JP4205966B2

JP4205966B2 - Sealing device

Info

Publication number: JP4205966B2
Application number: JP2003034752A
Authority: JP
Inventors: 大八庄島; 康太小泉
Original assignee: Nok Corp; Eagle Industry Co Ltd
Current assignee: Nok Corp; Eagle Industry Co Ltd
Priority date: 2003-02-13
Filing date: 2003-02-13
Publication date: 2009-01-07
Anticipated expiration: 2023-02-13
Also published as: JP2004245299A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、密封装置に係り、更に詳しくは、ハウジングとハウジングの装着溝に装着されるゴム状弾性体製のシールとの組み合わせよりなる密封装置に関するものである。本発明の密封装置は例えば、半導体産業、液晶産業またはセンサー産業等で各種真空処理システムを活用する分野、特にゲートバルブやスリットバルブのシールプレート部位に用いられ、またはその他の分野でゴム状弾性体製のシールを使用する部位に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置や液晶製造装置等では、各種真空処理システムを利用し、真空環境下において、ウエハーや液晶ガラス等を製造している。この場合、真空処理室で一つの製造工程が終わると次の工程に移る必要があるが、このとき真空処理室の真空度を保つために、ゲートバルブやスリットバルブと云った開閉システムを備えたシール機構を利用する場合が多い。図１２はゲートバルブ５１の一例を示しており、これらのゲートバルブ５１やスリットバルブは、シールプレート５２と称される金属プレートよりなるハウジングの装着溝にエラストマーやゴム等よりなるゴム状弾性体製シール５３を組み付けたものである。シールプレート５２に使用されるシール５３はスクィーズシールタイプであり、またシールプレート５２が開閉作動したときにシール５３が装着溝から抜け出ることがないように従来は抜け止め対策として、
（１）図１３に示すように、装着溝５４を蟻溝状とし、この蟻溝状の装着溝５４にシール５３としてＯリング５３Ａを装着する、
（２）図１４に示すように、装着溝５４を蟻溝状とし、この蟻溝状の装着溝５４にシール５３として抜け止め対策を施した特殊断面形状シール５３Ｂを装着する（特許文献１参照）、
（３）または図１５に示すように、シール５３を接着剤５５を用いて装着溝５４内に接着する、
などの構造が用いられている。
【０００３】
しかしながら、上記従来技術には、以下の問題がある。
【０００４】
（１）（２）Ｏリング５３Ａまたは特殊断面形状シール５３Ｂの場合
図示したようにシール５３Ａ，５３Ｂの幅よりも装着溝５４の開口部の幅の方が狭いために、装着作業が困難で、かつ装着作業時にシール５３Ａ，５３Ｂが捩れ易い。捩れはシール性の低下や捩れ応力の集中によるシール５３Ａ，５３Ｂの破断の原因となる。また、装着溝５４の開口縁部でシール５３Ａ，５３Ｂを傷付ける可能性があり、傷はシール性の低下やパーティクルの原因となる。
【０００５】
同じくシール５３Ａ，５３Ｂの幅よりも装着溝５４の開口部の幅の方が狭いために、一旦装着したシール５３Ａ，５３Ｂを装着溝５４から外しにくく、よってシール５３Ａ，５３Ｂを新品と交換する等のメンテナンス作業が困難である。
【０００６】
上記蟻溝による抜け止め保持力がそれほど大きくないために、シール５３Ａ，５３Ｂが部分的に相手ハウジング５６に粘着する事態が発生すると、シールプレート５２の開閉運動の際にシール５３Ａ，５３Ｂが装着溝５４から抜け出てしまうことがある。この場合もシール５３Ａ，５３Ｂが捩れ易い。
【０００７】
上記シール５３Ａ，５３Ｂは何れも装着状態において装着溝５４の外部に突出している部分の幅が装着溝５４の開口部の幅よりも小さい。したがって、シール５３Ａ，５３Ｂの圧縮荷重（もしくはつぶし代またはギャップ）を適切に制御しないと、シールプレート５２の開閉運動の際にシール５３Ａ，５３Ｂの全ての部分が装着溝５４内に埋没してしまい、シール性を維持することができなくなる。また、シール５３Ａ，５３Ｂの全ての部分が装着溝５４内に埋没すると、シールプレート５２と相手ハウジング５６とが直接接触（メタルタッチ）して摩耗が発生し、パーティクルやコンタミが発生する。したがって、このパーティクルやコンタミ等により製造品である半導体等に製品不良が発生することがある（尚、上記ギャップはシールプレート５２および相手ハウジング５６間に設定する隙間のことをいい、このようにシールプレート５２および相手ハウジング５６間にギャップないし隙間を設定するのは、シールプレート５２および相手ハウジング５６が直接接触（メタルタッチ）して摩耗によるパーティクルやコンタミが発生するのを防止するためである。半導体は微細な異物でも不良を引き起こすため、半導体製造装置における開閉部分はメタルタッチが起こらないようにギャップないし隙間を適切に設定する必要がある）。
【０００８】
（３）接着タイプの場合
シール５３を接着剤５５を用いて装着溝５４内に接着するために、一旦接着したシール５３を装着溝５４から外しにくく、または全く外すことができない。したがって、やはりメンテナンス作業が困難であるという不都合がある。
【０００９】
【特許文献１】
特表平９−５１０２８６号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上の点に鑑みて、上記したようにハウジングとこのハウジングの装着溝に装着されるシールとの組み合わせよりなる密封装置において、装着溝に対するシールの装着作業等を容易化することができる密封装置を提供することを目的とし、加えて、抜け止め保持力が大きく、シールの全ての部分が装着溝内に埋没してしまうことがない密封装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１による密封装置は、ハウジングと前記ハウジングの装着溝に装着されるゴム状弾性体製のシールとの組み合わせよりなり、前記装着溝はその溝底部の幅よりも開口部の幅の方が狭い形状を有することにより前記装着溝に前記シールを抜け止めする抜け止め構造が設けられている密封装置において、前記ハウジングは、前記装着溝においてその幅方向に二分割された分割体を有し、前記両分割体の分割線は前記装着溝の溝底部における幅方向一方の端部位置に配置され、かつ前記装着溝の一方の側面の延長線に沿って斜めに配置されていることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項２による密封装置は、上記した請求項１の密封装置において、シールは、装着溝の外部に突出する部分と、前記装着溝の内部に収容される部分と、前記装着溝の開口部縁に係合する括れ部とを有し、前記括れ部の幅は前記装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅よりも狭く、かつ前記装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅は前記開口部の幅よりも大きく形成されていることを特徴とする。
