JP2006064030A - Seal member - Google Patents

Seal member Download PDF

Info

Publication number
JP2006064030A
JP2006064030A JP2004245288A JP2004245288A JP2006064030A JP 2006064030 A JP2006064030 A JP 2006064030A JP 2004245288 A JP2004245288 A JP 2004245288A JP 2004245288 A JP2004245288 A JP 2004245288A JP 2006064030 A JP2006064030 A JP 2006064030A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
groove
seal member
contact area
seal
sealing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2004245288A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masamichi Noguchi
勝通 野口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Valqua Industries Ltd
Nihon Valqua Kogyo KK
Original Assignee
Nippon Valqua Industries Ltd
Nihon Valqua Kogyo KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Valqua Industries Ltd, Nihon Valqua Kogyo KK filed Critical Nippon Valqua Industries Ltd
Priority to JP2004245288A priority Critical patent/JP2006064030A/en
Publication of JP2006064030A publication Critical patent/JP2006064030A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Gasket Seals (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a seal member reducing a contact area with a counter-member, so that fastening force to the counter-member is reduced by forming a contact area reducing groove in the seal member, having no limitations in applicable rubber materials, having excellent sealing property, and manufactured at a low cost. <P>SOLUTION: Grooves 11a, 11b, 11c, and so on are formed in a peripheral surface and so on. Thereby, the contact area between the seal member 10 and a seal seat surface 15 is reduced, and the fastening force to the counter-member 14 when sealing is reduced. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、シール部材に関し、とくに半導体装置などにおいて好適に使用されるシール部材に関する。   The present invention relates to a seal member, and more particularly to a seal member suitably used in a semiconductor device or the like.

半導体、液晶表示装置などの製造過程では、クリーンな環境下、高い真空中で、イオンプレーティング、プラズマエッチングなどによるワークの加工、処理が行われている。ワークは一旦予備室に搬入され、予備室内を所定の真空度にした後、加工室、処理室などへ順次ワークを搬入して加工、処理などが行われる。   In the manufacturing process of semiconductors, liquid crystal display devices and the like, workpieces are processed and processed by ion plating, plasma etching, and the like in a clean environment and in a high vacuum. The workpiece is once carried into the spare chamber, and after the preliminary chamber is set to a predetermined degree of vacuum, the workpiece is sequentially carried into the processing chamber, the processing chamber, and the like for processing and processing.

これらの予備室、加工室、処理室などの間の搬出入口には密封性、気密性を有する真空用ゲート弁が設けられ、真空用ゲート弁には、例えば、フッ素系エラストマーのようなゴムの成形物からなるシール部材が使用されている。   A vacuum gate valve having hermeticity and airtightness is provided at the carry-in / out port between the preliminary chamber, the processing chamber, the processing chamber, etc., and the vacuum gate valve is made of, for example, rubber such as a fluorine-based elastomer. A seal member made of a molded product is used.

そして、ワークの加工、処理などのプロセスの途中では、真空用ゲート弁が閉止し、通常８０〜１５０℃の雰囲気下にてシール部材がシール座面に圧接され、各室間を気密的に隔離している。   In the middle of processes such as workpiece processing and processing, the vacuum gate valve is closed, and the seal member is pressed against the seal seating surface in an atmosphere of 80 to 150 ° C. is doing.

このように高温化で圧縮固定されたシール部材はシール座面に固着してしまうことがあった。
さらに大型のゲート弁ではシール部材とシール座面との接触面積が広くなるので、シール部材の固着が起こり易い。 In this way, the sealing member that is compressed and fixed at a high temperature may adhere to the seal seat surface.
Furthermore, since a large gate valve has a large contact area between the seal member and the seal seat surface, the seal member is likely to stick.

このようにシール部材がシール座面に固着してしまうと、シール部材がシール溝から脱落するなどの不具合が生じる。また、固着しているシール部材をシール座面から無理に引き離そうとするとシール部材を傷付け、その後のシール性能が低下するという問題がある。   If the seal member adheres to the seal seat surface in this way, a problem such as the seal member dropping off from the seal groove occurs. Further, if the sticking seal member is forcibly separated from the seal seating surface, there is a problem that the seal member is damaged and the sealing performance thereafter is lowered.

