JP2006068843A - 微小電気機械素子、光学微小電気機械素子、光変調素子、並びにレーザディスプレイ - Google Patents
微小電気機械素子、光学微小電気機械素子、光変調素子、並びにレーザディスプレイInfo
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Abstract
【解決手段】 下部電極43に空間44を挟んで対向し端部で支持されたビーム45を有し、ビーム45にビーム幅方向の傾きを生じさせる段差51が設けられると共に、段差51に三重点の応力を緩和させる手段52が設けられて成る。
【選択図】 図1
Description
一方、後述の課題で説明する微小電気機械素子のビームに生じるたわみを低減させる手法として、アニールにより膜応力を低減させる手法が、特許文献2に開示されている。
また、本発明は、この光変調素子を有して、より高輝度の投影画像が得られるレーザディスプレイを提供するものである。
上記微小電気機械素子、上記光学微小電気機械素子、あるいは上記光変調素子において、応力を緩和させる手段としては、三重点部分を平面的の非直角形状にした構成とすることができる。
上記微小電気機械素子、上記光学微小電気機械素子、あるいは上記光変調素子において、応力を緩和させる手段としては、段差の側壁部を傾斜させた構成とすることができる。
上記微小電気機械素子、上記光学微小電気機械素子、あるいは上記光変調素子において、応力を緩和させる手段としては、三重点部分を平面的の非直角形状にし、且つ段差の側壁部を傾斜させた構成とすることができる。
応力を緩和させる手段として、三重点部分を平面的に見て非直角形状にすることにより、三重点構造の形成が回避され、応力緩和が実現できる。
応力を緩和させる手段として、段差の側壁部を傾斜させて形成することにより、三重点構造の形成が回避され、応力緩和が実現できる。
応力を緩和させる手段として、三重点部分を平面的に見て非直角形状にし、且つ段差の側壁部を傾斜させて形成することにより、三重点構造の形成が回避され、応力緩和が実現できる。
シミュレーションによれば、三重点の除去、あるいは回避によって、振動部と垂直な方向へかかる応力はおよそ10分の1にまで低減されることが確認された。これにより、振動部構造の安定化が期待される。
図1は、本発明に係る微小電気機械素子の第1実施の形態を示す。本実施の形態に係る微小電気機械素子41は、基板42上に形成した下部電極43と、この下部電極43をブリッジ状に跨ぐように配置し両端に段差51を設けたビーム45とを有して成る。ビーム45と下部電極43とは、その間の空間44によって電気的に絶縁されている。ビーム45は、例えば、絶縁膜47と、その上面の金属膜による上部電極48との2層膜で形成され、その両端がこれと一体の支持部46〔46A,46B〕を介して基板42に支持された両持ち梁式構造に形成される。
前述と同様に、基板42は、例えばシリコン(Si)やガリウム砒素(GaAs)などの半導体基板上に絶縁膜を形成した基板、石英基板やガラス基板のような絶縁性基板等が用いられる。下部電極43は、不純物をドーピングした多結晶シリコン膜、金属膜(多結晶W,Cr蒸着膜)などで形成される。ビーム45は、シリコン窒化膜(SiN膜)、シリコン酸化膜(SiO2 膜)、その他の絶縁膜、本例では強度、弾性定数などの物性値がビーム45の機械的駆動に対して適切なシリコン地下膜が用いられる。上部電極48は、多結晶Al単体膜、Al合金膜(これらを総称してAl膜という)、その他の光反射効率のよい金属膜で形成することができる。
本実施の形態に係る微小電気機械素子61は、ビーム45の両端に段差51を形成し、三重点部分の透孔52を形成して三重点部分を除去する。ビーム45の構成において、ビーム45を引張る力Fhを制御して、ビーム45の傾き量を制御するように成す。
本実施の形態に係るGLV素子61は、いわゆるブレーズGLV素子である。本実施の形態のGLV素子61は、図7に示すように、基板62上に共通の下部電極63が形成され、この下部電極63に交叉してブリッジ状に跨ぐ複数、本例では5つのビーム65〔651、652、653、654、655〕が並列配置されて成る。このビーム65のうち、一方の一つ置きのビーム、多結晶ビーム651、653、655が固定ビームとして作用し、他方の一つ置きのビーム652、654が可動ビームとして作用する。前述と同様に、基板62は、半導体基板上に絶縁膜を形成した基板や絶縁性基板などで形成される。また、下部電極63も多結晶シリコン膜、金属膜などで形成される。ビーム65は、例えばシリコン窒化膜(SiN膜)などの絶縁膜によるブリジ部材67の下部電極53と平行する面上に所要の膜厚、例えば70nm程度のAl膜による反射膜を兼ねる上部電極(以下、反射膜兼上部電極という)68が形成された構造である。ビーム65はリボンと称されている部分である。
なお、GLV素子のビームとしては、その他、第2〜第5実施の形態のビーム形状を適用するともできる。
このようにして、図11Hに示すように、基板62に下部電極63が形成され、この下部電極63に対して空間64を挟んで、それぞれ両端に段差51が形成され表面に反射膜兼上部電極68が形成された複数、本例では5つのビーム65〔651〜655〕を有して成る目的のGLV素子61を得る。