【００１５】
上記構成を備えた本発明の密封装置においては、装着溝を設けたハウジングが装着溝においてその幅方向に二分割された分割体を有しているために、装着溝に対するシールの装着作業としては、シールを一方のハウジング分割体における装着溝に非接着で装着してから他方のハウジング分割体を組み付けることが可能である。したがって、例えば装着溝がシール抜け止め構造として蟻溝状に形成されている場合であっても、その狭い開口部からシールを装着する必要がない。また、シールの取外し作業としては、反対に先ず他方のハウジング分割体を取り外してからシールを取り外すことが可能である。したがって、例えば装着溝がシール抜け止め構造として蟻溝状に形成されている場合であっても、その狭い開口部からシールを取り外す必要がない。
【００１６】
また、上記構成を備えた本発明の密封装置においては、装着溝が溝底部の幅よりも開口部の幅の方が狭い形状を有し、シールが装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅よりも装着溝の開口縁部に係合する部分の幅の方が狭い形状を有し、かつ装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅が装着溝の開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは高さ方向の中央部が括れた形状であり、この括れた部分において装着溝の左右の開口縁部に挟まれることになる。したがって、比較的大きな抜け止め保持力を確保することが可能となる。また、シールにおける装着溝の外部に突出する部分の幅が装着溝の開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは相手部品によって相対に押されてもその全ての部分が装着溝内に埋没することがない。
【００１７】
本発明の密封装置は、例えば上記したゲートバルブやスリットバルブ等に用いられ、この場合、分割されるハウジングは、ゲートバルブやスリットバルブにおけるシールプレートがこれに相当する。
【００１８】
尚、この場合、シールにはプラズマガス（真空圧）が作用するので、このプラズマガスが作用する部分に成形品としてのパーティングラインがあるとこれが劣化し、コンタミやパーティクルが発生する虞がある。したがってこれを回避するには、シールにおける装着溝の外部に突出する部分の内径面（ここにプラズマガスが作用する）にパーティングラインが設定されないよう、シールの型割り構造を斜め割りとし、かつその割り方を内径側で溝底部側、外径側で開口部側とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
【００２０】
図１は、本発明の第一実施例に係る密封装置を示しており、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図をそれぞれ示している。
【００２１】
当該実施例に係る密封装置１は、ハウジング１１と、このハウジング１１に設けた装着溝１２に非接着で装着されるシール２１との組み合わせにより構成されている。また当該密封装置１は、ハウジング１１の平面１１ａ上の装着溝１２に装着したシール２１をハウジング１１とこのハウジング１１に対向するように配置した相手ハウジング（図示せず）との間で平面圧縮することによりシール作用をなすものであって、例えば半導体製造装置、液晶製造装置（エッチング、アッシング、プラズマＣＶＤ、真空ポンプ等）のゲートバルブ部、スリットバルブ部におけるシール部として用いられる。この場合、ハウジング１１は上記したようにこれらのバルブにおけるシールプレートを構成するが、シールプレートとしての詳細構造は後述する。
【００２２】
ハウジング１１は、所定の金属によってプレート状に形成されており、その平面１１ａ上に装着溝１２が所定の平面レイアウトをもって設けられている。装着溝１２はその溝底部１２ａの幅ｗ_１よりも開口部１２ｂの幅ｗ_２の方が狭くかつ内外周の側面１２ｃがそれぞれ傾斜面状に形成された断面台形の蟻溝状の溝として形成されている。
【００２３】
また、このハウジング１１は、装着溝１２においてその幅方向に二分割されて図上左右一対のハウジング分割体１３，１４を有しており、両分割体１３，１４の分割線１５は装着溝１２の溝底部１２ａにおける幅方向一方の端部位置に配置され、かつ装着溝１２の一方の側面１２ｃの延長線に沿って斜めに配置されている。両分割体１３，１４は分解可能に組み合わされるが、後（のち）の分解が不要な場合には一体化される。当該実施例では分解可能に組み合わされている。
【００２４】
シール２１は、所定のゴム状弾性体によってスクィーズシールタイプとして形成されており、その高さ方向の中央に、高さ方向一端部（装着溝１２の外部に突出する部分）２１ａおよび高さ方向他端部（装着溝１２の内部に収容される部分）２１ｂよりも幅狭に形成された括れ部（装着溝１２の開口縁部に係合する部分）２１ｃが設けられている（高さ方向一端部２１ａの幅をｗ_３、高さ方向他端部２１ｂの幅をｗ_４、括れ部２１ｃの幅をｗ_５として、ｗ_３＞ｗ_５、ｗ_４＞ｗ_５）。この括れ部２１ｃは、シール２１の内外周面にそれぞれ断面円弧状の係合凹部２１ｄを全周に亙って設けることにより形成されており、この係合凹部２１ｄに対してそれぞれ装着溝１２の開口部１２ｂの縁部に設けられた断面円弧状の係合凸部１２ｄが係合することによって、装着溝１２に対するシール２１の抜け止め構造１６が形成されている。
【００２５】
また、装着状態において装着溝１２の外部に配置されるシール２１の高さ方向一端部２１ａおよび装着状態において装着溝１２の内部に配置されるシール２１の高さ方向他端部２１ｂはそれぞれ、その下方または上方に括れ部２１ｃが設けられていることによってそのボリュームが比較的大きなものとして形成されており、具体的には、両端部２１ａ，２１ｂの幅ｗ_３，ｗ_４がそれぞれ装着溝１２の開口部１２ｂの幅ｗ_２よりも大きく形成されている（ｗ_３＞ｗ_２、ｗ_４＞ｗ_２）。
【００２６】
また、高さ方向一端部２１ａには、その幅方向中央に位置して溝状部２１ｅが全周に亙って設けられており、この溝状部２１ｅの内周側および外周側にそれぞれ、相手ハウジングに密接するリップ状のシール部２１ｆが設けられている。また、高さ方向他端部２１ｂにはここにも、その幅方向中央に位置して溝状部２１ｇが全周に亙って設けられており、この溝状部２１ｇの内周側および外周側にそれぞれ装着溝１２の溝底部１２ａに密接するリップ状のシール部２１ｈが設けられている。
【００２７】