一方、真空用ゲート弁に限らず、シール部材の固着はシール性能に大きな影響を及ぼすため、これを防止することが望まれている。
このため、シール部材の固着を防止する手段として、従来からシール部材の表面にブラストなどの表面研削処理、シボ、エンボスなどの表面加工処理を施すことにより、接触面積を減少させることが行われている。 On the other hand, not only the vacuum gate valve but also the sticking of the sealing member has a great influence on the sealing performance, and therefore it is desired to prevent this.
For this reason, as a means for preventing sticking of the seal member, the surface of the seal member has conventionally been subjected to surface grinding treatment such as blasting, surface treatment treatment such as embossing, embossing, etc. to reduce the contact area. Yes.

また、シール部材の材質を変化させることにより固着を防止する手段として、特許文献１（特開平５−１４８４７６号公報）には、アクリルゴムからなるガスケット本体の表面に、シリコーン樹脂の固着防止層を形成したシール部材が開示されている。また、特許文献２（特開平８−３０２０４５号公報）には、ゴム成形物の表面にオレフィン系炭化水素化合物からなる離型性皮膜を滲出させたシール部材が開示されている。
特開平５−１４８４７６号公報 特開平８−３０２０４５号公報 Further, as a means for preventing sticking by changing the material of the seal member, Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 5-148476) discloses a silicone resin sticking prevention layer on the surface of a gasket body made of acrylic rubber. A formed seal member is disclosed. Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 8-302045) discloses a seal member in which a release film made of an olefinic hydrocarbon compound is exuded on the surface of a rubber molded product.
JP-A-5-148476 JP-A-8-302045

しかしながら、シール部材の表面にブラストなどの表面研削処理を施した場合、シール部材と相手部材とのシール接触面を貫く表面研削部分、いわゆる切削傷が生じ、これにより接触面圧が弱くなってリークパスが発生し、密閉性が不安定になるという問題があった
。 However, when surface grinding such as blasting is applied to the surface of the seal member, a surface grinding part that penetrates the seal contact surface between the seal member and the mating member, so-called cutting flaws, is generated, thereby reducing the contact surface pressure and leak path. Has occurred, and the sealing performance becomes unstable.

また、シボ、エンボスなどの表面加工処理を施した場合、加工工程の増加に伴い、生産コストが嵩んでしまうという問題があった。
一方、シール部材の材質を改良する場合には、固着防止のための化合物との関係で適用可能なゴムの材質が限られてしまう。 In addition, when surface processing such as embossing or embossing is performed, there is a problem that production costs increase with an increase in processing steps.
On the other hand, when the material of the seal member is improved, the applicable rubber material is limited in relation to the compound for preventing sticking.

本発明は、このような現状に鑑み、シール部材に接触面積減少用溝を形成することにより、相手部材との接触面積を少なくし、これにより相手部材との固着力を減少させるとともに、適用可能なゴムの材質に限定がなく、さらには密閉性が良好で且つ、生産コストが安価なシール部材を提供することを目的とする。   In view of such a current situation, the present invention reduces the contact area with the mating member by forming a groove for reducing the contact area in the seal member, thereby reducing the fixing force with the mating member and applicable. An object of the present invention is to provide a sealing member that has no limitation on the material of the rubber, has good sealing properties, and is inexpensive to produce.

本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明のシール部材は、
第１部材と第２部材の間のシール溝内に装着されるシール部材であって、
前記シール溝内に装着された状態で、少なくとも相手部材との間で押圧される外周部分に、接触面積減少用溝が形成されていることを特徴とする。 The present invention has been invented in order to achieve the above-described problems and objects in the prior art, and the sealing member of the present invention includes:
A seal member mounted in a seal groove between the first member and the second member,
A contact area reducing groove is formed in at least an outer peripheral portion pressed with the mating member in a state of being mounted in the seal groove.

このように構成することによって、第１部材と第２部材の間のシール溝内に装着されるシール部材は、第１の部材と第２の部材との間で押圧される際、接触面積減少用溝により接触面積が少ない状態で押圧されるので、これにより、固着力を減少させることができる。   By comprising in this way, when the sealing member mounted in the sealing groove between the first member and the second member is pressed between the first member and the second member, the contact area is reduced. Since the contact groove is pressed with a small contact area, the fixing force can be reduced.

