JP6125059B2

JP6125059B2 - Stator disk

Info

Publication number: JP6125059B2
Application number: JP2016014138A
Authority: JP
Inventors: マルコ・アントナッチ; ギルブリヒ・ゼンケ; ミリアム・シュミッツ
Original assignee: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
Priority date: 2015-01-29
Filing date: 2016-01-28
Publication date: 2017-05-10
Anticipated expiration: 2036-01-28
Also published as: CN105840525A; EP3051140A1; JP2016142268A; EP3051140B1; CN105840525B

Description

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為のステーターディスクに関する。本発明は更に、そのようなステーターディスクの製造方法並びに真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに関する。 The present invention relates to a stator disk for a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump. The invention further relates to a method for producing such a stator disk and a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump.

例えばターボ分子ポンプのような真空ポンプは、様々な技術領域で使用され、各プロセスに必要な真空を達成する。ターボ分子ポンプはローター軸の方向に連続する複数のステーターディスクを有するステーターと、ローター軸を中心としてステーターに対して相対的に回転可能に支承されたローターを有する。ローターは、ローターシャフトと、ローターシャフトに設けられ、軸法方向において相連続し、そしてステーターディスクの間に設けられた複数のローターディスクを有する。その際、ステーターディスクとローターディスクは、其々、ポンプ効果を発する構造を有している。 Vacuum pumps, such as turbomolecular pumps, are used in various technical areas to achieve the vacuum required for each process. The turbo-molecular pump has a stator having a plurality of stator disks continuous in the direction of the rotor axis, and a rotor supported so as to be rotatable relative to the stator about the rotor axis. The rotor has a rotor shaft and a plurality of rotor disks provided on the rotor shaft, continuous in the axial direction, and provided between the stator disks. At this time, the stator disk and the rotor disk each have a structure that produces a pump effect.

真空ポンプ又はターボ分子ポンプのローター直径が大きいほど、突然のガス進入の際に、ローターディスク及びステーターディスクに作用する圧力も大きい。しかしまた、これは、そのような場合に、ローターとステーターの間の接触が生じるほどに撓んではならない。よって、薄板より製造される、打ち抜かれたステーターディスクにおいて、相応して厚い薄板厚さを選択し、必要な強度を保持することが必要である。「打ち抜かれた」ステーターディスクとは、本開示の枠内では、特に、薄板から打ち抜かれたステーターディスクであり、特に、薄板から鋸挽きによって切り出すことによって得られたものでないステーターディスクであると解される。 The larger the rotor diameter of the vacuum pump or turbo molecular pump, the greater the pressure acting on the rotor disk and stator disk during sudden gas entry. However, it must also not bend so that contact between the rotor and the stator occurs in such a case. Therefore, in a stamped stator disk manufactured from a thin plate, it is necessary to select a correspondingly thick thin plate thickness and maintain the required strength. A “punched” stator disk is understood within the framework of the present disclosure to be, in particular, a stator disk stamped from a thin plate, in particular a stator disk not obtained by sawing from a thin plate. Is done.

相応して厚い薄板厚さの為に、ステーターディスクの強化の為にこれまで通常であった措置、例えばフレアリング（独語：Ｂｏｅｒｄｅｌｕｎｇ）がもはや実現不可能である。しかし、ステーター羽根の必要な目立ての際に、ステーターディスクがゆがむとき、目立て（独語：Ｓｃｈｒａｅｎｋｅｎ）に引き続く羽根の整向（独語：Ｒｉｃｈｔｅｎ）の為の通常の方法はもはや適用不可能である。 Due to the correspondingly thick sheet thickness, measures conventionally used for strengthening the stator disk, such as flaring (German: Boerdelung), are no longer feasible. However, when the stator blades are distorted during the required sharpening of the stator blades, the usual method for blade orientation (German: Richten) following the sharpening (German: Schrakenken) is no longer applicable.

しかし、目立てプロセスにおいて応力がステーターディスク内に生じるので、引き続いての整向過程は必要である。ステーター羽根の目立ての際に発生する応力は、個々のステーター羽根が、トーションのもと弾性的にのみ変形し、よって羽根は、目立て過程の後、再びその当初形状へと戻ろうとする。各ステーターディスクの内側リングは、これによって、ステーターディスクは、全体としてあらわれる非平坦性に基づいてもはや使用できないほどねじれる。後プレスや目立て過程の際の圧力の上昇も、より良好な結果をもたらすものではない。 However, a subsequent orientation process is necessary because stress is generated in the stator disk during the dressing process. The stress generated when the stator blades are sharpened causes the individual stator blades to deform only elastically under torsion, so that the blades try to return to their original shape again after the sharpening process. The inner ring of each stator disk thereby twists the stator disk so that it can no longer be used due to the non-planarity that appears as a whole. An increase in pressure during the post-pressing or sharpening process also does not give better results.

ステーターディスクの望まれない変形又は非平坦性は、主として、ステーター羽根に、目立て過程によってトーションによる内部応力が生じることによって生じる。これは同時に、ステーター羽根がウェブを介して内側リング及び外側リングにより堅固に接続される際に、これらリングの変形にも通じる。 Undesirable deformation or non-flatness of the stator disk is mainly caused by internal stress caused by torsion in the stator blades due to the sharpening process. This also leads to deformation of the stator blades as the stator blades are firmly connected via the web by the inner and outer rings.

欧州特許出願公開第１７３１７６６Ａ２号明細書European Patent Application No. 1731766A2 欧州特許出願公開第１９１８５８８Ａ２号明細書European Patent Application No. 1918588A2 欧州特許出願公開第１６００６３９Ａ２号明細書European Patent Application No. 1600639A2 欧州特許出願公開第２４５８２２２Ａ２号明細書European Patent Application Publication No. 2458222A2

本発明の課題は、上述した問題点が解決される、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為のステーターディスク、及びそのようなステーターディスクの製造の為の方法を提供することである。その際、ステーターディスクは、特に、打ち抜かれたステーターディスクとしてより厚い薄板から製造されるとき、少なくとも基本的に内部応力無いままの状態であろう。 The object of the present invention is to provide a stator disk for vacuum pumps, in particular turbomolecular pumps, and a method for the production of such a stator disk, in which the abovementioned problems are solved. The stator disk will then remain at least essentially free of internal stresses, especially when manufactured from a thicker sheet as a stamped stator disk.

課題は、発明に従い、請求項１に記載の特徴を有するステーターディスクによって、及び請求項６に記載の特徴を有する方法によって解決される。発明に係るステーターディスクの好ましい実施形と、発明に係る方法の好ましい態様は、下位請求項、明細書及び図面から生じる。 The object is solved according to the invention by a stator disk having the features of claim 1 and by a method having the features of claim 6. Preferred embodiments of the inventive stator disk and preferred embodiments of the inventive method result from the subclaims, the description and the drawings.