上記構成の密封装置１によれば、装着溝１２を設けたハウジング１１が装着溝１２の幅方向に分割されることにより一対のハウジング分割体１３，１４が設けられているために、装着溝１２にシール２１を装着するに際しては、図１（Ａ）から（Ｂ）へと示すように、シール２１を一方の分割体１３における装着溝１２に装着してから分割体１３，１４同士を組み合わせることにより装着が可能とされている。したがって、装着溝１２がシール抜け止め構造１６として蟻溝状に形成されていても、その狭い開口部１２ｂからシール２１を装着する必要がなく、余裕をもって装着することができるために、シール２１の装着作業を容易化することができる。
【００２８】
また、装着溝１２からシール２１を取り外すに際しては、反対に図１（Ｂ）から（Ａ）へと示すように、ハウジング分割体１３，１４同士を分解してからシール２１を取り外すことが可能とされている。したがって、装着溝１２がシール抜け止め構造１６として蟻溝状に形成されていても、その狭い開口部１２ｂからシール２１を取り外す必要がなく、余裕をもって取り外すことができるために、シール２１の取外し作業を容易化することができる。
【００２９】
したがってこれらのことから、シール２１の装着作業および取外し作業を共に容易化することができ、しかも装着に際してシール２１が捩れることがない密封装置１を提供することができる。
【００３０】
また併せて、上記構成の密封装置１によれば、以下の作用効果を奏することが可能である。
【００３１】
（１）装着溝１２にシール２１を装着するに際して、シール２１を一方の分割体１３における装着溝１２に装着してから他方の分割体１４を全周同時に組み込む構造であるために、シール２１に弛みが生じることがない。また、シール２１に局部的な応力が生じることがないために、他方の分割体１４を組み込み易い。
【００３２】
（２）シール２１の係合凹部２１ｄに対してハウジング１１側の係合凸部１２ｄが係合することによって装着溝１２に対するシール２１の抜け止め構造１６が形成されているために、係合凸部１２ｄによるシール２１の保持力が大きい。したがって、ハウジング１１および相手部品が開閉作動する際に、シール２１が装着溝１２から抜け出たり、シール２１に捩れが生じたりするのを有効に防止することができる。
【００３３】
（３）上記したようにシール２１の取外し作業が容易であるために、シール２１の交換等のメンテナンス作業を併せて容易化することができる。また、シール２１をハウジング１１に接着するものでないために、シール２１単体での交換が可能である。
【００３４】
（４）装着状態において装着溝１２の外部に配置されて相手ハウジングに密接するシール２１の高さ方向一端部２１ａが、その下方に括れ部２１ｃが設けられていることによってボリュームの比較的大きなものとして形成されている。したがって、このシール２１はへたりにくく、よってシール性能が高い。また、この構成によりシール２１が相手ハウジングによって相対に押されてもその全ての部分が装着溝１２内に埋没することがないために、シール性を維持することができる。また同じくシール２１が相手ハウジングによって相対に押されてもその全ての部分が装着溝１２内に埋没することがないために、ハウジング１１と相手ハウジングとが直接接触（メタルタッチ）するのを防止することができる。したがって、摩耗によるパーティクルやコンタミの発生を防止することができ、これにより製造品である半導体にパーティクルやコンタミを原因とする製品不良が発生するのを防止することができる。
【００３５】
（５）シール２１の高さ方向一端部２１ａに相手ハウジングに密接する複数のリップ状シール部２１ｆが設けられているために、該部シール性能が高い。また、シール２１の高さ方向他端部２１ｂに装着溝１２の溝底部１２ａに密接する複数のリップ状シール部２１ｈが設けられているために、該部シール性能が高い。
【００３６】
尚、これらリップ状シール部２１ｆ，２１ｈの形成は任意であって、第二実施例として図２に示すように、これらリップ状シール部２１ｆ，２１ｈはその形成を省略しても良く、この場合には、シール２１の高さ方向一端面および他端面が直接、相手ハウジングまたは装着溝１２の溝底部１２ａに密接する。
【００３７】
また、装着溝１２に対してシール２１を抜け止めする抜け止め構造１６については、装着溝１２を断面台形の蟻溝状とするほか、シール２１を物理的機械的に抜け止めできるものであれば、その構造を限定されない。図３の第三実施例および図４の第四実施例では、装着溝１２の断面形状が矩形状とされ、その開口部１２ｂの縁部にそれぞれ断面矩形状の係合凸部１２ｄが設けられている。
【００３８】
更にまた、シール２１の形状もハウジング１１側の係合凸部１２ｄに係合する係合凹部２１ｄを有するものであれば、特に限定されない。
【００３９】
図３の第三実施例では、シール２１の断面形状が、断面弓形の高さ方向一端部２１ａと、内外周に係合凹部２１ｄを設けた括れ部２１ｃと、断面矩形の高さ方向他端部２１ｂとの組み合わせによって形成されており、このシール２１は装着溝１２内に空隙を残すことなく充填配置される。
【００４０】
また、図４の第四実施例では、シール２１の断面形状が、断面弓形の高さ方向一端部２１ａと、内外周に係合凹部２１ｄを設けた括れ部２１ｃと、断面弓形の高さ方向他端部２１ｂとの組み合わせによって形成されており、このシール２１は装着溝１２内に空隙２２を残して充填配置される。
【００４１】
つぎに、ハウジング１１がゲートバルブやスリットバルブにおけるシールプレートを構成する場合の詳細構造を説明する。
【００４２】
すなわち、図５は本発明の第五実施例として、シールプレート１１１の正面図を示しており、図６（Ａ）は図５におけるＡ−Ａ線拡大断面図、図６（Ｂ）は図５におけるＢ−Ｂ線拡大断面図をそれぞれ示している。
【００４３】
シールプレート１１１は、所定の金属によってプレート状に形成されており、その正面（シール面）１１１ａに装着溝１１２が所定のレイアウトをもってエンドレス状に設けられている。装着溝１１２はその溝底部１１２ａの幅ｗ_１よりも開口部１１２ｂの幅ｗ_２の方が狭く、かつ内外周の側面１１２ｃがそれぞれ傾斜面状に形成された断面台形の蟻溝状の溝として形成されている。
【００４４】
また、このシールプレート１１１は、装着溝１１２においてその幅方向に二分割されて、外側分割体としてのボディ１１３と、内側分割体としてのスリーブ１１４とを有しており、両者１１３，１１４は、前者のボディ１１３の組付凹部１１５に後者のスリーブ１１４を組み付け、正面（シール面）１１１ａ側から六角穴付きボルト等の組立ボルト１１６を締め込むことにより着脱自在に一体化されている。両者の分割線１１７は装着溝１１２の溝底部１１２ａにおける幅方向内側の端部位置に配置されており、ボディ１１３側は普通（垂直）の段、スリーブ１１４側は装着溝１１２の一方の側面１１２ｃの延長線に沿ったテーパー状の段として形成されている。
【００４５】
また、ボディ１１３の背面には、当該シールプレート１１１を装置に取り付けるための雌ネジ部または穴部等よりなる取付部１１８が設けられている。この取付部１１８を設けるに際してボディ１１３の厚さを十分に確保するには必要に応じて図６（Ｂ）に示すように、取付部１１８の周辺部に限って段差部１１９を設けるのが好ましい。
