より上の回転軸５先端部分がフランジ８のボス孔７に嵌め込まれて、該フランジ８と段部９とがネジ止め固定される構造を採用している。従って、回転軸５が回転すると回転軸５と一体にロータ６も回転する。   A rotor 6 is provided on the outer peripheral side of the stator column 4. The rotor 6 is formed in a cylindrical shape surrounding the outer peripheral surface of the stator column 4, and is integrally attached and fixed to the upper end portion side of the rotating shaft 5. Various structures for attaching and fixing the rotor 6 to the rotating shaft 5 are conceivable. In the vacuum pump P of FIG. 1, as an example of the structure, a flange 8 with a boss hole 7 is integrally provided inside the upper end of the rotor 6, and a step 9 is formed on the outer periphery of the upper end of the rotary shaft 5. A structure is adopted in which the tip of the rotary shaft 5 above the portion 9 is fitted into the boss hole 7 of the flange 8 and the flange 8 and the stepped portion 9 are fixed with screws. Therefore, when the rotating shaft 5 rotates, the rotor 6 also rotates integrally with the rotating shaft 5.

上記のような回転軸５とロータ６からなる回転体は、ラジアル磁気軸受１０とアキシャル磁気軸受１１により軸方向と径方向が回転可能に支持され、この状態で回転軸５を中心として駆動モータ１２により回転駆動される。   The rotating body including the rotating shaft 5 and the rotor 6 as described above is supported by the radial magnetic bearing 10 and the axial magnetic bearing 11 so as to be rotatable in the axial direction and the radial direction. In this state, the drive motor 12 is centered on the rotating shaft 5. It is rotationally driven by.

駆動モータ１２は、固定子１２−１と回転子１２−２とからなる構造であって、回転軸５の略中央付近に設けられている。この駆動モータ１２の固定子１２−１は、上記ステータコラム４の内周側に設置され、また、同駆動モータ１２の回転子１２−２は、回転軸５の外周面側に一体に装着されている。   The drive motor 12 has a structure including a stator 12-1 and a rotor 12-2, and is provided in the vicinity of the approximate center of the rotating shaft 5. The stator 12-1 of the drive motor 12 is installed on the inner peripheral side of the stator column 4, and the rotor 12-2 of the drive motor 12 is integrally mounted on the outer peripheral surface side of the rotary shaft 5. ing.

ラジアル磁気軸受１０は、駆動モータ１２の上下に１組ずつ配置され、アキシャル磁気軸受１１は回転軸５の下端部側に１組配置されている。   One set of radial magnetic bearings 10 is arranged above and below the drive motor 12, and one set of axial magnetic bearings 11 is arranged on the lower end side of the rotating shaft 5.

上下各段のラジアル磁気軸受１０は、それぞれの段ごとに、ラジアル電磁石ターゲット１０−１、複数のラジアル電磁石１０−２、ラジアル方向変位センサ１０−３を有している。ラジアル電磁石ターゲット１０−１は、高透磁率材料の鋼板を積層した積層鋼板から構成され、回転軸５の外周面に取り付け固定されている。ラジアル電磁石１０−２とラジアル方向変位センサ１０−３は、上記のように取り付けられたラジアル電磁石ターゲット１０−１と対向するように、ステータコラム４の内周側に取り付け固定されている。ラジアル電磁石１０−２は、ラジアル電磁石ターゲット１０−１を囲むように一定の間隔で複数配置され、かつ、ラジアル電磁石ターゲット１０−１を介して回転軸５をその径方向に磁力で吸引する。ラジアル方向変位センサ１０−３は回転軸５の径方向変位を検出するように構成されている。このような構造からなるラジアル磁気軸受１０においては、ラジアル方向変位センサ１０−３での検出値（回転軸の径方向変位）に基づきラジアル電磁石１０−２の励磁電流が制御され、これにより回転軸５とロータ６からなる回転体全体がその径方向の所定位置に磁力で浮上支持される。   Each of the upper and lower radial magnetic bearings 10 includes a radial electromagnet target 10-1, a plurality of radial electromagnets 10-2, and a radial direction displacement sensor 10-3 for each stage. The radial electromagnet target 10-1 is composed of a laminated steel plate obtained by laminating steel plates made of a high magnetic permeability material, and is attached and fixed to the outer peripheral surface of the rotating shaft 5. The radial electromagnet 10-2 and the radial direction displacement sensor 10-3 are attached and fixed to the inner peripheral side of the stator column 4 so as to face the radial electromagnet target 10-1 attached as described above. A plurality of radial electromagnets 10-2 are arranged at regular intervals so as to surround the radial electromagnet target 10-1, and the rotary shaft 5 is attracted by a magnetic force in the radial direction via the radial electromagnet target 10-1. The radial direction displacement sensor 10-3 is configured to detect a radial displacement of the rotary shaft 5. In the radial magnetic bearing 10 having such a structure, the excitation current of the radial electromagnet 10-2 is controlled based on the value detected by the radial direction displacement sensor 10-3 (the radial displacement of the rotating shaft), whereby the rotating shaft The entire rotating body including the rotor 5 and the rotor 6 is levitated and supported by a magnetic force at a predetermined position in the radial direction.