また、本発明のシール部材は、前記接触面積減少用溝が、１本または複数本の溝から構成されていることが好ましい。
このように構成することによって、シール部材と相手部材との接触面積を、使用状況に応じて自由に調整することができる。 In the sealing member of the present invention, it is preferable that the contact area reducing groove is composed of one or a plurality of grooves.
By comprising in this way, the contact area of a sealing member and an other party member can be freely adjusted according to a use condition.

さらに、本発明のシール部材は、前記接触面積減少用溝が、前記シール溝内に装着された状態で少なくとも最初に相手部材と当接すべき最外方頂部を含む範囲に、形成されていることが好ましい。   Furthermore, the seal member of the present invention is formed in a range in which the groove for reducing the contact area includes at least the outermost top portion that should first contact the mating member in the state of being installed in the seal groove. It is preferable.

このように構成することによって、相手部材との固着力を一層効果的に低減することができる。
また、本発明に係るシール部材では、前記接触面積減少用溝の形成領域が、当該接触面積減少用溝が形成される前の面積に対して１５〜５０％の範囲であることが好ましい。 By comprising in this way, the adhering force with a counterpart member can be reduced more effectively.
In the sealing member according to the present invention, it is preferable that the contact area reducing groove forming region is in a range of 15 to 50% with respect to an area before the contact area reducing groove is formed.

このような範囲に接触面積減少用溝が形成されていれば、シール部材本来の機能である密閉性を維持しながら、固着力を低減することができる。   If the contact area reducing groove is formed in such a range, the adhering force can be reduced while maintaining the sealing property that is the original function of the seal member.

本発明によれば、接触面積減少用溝を形成することにより、密閉時におけるシール部材の接触面積を減らすことができる。これにより、密閉時におけるシール部材の固着力を減少させることができる。   According to the present invention, the contact area of the seal member during sealing can be reduced by forming the contact area reducing groove. Thereby, the adhering force of the seal member at the time of sealing can be reduced.

また、本発明では、外周部分に単に溝を形成するだけの構造であるので、生産コストが安価である。   Further, according to the present invention, the production cost is low because it has a structure in which grooves are simply formed in the outer peripheral portion.

以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施例に係るシール部材の一部破断斜視図である。図２は、図１の拡大断面図である。また、図３は、図１に示したシール部材の使用状態を示す断面図である。 Hereinafter, embodiments (examples) of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a partially broken perspective view of a seal member according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a use state of the seal member shown in FIG.

このシール部材１０は、いわゆるＯリングと称されるもので、断面略円形に形成されている。
そして、図１および図２に示したように、Ｏリング１０の外周面には、複数本の環状の溝１１ａ、１１ｂ、１１ｃが同心状に形成され、これらの溝１１ａ、１１ｂ、１１ｃにより接触面積減少用溝１１が構成されている。 The seal member 10 is a so-called O-ring and has a substantially circular cross section.
As shown in FIGS. 1 and 2, a plurality of annular grooves 11a, 11b, and 11c are formed concentrically on the outer peripheral surface of the O-ring 10, and contacted by these grooves 11a, 11b, and 11c. An area reducing groove 11 is formed.

このような接触面積減少用溝１１が形成されたシール部材１０は、図３（Ａ）に示したように、例えば、シール部材１０を取り付けるためのシール溝１３が設けられた第１部材１２と、シール座面１５が設けられた第２部材１４との間に装着される。   As shown in FIG. 3A, the seal member 10 in which the contact area reducing groove 11 is formed includes, for example, the first member 12 provided with the seal groove 13 for attaching the seal member 10 to the first member 12. And the second member 14 provided with the seal seat surface 15.