【００４６】
上記構成のシールプレート１１１によれば、ゲートバルブやスリットバルブに用いられるシールプレートとして、上記第一実施例と同じ作用効果を奏することができる。
【００４７】
尚、シールプレート１１１の分割・組立構造は、この第五実施例の正面（シール面）より固定する構造のほかに、第六実施例として図７に示すように、背面より固定する構造としても良く、また第七実施例として図８ないし図１０に示すように、側面より固定する構造としても良い。
【００４８】
図７の第六実施例では、シールプレート１１１ないしボディ１１３の背面側から六角穴付きボルト等の組立ボルト１１６が締め込まれている。
【００４９】
図８ないし図１０の第七実施例では、ボディ１１３が分割線１２０においてプレート平面方向に二つ割り構造とされており、一対のボディ分割体１２１，１２２を有している。
【００５０】
また、このようにハウジング１１がゲートバルブやスリットバルブにおけるシールプレート１１１を構成して密封装置１がゲートバルブやスリットバルブに用いられる場合には、シールプレート１１１の装着溝１１２に装着されるゴム状弾性体製のシール２１にプラズマガス（真空圧）が作用するため、このプラズマガスが作用する部分にゴム成形品としてのパーティングライン痕があるとこれが劣化し、コンタミやパーティクルが発生する虞がある。したがってこれを回避するには、図１１に示すように、シール２１における装着溝の外部に突出する部分２１ａの内径面２１ｊ（シール２１の内径側に真空室が設定されるため、装着溝１１２からはみ出たこの内径面２１ｊにプラズマガスが作用する）に金型３１のパーティングライン３２が設定されないよう、シール２１の型割り構造を斜め割りとし、かつその割り方をシール２１の内径側で溝底部側、外径側で開口部側とする。この割り方は、金型３１のキャビティ空間３３の内径側と外径側とでパーティングライン３２の高さ位置に高低差を設定するものである（内径側が低、外径側が高）。したがって、このようにすると装着溝の外部に突出する部分２１ａの内径面２１ｊに金型３１のパーティングライン３２が設定されず、よってパーティングライン痕が形成されないことから、これが劣化してコンタミやパーティクルが発生するのを未然に防止することができる。
【００５１】
【発明の効果】
本発明は、以下の効果を奏する。
【００５２】
すなわち、上記構成を備えた本発明の密封装置においては、ハウジングと前記ハウジングの装着溝に装着されるゴム状弾性体製のシールとの組み合わせよりなり、前記装着溝はその溝底部の幅よりも開口部の幅の方が狭い形状を有することにより前記装着溝に前記シールを抜け止めする抜け止め構造が設けられている密封装置において、前記ハウジングは、前記装着溝においてその幅方向に二分割された分割体を有し、前記両分割体の分割線は前記装着溝の溝底部における幅方向一方の端部位置に配置され、かつ前記装着溝の一方の側面の延長線に沿って斜めに配置されているために、装着溝に対するシールの装着作業として、シールを一方のハウジング分割体における装着溝に非接着で装着してから他方のハウジング分割体を組み付けることが可能とされている。したがって、例えば装着溝がシール抜け止め構造として蟻溝状に形成されている場合であっても、その狭い開口部からシールを装着する必要がないために、シールの装着作業を容易化することができる。したがって、シールの装着作業等を容易化することができ、しかも装着に際してシールが捩れることがない密封装置を提供することができる。
【００５３】
またこれに加えて、上記構成を備えた本発明の密封装置においては、装着溝はその溝底部の幅よりも開口部の幅の方が狭い形状を有し、シールは、装着溝の外部に突出する部分と、前記装着溝の内部に収容される部分と、前記装着溝の開口部縁に係合する括れ部とを有し、前記括れ部の幅は前記装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅よりも狭く、かつ前記装着溝の内部に収容される部分の幅および装着溝の外部に突出する部分の幅は前記開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは高さ方向の中央部が括れた形状とされ、この括れた部分において装着溝の左右の開口縁部に挟まれる。したがって、比較的大きな抜け止め保持力を確保することができ、これによりシールの装着安定性を向上させることができる。
【００５４】
また、シールにおける装着溝の外部に突出する部分の幅が装着溝の開口部の幅よりも大きく形成されているために、シールは相手部品によって相対に押されてもその全ての部分が装着溝内に埋没することがない。したがって、シールによるシール性を維持することができる。また、同じくシールが相手部品によって相対に押されてもその全ての部分が装着溝内に埋没することがないために、ハウジングと相手部品とが直接接触（メタルタッチ）するのを防止することができる。したがって、摩耗によるパーティクルやコンタミ等の発生を防止することができ、これにより製造品である半導体等にパーティクルやコンタミ等を原因とする製品不良が発生するのを防止することができる。
【００５５】
また、上記構成を備えた本発明の密封装置は、各種真空処理システムにおけるゲートバルブやスリットバルブ等に用いられる密封装置として上記作用効果を得ることができ、加えて、耐プラズマ性に優れた密封装置を提供することができ、その耐久性やシール性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図２】本発明の第二実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図３】本発明の第三実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図４】本発明の第四実施例に係る密封装置の要部断面図であって、同図（Ａ）はシール装着作業中の断面図、同図（Ｂ）はシール装着作業終了後の断面図
【図５】本発明の第五実施例に係る密封装置におけるシールプレートの正面図
【図６】（Ａ）は図５におけるＡ−Ａ線拡大断面図、（Ｂ）は図５におけるＢ−Ｂ線拡大断面図
【図７】本発明の第六実施例に係る密封装置におけるシールプレートの断面図
【図８】本発明の第七実施例に係る密封装置におけるシールプレートの正面図
【図９】同シールプレートの分解した状態を示す正面図
【図１０】（Ａ）は同シールプレートの断面図、（Ｂ）は同シールプレートの分解した状態を示す断面図
【図１１】シール型割り構造を示す説明図
【図１２】ゲートバルブの説明図
【図１３】従来例に係る密封装置の要部断面図
【図１４】従来例に係る密封装置の要部断面図
【図１５】従来例に係る密封装置の要部断面図
【符号の説明】
１密封装置
１１ハウジング
１１ａ平面
１２，１１２装着溝
１２ａ，１１２ａ溝底部
１２ｂ，１１２ｂ開口部
１２ｃ，１１２ｃ側面