駆動モータ１２を構成する固定子１２−１の周囲と、ラジアル磁気軸受１０を構成するラジアル電磁石１０−２やラジアル方向変位センサ１０−３の周囲には、樹脂等からなるモールド部１３が設けられており、このモールド部１３により、駆動モータ１２の固定子コイル、ラジアル電磁石１０−２の電磁石コイル、ラジアル方向変位センサ１０−３のセンサコイルが保護されている。   A mold part 13 made of resin or the like is provided around the stator 12-1 constituting the drive motor 12 and around the radial electromagnet 10-2 and radial direction displacement sensor 10-3 constituting the radial magnetic bearing 10. The molded part 13 protects the stator coil of the drive motor 12, the electromagnet coil of the radial electromagnet 10-2, and the sensor coil of the radial direction displacement sensor 10-3.

アキシャル磁気軸受１１は、回転軸５の下端部外周に取り付けられた円盤形状のアーマチュアディスク１１−１と、このアーマチュアディスク１１−１を挟んで対向する上下位置に配置されたアキシャル電磁石１１−２と、回転軸５の下端面から少し離れた位置に設置されたアキシャル方向変位センサ（図示省略）とを有している。アーマチュアディスク１１−１は透磁率の高い材料で構成され、上下のアキシャル電磁石１１−２はアーマチュアディスク１１−１をその上下方向から磁力で吸引するように構成され、アキシャル方向変位センサは回転軸５の軸方向変位を検出するように構成されている。そして、上記のような構造からなるアキシャル磁気軸受１１においては、アキシャル方向変位センサでの検出値（回転軸の軸方向変位）に基づき上下のアキシャル電磁石１１−２の励磁電流が制御され、これにより回転軸５とロータ６からなる回転体がその軸方向の所定位置に浮上支持される。   The axial magnetic bearing 11 includes a disk-shaped armature disk 11-1 attached to the outer periphery of the lower end portion of the rotating shaft 5, and an axial electromagnet 11-2 disposed at the upper and lower positions facing each other with the armature disk 11-1 interposed therebetween. And an axial direction displacement sensor (not shown) installed at a position slightly away from the lower end surface of the rotating shaft 5. The armature disk 11-1 is made of a material having high magnetic permeability, the upper and lower axial electromagnets 11-2 are configured to attract the armature disk 11-1 from the upper and lower directions by magnetic force, and the axial direction displacement sensor is the rotating shaft 5. It is comprised so that the axial direction displacement of may be detected. In the axial magnetic bearing 11 having the above-described structure, the excitation currents of the upper and lower axial electromagnets 11-2 are controlled based on the detection value (axial displacement of the rotating shaft) by the axial displacement sensor. A rotating body including the rotating shaft 5 and the rotor 6 is levitated and supported at a predetermined position in the axial direction.

図１の真空ポンプにおいて、そのロータ６の略上半分はターボ分子ポンプＰｔとして機能する。以下、このターボ分子ポンプＰｔとして機能する部位を説明する。   In the vacuum pump shown in FIG. 1, the upper half of the rotor 6 functions as a turbo molecular pump Pt. Hereinafter, the site | part which functions as this turbo-molecular pump Pt is demonstrated.