真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為の発明に係るステーターディスクは、内側リング及び外側リングと、これらの間に配置されたステーター羽根を有する。このステーター羽根は、複数のウェブを介して其々、内側リング及び外側リングと接続されている。その際、ステーターディスクは、目立てられたステーター羽根と、周囲方向において、複数の互いに分離された円環部分に細分された外側リングを有する打ち抜かれたステーターディスクとして形成されている。円環部分の数量は、特に、ステーター羽根の数量に相当する、つまり各ステーター羽根に対して一つの円環部分が設けられている。しかしこれは必須ではない。外側リングの細分は、基本的に、例えば、二つ毎のステーター羽根のみにおいて行われることも可能である。 A stator disk according to the invention for a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, has an inner ring and an outer ring and a stator blade arranged between them. The stator blades are connected to the inner ring and the outer ring through a plurality of webs, respectively. In this case, the stator disk is formed as a stamped stator disk having a conspicuous stator blade and an outer ring subdivided into a plurality of mutually separated annular parts in the circumferential direction. In particular, the number of annular portions corresponds to the number of stator blades, that is, one annular portion is provided for each stator blade. But this is not essential. The subdivision of the outer ring can basically be performed, for example, only in every second stator blade.

「円環部分」の概念は、広く一般的に「セグメント」の意味に理解される。つまり、外側リングを形成するセグメントは、幾何学的に狭い意味で、円環の部材である必要は無い。 The concept of “annular part” is broadly understood in the general sense of “segment”. That is, the segments forming the outer ring need not be annular members in a geometrically narrow sense.

発明に係る形成に基づいて、各ステーターディスクは、厚い薄板から製造されることも可能である。ステーターディスクは、打ち抜かれたステーターディスクとして厚い薄板から製造されるとき、少なくとも基本的に内部応力を有さない状態のままである。好ましくは（しかし必須ではないが）ステーター羽根の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分又はセグメントに、ステーターディスクの外側リングが細分されているので、ステーター羽根の目立てによって羽根内にもたらされた応力が、その後再び解消されることが可能である。これによってステーター羽根は、其々再びその当初形状に戻って回転することができる。その際、内側リングと内側の羽根縁部の間の角度と、外側リングと外側の羽根縁部の間の角度と、これにともないウェブのトーション（羽根を内側リング及び外側リングにつなぐトーション）は、少なくとも基本的に所望の値に一定のままである。目立てプロセスに続く整向過程は、羽根だけのトーションに限定することができる（羽根のトーションにおいてのみ行われることができる）。ウェブのトーションは、その際、そのままである（ウェブのトーションは整向されない）。これによって特に、打ち抜かれた熱いステーターディスクも実現されることが可能である。よって、より大きなローター直径を有する真空ポンプ又はターボ分子ポンプにおいても、より厚く、そして相応して強度の高い打ち抜かれたステーターディスクの使用によって製造コストが最小化されることが可能である。弾性的な変形が、整向過程の後、すぐに解消されることが可能であるので、そのような応力が、運転の間、ポンプ内部において熱によって解消され、そしてステーターディスクの望まれない変形に通じることが回避される。別のコスト削減は、唯一の整向過程のみが必要とされることによって生じる。 Based on the formation according to the invention, each stator disk can also be manufactured from a thick thin plate. When manufactured from a thick sheet as a stamped stator disk, the stator disk remains at least essentially free of internal stress. Preferably (but not necessarily), the outer ring of the stator disk is subdivided into a number of separated annular parts or segments corresponding to the quantity of stator blades, so that the stator blades can also be sharpened in the blades. The applied stress can then be relieved again. This allows the stator blades to return to their original shape and rotate again. At that time, the angle between the inner ring and the inner blade edge, the angle between the outer ring and the outer blade edge, and the web torsion (the torsion that connects the blade to the inner ring and the outer ring) are , At least basically remain constant to the desired value. The alignment process following the sharpening process can be limited to vane-only torsion (can only be done in vane torsion). The web torsion then remains the same (the web torsion is not oriented). In particular, a stamped hot stator disk can also be realized. Thus, even in vacuum pumps or turbomolecular pumps with larger rotor diameters, the production costs can be minimized by using stamped stator disks that are thicker and correspondingly stronger. Since elastic deformation can be resolved immediately after the alignment process, such stress is resolved by heat inside the pump during operation and unwanted deformation of the stator disk Is avoided. Another cost reduction arises from the fact that only a single alignment process is required.

ステーターディスクの厚さ又は薄板厚さは、好ましくは０．５ｍｍよりも厚く、そして特に１．０ｍｍよりも厚い。好ましくは、厚さは約１．５ｍｍである。本発明は、基本的に、より薄い薄板から製造されるステーターディスクにも適する。発明に係るステーターディスクは、１．５ｍｍを越える厚さを有することも可能である。 The thickness or sheet thickness of the stator disk is preferably greater than 0.5 mm and in particular greater than 1.0 mm. Preferably the thickness is about 1.5 mm. The invention is also basically suitable for stator disks manufactured from thinner sheets. The stator disk according to the invention can also have a thickness exceeding 1.5 mm.

好ましくは、外側リングの互いに分離された円環部分は、其々、少なくとも一つのウェブを介してステーター羽根と接続されている。 Preferably, the separated annular portions of the outer ring are each connected to the stator vanes via at least one web.

外側リングの互いに分離された円環部分は、其々、ステーター羽根が整向されているとき、特に有利である。 Separated annular portions of the outer ring are particularly advantageous when the stator blades are each oriented.

外側リングの周囲方向に連続する円環部分は、好ましくは半径方向のスリットによって互いに分離されている。 The annular portions that are continuous in the circumferential direction of the outer ring are preferably separated from one another by radial slits.

真空ポンプ又はターボ分子ポンプのスペーサーリングパケット内におけるステーターディスクの通常の支承によって、ステーターディスクを円環部分に細分しているにも関わらず、いずれにせよ、外側リングの面での連結が保証され、これに伴い、ステーターハウジングに対するステーターディスクの最適な熱的連結が保証される。 The normal support of the stator disk in the spacer ring packet of a vacuum pump or turbomolecular pump guarantees that the connection on the outer ring surface is in any case, even though the stator disk is subdivided into an annular part. This ensures an optimum thermal connection of the stator disk to the stator housing.

スペーサーリングによって各ステーターディスクをその外側リングに固定することによって、外側リングが円環部分に細分されているにもかかわらず、強度に関する損失が少なくとも基本的には生じない。 By fixing each stator disk to its outer ring by means of a spacer ring, there is at least essentially no loss in strength despite the outer ring being subdivided into an annular part.

真空ポンプの為、特にターボ分子ポンプの為のステーターディスクの製造の為の発明に係る方法は、ステーターディスクが、内側リング、外側リング、及びこれらの間に配置された複数のステーター羽根を有する打ち抜かれたステーターディスクとして、薄板により形成されたベースボディから製造され、これらステーター羽根は、其々、ウェブを介して内側リング及び外側リングと接続されており、その際、ステーターディスクの外側リングは、周囲方向において、特にステーター羽根の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分に細分され、ステーター羽根は目立てられ、そしてステーター羽根は引き続いて整向され、その結果、ステーター羽根は所望の目立て角度に調整され、そして外側リングの互いに分離された円環部分は、その出発状態に戻り、当該出発状態において、これらは少なくとも基本的に互いに平行に一つの平面内に位置する点において際立っている。 The method according to the invention for the production of a stator disk for a vacuum pump, in particular for a turbomolecular pump, comprises a stator disk comprising an inner ring, an outer ring and a plurality of stator blades arranged between them. As the extracted stator disk, it is manufactured from a base body formed of a thin plate, and these stator blades are connected to the inner ring and the outer ring via webs, respectively, in which case the outer ring of the stator disk is In the circumferential direction, in particular subdivided into a number of separated annular parts corresponding to the number of stator blades, the stator blades are sharpened, and the stator blades are subsequently oriented, so that the stator blades have the desired sharpening The annular parts, adjusted to the angle and separated from each other of the outer ring, Return to the starting state, in the starting state, it is distinguished in that located in one plane parallel at least essentially one another.