１２ｄ係合凸部
１３，１４ハウジング分割体
１５，１１７，１２０分割線
１６抜け止め構造
２１シール
２１ａ一端部
２１ｂ他端部
２１ｃ括れ部
２１ｄ係合凹部
２１ｅ，２１ｇ溝状部
２１ｆ，２１ｈシール部
２１ｊ内径面
２２空隙
３１金型
３２パーティングライン
３３キャビティ空間
１１１シールプレート
１１１ａ正面
１１３ボディ
１１４スリーブ
１１５組付凹部
１１６組立ボルト
１１８取付部
１１９段差部
１２１，１２２ボディ分割体[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a sealing device, and more particularly to a sealing device comprising a combination of a housing and a rubber-made elastic seal mounted in a mounting groove of the housing. The sealing device of the present invention is used, for example, in the field of utilizing various vacuum processing systems in the semiconductor industry, the liquid crystal industry, the sensor industry, etc., particularly in the seal plate part of a gate valve or a slit valve, or in other fields as a rubber-like elastic body. Used for parts that use a seal made of metal.
[0002]
[Prior art]
  Semiconductor manufacturing apparatuses, liquid crystal manufacturing apparatuses, and the like use various vacuum processing systems to manufacture wafers, liquid crystal glass, and the like in a vacuum environment. In this case, when one manufacturing process is completed in the vacuum processing chamber, it is necessary to move to the next step. At this time, in order to maintain the vacuum degree of the vacuum processing chamber, an opening / closing system such as a gate valve or a slit valve is provided. In many cases, a seal mechanism is used. FIG. 12 shows an example of the gate valve 51. The gate valve 51 and the slit valve are made of a rubber-like elastic body made of an elastomer or rubber in a mounting groove of a housing made of a metal plate called a seal plate 52. The seal 53 is assembled. The seal 53 used for the seal plate 52 is a squeeze seal type. Conventionally, as a measure for preventing the seal 53 from coming out of the mounting groove when the seal plate 52 is opened and closed,
(1)As shown in FIG. 13, the mounting groove 54 has a dovetail shape, and an O-ring 53A is attached as a seal 53 to the dovetail mounting groove 54.
(2)As shown in FIG. 14, the mounting groove 54 has a dovetail shape, and a special cross-sectional shape seal 53 </ b> B with a preventive measure taken as a seal 53 is attached to the dovetail mounting groove 54 (see Patent Document 1).
(3)Alternatively, as shown in FIG. 15, the seal 53 is bonded into the mounting groove 54 using an adhesive 55.
Such a structure is used.
[0003]
However, the above prior art has the following problems.
[0004]
(1) (2)For O-ring 53A or special cross-section seal 53B
  As shown in the drawing, since the width of the opening of the mounting groove 54 is narrower than the width of the seals 53A and 53B, the mounting operation is difficult, and the seals 53A and 53B are easily twisted during the mounting operation. Twist causes the seals 53A and 53B to break due to a decrease in sealing performance and concentration of torsional stress. Further, there is a possibility that the seals 53A and 53B may be damaged at the opening edge of the mounting groove 54, and the damage causes a decrease in sealing performance and particles.