シール部材１０は、第１部材１２のシール溝１３内に装着される際、３本の細溝からなる接触面積減少用溝１１が外方に露出するように装着される。
このような姿勢で第１部材１２にシール部材１０が装着されたら、図３（Ｂ）に示したように、第２部材１４を第１部材１２に対向させ、第２の部材１４を第１部材１２側に当接させる。このとき、第２の部材１４が最初に当接する、シール部材１０の位置は、図２に示したように、最外方頂部Ｔである。 When the seal member 10 is mounted in the seal groove 13 of the first member 12, the seal member 10 is mounted so that the contact area reducing groove 11 formed of three narrow grooves is exposed to the outside.
When the seal member 10 is mounted on the first member 12 in such a posture, as shown in FIG. 3B, the second member 14 is opposed to the first member 12, and the second member 14 is moved to the first member 12. It abuts on the member 12 side. At this time, the position of the seal member 10 with which the second member 14 abuts first is the outermost top T as shown in FIG.

しかしながら、本実施例では、この最外方頂部Ｔを含む左右の幅狭の範囲には、溝１１ｂが形成され、空所とされている。したがって、第２部材１４は、この最外方頂部Ｔに当接することはなく、最外方頂部Ｔを挟んで両側の壁部１６ａ、１６ｂに当接する。   However, in this embodiment, a groove 11b is formed in a narrow range on the left and right sides including the outermost top portion T, which is a void. Therefore, the second member 14 does not contact the outermost top part T, but contacts the wall parts 16a and 16b on both sides with the outermost top part T interposed therebetween.

図３（Ｂ）の状態、すなわち第２部材１４が最外方頂部Ｔを挟んで両側の壁部１６ａ、１６ｂに当接した状態から、さらに第２部材１４が第１部材１２側に締め付けられると、図３（Ｃ）に示したように、シール部材１０が第２部材１４との間で完全に押しつぶされ、シール座面１５に当接する。このとき、他の溝１１ａ、１１ｃも共に押圧され、圧縮変形される。   The second member 14 is further tightened to the first member 12 side from the state shown in FIG. 3B, that is, from the state where the second member 14 is in contact with the wall portions 16 a and 16 b on both sides across the outermost top portion T. Then, as illustrated in FIG. 3C, the seal member 10 is completely crushed between the second member 14 and abuts against the seal seat surface 15. At this time, the other grooves 11a and 11c are also pressed and compressed and deformed.

上記したように、本実施例では、最外方頂部Ｔを含む範囲に少なくとも一本の溝１１ａが形成され、その周辺領域に、溝１１ｂ、１１ｃが形成されているため、シール部材１０のシール座面１５に対する接触面積は小さくされている。   As described above, in this embodiment, at least one groove 11a is formed in a range including the outermost top portion T, and grooves 11b and 11c are formed in the peripheral region thereof. The contact area with the seating surface 15 is reduced.

本実施例において、この接触面積減少用溝１１を形成する範囲は、図２に示したように、シール部材１０の最外方頂部Ｔを境にして、径内外方に略対称形に形成されていることが好ましい。また、接触面積減少用溝１１を形成する範囲は、図２に示したように一部の弧状の範囲であることに限定されず、円の全周に亘って形成されていても良い。また、実際的に、この接触面積減少用溝１１を形成する場合には、形成する前の面積に対して１５〜５０％の範囲、好ましくは、２０〜３０％の範囲であることが望ましい。このような範囲に接触面積減少用溝１１が形成されていれば、どのような部材に使用されたとしても十分なシール性を発揮することができる。   In the present embodiment, the range in which the contact area reducing groove 11 is formed, as shown in FIG. 2, is formed in a substantially symmetrical shape radially inward and outward with the outermost top portion T of the seal member 10 as a boundary. It is preferable. Further, the range in which the contact area reducing groove 11 is formed is not limited to a partial arc-shaped range as shown in FIG. 2, and may be formed over the entire circumference of the circle. In practice, when the contact area reducing groove 11 is formed, it is desirable that the contact area reduction groove is in the range of 15 to 50%, preferably in the range of 20 to 30%. As long as the contact area reducing groove 11 is formed in such a range, a sufficient sealing performance can be exhibited no matter which member is used.

また、接触面積減少用溝１１は、単数あるいは複数個のどちらであっても良い。ただし、複数個の溝で構成する場合、例えば、図１に示したように、相隣り合う溝１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、リークパスを起こさないために互いに重なり合うことのないように設ける必要がある。   Further, the contact area reducing groove 11 may be either one or a plurality. However, in the case of a plurality of grooves, for example, as shown in FIG. 1, the adjacent grooves 11a, 11b, and 11c need to be provided so as not to overlap each other in order not to cause a leak path.