ロータ６の上部外周面には回転翼１４が一体に複数設けられており、これらの回転翼１４は、ロータ６の回転中心若しくは外装ケース１の軸心（以下「ポンプ軸心」という。）を中心として放射状に並んでいる。一方、ポンプケース１−１の内周面側には固定翼１５が複数設けられており、これらの固定翼１５は、回転翼１４と同様、ポンプ軸心を中心として放射状に並んで配置されている。また、このような回転翼１４と固定翼１５はポンプ軸心に沿って交互に多段に配置されている。尚、固定翼１５はポンプケースの内周面側に多段に段積み設置されている上下段のスペーサ１６、１６間で挟持されることにより、所定の位置に位置決め固定されている。   A plurality of rotor blades 14 are integrally provided on the upper outer peripheral surface of the rotor 6, and these rotor blades 14 serve as a rotation center of the rotor 6 or an axis of the outer case 1 (hereinafter referred to as “pump axis”). They are arranged radially as the center. On the other hand, a plurality of fixed blades 15 are provided on the inner peripheral surface side of the pump case 1-1, and these fixed blades 15 are arranged side by side in a radial manner around the pump shaft center, like the rotary blades 14. Yes. Further, such rotary blades 14 and fixed blades 15 are alternately arranged in multiple stages along the pump axis. The fixed blade 15 is positioned and fixed at a predetermined position by being sandwiched between upper and lower spacers 16 and 16 that are stacked in multiple stages on the inner peripheral surface side of the pump case.

上記いずれの回転翼１４も、ロータ２の外径加工部と一体的に切削加工で切り出し形成したブレード状の切削加工品であって、気体分子の排気に最適な角度で傾斜している。また、上記いずれの固定翼１５も、図５に示すように、気体分子の排気に最適な角度で傾斜している。   Each of the rotor blades 14 is a blade-like cut product that is cut and formed integrally with the outer diameter machining portion of the rotor 2 and is inclined at an angle that is optimal for exhausting gas molecules. Further, as shown in FIG. 5, each of the fixed blades 15 is inclined at an optimum angle for exhausting gas molecules.

図１の真空ポンプの場合、上記のように配列設置された複数の回転翼１４と固定翼１５からなる翼構造の部分が、ロータ６の回転によりターボ分子ポンプとして機能する。すなわち、駆動モータ１２を作動させると、回転軸５、ロータ６、回転翼１４が一体に高速回転する。そして、高速回転する最上段の回転翼１４がガス吸気口２から入射した気体分子に下向き方向の運動量を付与し、この下向き方向の運動量を有する気体分子が固定翼１５によって次段の回転翼１４側へ送り込まれる。以上の気体分子への運動量の付与と送り込み動作が繰り返し多段に行われることにより、ガス吸気口２側の気体分子がネジポンプＰｓの上流側へ順次移行し排気される。   In the case of the vacuum pump of FIG. 1, the portion of the blade structure composed of the plurality of rotor blades 14 and the fixed blades 15 arranged as described above functions as a turbo molecular pump by the rotation of the rotor 6. That is, when the drive motor 12 is operated, the rotating shaft 5, the rotor 6, and the rotating blades 14 integrally rotate at a high speed. The uppermost rotating blade 14 rotating at high speed imparts a downward momentum to the gas molecules incident from the gas inlet 2, and the gas molecules having the downward momentum are moved by the fixed blade 15 to the next rotating blade 14. It is sent to the side. By applying the momentum to the gas molecules and performing the feeding operation repeatedly in multiple stages, the gas molecules on the gas inlet 2 side are sequentially transferred to the upstream side of the screw pump Ps and exhausted.

図１の真空ポンプＰにおいて、そのロータ６の略下半分はネジポンプＰｓとして機能する。以下このネジポンプＰｓとして機能する部位を説明する。   In the vacuum pump P of FIG. 1, the substantially lower half of the rotor 6 functions as a screw pump Ps. Hereinafter, a portion functioning as the screw pump Ps will be described.