特に、ステーター羽根の目立てによって羽根高さも、所望の各値に調整されることが可能である。 In particular, the blade height can be adjusted to each desired value by setting the stator blades.

ステーター羽根が外側リングに堅固に接続されないことによって、ステーター羽根は、目立ての後、負荷開放されることが可能であり、これによってステーターディスクの所望の平坦性が達成される。外側リングの個々の円環部分が、その当初位置に戻されることが可能である。その際、内側リングと内側の羽根縁部の間の角度、及び、外側リングと外側の羽根縁部の間の角度、及びこれに伴い、（ステーター羽根を内側リング及び外側リングに接続する）ウェブのトーションは、少なくとも基本的に、所望の値に一定のままである。これに続く整向過程は、ステーター羽根のトーションに限定されることが可能である（ステーター羽根だけのトーションにおいて行われることが可能である）。これによって、各所望の角度が得られる。ステーターディスクは、これによって、例えば１ｍｍまたは１．５ｍｍの厚さを有する相対的に厚い薄板から製造されることが可能であるので、より大きなローター直径を有する真空ポンプ又はターボ分子ポンプにおいても、打ち抜かれたステーターディスクを使用することによって製造コストが最小化される。全ての弾性的な変形が、整向過程の後、即座に再び解消されることが可能であるので、ステーターディスクは最終的に応力を有さない。これによって、運転中ポンプ内で熱によって応力が解消されることが可能であり、そして望まれていないステーターディスクの変形に至るということが排除される。更に、単に整向ツールのみが必要とされ、このことは更なるコストの最小化に貢献する。 By not being firmly connected to the outer ring, the stator blades can be unloaded after sharpening, thereby achieving the desired flatness of the stator disk. The individual ring portions of the outer ring can be returned to their original positions. In doing so, the angle between the inner ring and the inner blade edge and the angle between the outer ring and the outer blade edge and, accordingly, the web (which connects the stator blade to the inner ring and the outer ring) The torsion of at least basically remains constant at the desired value. The subsequent alignment process can be limited to the torsion of the stator blades (can be done in the torsion of the stator blades only). This provides each desired angle. The stator disk can thereby be produced from a relatively thick sheet with a thickness of, for example, 1 mm or 1.5 mm, so that it can also be used in vacuum pumps or turbomolecular pumps with larger rotor diameters. Manufacturing costs are minimized by using the extracted stator disks. Since all elastic deformations can be resolved again immediately after the alignment process, the stator disk eventually has no stress. This allows the stress to be relieved by heat within the pump during operation and eliminates unwanted deformation of the stator disk. Furthermore, only a directing tool is required, which contributes to further cost minimization.

ステーター羽根を外側リングに堅固に接続しないことによって、及びこれに伴って現れる、捩られた羽根の応力開放（負荷開放、独語：Ｅｎｔｓｐａｎｎｕｎｇ）によって、整向過程の後にステーターディスクの所望の平坦性が生じる。スペーサーリングによる各ステーターディスクの外側リングへの通常の固定によって、外側リングが細分化されているにも拘わらず、真空ポンプ又はターボ分子ポンプの各スペーサーリングパケット内で外側リングは面で接続されることとなり、これによって、特に最適な熱的な接続が保証される。 By not connecting the stator blades firmly to the outer ring, and the accompanying stress release of the twisted blades (load release, German: Entspanung), the desired flatness of the stator disk after the alignment process is achieved. Arise. The outer ring is connected by a face within each spacer ring packet of a vacuum pump or turbomolecular pump, despite the fact that the outer ring is subdivided by normal fixing of each stator disk to the outer ring by a spacer ring. This ensures a particularly optimal thermal connection.

ステーターディスクの外側リングは、ステーター羽根の目立ての前にも後にも、互いに分離された円環部分へと細分されることが可能である。 The outer ring of the stator disk can be subdivided into separate annular parts before and after the stator blade sharpening.

ステーター羽根の整向は、有利には、ステーター羽根の目立てによって引き起こされる、ウェブのトーションの維持によって行われる。 Stator vane orientation is advantageously accomplished by maintaining web torsion caused by stator vane sharpening.

発明に係る方法の好ましい実践的な態様に従い、ステーター羽根の整向の為に、内側リングに隣接するステーター羽根の縁部は、其々、整向ツールの特に二つの点形状の要素によって固定され、そして外側リングに隣接するステーター羽根の縁部には、其々、整向ツールの特に二つの点形状の要素が位置取らせられ、これを介して、ステーター羽根の必要なトーションが、軸方向の圧力によって引き起こされる。 In accordance with a preferred practical embodiment of the method according to the invention, for the orientation of the stator blades, the edges of the stator blades adjacent to the inner ring are each fixed by a particularly two point-shaped element of the orientation tool. , And at the edges of the stator blades adjacent to the outer ring, respectively, are located in particular two point-shaped elements of the orientation tool, through which the necessary torsion of the stator blades is axially Caused by the pressure of.

その際、ステーター羽根の所望の目立て角度の調整の為に、及び、外側リングの互いに分離された円環部分をその出発状態に戻すために、ステーター羽根は、整向の際に好ましくは軽く過回転させられる。 In doing so, the stator blades are preferably lightly passed during orientation in order to adjust the desired sharpening angle of the stator blades and to return the separated annular parts of the outer ring to their starting state. Rotated.

ステーターディスクは、特に打ち抜き（独語：Ｓｔａｎｚｅｎ）、切断、レーザー、フライス加工、又は鋸挽き（独語：Ｓａｅｇｅｎ）によって、互いに分離された円環部分へと細分されることが可能である。 The stator disks can be subdivided into separate annular parts, in particular by stamping (German), cutting, laser, milling or sawing (German).

好ましくは、ステーターディスクの外側リングは、半径方向のスリット状の切欠き部を周囲方向に連続する円環部分内に形成することによって細分される。 Preferably, the outer ring of the stator disk is subdivided by forming a radial slit-shaped notch in an annular portion continuous in the circumferential direction.

各ステーターディスクを、スペーサーリングによって通常通り固定することによって、外側リングの細分によって、実質的に、ステーターディスクのたわみに対する強度に関して損失が生じない。しかし、ステーターディスクの安定化の為に、周囲方向に連続するステーターディスクの複数の円環部分は、ステーター羽根の整向の後に、例えばびょう留め、溶接、樹脂等による射出包囲等によって処理され、又は取り扱われることが可能である。その際、複数のセグメントは、再び互いに接続されることが可能である。しかしその際、そのような再統合化は必須ではない。 By securing each stator disk as usual with a spacer ring, the outer ring subdivisions cause substantially no loss in terms of strength to deflection of the stator disk. However, in order to stabilize the stator disk, a plurality of annular portions of the stator disk that are continuous in the circumferential direction are processed by, for example, sealing, welding, injection surrounding with resin, etc. after the orientation of the stator blades, Or can be handled. In this case, the plurality of segments can be connected to each other again. However, at that time, such reintegration is not essential.