[0005]
Similarly, since the width of the opening of the mounting groove 54 is narrower than the width of the seals 53A and 53B, it is difficult to remove the seals 53A and 53B once mounted from the mounting groove 54, so that the seals 53A and 53B are replaced with new ones. Maintenance work is difficult.
[0006]
When the seals 53A and 53B partially stick to the mating housing 56 because the retaining force by the dovetail is not so great, the seals 53A and 53B are attached to the mounting grooves when the seal plate 52 is opened and closed. 54 may escape. Also in this case, the seals 53A and 53B are easily twisted.
[0007]
The seals 53 </ b> A and 53 </ b> B are both smaller in width than the width of the opening of the mounting groove 54 in the mounting state. Therefore, if the compression load (or crushing allowance or gap) of the seals 53A and 53B is not properly controlled, all the portions of the seals 53A and 53B are buried in the mounting groove 54 when the seal plate 52 is opened and closed. The sealability cannot be maintained. Further, when all the portions of the seals 53A and 53B are buried in the mounting groove 54, the seal plate 52 and the counterpart housing 56 are in direct contact (metal touch) and wear is generated, and particles and contamination are generated. Therefore, product defects may occur in manufactured semiconductors or the like due to these particles, contamination, etc. (Note that the gap refers to a gap set between the seal plate 52 and the mating housing 56. The reason why the gap or gap is set between the plate 52 and the mating housing 56 is to prevent particles and contamination due to wear due to direct contact (metal touch) between the seal plate 52 and the mating housing 56. Since even fine foreign objects cause defects, it is necessary to set an appropriate gap or gap so that metal touch does not occur in the open / close part of the semiconductor manufacturing apparatus).
[0008]
(3)For adhesive type
  Since the seal 53 is bonded in the mounting groove 54 using the adhesive 55, the seal 53 once bonded is difficult to remove from the mounting groove 54 or cannot be removed at all. Therefore, there is an inconvenience that maintenance work is still difficult.
[0009]
[Patent Document 1]
JP-T 9-510286
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
In view of the above, the present invention can facilitate the mounting operation of the seal on the mounting groove in the sealing device including the combination of the housing and the seal mounted on the mounting groove of the housing as described above. An object of the present invention is to provide a sealing device, and in addition, an object of the present invention is to provide a sealing device that has a large retaining force and prevents all parts of the seal from being buried in the mounting groove.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
  To achieve the above object, a sealing device according to claim 1 of the present invention comprises a combination of a housing and a seal made of a rubber-like elastic body mounted in a mounting groove of the housing,The mounting groove has a shape in which the width of the opening is narrower than the width of the bottom of the groove, thereby preventing the seal from coming off in the mounting groove.In the sealing device provided with the retaining structure,The housing is divided into two in the width direction in the mounting groove.HaveThe dividing lines of the two divided bodies are arranged at one end position in the width direction at the groove bottom portion of the mounting groove, and are arranged obliquely along the extension line of one side surface of the mounting groove.It is characterized by that.
[0012]
  According to a second aspect of the present invention, there is provided a sealing device according to the first aspect of the present invention.And sealIsA portion projecting to the outside of the mounting groove, a portion accommodated in the mounting groove, and a constricted portion engaged with an opening edge of the mounting grooveHaveThe width of the constricted portion is narrower than the width of the portion accommodated inside the mounting groove and the width of the portion protruding outside the mounting groove,The width of the portion accommodated in the mounting groove and the width of the portion protruding to the outside of the mounting groove are formed larger than the width of the opening.
[0015]
  With the above configurationSealing device of the present inventionThe housing with the mounting grooveDivided body divided into two in the width direction in the mounting grooveTherefore, as a mounting operation of the seal with respect to the mounting groove, it is possible to assemble the other housing divided body after mounting the seal to the mounting groove in one housing divided body without bonding. Therefore, for example, even when the mounting groove is formed in a dovetail shape as a seal retaining structure, it is not necessary to mount the seal from the narrow opening. On the other hand, as the work for removing the seal, it is possible to remove the seal after first removing the other housing divided body. Therefore, for example, even when the mounting groove is formed in the shape of a dovetail as a seal retaining structure, it is not necessary to remove the seal from the narrow opening.
[0016]
  Also, with the above configurationSealing device of the present inventionThe mounting groove has a shape in which the width of the opening is narrower than the width of the groove bottom, and the width of the portion where the seal is accommodated inside the mounting groove and the width of the portion protruding outside the mounting groove The width of the portion engaging the opening edge of the mounting groove has a narrower shape, and the width of the portion accommodated inside the mounting groove and the width of the portion protruding outside the mounting groove is the width of the mounting groove. Since the seal is formed larger than the width of the opening, the seal has a shape in which the central portion in the height direction is constricted, and the constricted portion is sandwiched between the left and right opening edges of the mounting groove. Therefore, it is possible to ensure a relatively large retaining force. In addition, since the width of the portion of the seal that protrudes to the outside of the mounting groove is formed to be larger than the width of the opening of the mounting groove, even if the seal is pressed relatively by the mating part, all of the portions are not mounted. It will not be buried inside.
[0017]
  The sealing device of the present invention is used for, for example, the gate valve and the slit valve described above. In this case, the divided housing is a seal plate in the gate valve or the slit valve.Equivalent to.
[0018]
  In this case, since a plasma gas (vacuum pressure) acts on the seal, if there is a parting line as a molded product in a portion where the plasma gas acts, there is a possibility that this deteriorates and contamination and particles are generated. . So thisTo avoid it,The parting structure of the seal is diagonally divided so that no parting line is set on the inner diameter surface (plasma gas acts here) of the part of the seal that protrudes to the outside, and the groove bottom part on the inner diameter side. Side, outside diameter side, opening sideAnd
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0020]
1A and 1B show a sealing device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a cross-sectional view during a seal mounting operation, and FIG. 1B is a cross-sectional view after the end of the seal mounting operation. Show.