ロータ６の下部側は筒状のネジポンプステータ１８内に収容されている。ネジポンプステータ１８は、その内周部が下方に向けて小径化したテーパコーン形状に形成されて、ロータ６の下部外周を覆う構造となっている。また、同ネジポンプステータ１８はポンプケース１−１に嵌め込み固定されている。   The lower side of the rotor 6 is accommodated in a cylindrical screw pump stator 18. The screw pump stator 18 is formed in a tapered cone shape whose inner peripheral portion is reduced in diameter toward the lower side, and has a structure that covers the lower outer periphery of the rotor 6. The screw pump stator 18 is fitted and fixed to the pump case 1-1.

図１の真空ポンプＰでは、上記のようなネジポンプステータ１８の内周面にネジ溝１９が形成され、このネジポンプステータ１８のネジ溝１９と対向しているロータ６の下部外周面は平滑な円筒面に形成されている。このネジポンプステータ１８とロータ６との間には微小なクリアランスが設けられている。   In the vacuum pump P of FIG. 1, a screw groove 19 is formed on the inner peripheral surface of the screw pump stator 18 as described above, and the lower outer peripheral surface of the rotor 6 facing the screw groove 19 of the screw pump stator 18 is smooth. It is formed on a cylindrical surface. A minute clearance is provided between the screw pump stator 18 and the rotor 6.

ネジ溝１９は、ネジポンプステータ１８の上端から下端にかけて螺旋状に刻設されている。そして、このネジ溝１９の上流端１９ａ（入口）側は、最下段の回転翼１４と固定翼１５との間の微小隙間に連通し、同ネジ溝１９の下流端１９ｂ（出口）側は、ガス排気口３側に連通するように構成されている。   The screw groove 19 is spirally engraved from the upper end to the lower end of the screw pump stator 18. The upstream end 19a (inlet) side of the thread groove 19 communicates with a minute gap between the lowermost rotary blade 14 and the fixed blade 15, and the downstream end 19b (outlet) side of the thread groove 19 is It is configured to communicate with the gas exhaust port 3 side.

図１の真空ポンプでは、上記のようなネジポンプステータ１８と、そのネジ溝１９に対向するロータ６の下部側外周面とからなる部分が、同ロータ６の回転によりネジポンプＰｓとして機能する。すなわち、前述したターボ分子ポンプの機能によりネジポンプＰｓの上流側、すなわちネジ溝１９の上流端１９ａ側に到達した気体分子は、ロータ６の回転とネジ溝１９との相互作用により、遷移流から粘性流に圧縮されてガス排気口３側へ移送され、かつ、該ガス排気口３から図示しない補助ポンプを通じて外部へ排気される。   In the vacuum pump shown in FIG. 1, the portion composed of the screw pump stator 18 as described above and the lower outer peripheral surface of the rotor 6 facing the screw groove 19 functions as the screw pump Ps by the rotation of the rotor 6. That is, the gas molecules that have reached the upstream side of the screw pump Ps, that is, the upstream end 19a side of the screw groove 19 due to the function of the turbo molecular pump described above, become viscous from the transition flow due to the interaction between the rotation of the rotor 6 and the screw groove 19. The gas is compressed into a flow, transferred to the gas exhaust port 3 side, and exhausted to the outside through the auxiliary pump (not shown) from the gas exhaust port 3.

次に、図２ないし図５に基づき、内装部品の周囲にモールド部を成形してなるステータコラムの製造方法を、その工程順に説明する。   Next, based on FIG. 2 thru | or FIG. 5, the manufacturing method of the stator column formed by shape | molding a mold part around an interior component is demonstrated in the order of the process.

まず、第１の工程では、図２に示すように、アルミ合金製のステータコラム４を治具ベース５０上にセットし、そのステータコラム４の内周面側に内装部品、すなわちラジアル電磁石１０−２、ラジアル方向変位センサ１０−３、駆動モータ１２の固定子１２−１等を設置し、更にその内側に円筒状の中子５１を挿入した後、これらを加熱炉に入れ、ステータコラム４やその内装部品とともに中子５１を加熱し、この状態で中子５１とステータコラム４との間に樹脂等のモールド材を充填する。   First, in the first step, as shown in FIG. 2, an aluminum alloy stator column 4 is set on a jig base 50, and an interior part, that is, a radial electromagnet 10-is formed on the inner peripheral surface side of the stator column 4. 2. After installing the radial direction displacement sensor 10-3, the stator 12-1 of the drive motor 12, and the like, and further inserting the cylindrical core 51 inside thereof, they are put into a heating furnace, and the stator column 4 The core 51 is heated together with the interior parts, and in this state, a molding material such as resin is filled between the core 51 and the stator column 4.