発明に係る真空ポンプ、特にターボ分子ポンプは、ローター軸の方向に連続する複数のステーターディスクを有するステーターと、ローター軸を中心としてローターに対して回転可能に支承されたローターを有する。該ローターは、ローターシャフト、及び、該ローターシャフトに設けられ、軸北欧に連続し、そしてステーターディスクの間に配置された複数のローターディスクを有する。その際、ステーターディスクとローターディスクは、其々、ポンプ効果を発する構造を有し、そしてステーターディスクとして発明に係るステーターディスクが設けられている。 The vacuum pump according to the invention, particularly the turbo molecular pump, has a stator having a plurality of stator disks continuous in the direction of the rotor axis, and a rotor supported rotatably with respect to the rotor about the rotor axis. The rotor includes a rotor shaft and a plurality of rotor disks provided on the rotor shaft, continuous in the axis North Europe, and disposed between the stator disks. At that time, each of the stator disk and the rotor disk has a structure generating a pump effect, and the stator disk according to the invention is provided as the stator disk.

ステーターディスクは、特に、其々、部分円環形状の複数部分から成っていることが可能である。その際、好ましくはこれらは、其々、二つの半円形状の部分から成っている。 The stator disk can in particular consist of a plurality of parts, each in the form of a partial ring. In this case, these preferably consist of two semicircular parts, respectively.

発明に係る解決策によって、より厚い薄板から製造されたステーターディスクも問題なく使用されることが可能であり、これによって、真空ポンプ及び特にターボ分子ポンプの大きくなる直径によって、同じ圧力において、ステーターディスクに作用する圧力が、著しく上昇するということ、このことが、より大きなポンプにおいて、小さなポンプの場合において従来そうであったよりも厚い材料が使用される必要があるという結果を有するということが考慮されることが可能である。発明に係る解決策に基づいて、従来と異なり、比較的高価なステーターディスクはもはや使用される必要が無い。これは、今や、打ち抜かれたステーターディスクによって置き換えられることが可能であり、これによってコストは明らかに最小化されることが可能である。打ち抜かれたステーターディスクは、相応な厚さ、例えば１．５ｍｍの領域の厚さを有することが可能である。この厚さは、予期せぬ氾濫過程（独語：Ｆｌｕｔｖｏｒｇａｅｎｇｅｎ）の際に生じる高い圧力に耐えることが可能である。 With the inventive solution, a stator disk manufactured from a thicker sheet can also be used without problems, so that at the same pressure, the stator disk at the same pressure, due to the larger diameter of vacuum pumps and in particular turbomolecular pumps. It is considered that the pressure acting on the water increases significantly, which has the result that larger materials need to be used in larger pumps than in the case of smaller pumps. Is possible. Based on the inventive solution, unlike the prior art, relatively expensive stator disks no longer have to be used. This can now be replaced by a stamped stator disk, which can obviously minimize costs. The stamped stator disk can have a corresponding thickness, for example a thickness in the region of 1.5 mm. This thickness is able to withstand the high pressures that occur during an unexpected flooding process (German: Flutvogengen).

打ち抜かれたステーターディスクは、まずプロフィル（輪郭、独語：Ｐｒｏｆｉｌ）が打ち抜かれ、そして引き続いて個々の羽根が目立てられることによって製造される。連続する外側リングを有する従来のステーターディスクにおいては、目立ての際に、弾性的変形によって、羽根内部に、これらが部分的に弾性的にのみ変形されるので、ディスクが引き続いてもはや使用されることが不可能であったような大きさの固有応力が生じる一方で、発明に係る外側リングの切断によって、是正が行われる。外側リングが、各羽根の間で発明に従い分離されることによって、応力は解消されることが可能である。個々の外側リング要素又は円環部分は、目立て過程の後に、確かに傾斜して起立するが、しかしこれらは引き続いて整向されることが可能である。当該整向過程によって、後に、所望のトーションが、軽度の過剰曲げによる可塑的な変形によって達成されることが可能である。この事は、連続する外側リングの観点から従来は不可能であった。外側リングの切断によって、ステーターディスクの安定性はいずれにせよわずかに影響を受ける。しかし、外側リングにおけるスペーサーリングによるステーターディスクの通常の固定の際に、ステーターディスクの過剰曲げの高い危険性が、実際上、生じない。しかしながら、ステーターディスクの更なる安定化の為に、まず外側リングの互いに分離された円環部分を整向過程の後、例えば、びょう留め、溶接、又はプラスチックによる射出包囲によって再び接続することも考え得る。 The stamped stator disk is manufactured by first stamping a profile (contour, German: Profil) and subsequently sharpening the individual blades. In conventional stator disks with a continuous outer ring, the discs are no longer used continuously as they are only partially elastically deformed inside the blades due to elastic deformation during sharpening. Correction occurs by cutting the outer ring according to the invention, while producing an inherent stress of such a magnitude that was impossible. By the outer ring being separated according to the invention between each blade, the stress can be relieved. The individual outer ring elements or ring parts stand up with a certain inclination after the sharpening process, but they can subsequently be oriented. By means of this alignment process, the desired torsion can later be achieved by plastic deformation with slight overbending. This was not possible in the past from the standpoint of a continuous outer ring. Due to the cutting of the outer ring, the stability of the stator disk is slightly affected anyway. However, during normal fixing of the stator disk by the spacer ring in the outer ring, there is practically no high risk of overbending of the stator disk. However, for further stabilization of the stator disk, it is also conceivable that the separated annular parts of the outer ring are first reconnected after the orientation process, for example by brazing, welding or plastic injection enclosures. obtain.

ステーターディスクの外側リングの発明に係る切断によって、より厚い薄板もステーターディスクへと処理されることが可能である。切断によってこれらが整向可能となるからである。これは、過剰曲げと吸引性能の間のできるだけ良い妥協案を、詳しく言うとより大きなステーターディスク直径においても可能とする。その際、より大きな真空ポンプ又はより大きなターボ分子ポンプにおいても、打ち抜かれたステーターディスクのコストメリットが利用されることが可能である。 With the inventive cutting of the outer ring of the stator disk, thicker sheets can also be processed into the stator disk. This is because these can be oriented by cutting. This allows the best possible compromise between overbending and suction performance, particularly at larger stator disk diameters. At that time, the cost advantage of the stamped stator disk can be utilized even in larger vacuum pumps or larger turbo molecular pumps.

本発明を、以下に添付の図面を参照しつつ実施例に基づいて詳細に説明する。図は、以下を示している。 The present invention will be described in detail below based on examples with reference to the accompanying drawings. The figure shows the following:

発明に係るステーターディスクが使用可能である真空ポンプの一つの例示的な実施形の簡略図FIG. 1 is a simplified diagram of one exemplary embodiment of a vacuum pump in which the inventive stator disk can be used. 発明に係るステーターディスクの例示的な実施形のうち、二つの半円形状の部分から成る実施形の半円形の部分の簡略上面図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a simplified top view of a semicircular portion of an embodiment comprising two semicircular portions of an exemplary embodiment of a stator disk according to the invention. 図２の半円形状のステーターディスクの図２の矢印の方向の簡略図FIG. 2 is a simplified view of the semicircular stator disk of FIG.