[0021]
The sealing device 1 according to this embodiment is configured by a combination of a housing 11 and a seal 21 that is mounted in a mounting groove 12 provided in the housing 11 without bonding. Further, the sealing device 1 compresses the seal 21 mounted in the mounting groove 12 on the flat surface 11 a of the housing 11 between the housing 11 and a counterpart housing (not shown) disposed so as to face the housing 11. Therefore, it is used as a seal part in a gate valve part and a slit valve part of a semiconductor manufacturing apparatus and a liquid crystal manufacturing apparatus (etching, ashing, plasma CVD, vacuum pump, etc.), for example. In this case, the housing 11 constitutes the seal plate in these valves as described above, and the detailed structure as the seal plate will be described later.
[0022]
The housing 11 is formed in a plate shape from a predetermined metal, and a mounting groove 12 is provided on the flat surface 11a with a predetermined planar layout. The mounting groove 12 has a width w of the groove bottom 12a.₁Width w of the opening 12b₂This is narrower and the inner and outer side surfaces 12c are each formed as a dovetail groove having a trapezoidal cross section in the shape of an inclined surface.
[0023]
Further, the housing 11 is divided into two in the width direction in the mounting groove 12 and has a pair of left and right housing divided bodies 13 and 14 in the figure, and the dividing line 15 of both divided bodies 13 and 14 is the mounting groove 12. The groove bottom portion 12 a is disposed at one end in the width direction, and is disposed obliquely along an extension line of one side surface 12 c of the mounting groove 12. Although both the split bodies 13 and 14 are combined so that decomposition | disassembly is possible, they are integrated when the decomposition | disassembly of later (after) is unnecessary. In this embodiment, they are combined so as to be decomposable.
[0024]
The seal 21 is formed as a squeeze seal type with a predetermined rubber-like elastic body. At the center in the height direction, one end in the height direction (a portion protruding outside the mounting groove 12) 21a and the other in the height direction are provided. A constricted portion (a portion engaging with the opening edge of the mounting groove 12) 21c formed narrower than the end portion (portion accommodated in the mounting groove 12) 21b is provided (one end in the height direction). The width of the part 21a is w₃, The width of the other end 21b in the height direction is w₄, The width of the constricted portion 21c is w₅As w₃> W₅, W₄> W₅). The constricted portion 21c is formed by providing engagement recesses 21d having an arcuate cross section over the entire circumference on the inner and outer peripheral surfaces of the seal 21, and the mounting grooves 12 are respectively formed on the engagement recesses 21d. By engaging engagement protrusions 12d having an arcuate cross section provided at the edge of the opening 12b, a retaining structure 16 for the seal 21 with respect to the mounting groove 12 is formed.
[0025]
Further, one end 21a in the height direction of the seal 21 disposed outside the mounting groove 12 in the mounted state and the other end portion 21b in the height direction of the seal 21 disposed inside the mounting groove 12 in the mounted state are respectively The lower portion or the upper portion is provided with the constricted portion 21c so that the volume thereof is relatively large. Specifically, the width w of the both end portions 21a and 21b.₃, W₄Is the width w of the opening 12b of the mounting groove 12, respectively.₂Larger than (w₃> W₂, W₄> W₂).
[0026]
Further, the height direction one end portion 21a is provided with a groove-like portion 21e over the entire circumference located in the center in the width direction, and the groove-like portion 21e is respectively provided on the inner peripheral side and the outer peripheral side. A lip-shaped seal portion 21f that is in close contact with the mating housing is provided. Also, the other end 21b in the height direction is provided with a groove-like portion 21g at the center in the width direction over the entire circumference, and the inner and outer sides of the groove-like portion 21g. A lip-shaped seal portion 21h that is in close contact with the groove bottom portion 12a of the mounting groove 12 is provided on each side.
[0027]
According to the sealing device 1 having the above configuration, since the housing 11 provided with the mounting groove 12 is divided in the width direction of the mounting groove 12, the pair of housing divided bodies 13 and 14 are provided. When the seal 21 is attached to the first and second seals, as shown in FIGS. 1A to 1B, the seals 21 are attached to the attachment grooves 12 of one of the divided bodies 13, and then the divided bodies 13 and 14 are combined. Can be installed. Therefore, even if the mounting groove 12 is formed in a dovetail shape as the seal retaining structure 16, it is not necessary to mount the seal 21 from the narrow opening 12 b and can be mounted with a margin. Installation work can be facilitated.
[0028]
Further, when removing the seal 21 from the mounting groove 12, it is possible to remove the seal 21 after disassembling the housing divided bodies 13 and 14, as shown in FIGS. 1 (B) to (A). Has been. Therefore, even if the mounting groove 12 is formed in the shape of a dovetail as the seal retaining structure 16, it is not necessary to remove the seal 21 from the narrow opening 12b, and it can be removed with a margin. Can be facilitated.
[0029]
Therefore, it is possible to provide the sealing device 1 that can facilitate both the mounting operation and the removing operation of the seal 21 and that does not twist the seal 21 during mounting.
[0030]
In addition, according to the sealing device 1 configured as described above, the following operational effects can be achieved.
[0031]
(1)  When the seal 21 is mounted in the mounting groove 12, the seal 21 is loosened because the seal 21 is mounted in the mounting groove 12 of the one divided body 13 and then the other divided body 14 is incorporated all around the circumference. There is nothing. Further, since no local stress is generated in the seal 21, the other divided body 14 can be easily incorporated.
[0032]
(2)  Since the engagement convex portion 12d on the housing 11 side is engaged with the engagement concave portion 21d of the seal 21, the retaining structure 16 for the seal 21 with respect to the mounting groove 12 is formed. The holding power of the seal 21 is large. Therefore, it is possible to effectively prevent the seal 21 from slipping out of the mounting groove 12 or twisting of the seal 21 when the housing 11 and the counterpart component are opened and closed.