ここで、上記中子５１は、ステータコラム４やその内装部品より熱膨張率の大きい弾性部材、例えばシリコーンゴムまたはフッ素系ゴム等から構成される。このような熱膨張率の差により、加熱炉で加熱された上記中子５１は、全体的に径方向に拡張し、中子５１の一部が内装部品の内側面に内接する。この際、中子５１全体のうち、そのように内装部品と内接しない部分は、上記内接時の中子５１の径（内接径）よりも大きく膨らんで、内装部品間の隙間にくい込む。本実施形態においては、約３倍程度の熱膨張率の差を想定している。   Here, the core 51 is composed of an elastic member having a higher coefficient of thermal expansion than the stator column 4 and its interior components, such as silicone rubber or fluorine rubber. Due to the difference in coefficient of thermal expansion, the core 51 heated in the heating furnace expands in the radial direction as a whole, and a part of the core 51 is inscribed in the inner surface of the interior part. At this time, the portion of the entire core 51 that is not inscribed in the interior part swells larger than the diameter (inscribed diameter) of the core 51 at the time of the inscription, so that the gap between the interior parts is difficult to enter. . In the present embodiment, a difference in thermal expansion coefficient of about 3 times is assumed.

図３は、ステータコラム４やその内装部品とともに中子５１が加熱されたときの状態の説明図であって、その（ａ）は図２中の矢印Ａ付近の説明図、（ｂ）は（ａ）中のＢ部拡大図であって、ラジアル電磁石１０−２とラジアル方向変位センサ１０−３という内装部品間の隙間に、中子５１がくい込んだ状態を示したものである。また、（ｃ）は（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図であって、ラジアル電磁石ターゲット１０−１を囲むように一定の間隔で複数配置されたラジアル電磁石１０−２間に、中子５１がくい込んだ状態を示したものである。   FIG. 3 is an explanatory diagram of a state when the core 51 is heated together with the stator column 4 and its interior components, where (a) is an explanatory diagram in the vicinity of the arrow A in FIG. It is the B section enlarged view in a), Comprising: The state where the core 51 was inserted in the clearance gap between interior components called the radial electromagnet 10-2 and the radial direction displacement sensor 10-3 is shown. Further, (c) is a cross-sectional view taken along the line C-C in (a), and a core 51 is interposed between the radial electromagnets 10-2 arranged at a constant interval so as to surround the radial electromagnet target 10-1. It shows the state of being bitten.

上記第１の工程におけるモールド材の充填は、この図３（ｂ）と（ｃ）のように熱膨張率の差で中子５１がくい込んだ状態となっているときに、その中子５１と内装部品との間の隙間にモールド材を充填するものである。図４は、そのように中子５１がくい込んだ状態のときにモールド材を充填した状態の説明図であって、その（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応するものである。   The filling of the molding material in the first step is performed when the core 51 is in a state where the core 51 is bitten by a difference in thermal expansion coefficient as shown in FIGS. 3B and 3C. The molding material is filled in the gap between the interior parts. FIG. 4 is an explanatory diagram of a state in which the mold material is filled when the core 51 is inserted, and FIGS. 4 (a), (b), and (c) are respectively shown in FIG. , (B), (c).

上記第１の工程において、治具ベース５０上でのステータコラム４のセット姿勢は、ステータコラム４の下端側、すなわち図１のようにポンプベース１−２上にネジ止め固定される側が上を向き、同ステータコラム４の上端側が治具ベース５０と対向するように下を向くようにする。   In the first step, the setting posture of the stator column 4 on the jig base 50 is such that the lower end side of the stator column 4, that is, the side screwed and fixed on the pump base 1-2 as shown in FIG. The stator column 4 is directed downward so that the upper end side of the stator column 4 faces the jig base 50.