図１に示された真空ポンプ１０は、インレットフランジ１２によって取り囲まれたポンプインレット１４と、ポンプインレット１４に及ぶガスを、図１に表されていないポンプアウトレットへと搬送するための複数のポンプ段を有している。真空ポンプ１０は、静的な（又は静止した）ハウジング１６を有するステーターと、該ハウジング１６に設けられ、回転軸１８を中心として回転可能に支承されたローターシャフト２０を有するローターを有している。 The vacuum pump 10 shown in FIG. 1 includes a pump inlet 14 surrounded by an inlet flange 12 and a plurality of pump stages for conveying gas spanning the pump inlet 14 to a pump outlet not shown in FIG. have. The vacuum pump 10 includes a stator having a static (or stationary) housing 16, and a rotor having a rotor shaft 20 provided in the housing 16 and supported rotatably about a rotation shaft 18. .

真空ポンプ１０は、ターボ分子ポンプとして形成され、そしてポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続された複数のターボ分子的ポンプ段を有する。これらポンプ段は、ローターシャフト２０と接続された複数のローターディスク２２と、軸方向においてローターディスク２２の間に設けられ、そしてハウジング１６に固定された複数のターボ分子的ステーターディスク２４を有する。これらは、スペーサーリング２６によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。ローターディスク２２とステーターディスク２４は、吸い込み領域（独語：Ｓｃｈｏｅｐｆｂｅｒｅｉｃｈ）２８において矢印３０の方向に向けられた軸方向のポンプ作用を提供する。 The vacuum pump 10 is formed as a turbomolecular pump and has a plurality of turbomolecular pump stages that are serially connected to each other to perform the pumping action. These pump stages have a plurality of rotor disks 22 connected to the rotor shaft 20 and a plurality of turbomolecular stator disks 24 provided between the rotor disks 22 in the axial direction and fixed to the housing 16. These are held at a desired axial distance from each other by the spacer ring 26. The rotor disk 22 and the stator disk 24 provide an axial pumping action directed in the direction of the arrow 30 in the suction area 28 (German: Schoeffbererich).

真空ポンプ１０は、更に、半径方向において入れ子式（独語：ｉｎｅｉｎａｎｄｅｒ）に設けられ、そしてポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続された三つのホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローター側の部材は、ローターシャフト２０と接続されたローラーハブ３２と、ローターハブ３２に固定され、そしてこれによって担持されたシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ３４，３６を有する。これらは、ローター軸１８に対して同軸に向けられており、そして半径方向において入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状のホルベックステータースリーブ３８，４０が設けられている。ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する表面は、狭い半径方向のホルベック間隙を形成しつつ互いに向かい合っている半径方向の、ホルベックロータースリーブ３４，３６とホルベックステータースリーブ３８，４０の側面によって形成されている。その際、ポンプ効果を発する表面の各一方（本場面においてはホルベックロータースリーブ３４または３６のそれ）は滑らかに形成されており、ホルベックステータースリーブ３８，４０の向かい合ったポンプ効果を発する表面は、構造化部を有している。構造化部は、回転軸１８の周りをねじ線形状に軸方向へと推移する複数の溝を有しており、この中を、ローターの回転によってガスが搬送され、これによってポンピングが行われる。 The vacuum pump 10 further comprises three Holbeck pump stages that are telescopically arranged in the radial direction and are serially connected to each other to perform the pumping action. The member on the rotor side of the Holbeck pump stage includes a roller hub 32 connected to the rotor shaft 20, and two holbeck rotor sleeves 34, 36 fixed to the rotor hub 32 and supported by the cylinder side surface. Have. They are oriented coaxially with respect to the rotor shaft 18 and are telescopically connected in the radial direction. Further, holbeck stator sleeves 38 and 40 having a cylinder side shape are provided. The pumping surface of the Holbeck pump stage is formed by the lateral sides of the Holbeck rotor sleeves 34 and 36 and the Holbeck stator sleeves 38 and 40 facing each other forming a narrow radial Holbeck gap. ing. In this case, one of the pumping surfaces (in this case, that of the Holbeck rotor sleeve 34 or 36) is formed smoothly, and the opposing pumping surfaces of the Holbeck stator sleeves 38, 40 are Has a structured part. The structuring section has a plurality of grooves that transition in the axial direction around the rotating shaft 18 in the shape of a screw line, and gas is conveyed therein by the rotation of the rotor, whereby pumping is performed.

ローターシャフト２０の回転可能な支承は、ポンプアウトレットの領域のローラー支承部４２とポンプインレット１４の領域の永久磁石支承部によって行われる。 The rotatable bearing of the rotor shaft 20 is effected by a roller bearing 42 in the area of the pump outlet and a permanent magnet bearing in the area of the pump inlet 14.

永久磁石支承部４４は、ローター側の支承半部４６とステーター側の支承半部４８を有している。これらは、其々一つのリング積層部を有する。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング５０，５２から成る。その際、磁石リング５０，５２は、半径方向の支承間隙５４を形成しつつ互いに向き合っている。 The permanent magnet bearing 44 has a rotor-side bearing half 46 and a stator-side bearing half 48. Each of these has one ring stack. The ring laminated portion is composed of a plurality of rings 50 and 52 of permanent magnets laminated together in the axial direction. At this time, the magnet rings 50 and 52 face each other while forming a radial bearing gap 54.

永久磁石支承部４４の内部には、緊急用または安全用支承部（独語：Ｎｏｔ− ｏｄｅｒＦａｎｇｌａｇｅｒ）５６が設けられている。該支承部は、潤滑されていないローラー支承部として形成されており、そして真空ポンプの通常の運転においては、非接触で空転し、そして、ローターがステーターに対して過剰に半径方向に偏向した際に初めて係合するに至り、ローターの為の半径方向のストッパーを形成する。このストッパーは、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのを防止する。 Inside the permanent magnet support 44, an emergency or safety support 56 (German: Not-order Fanlager) 56 is provided. The bearing is formed as an unlubricated roller bearing and, in normal operation of the vacuum pump, slips non-contactingly and when the rotor is excessively deflected radially with respect to the stator Is engaged for the first time, forming a radial stopper for the rotor. This stopper prevents the structure on the rotor side from colliding with the structure on the stator side.