また、このようなシール部材１０は、例えば半導体製造装置におけるシール部分に好ましく使用することができるが、本発明はこれに限定されず、例えば各種配管の継手部分、各種ガスを取り扱うガス処理装置の継手部分などにも適用可能である。   Further, such a seal member 10 can be preferably used, for example, in a seal part in a semiconductor manufacturing apparatus, but the present invention is not limited to this. For example, a joint part of various pipes, a gas processing apparatus that handles various gases, and the like. It can also be applied to joint parts.

また、シール部材１０の接触面積減少用溝１１を構成する溝１１ａ、１１ｂ、１１ｃの形状としては、とくに限定されるものではなく、この実施例のように鋭角の三角形状の他、四角形状あるいは丸形状の溝などであっても良い。   Further, the shape of the grooves 11a, 11b, and 11c constituting the contact area reducing groove 11 of the seal member 10 is not particularly limited, and in addition to the acute triangle shape as in this embodiment, a square shape or A round groove or the like may be used.

さらに、例えば、１つの溝形状が鋭角の三角形状である場合、図２に示したようにその深さｄは、シール部材１０の肉厚に対して２％〜３０％、さらに好ましくは、５％〜２０％程度である。   Further, for example, when one groove shape is an acute triangle, the depth d is 2% to 30% with respect to the thickness of the seal member 10, as shown in FIG. % To about 20%.

また、少なくとも最外方頂部Ｔを含む範囲に位置する溝１１ａの形状が、例えば二等辺三角形のように、中心線を挟んで対称形であれば、締め付けられる際に、三角形状の鋭角部を形成する両壁部１６ａ、１６ｂが略均等に狭められるので、シール面圧にバラツキが発生することがなく、本来の目的である封止が損なわれることはない。   In addition, if the shape of the groove 11a located in the range including at least the outermost apex T is symmetrical with respect to the center line, for example, an isosceles triangle, the triangular acute angle portion is formed when tightened. Since both the wall portions 16a and 16b to be formed are substantially uniformly narrowed, there is no variation in the seal surface pressure, and the original purpose of sealing is not impaired.

さらに、このような溝１１ａ、１１ｂ、１１ｃを形成するには、シール部材１０を成形するための金型に予め突起を設けて成形する方法、またシール部材１０をレーザーでカットする方法などが挙げられる。あるいは刃物により切り込みを入れるだけでも良い。   Furthermore, in order to form such grooves 11a, 11b, and 11c, there are a method of forming a protrusion on a mold for forming the seal member 10 in advance, a method of cutting the seal member 10 with a laser, and the like. It is done. Alternatively, it is only necessary to make a cut with a blade.

また、シール部材１０に使用される材質としては、封止機能に要求される弾性変形が可能な材質であれば、天然あるいは合成のゴム成形物、弾性樹脂成形物などのいずれでも良く、例えば半導体分野では、ドライエッチングで多用されるプラズマに対しても耐性を有するフッ素系ゴム（ＦＫＭ）が好適であり、とくには、パーフルオロエラストマー（ＦＦＫＭ）を用いることが好ましい。   The material used for the seal member 10 may be a natural or synthetic rubber molding, an elastic resin molding, or the like as long as it is a material capable of elastic deformation required for the sealing function. In the field, fluorine-based rubber (FKM) having resistance to plasma frequently used in dry etching is preferable, and perfluoroelastomer (FFKM) is particularly preferable.

さらに、上記実施例では、シール部材１０の最外方頂部Ｔに溝１１ａを設け、この部分を空所としているが、この部分に溝が形成されていなくても良い。
図４は、本発明の他の実施例を示したものである。 Furthermore, in the said Example, although the groove | channel 11a is provided in the outermost top part T of the sealing member 10, and this part is made into the space, the groove | channel does not need to be formed in this part.
FIG. 4 shows another embodiment of the present invention.