上記第１の工程において、ラジアル電磁石１０−２等の内装部品をステータコラム４内の定位置に設置する設置方法としては、例えば、内装部品を下から順番に積み上げて配置していく際に、その内装部品間にスペーサ（図示省略）を介在させ、該スペーサで各内装部品の設置高さを調整する方法があるが、これに限定されることはない。   In the first step, as an installation method for installing the interior parts such as the radial electromagnet 10-2 at a fixed position in the stator column 4, for example, when placing and arranging the interior parts in order from the bottom, There is a method of interposing a spacer (not shown) between the interior parts and adjusting the installation height of each interior part with the spacer, but the present invention is not limited to this.

上記中子５１は治具ベース５０上に倒立した状態で固定される。このように中子５１を固定する方式として、本実施形態では、図２に示すように中子５１と同じ長さの芯材５２を中子５１の内側に挿入し、この状態で中子５１と芯材５２の両上向き端面側に押え板５３を配置し、この押え板５３で中子５１を治具ベース５０側に押し付け固定する方式を採っている。尚、押え板５３の上から芯材５２の中央を貫通して治具ベース５０に達するボルト５４を締めると、押え板５３によって中子５１が治具ベース５０に押し付けられ、当該ボルト５４を緩めると押え板５３による中子５１の押し付け力が解除される。   The core 51 is fixed in an inverted state on the jig base 50. As a method of fixing the core 51 in this way, in this embodiment, a core material 52 having the same length as the core 51 is inserted into the core 51 as shown in FIG. Further, a press plate 53 is disposed on both upward end face sides of the core material 52, and the core 51 is pressed against the jig base 50 side by the press plate 53 and fixed. When the bolt 54 that reaches the jig base 50 through the center of the core member 52 from the top of the holding plate 53 is tightened, the core 51 is pressed against the jig base 50 by the holding plate 53 and the bolt 54 is loosened. The pressing force of the core 51 by the presser plate 53 is released.

第３の工程では、上記第２の工程で充填した樹脂等のモールド材を硬化させる。この硬化は上記加熱炉で行なわれる。加熱炉の温度は例えば１２０℃であり、この温度でモールド材は数時間かけて硬化する。この硬化の間、中子５１は、内装部品等との熱膨張率の差により、第１の工程と同様の状態、すなわち全体的に径方向に拡張し、中子５１の一部が内装部品の内側面に内接した状態となって、モールド材の漏洩を防止する。また、この硬化の間においても、その中子５１全体のうち、内装部品と内接しない部分は、内接径よりも大きく膨らんで、内装部品間の隙間や内装部品内の隙間にくい込んだ状態となる（図４参照）。そして、このように中子５１がくい込んだ状態のまま上記隙間内のモールド材が硬化してモールド部１３となる。このため、図５のように、ラジアル電磁石１０−２、ラジアル方向変位センサ１０−３等の内装部品の周囲に成形されるモールド部１３は、中子５１のくい込み深さの量だけ、それぞれの内装部品の内側面Ｓより少し引っ込んだ位置に成形されるようになる。   In the third step, the molding material such as resin filled in the second step is cured. This curing is performed in the heating furnace. The temperature of the heating furnace is, for example, 120 ° C., and the molding material is cured at this temperature over several hours. During this curing, the core 51 expands in the same state as in the first step, that is, in the overall radial direction due to the difference in coefficient of thermal expansion from the interior part or the like, and a part of the core 51 is part of the interior part. This prevents the mold material from leaking in a state inscribed in the inner surface. In addition, even during this curing, a portion of the entire core 51 that is not inscribed in the interior part swells larger than the inscribed diameter, and the gap between the interior parts or the gap in the interior part is not easily inserted. (See FIG. 4). Then, the mold material in the gap is cured while the core 51 is inserted in this manner, and the mold part 13 is formed. For this reason, as shown in FIG. 5, the mold part 13 formed around the interior parts such as the radial electromagnet 10-2 and the radial direction displacement sensor 10-3 has the amount of the biting depth of the core 51. It is molded at a position slightly retracted from the inner surface S of the interior part.