ローラー支承部４２の領域においては、ローターシャフト２０に円すい形のスプラッシュナット５８が設けられている。スプラッシュナットは、ローラー支承部４２の方に向かって増加する外直径を有している。これは、作動媒体、例えば潤滑媒体を染み込ませられた吸収性の複数のディスク６０を有する作動媒体貯蔵部のスキマーとすべり接触状態にある。運転中、作動媒体は毛細管作用によって、作動媒体貯蔵部からスキマー（独語：Ａｂｓｔｒｅｉｆｅｒ）を介して回転するスプラッシュナット５８へと伝達され、そして引き続いて遠心力によってスプラッシュナット５８にそって、スプラッシュナット５８の大きくなる外直径の方向へとローラー支承部４２に向かって搬送され、そこで例えば潤滑機能を発揮する。 In the region of the roller support portion 42, the rotor shaft 20 is provided with a conical splash nut 58. The splash nut has an outer diameter that increases toward the roller bearing 42. This is in sliding contact with a working medium reservoir skimmer having a plurality of absorbent disks 60 impregnated with a working medium, eg, a lubricating medium. During operation, the working medium is transferred by capillary action from the working medium reservoir to the rotating splash nut 58 via a skimmer (Abstriefer) and subsequently along the splash nut 58 by centrifugal force. Is conveyed toward the roller support portion 42 in the direction of the outer diameter of which increases, for example, and exhibits a lubricating function.

真空ポンプは、ローターの回転駆動の為の駆動モーター６２を有する。その回転子は、ローターシャフト２０によって形成されている。制御ユニット６４が、駆動モーター６２を駆動する。 The vacuum pump has a drive motor 62 for rotating the rotor. The rotor is formed by the rotor shaft 20. The control unit 64 drives the drive motor 62.

ターボ分子的ポンプ段は、吸い込み領域２８において矢印３０の方向のポンプ作用を提供する。 The turbomolecular pump stage provides pumping in the direction of arrow 30 in the suction region 28.

図２は、真空ポンプの為の発明に係るステーターディスク２４の、そのような二つの半円形状の部分から成る例示的な実施形の半円形状の部分の簡略上面図を示す。その様なステーターディスク２４は、図１と関連して説明されたように、例えば真空ポンプ１０又はターボ分子ポンプにおいて使用されることが可能である。図３には、図２の半円形状のステーターディスク部分が、矢印Ａの方向の簡略図として再度再現されている。 FIG. 2 shows a simplified top view of a semicircular portion of an exemplary embodiment of such a semicircular portion of a stator disk 24 according to the invention for a vacuum pump. Such a stator disk 24 can be used, for example, in a vacuum pump 10 or a turbomolecular pump, as described in connection with FIG. In FIG. 3, the semicircular stator disk portion of FIG. 2 is reproduced again as a simplified diagram in the direction of arrow A.

ステーターディスク２４は、内側リング６６及び外側リング６８と、これらの間に設けられたステーター羽根７０を有する。ステーター羽根７０は、其々、内側のウェブ７２とそ外側のウェブ７４を介して内側リング６６又は外側リング６８と接続されている。 The stator disk 24 includes an inner ring 66 and an outer ring 68, and a stator blade 70 provided therebetween. The stator blades 70 are connected to the inner ring 66 or the outer ring 68 via an inner web 72 and an outer web 74, respectively.

その際、ステーターディスク２４は、ねじられた（独語：ｇｅｓｃｈｒａｅｎｋｔｅｎ）複数のステーター羽根７０を有する、打ち抜かれた（独語：ｇｅｂｌｅｃｈｔｅ）ステーターディスクとしての薄板から形成されたベースボディと、周囲方向においてステーター羽根７０の数量と対応する数量の、互いに分離された円環部分７６に細分された外側リング６８から形成されている。 In this case, the stator disk 24 comprises a base body formed from a thin plate as a stamped (German: geblechte) stator disk with a plurality of twisted (german: geschranenkten) stator blades 70 and a stator blade in the circumferential direction. It is formed from an outer ring 68 subdivided into annular portions 76 separated from each other in a quantity corresponding to 70 quantities.

図２に見て取れるように、外側リング６８の互いに分離された円環部分は、其々、唯一の外側のウェブ７４を介して各ステーター羽根７０と接続されている。ここで、外側リング６８の互いに分離された円環部分７６は、其々、当該ステーター羽根７０が半径方向に向けられている。 As can be seen in FIG. 2, the separated annular portions of the outer ring 68 are each connected to each stator blade 70 via a unique outer web 74. Here, in the annular portions 76 of the outer ring 68 separated from each other, the stator blades 70 are directed in the radial direction.

この場合、外側リング６８の周囲方向において連続する円環部分７６は、半径方向のスリット７８によって互いに分離されている。 In this case, the annular portions 76 that are continuous in the circumferential direction of the outer ring 68 are separated from each other by a radial slit 78.

製造されたステーターディスク２４の外側リング６８の互いに分離された円環部分７６は、互いに平行に一つの共通の平面内に設けられている。 The separated annular portions 76 of the outer ring 68 of the manufactured stator disk 24 are provided in a common plane parallel to each other.

対応するステーターディスク２４の製造の為に、発明に係る方法の例示的な形態では、ステーターディスク２４は、薄板から形成されたベースボディから、内側リング６６、外側リング６８及びこれらの間に設けられたステーター羽根７０を有する打ち抜かれたステーターディスクとして製造される。これらは、其々、内側のウェブ７２及び外側のウェブ７４を介して内側リング６６又は外側リング６８と接続されている。 For the production of a corresponding stator disk 24, in an exemplary form of the method according to the invention, the stator disk 24 is provided from a base body formed from a thin plate, to an inner ring 66, an outer ring 68 and between them. Manufactured as a stamped stator disk having stator blades 70. These are connected to the inner ring 66 or the outer ring 68 via an inner web 72 and an outer web 74, respectively.

ステーターディスク２４の外側リング６８は、周囲方向において、ステーター羽根７０の数量に相当する数量の、互いに分離された円環部分７６へと細分されている。ステーター羽根７０は、ステーター羽根７０の所望の目立て角度（独語：Ｓｃｈｒａｅｎｋｗｉｎｋｅｌ）を調整するため、目立てを行われ、そして引き続いて整向され、そして外側リング６８の互いに分離した円環部分７６は、その出発状態へと戻される。当該出発状態においては、これらは一つの共通な平面内で、再び少なくとも基本的に互いに平行である。 The outer ring 68 of the stator disk 24 is subdivided in the circumferential direction into a number of annular parts 76 that are separated from one another in a quantity corresponding to the quantity of stator blades 70. The stator blades 70 are sharpened and subsequently oriented to adjust the desired sharpening angle of the stator blades 70 (German: Schoeninkwinkel), and the separated annular portions 76 of the outer ring 68 are Returned to departure state. In the starting state, they are again at least essentially parallel to one another in one common plane.

その際、ステーターリング２４の外側リング６８は、ステーター羽根７０の目立て（独語：Ｓｃｈｒａｅｎｋｅｎ）の前又は後に、ステーター羽根７０の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分７６へと細分されることが可能である。 In so doing, the outer ring 68 of the stator ring 24 is subdivided into separate annular portions 76 of a quantity corresponding to the quantity of the stator blades 70 before or after the setting of the stator blades 70 (German: Schraenken). It is possible.

ステーター羽根７０の整向（独語：Ｒｉｃｈｔｅｎ）は、ステーター羽根７０の目立てによって引き起こされるウェブ７２，７４のトーションを保ちつつ行われる。 The stator blades 70 are oriented (German: Richten) while maintaining the torsion of the webs 72 and 74 caused by the sharpening of the stator blades 70.