この実施例によるシール部材２０では、最外方頂部Ｔを中心として、左右対称に溝２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄから接触面積減少用溝２１が構成されている。このように最外方頂部Ｔに溝が形成されていないシール部材２０であっても、固着力を低下するシール材として有効に適用可能である。   In the seal member 20 according to this embodiment, the contact area reducing groove 21 is formed of the grooves 21a, 21b, 21c, and 21d symmetrically about the outermost top portion T. Thus, even the sealing member 20 in which the groove is not formed in the outermost top portion T can be effectively applied as a sealing material that reduces the fixing force.

図５は、シール部材１０の最外方頂部Ｔに溝を設けた場合と、溝を設けない場合との固着力の低下傾向の違いをグラフで示したものである。
ここで、最外方頂部Ｔに溝がある場合を「センタ切り込み有」とし、最外方頂部Ｔに溝がない場合を「センタ切り込み無」として示している。 FIG. 5 is a graph showing the difference in the tendency to decrease the fixing force between when the groove is provided at the outermost top portion T of the seal member 10 and when no groove is provided.
Here, the case where there is a groove at the outermost top portion T is indicated as “with center cut”, and the case where there is no groove at the outermost top portion T is indicated as “without center cut”.

このグラフから明らかなように、シール部材１０の接触面積の減少の割合と固着力の減少の割合との関係は、「センタ切り込み有」と「センタ切り込み無」のいずれも、接触面積減少用溝を形成しない無垢の状態から接触面積が８５％（溝形成領域が１５％）までの範囲であれば、固着力の低下はそれほど生じないことが確認された。   As is clear from this graph, the relationship between the reduction ratio of the contact area of the seal member 10 and the reduction ratio of the adhering force is the contact area reduction groove for both “with center cut” and “without center cut”. When the contact area is in a range from a solid state where no film is formed to a contact area of 85% (groove formation region is 15%), it has been confirmed that the decrease in the fixing force does not occur so much.

一方、接触面積が全体の８５％以下（溝形成領域が１５％以上）となった時点では、いずれの場合も固着力の低下が急激に生じ始めた。しかし、両者を比べると、「センタ切り込み有り」の方が、特に、接触面積８０％（溝形成領域が２０％）から７０％（溝形成領域が３０％）の範囲において急激な固着力の低下を生じさせた。例えば、接触面積７０％
（溝形成領域が３０％）の場合には、「センタ切り込み無」の固着力が７７％であるのに対し、「切り込み有」では、固着力が４８％であり、大幅な低下が生じている。 On the other hand, when the contact area became 85% or less of the whole (groove formation region was 15% or more), in any case, a decrease in the fixing force started to occur rapidly. However, comparing the two, “with center cut” is a drastic decrease in fixing force especially in the contact area range of 80% (groove formation region is 20%) to 70% (groove formation region is 30%). Gave rise to For example, contact area 70%
In the case of (groove formation region is 30%), the fixing force of “without center cutting” is 77%, whereas in the case of “with cutting”, the fixing force is 48%, resulting in a significant decrease. Yes.

このように、「センタ切り込み有」の方が、固着力の著しい低下を生じさせることが判明した。なお、接着面積が４５％程度であれば、シール性を確保することができ、シール部材本来の機能を果たすことができる。   Thus, it has been found that “with center cut” causes a significant decrease in the fixing force. If the adhesion area is about 45%, the sealing performance can be secured and the original function of the sealing member can be achieved.

このような結果から、最外方頂部Ｔを含む範囲に接触面積減少用溝１１があることが好ましく、換言すれば、「センタ」に「切り込み」が有る場合に、固着力が効果的に低下することが明らかになった。また、接触面積減少用溝１１の形成領域は、溝が形成される前の面積に対して１５〜５０％の範囲、好ましくは、２０〜３０％の範囲である。   From such a result, it is preferable that the contact area reducing groove 11 is in a range including the outermost top portion T. In other words, when the “center” has a “cut”, the fixing force is effectively reduced. It became clear to do. Moreover, the formation area of the contact area reducing groove 11 is in the range of 15 to 50%, preferably in the range of 20 to 30% with respect to the area before the groove is formed.