レーザ光源82R,82G,82Bは、それぞれ例えば、R(波長642nm、光出力約3W)、G(波長532nm、光出力約2W)、B(波長457nm、光出力約1.5W)のレーザを射出する。
更に、各レーザ光は、GLV素子88R,88G,88Bによって回折されることにより空間変調され、これら3色の回折光が色合成フィルタ90によって合成され、続いて空間フィルタ92によって信号成分のみが取り出される。
次いで、このRGBの画像信号は、ディフューザ94によってレーザスペックルが低減され、ミラー96を経て、画像信号と同期するガルバノスキャナ98によって空間に展開され、投影光学系100によってスクリーン102上にフルカラー画像として投影される。
本実施の形態のレーザディスプレイ81によれば、GLV素子88R,88G,88Bのビーム傾き量を十分確保できるので、回折効率が向上し、より高輝度の投影画像が得られる。
Claims (19)
- 下部電極に空間を挟んで対向し端部で支持された振動部を有し、
前記振動部に振動部幅方向の傾きを生じさせる段差が設けられると共に、
前記段差に、段差の三重点部分の応力を緩和させる手段が設けられて成る
ことを特徴とする微小電気機械素子。 - 前記応力を緩和させる手段は、前記三重点部分に透孔を形成して成る
ことを特徴とする請求項1記載の微小電気機械素子。 - 前記応力を緩和させる手段は、前記三重点部分を平面的の非直角形状にして成る
ことを特徴とする請求項1記載の微小電気機械素子。 - 前記応力を緩和させる手段は、前記段差の側壁部を傾斜させて成る
ことを特徴とする請求項1記載の微小電気機械素子。 - 前記応力を緩和させる手段は、前記三重点部分を平面的の非直角形状にし、且つ前記段差の側壁部を傾斜させて成る
ことを特徴とする請求項1記載の微小電気機械素子。 - 前記振動部の両端を引張る力を制御して、前記振動部の傾き量を制御して成る
ことを特徴とする請求項1記載の微小電気機械素子。 - 下部電極に空間を挟んで対向し端部で支持された振動部を有し、
前記振動部に振動部幅方向の傾きを生じさせる段差が設けられると共に、
前記段差に、段差の三重点部分の応力を緩和させる手段が設けられ、
前記振動部の駆動により、該振動部で反射する光の反射方向を変換し、または回折光を生じさせるようにして成る
ことを特徴とする光学微小電気機械素子。 - 前記振動部における応力を緩和させる手段は、前記三重点部分に透孔を形成して成る
ことを特徴とする請求項7記載の光学微小電気機械素子。 - 前記振動部における応力を緩和させる手段は、前記三重点部分を平面的の非直角形状にして成る
ことを特徴とする請求項7記載の光学微小電気機械素子。 - 前記振動部における応力を緩和させる手段は、前記段差の側壁部を傾斜させて成る
ことを特徴とする請求項7記載の光学微小電気機械素子。 - 前記振動部における応力を緩和させる手段は、前記三重点部分を平面的の非直角形状にし、且つ前記段差の側壁部を傾斜させて成る
ことを特徴とする請求項7記載の光学微小電気機械素子。 - 前記振動部の両端を引張る力を制御して、前記振動部の傾き量を制御して成る
ことを特徴とする請求項7記載の光学微小電気機械素子。 - 下部電極に空間を挟んで対向し端部で支持された複数の振動部が並列配列され、
前記振動部に振動部幅方向の傾きを生じさせる段差が設けられると共に、
前記段差に、段差の三重点部分の応力を緩和させる手段が設けられ、
前記振動部の駆動により回折光を生じさせるようにして成る
ことを特徴とする光変調素子。 - 前記振動部における応力を緩和させる手段は、前記三重点部分に透孔を形成して成る
ことを特徴とする請求項13記載の光変調素子。 - 前記振動部における応力を緩和させる手段は、前記三重点部分を平面的の非直角形状にして成る
ことを特徴とする請求項13記載の光変調素子。 - 前記振動部における応力を緩和させる手段は、前記段差の側壁部を傾斜させて成る
ことを特徴とする請求項13記載の光変調素子。 - 前記振動部における応力を緩和させる手段は、前記三重点部分を平面的の非直角形状にし、且つ前記段差の側壁部を傾斜させて成る
ことを特徴とする請求項13記載の光変調素子。 - 前記振動部の両端を引張る力を制御して、前記振動部の傾き量を制御して成る
ことを特徴とする請求項13記載の光変調素子。 - レーザ光源と、該レーザ光源から出射されたレーザ光の光軸上に配置され、レーザ光の光強度を変調する光変調素子とを有するレーザディスプレイであって、
前記光変調素子は、
下部電極に空間を挟んで対向し端部で支持された複数の振動部が並列配列され、
前記振動部に振動部幅方向の傾きを生じさせる段差が設けられると共に、
前記段差に、段差の三重点部分の応力を緩和させる手段が設けられ、
前記振動部の振動により回折光を生じさせるようにして成る
ことを特徴とするレーザディスプレイ。
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JP2004253588A JP2006068843A (ja) | 2004-08-31 | 2004-08-31 | 微小電気機械素子、光学微小電気機械素子、光変調素子、並びにレーザディスプレイ |
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