そして、モールド材の硬化後にステータコラム４から中子５１を取り出せば、内装部品の周囲にモールド部１３を有するステータコラム４が得られる。中子５１は、冷えると収縮し、上記のようなくい込みはなくなるので、ステータコラム４からの中子５１の取り出しは容易である。   And if the core 51 is taken out from the stator column 4 after hardening of a molding material, the stator column 4 which has the mold part 13 around an interior component will be obtained. Since the core 51 contracts when it cools, the above-described biting disappears, so that it is easy to remove the core 51 from the stator column 4.

上記実施形態の製造方法は、中子５１を拡張させる方式として、ステータコラム４やその内装部品より熱膨張率の大きい中子５１を用い、その熱膨張率の差により中子５１を拡張させる方式を採用したものである。このため、本実施形態の製造方法によると、この種の中子を内側から流体で加圧し拡張させる従来方式のように、加圧機器や加圧・減圧といった作業、並びに中子に圧入された流体を確実に機密に保持する構造を必要としない。また、スリーブとマンドレルを用いて中子を拡張させる従来方式のように、スリーブやマンドレルといった成形治具を必要とせず、スリーブやマンドレルの挿入作業も必要としないから、上記形態のモールド部、すなわち内装部品の周囲に該内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部３１を、簡単な成形治具と少ない作業工数で安価に成形することができる。   The manufacturing method of the above embodiment uses a core 51 having a larger coefficient of thermal expansion than the stator column 4 and its interior parts as a method for expanding the core 51, and expands the core 51 by the difference in the coefficient of thermal expansion. Is adopted. For this reason, according to the manufacturing method of the present embodiment, this type of core is pressurized with a fluid from the inside, and the pressurizing device, pressurizing / depressurizing work, and press-fitting into the core, as in the conventional method of expanding. There is no need for a structure that securely keeps the fluid confidential. Also, unlike the conventional method of expanding the core using a sleeve and a mandrel, a molding jig such as a sleeve or a mandrel is not required, and an insertion operation of the sleeve or mandrel is not required. The mold part 31 in a form that is slightly retracted from the inner surface of the interior part around the interior part can be formed at low cost with a simple forming jig and a small number of work steps.

上記実施形態では、本発明を適用して真空ポンプのステータコラムを製造する例について説明したが、本発明は、これに限定されることはなく、広く一般に、筒体の内周側に設置した内装部品の周囲にモールド部が成形される構造において、そのモールド部を成形する際のモールド成形方法として、本発明を適用してもよい。   In the above embodiment, an example in which the present invention is applied to manufacture a stator column of a vacuum pump has been described. However, the present invention is not limited to this and is generally installed on the inner peripheral side of a cylindrical body. In the structure in which the mold part is formed around the interior part, the present invention may be applied as a mold forming method for forming the mold part.

真空ポンプの断面図。A sectional view of a vacuum pump. 本発明に係るモールド成形方法を適用して真空ポンプのステータコラムを作製する際の工程において、ステータコラムやその内装部品とともに中子が加熱される前の状態の説明図。Explanatory drawing of the state before a core is heated with a stator column and its interior component in the process at the time of producing the stator column of a vacuum pump by applying the molding method which concerns on this invention. 図３は、ステータコラムやその内装部品とともに中子が加熱されたときの状態の説明図であって、（ａ）は図１中の矢印Ａ付近の説明図、（ｂ）は（ａ）中のＢ部拡大図、（ｃ）は（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図である。3A and 3B are explanatory views of the state when the core is heated together with the stator column and its interior parts. FIG. 3A is an explanatory view in the vicinity of the arrow A in FIG. 1, and FIG. FIG. 4B is an enlarged view of a portion B, and is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 図４は、図３のように中子がくい込んだ状態のときにモール材を充填した状態の説明図であって、その（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応するものである。FIG. 4 is an explanatory diagram of a state in which the molding material is filled when the core is inserted as shown in FIG. 3, and (a), (b), and (c) are respectively shown in FIG. ), (B), and (c). 図５は、図４のように充填したモールド材が硬化してモールド部となった状態の説明図であって、その（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図４の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応するものである。FIG. 5 is an explanatory diagram of a state in which the filled molding material is cured as shown in FIG. 4 to form a mold part, and (a), (b), and (c) are respectively shown in FIG. , (B), (c). スリーブとマンドレルを用いて中子を機械的に拡張する従来方式の説明図。Explanatory drawing of the conventional system which expands a core mechanically using a sleeve and a mandrel.