以上、本発明の実施例について説明したが、本発明はこれに限定されない。
例えば、上記実施例では、断面円形で無端状のOリングを例にして説明しているが、本発
明は、断面円形のOリングに限定されるものではなく、断面Ｘ形、断面Ｄ形、同じくT形、Ｕ形、おにぎり形（甲山形・ハーティー形）など種々の断面形状でも良い。 As mentioned above, although the Example of this invention was described, this invention is not limited to this.
For example, in the above-described embodiment, an O-ring having a circular cross section and an endless shape is described as an example. However, the present invention is not limited to the O-ring having a circular cross section. Similarly, various cross-sectional shapes such as a T shape, a U shape, and a rice ball shape (Kouzan shape / Hartee shape) may be used.

さらに、無端状でない異形状の封止部材としては、長尺状、Ｕ字状などに適用可能である。   Furthermore, as an irregularly shaped sealing member that is not endless, it can be applied to a long shape, a U-shape or the like.

図１は、本発明の一実施例に係るシール部材の一部破断斜視図である。FIG. 1 is a partially broken perspective view of a seal member according to an embodiment of the present invention. 図２は、図１に示したシール部材の部分拡大断面図である。2 is a partially enlarged sectional view of the seal member shown in FIG. 図３（Ａ）は、図１に示したシール部材の使用状態を示す、締付け前の断面図、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の状態から第２部材を近づけて、最初にシール部材に当接した時の断面図、図３（Ｃ）は完全に締付けられた状態の断面図である。FIG. 3A is a cross-sectional view before tightening showing the use state of the seal member shown in FIG. 1, and FIG. 3B is the first view with the second member brought closer to the state of FIG. FIG. 3C is a cross-sectional view when the seal member is abutted, and FIG. 3C is a cross-sectional view in a completely tightened state. 図４は、本発明の他の実施例によるシール部材の部分拡大断面図である。FIG. 4 is a partially enlarged cross-sectional view of a seal member according to another embodiment of the present invention. 図５は、図３に示した一実施例によるシール部材と、図４に示した他の実施例によるシール部材との接触面積の減少に伴う固着力の減少の関係を対比して示したグラフである。FIG. 5 is a graph showing a comparison of the relationship of a decrease in fixing force accompanying a decrease in contact area between the seal member according to the embodiment shown in FIG. 3 and the seal member according to another embodiment shown in FIG. It is.

符号の説明Explanation of symbols

１０ シール部材
１１ 接触面積減少用溝
１１ａ 溝
１１ｂ 溝
１１ｃ 溝
１２ 第１部材
１３ シール溝
１４ 第２部材
１５ シール座面
１６ａ 壁部
１６ｂ 壁部
Ｔ 最外方頂部
２０ シール部材
２１ 接触面積減少用溝
２１ａ 溝
２１ｂ 溝
２１ｃ 溝
２１ｄ 溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Seal member 11 Contact area decreasing groove 11a Groove 11b Groove 11c Groove 12 First member 13 Seal groove 14 Second member 15 Seal seat surface 16a Wall portion 16b Wall portion T Outermost top 20 Seal member 21 Contact area decreasing groove 21a groove 21b groove 21c groove 21d groove

Claims (4)

第１部材と第２部材の間のシール溝内に装着されるシール部材であって、
前記シール溝内に装着された状態で、少なくとも相手部材との間で押圧される外周部分に、接触面積減少用溝が形成されていることを特徴とするシール部材。 A seal member mounted in a seal groove between the first member and the second member,
A seal member, wherein a contact area reducing groove is formed at least in an outer peripheral portion pressed between the mating member and the outer periphery of the seal member when mounted in the seal groove. 前記接触面積減少用溝が、１本または複数本の溝から構成されていることを特徴とする請求項１に記載のシール部材。   The seal member according to claim 1, wherein the contact area reducing groove is composed of one or a plurality of grooves. 前記接触面積減少用溝が、前記シール溝内に装着された状態で少なくとも最初に相手部材と当接すべき最外方頂部を含む範囲に、形成されていることを特徴とする請求項１に記載のシール部材。   2. The contact area reducing groove is formed in a range including an outermost top portion that should be brought into contact with a mating member first when mounted in the seal groove. The sealing member as described. 前記接触面積減少用溝の形成領域が、当該接触面積減少用溝が形成される前の面積に対して１５〜５０％の範囲であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のシール部材。   The formation area of the groove for reducing the contact area is in a range of 15 to 50% with respect to the area before the groove for reducing the contact area is formed. Seal member.
JP2004245288A 2004-08-25 2004-08-25 Seal member Withdrawn JP2006064030A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004245288A JP2006064030A (en) 2004-08-25 2004-08-25 Seal member