この為、ステーター羽根７０の整向の為に、内側リング６６に隣接するステーター羽根７０の縁部８０は、其々、整向ツール（図示せず）の特に二つの点形状の要素によって固定され、そして、外側リング６８に隣接するステーター羽根７０の縁部６２に、整向ツールの特に二つの点形状の要素が位置取られる。これらを介して、軸方向の圧力によってステーター羽根７０の必要なトーションが引き起こされる。 For this reason, for the orientation of the stator blades 70, the edges 80 of the stator blades 70 adjacent to the inner ring 66 are each fixed by two particularly point-shaped elements of the orientation tool (not shown). And in particular at the edge 62 of the stator blade 70 adjacent to the outer ring 68, two point-shaped elements of the orientation tool are located. Through these, the necessary torsion of the stator blades 70 is caused by the axial pressure.

ステーター羽根７０の所望の目立て角度を調整するために、及び、外側リング６８の互いに分離された円環部分７６を、その出発状態に戻すために、ステーター羽根７０は整向の際にわずかに過回転させられる。 In order to adjust the desired sharpening angle of the stator blades 70 and to return the separated annular portions 76 of the outer ring 68 to their starting state, the stator blades 70 are slightly over-oriented. Rotated.

ステーターディスク２４は、特に打ち抜き、切断、レーザー、又はフライス加工によって、ステーター羽根７０に相当する数量の互いに分離された円環部分７６へと細分される。その際、ステーターディスク２４の外側リング６８の細分は、周囲方向に連続する円環部分７６へと、特にスリット状の半径方向の切欠き部又は半径方向のスリット７８によって細分される。 The stator disk 24 is subdivided into a number of separated annular portions 76 corresponding to the stator blades 70, in particular by stamping, cutting, lasering or milling. In that case, the subdivision of the outer ring 68 of the stator disk 24 is subdivided into an annular part 76 which is continuous in the circumferential direction, in particular by a slit-shaped radial notch or a radial slit 78.

しかしまた、外側リングのセグメント間の中間空間又は中断は、スリット状である必要は無い。また、この中間空間又は中断が、半径方向に延在すること、又は少なくとも連続的に半径方向に延在することは、必須ではない。中間空間又は中断の形態及び形状は、基本的に任意であり、そして特に、使用される薄板の厚さと、ステーターディスクの寸法に依存して選択される。 But also the intermediate space or break between the segments of the outer ring need not be slit-like. Also, it is not essential that this intermediate space or interruption extends in the radial direction, or at least continuously in the radial direction. The form and shape of the intermediate spaces or interruptions are basically arbitrary and are selected in particular depending on the thickness of the sheet used and the dimensions of the stator disk.

ステーターディスク２４をスペーサーリングによって外側リング６８に通常通り固定する際に、実際的には、ステーターディスク２４の強度に関して本質的な損失が発生せず、そして相応して、ステーターディスクのたわみの危険性が高まることも実際的には無い。しかしまた、ステーターディスク２４の安定性を高める為に、ステーターディスク２４の周囲方向に連続する円環部分７６が、ステーター羽根７０の整向の後に、例えばびょう留め、溶接、プラスチック等による射出包囲（独語：Ｕｍｓｐｒｉｔｚｅｎ）等によって処理されるか、及び／又は、互いに接続されることが基本的に考え得る。 When the stator disk 24 is normally secured to the outer ring 68 by the spacer ring, practically no substantial loss occurs with respect to the strength of the stator disk 24 and correspondingly the risk of deflection of the stator disk. In practice, there is no increase. However, in order to increase the stability of the stator disk 24, the annular portion 76 continuous in the circumferential direction of the stator disk 24 is formed after the stator blades 70 are aligned, for example, by injection sealing (for example, by fastening, welding, plastic, etc.) It is basically conceivable that they are processed and / or connected to each other by German (Umspritzen) or the like.

１０真空ポンプ
１２インレットフランジ
１４ポンプインレット
１６ハウジング
１８回転軸
２０ローターシャフト
２２ローターディスク
２４ステーターディスク
２６スペーサーリング
２８吸い込み領域
３０矢印
３２ローターハブ
３４ホルベックロータースリーブ
３６ホルベックロータースリーブ
３８ホルベックステータースリーブ
４０ホルベックステータースリーブ
４２ローラー支承部
４４永久磁石支承部
４６ローター側の支承半部
４８ステーター側の支承半部
５０永久磁石のリング
５２永久磁石のリング
５４半径方向の支承間隙
５６緊急用又は安全用支承部
５８円すい形のスプラッシュナット
６０吸収性のディスク
６２駆動モーター
６４制御ユニット
６６内側リング
６８外側リング
７０ステーター羽根
７２内側のウェブ
７４外側のウェブ
７６円環部分
７８半径方向のスリット、半径方向の切欠き部
８０内側の縁部
８２外側の縁部 10 Vacuum pump 12 Inlet flange 14 Pump inlet 16 Housing 18 Rotating shaft 20 Rotor shaft 22 Rotor disk 24 Stator disk 26 Spacer ring 28 Suction area 30 Arrow 32 Rotor hub 34 Holbeck rotor sleeve 36 Holbeck rotor sleeve 38 Holbeck stator sleeve 40 Holbeck stator sleeve 42 Roller bearing part 44 Permanent magnet bearing part 46 Rotor side bearing half part 48 Stator side bearing half part 50 Permanent magnet ring 52 Permanent magnet ring 54 Radial bearing gap 56 Emergency or safety bearing Part 58 conical splash nut 60 absorbent disc 62 drive motor 64 control unit 66 inner ring 68 outer ring 70 stator blade 72 inner web 74 outer web 76 annular section 78 radial slits, the radial notch 80 inner end 82 outer edge

Claims

真空ポンプ（１０）の為のステーターディスク（２４）であって、内側リング（６６）及び外側リング（６８）並びにこれらの間に設けられた複数のステーター羽根（７０）を有し、これらが其々ウェブ（７２，７４）を介して内側リング（６６）及び外側リング（６８）と接続されており、その際、ステーターディスク（２４）が、目立てられた複数のステーター羽根（７０）と、周囲方向において、ステーター羽根（７０）の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分（７６）に細分された外側リング（６８）を有する打ち抜かれたステーターディスクとして形成されていることを特徴とするステーターディスク。 A stator disk (24) for a vacuum pump (10 ) having an inner ring (66) and an outer ring (68) and a plurality of stator blades (70) provided therebetween, which are Are connected to the inner ring (66) and the outer ring (68) via webs (72, 74), in which the stator disk (24) is connected to a plurality of conspicuous stator blades (70) and the surrounding in the direction, characterized in that it is formed as a stator disc punched with an outer ring (68) which is subdivided from one another in separate annular section (76) of the quantity corresponding to the number of scan Teter vane (70) And stator disk.

外側リング（６８）の互いに分離された円環部分（７６）が、其々、少なくとも一つのウェブ（７４）を介してステーター羽根（７０）と接続されていることを特徴とする請求項１に記載のステーターディスク。 The separated annular portions (76) of the outer ring (68) are each connected to the stator vanes (70) via at least one web (74). The stator disk described.

外側リング（６８）の互いに分離された円環部分（７６）は、其々、ステーター羽根（７０）が半径方向に向けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のステーターディスク。 Stator disk according to claim 1 or 2, characterized in that the separated annular parts (76) of the outer ring (68) are each oriented in the radial direction with the stator blades (70).