符号の説明Explanation of symbols

１ 外装ケース
１−１ ポンプケース
１−２ ポンプベース
２ ガス吸気口
３ ガス排気口
４ ステータコラム
５ 回転軸
６ ロータ
７ ボス孔
８ フランジ
９ 段部
１０ ラジアル磁気軸受
１０−１ ラジアル電磁石ターゲット
１０−２ ラジアル電磁石
１０−３ ラジアル方向変位センサ
１１ アキシャル磁気軸受
１１−１ アーマチュアディスク
１１−２ アキシャル電磁石
１２ 駆動モータ
１２−１ 固定子
１２−２ 回転子
１３ モールド部
１４ 回転翼
１５ 固定翼
１６ スペーサ
１８ ネジポンプステータ
１９ ネジ溝
５０ 治具ベース
５１ 中子
５２ 芯材
５３ 押え板
５４ ボルト
５５ スリーブ
５６−１、５６−２ マンドレル
５７ ボルト
５８ スリーブ内周のテーパ部
５９ マンドレル外周のテーパ部
Ｐ 真空ポンプ
Ｐｔ ターボ分子ポンプ
Ｐｓ ネジポンプ
Ｓ 内装部品の内側面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Exterior case 1-1 Pump case 1-2 Pump base 2 Gas inlet 3 Gas exhaust 4 Stator column 5 Rotating shaft 6 Rotor 7 Boss hole 8 Flange 9 Step part 10 Radial magnetic bearing 10-1 Radial electromagnet target 10-2 Radial electromagnet 10-3 Radial direction displacement sensor 11 Axial magnetic bearing 11-1 Armature disk 11-2 Axial electromagnet 12 Drive motor 12-1 Stator 12-2 Rotor 13 Mold part 14 Rotor 15 Fixed vane 16 Spacer 18 Screw pump Stator 19 Thread groove 50 Jig base 51 Core 52 Core material 53 Holding plate 54 Bolt 55 Sleeves 56-1, 56-2 Mandrel 57 Bolt 58 Tapered portion 59 on the inner periphery of the sleeve 59 Tapered portion P on the outer periphery of the mandrel Vacuum pump Pt Turbo molecule Pump Ps Screw pump S For interior parts Side

Claims (3)

筒体の内周側に設置した内装部品の周囲に、モールド部を成形するモールド成形方法であって、
上記筒体やその上記内装部品よりも熱膨張率の大きい中子を用い、該中子を上記筒体の内側に挿入セットした後、その熱膨張率の差により上記中子を拡張させた状態で、上記中子と上記筒体との間に樹脂等のモールド材を充填し、該モールド材を硬化させること
を特徴とするモールド成形方法。 A mold forming method for forming a mold part around an interior part installed on the inner peripheral side of a cylindrical body,
A state in which the core is expanded due to the difference in thermal expansion coefficient after the core is inserted and set inside the cylindrical body using a core having a larger thermal expansion coefficient than the cylindrical body and the interior part. Then, a mold material such as resin is filled between the core and the cylindrical body, and the mold material is cured. 上記筒体は、その内側に真空ポンプの回転軸が挿入され、かつ、少なくとも該回転軸を支持する磁気軸受の構成部品および該回転軸を回転駆動するモータの構成部品を上記内装部品として備える、真空ポンプのステータコラムであること
を特徴とする請求項１に記載のモールド成形方法。 The cylindrical body has a rotary shaft of a vacuum pump inserted therein, and includes at least a magnetic bearing component that supports the rotary shaft and a motor component that rotationally drives the rotary shaft as the interior component. The molding method according to claim 1, wherein the molding method is a stator column of a vacuum pump. 上記請求項２に記載のモールド成形方法により作製されたステータコラムを備えることを特徴とする真空ポンプ。   A vacuum pump comprising a stator column produced by the molding method according to claim 2.
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