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004245288A JP2006064030A (en) 2004-08-25 2004-08-25 Seal member

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006064030A true JP2006064030A (en) 2006-03-09

Family

ID=36110702

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004245288A Withdrawn JP2006064030A (en) 2004-08-25 2004-08-25 Seal member

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006064030A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007247728A (en) * 2006-03-15 2007-09-27 Toyoda Gosei Co Ltd O-ring and sealing structure using the same
WO2009113417A1 (en) * 2008-03-13 2009-09-17 日本バルカー工業株式会社 Seal
JP2017096058A (en) * 2015-11-27 2017-06-01 丸一株式会社 Cut-off structure
JP2019086062A (en) * 2017-11-06 2019-06-06 Nok株式会社 Gasket and seal structure
JP2021527420A (en) * 2018-06-22 2021-10-14 チャイナ タバコ フーナン インダストリアル カンパニー リミテッド E-cigarette atomizer core and atomizer
CN114483956A (en) * 2022-04-14 2022-05-13 苏州阿特密特密封科技有限公司 Rubber gasket for automobile
JP7466836B2 (en) 2020-04-16 2024-04-15 東芝ライテック株式会社 Vehicle lighting device and vehicle lamp

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007247728A (en) * 2006-03-15 2007-09-27 Toyoda Gosei Co Ltd O-ring and sealing structure using the same
WO2009113417A1 (en) * 2008-03-13 2009-09-17 日本バルカー工業株式会社 Seal
JP5126999B2 (en) * 2008-03-13 2013-01-23 日本バルカー工業株式会社 Sealing material
US9447881B2 (en) 2008-03-13 2016-09-20 Nippon Valqua Industries, Ltd. Seal material
JP2017096058A (en) * 2015-11-27 2017-06-01 丸一株式会社 Cut-off structure
JP2019086062A (en) * 2017-11-06 2019-06-06 Nok株式会社 Gasket and seal structure
JP2021527420A (en) * 2018-06-22 2021-10-14 チャイナ タバコ フーナン インダストリアル カンパニー リミテッド E-cigarette atomizer core and atomizer
JP7466836B2 (en) 2020-04-16 2024-04-15 東芝ライテック株式会社 Vehicle lighting device and vehicle lamp
CN114483956A (en) * 2022-04-14 2022-05-13 苏州阿特密特密封科技有限公司 Rubber gasket for automobile

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5126999B2 (en) Sealing material
JP4962687B2 (en) Sealing structure
JP6908603B2 (en) Seal ring and seal ring assembly for high temperature end applications
JP4985973B2 (en) Sealing structure
JP4774549B2 (en) Vacuum gate valve and seal member used therefor
KR100793553B1 (en) Sealing part and substrate processing apparatus
US20070012251A1 (en) Seal arrangement with corrosion barrier and method
JP2007002935A (en) Sealing structure
JP4247625B2 (en) Plasma-resistant seal
TW200933055A (en) Bonded slit valve door seal with thin non-metallic film gap control bumper
JP2006064030A (en) Seal member
TW201825815A (en) Seal for wafer processing assembly
JP4549749B2 (en) Seal structure
JP2005164027A (en) Composite sealant
JP6189078B2 (en) Sealing material
JP2007321922A (en) Seal ring
JP2007154935A (en) Sealing material, manufacturing method for sealing material, and pendulum type gate valve using the sealing material
JPH11325259A (en) Seal ring
JPWO2009107495A1 (en) Sealing material and gate valve equipped with sealing material
JP4299581B2 (en) Metal seal
JP4625746B2 (en) Sealing material
JP4486385B2 (en) Seal plate for valve device
JP2002081555A (en) Gate valve device and method of manufacturing the same
JP4205966B2 (en) Sealing device
JP4128802B2 (en) Plasma resistant seal

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20071106