外側リング（６８）の、周囲方向において互いに連続する円環部分（７６）が半径方向のスリット（７８）によって互いに分離されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のステーターディスク。 4. The outer ring (68), the annular parts (76) which are continuous with one another in the circumferential direction, are separated from one another by radial slits (78). Stator disk.

外側リング（６８）の互いに分離された円環部分（７６）が、一つの共通の平面の中で、互いに平行に設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のステーターディスク。 5. The ring part (76) of the outer ring (68) separated from each other is provided parallel to each other in one common plane. The stator disk described.

真空ポンプの為のステーターディスクの製造方法であって、薄板により形成されたベースボディからなるステーターディスク（２４）が、内側リング（６６）、外側リング（６８）、及び、これらの間に設けられた複数のステーター羽根（７０）を有する打ち抜かれたステーターディスクとして製造されており、これらステーター羽根が、其々、ウェブ（７２，７４）を介して内側リング（６６）及び外側リング（６８）と接続されており、その際、ステーターディスク（２４）の外側リング（６８）が、周囲方向において、ステーター羽根（７０）の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分（７６）に細分され、ステーター羽根が目立てられ、そしてステーター羽根（７０）が引き続いて整向され、外側リング（６８）の互いに分離された円環部分（７６）が、その出発状態に戻され、当該出発状態において、これらが少なくとも基本的に、一つの共通な平面内において互いに平行な状態にあることを特徴とする方法。 A stator disc manufacturing method for a vacuum pump, stator comprising a base body which is formed of a thin plate disk (24), an inner ring (66), an outer ring (68), and, arranged between these Manufactured as a stamped stator disk having a plurality of stator blades (70), which are respectively connected via an inner ring (66) and an outer ring (68) via webs (72, 74). is connected to the outer ring of this time, the stator disc (24) (68), circumferentially smell Te, together separated annular section of the quantity corresponding to the number of scan Teter vane (70) (76) The stator blades are sharpened and the stator blades (70) are subsequently oriented so that the outer ring (68) is separated from each other. Methods annular section (76) that is, returned to its initial state, which in the initial state, characterized in that they at least essentially, in parallel to each other within a common plane.

ステーターディスク（２４）の外側リング（６８）が、ステーター羽根（７０）の目立ての前に互いに分離された円環部分（７６）へと細分されることを特徴とする請求項６に記載の方法。 7. A method according to claim 6, characterized in that the outer ring (68) of the stator disk (24) is subdivided into annular parts (76) separated from one another before sharpening of the stator blades (70). .

ステーターディス（２４）の外側リング（６８）が、ステーター羽根（７０）を目立てた後に互いに分離された複数の円環部分（７６）へと細分されることを特徴とする請求項６に記載の方法。 The outer ring (68) of the stator dis (24) is subdivided into a plurality of annular parts (76) separated from each other after sharpening the stator blades (70). Method.

ステーター羽根（７０）の整向は、ステーター羽根（７０）の目立てによって引き起こされるウェブ（７２，７４）のトーションの保持もと行われることを特徴とする請求項６から８のいずれか一項に記載の方法。 The orientation of the stator blades (70) takes place under the torsion of the web (72, 74) caused by the sharpening of the stator blades (70). The method described.

ステーター羽根（７０）の整向の為に、内側リング（６６）に隣接する、ステーター羽根（７０）の縁部（８０）が、其々、整向ツールの点形状の要素によって固定され、そして、ステーター羽根（７０）の、外側リング（６８）に隣接する縁部（８２）に、其々、整向ツールの点形状の要素が位置取らせられ、これらを介してステーター羽根（７０）の必要なトーションが軸方向の圧力によって引き起こされることを特徴とする請求項６から９のいずれか一項に記載の方法。 For orientation of the stator blades (70), the edges (80) of the stator blades (70) adjacent to the inner ring (66) are each fixed by the point- shaped element of the orientation tool, and The pointed elements of the orientation tool are located on the edge (82) of the stator blade (70) adjacent to the outer ring (68), respectively, through which the stator blade (70) 10. A method according to any one of claims 6 to 9, characterized in that the required torsion is caused by axial pressure.

ステーター羽根（７０）の所望の目立て角度の調整の為に、及び、外側リング（６８）の互いに分離された円環部分（７６）をその出発状態へと戻すために、ステーター羽根（７０）が、整向の際にわずかに過回転されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。 In order to adjust the desired sharpening angle of the stator blade (70) and to return the separated annular portions (76) of the outer ring (68) to its starting state, the stator blade (70) 11. The method of claim 10, wherein the method is slightly over-rotated during orientation.

ステーターディスク（２４）が、打ち抜き、切断、レーザー、又はフライス加工によって、互いに分離された複数の円環部分（７６）へと細分されることを特徴とする請求項６から１１のいずれか一項に記載の方法。 The stator disk (24) is subdivided into a plurality of annular parts (76) separated from one another by stamping, cutting, laser or milling. The method described in 1.

ステーターディスク（２４）の外側リング（６８）が、スリット状の半径方向の切欠き部（７８）の形成によって、周囲方向に連続する複数の円環部分（７６）へと細分されることを特徴とする請求項６から１２のいずれか一項に記載の方法。 The outer ring (68) of the stator disk (24) is subdivided into a plurality of annular portions (76) continuous in the circumferential direction by the formation of slit-shaped radial notches (78). The method according to any one of claims 6 to 12.

ステーターディスク（２４）の、周囲方向に互いに連続する円環部分（７６）が、ステーター羽根（７０）の整向の後に安定化され、及び／又は互いに接続されることを特徴とする請求項６から１３のいずれか一項に記載の方法。 The stator disc (24), annular section which succeed one another in the peripheral direction (76) is stabilize after orienting the stator vane (70), and / or claims, characterized in that connected to each other Item 14. The method according to any one of Items 6 to 13.

真空ポンプ（１０）、であって、ローター軸（１８）の方向に相連続する複数のステーターディスク（２４）を有するステーターと、ローター軸（１８）を中心としてステーターに対して回転可能に支承されたローターを有し、このローターは、ローターシャフト（２０）と、ローターシャフト（２０）に設けられ、軸方向において相連続し、そしてステーターディスク（２４）の間に配置された複数のローターディスク（２２）を有し、その際、ステーターディスク（２４）及びローターディスク（２２）が、其々、ポンプ効果を発する構造を有し、そしてステーターディスク（２４）が請求項１から５のいずれか一項に従い形成され、及び／又は、請求項６から１３のいずれか一項に記載の方法によって製造されていることを特徴とする真空ポンプ。 A vacuum pump (10 ) having a plurality of stator disks (24) continuous in the direction of the rotor shaft (18) and rotatably supported with respect to the stator about the rotor shaft (18); The rotor includes a rotor shaft (20), and a plurality of rotor disks (which are provided on the rotor shaft (20), are continuous in the axial direction, and are disposed between the stator disks (24)). 22), wherein the stator disk (24) and the rotor disk (22) each have a structure that produces a pumping effect, and the stator disk (24) is any one of claims 1 to 5. And / or manufactured by a method according to any one of claims 6 to 13. Vacuum pump.