JP2006066111A - 有機el表示装置の製造方法、素子基板の検査方法及び有機el表示装置 - Google Patents
有機el表示装置の製造方法、素子基板の検査方法及び有機el表示装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 本発明の一態様にかかる有機EL表示装置は、表示領域24外で陽極配線1の反端子部側に、陰極隔壁10aと実質的に同一の形状を有するダミー隔壁10cを形成する。ダミー隔壁10cと表示領域24内の端部画素との距離を、陰極隔壁10aと画素の距離よりも離し、またダミー隔壁10cの高さよりも大きくする。ダミー隔壁10cの検査を行うことによって、陰極隔壁10aの検査の代わりとする。これによって、触針式表面形状検査によるダミー隔壁10cの形状検査に伴ってダミー隔壁10cが破壊されても、破壊されたダミー隔壁10cが画素内に入ることがなく、形状検査に伴う不良素子の増加を防止することができる。
【選択図】図1
Description
10c ダミー隔壁、11 基板、21 陰極補助配線、22 絶縁層
23 開口部、24 表示領域、25 コンタクトホール
40 有機EL層、41 ポリマーバッファ層、42 正孔注入層
43 正孔輸送層、44 発光層、45 電子輸送層、46 電子注入層
62 吸湿部材、63 対向基板、64 接着材、65 円偏光板
Claims (8)
- 複数の画素を備え、前記複数の画素がそれぞれ第1の電極層と第2の電極層と前記第1及び第2の電極層間の有機EL層とを備える、有機EL表示装置の製造方法であって、
基板上に前記第1の電極層を形成するステップと、
前記複数の画素が形成される領域内に、前記第2の電極層の分離隔壁を形成するステップと、
前記複数の画素が形成される領域外において、その延在方向に垂直な断面が前記分離隔壁と実質同一形状を有する帯状の壁構造体を形成するステップと、
前記壁構造体の形状検査を行うステップと、
前記第1の電極層よりも上層側に前記有機EL層を形成するステップと、
前記有機EL層よりも上層側に前記第2の電極層を形成するステップと、
を有する有機EL表示装置の製造方法。 - 前記壁構造体は前記分離隔壁と実質同一形状であり、前記分離隔壁と同時に形成される、請求項1に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記壁構造体の形状検査はプローブによる触針式表面形状検査である、請求項1または2に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記複数の画素が形成される領域内の端部に形成された画素と前記壁構造体との距離は、前記分離隔壁と画素との距離よりも離れている、請求項1、2または3に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記分離隔壁の下の積層構造と前記壁構造体の下の積層構造とは同一構造である、請求項1、2、3または4に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記壁構造体は、有機EL表示装置の駆動回路と接続される端子部側とは反対側に形成されている、請求項5に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- マトリクス状に配置される複数の画素を備え、前記複数の画素のそれぞれが第1の電極層と第2の電極層と前記第1及び第2の電極層間の有機EL層とを備える有機EL表示装置に使用される素子基板の検査方法であって、
基板上に前記第1の電極層を形成するステップと、
前記複数の画素が形成される領域内に、前記第2の電極層の分離隔壁を形成するステップと、
前記複数の画素が形成される領域の外側において、その延在する方向に垂直な断面が前記分離隔壁と同一形状を有する帯状の壁構造体を形成するステップと、
前記壁構造体の形状検査を行うステップと、
を有する素子基板の検査方法。 - 複数の画素を備える有機EL表示装置であって、
基板上に形成された第1の電極層と、
前記第1の電極層の上層側に形成された第2の電極層と、
前記第1の電極層と第2の電極層の間に形成された有機EL層と、
前記複数の画素が形成された領域内に前記第2の電極層を分離するように形成された分離隔壁と、
前記複数の画素が形成された領域の外に形成され、その延在方向に垂直な断面が前記分離隔壁と同一形状を有する帯状の壁構造体と、
を有する有機EL表示装置。
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