[0033]
(3)  As described above, since the work for removing the seal 21 is easy, maintenance work such as replacement of the seal 21 can be facilitated. Further, since the seal 21 is not bonded to the housing 11, the seal 21 can be replaced alone.
[0034]
(4)  One end 21a in the height direction of the seal 21 that is disposed outside the mounting groove 12 and is in close contact with the mating housing in the mounted state is formed as a relatively large volume by providing a constricted portion 21c below the one end 21a. ing. Therefore, the seal 21 is difficult to sag, and thus the sealing performance is high. In addition, with this configuration, even when the seal 21 is pushed relative to the mating housing, the entire portion is not buried in the mounting groove 12, so that the sealing performance can be maintained. Similarly, even when the seal 21 is pushed relatively by the mating housing, the entire portion is not buried in the mounting groove 12, thereby preventing direct contact (metal touch) between the housing 11 and the mating housing. be able to. Therefore, generation of particles and contamination due to wear can be prevented, and thereby product defects due to particles and contamination can be prevented from occurring in the manufactured semiconductor.
[0035]
(5)  Since the plurality of lip-shaped seal portions 21f in close contact with the mating housing are provided at one end portion 21a in the height direction of the seal 21, the seal performance of the portion is high. Further, since the plurality of lip-shaped seal portions 21h that are in close contact with the groove bottom portion 12a of the mounting groove 12 are provided at the other height direction end portion 21b of the seal 21, the seal performance of the portion is high.
[0036]
The formation of the lip-shaped seal portions 21f and 21h is arbitrary, and as shown in FIG. 2 as a second embodiment, the formation of the lip-shaped seal portions 21f and 21h may be omitted. The one end surface and the other end surface in the height direction of the seal 21 are in close contact with the mating housing or the groove bottom 12 a of the mounting groove 12.
[0037]
The retaining structure 16 for retaining the seal 21 with respect to the mounting groove 12 is not limited to the mounting groove 12 having a dovetail shape having a trapezoidal cross section, as long as the seal 21 can be physically and mechanically retained. The structure is not limited. In the third embodiment of FIG. 3 and the fourth embodiment of FIG. 4, the mounting groove 12 has a rectangular cross-sectional shape, and an engagement convex portion 12d having a rectangular cross-section is provided at the edge of the opening 12b. ing.
[0038]
Furthermore, the shape of the seal 21 is not particularly limited as long as it has an engagement recess 21d that engages with the engagement protrusion 12d on the housing 11 side.
[0039]
In the third embodiment of FIG. 3, the cross-sectional shape of the seal 21 is such that the height direction one end portion 21a having a cross-sectional arc shape, the constricted portion 21c provided with an engagement recess 21d on the inner and outer periphery, and the other end in the height direction having a rectangular cross section. The seal 21 is formed by being combined with the portion 21 b without being left in the mounting groove 12.
[0040]
Further, in the fourth embodiment of FIG. 4, the cross-sectional shape of the seal 21 is such that the height direction one end portion 21a of the cross-sectional arc shape, the constricted portion 21c provided with the engagement recess 21d on the inner and outer periphery, and the height direction of the cross-sectional arc shape. The seal 21 is formed by a combination with the other end 21 b, and the seal 21 is filled and disposed in the mounting groove 12 leaving a gap 22.
[0041]
Next, a detailed structure when the housing 11 constitutes a seal plate in a gate valve or a slit valve will be described.
[0042]
That is, FIG. 5 shows a front view of the seal plate 111 as a fifth embodiment of the present invention, FIG. 6 (A) is an enlarged sectional view taken along line AA in FIG. 5, and FIG. 6 (B) is FIG. The BB line expanded sectional view in each is shown.
[0043]
The seal plate 111 is formed in a plate shape from a predetermined metal, and a mounting groove 112 is provided in an endless manner on the front surface (seal surface) 111a with a predetermined layout. The mounting groove 112 has a width w of the groove bottom 112a.₁Width w of opening 112b₂This is narrower and the inner and outer peripheral side surfaces 112c are each formed as a dovetail groove having a trapezoidal cross section formed in an inclined surface shape.
[0044]
The seal plate 111 is divided into two in the mounting groove 112 in the width direction, and has a body 113 as an outer divided body and a sleeve 114 as an inner divided body. The latter sleeve 114 is assembled to the assembly recess 115 of the former body 113, and the assembly bolt 116 such as a hexagon socket bolt is tightened from the front (seal surface) 111a side so as to be detachably integrated. The dividing line 117 between them is arranged at the inner end position in the width direction of the groove bottom 112a of the mounting groove 112, the body 113 side is a normal (vertical) step, and the sleeve 114 side is one side surface 112c of the mounting groove 112. It is formed as a tapered step along the extended line.
[0045]
Further, on the back surface of the body 113, an attachment portion 118 made of a female screw portion or a hole portion for attaching the seal plate 111 to the apparatus is provided. In order to ensure a sufficient thickness of the body 113 when providing the mounting portion 118, it is preferable to provide a stepped portion 119 only in the peripheral portion of the mounting portion 118 as necessary, as shown in FIG. 6B. .
[0046]
According to the seal plate 111 having the above-described configuration, the same effect as the first embodiment can be obtained as a seal plate used for a gate valve or a slit valve.
[0047]
In addition to the structure fixed from the front surface (seal surface) of the fifth embodiment, the structure of dividing and assembling the seal plate 111 may be a structure fixed from the back surface as shown in FIG. 7 as the sixth embodiment. Further, as shown in FIGS. 8 to 10 as a seventh embodiment, a structure fixed from the side surface may be adopted.
[0048]
In the sixth embodiment of FIG. 7, an assembly bolt 116 such as a hexagon socket head bolt is tightened from the back side of the seal plate 111 or the body 113.
[0049]
In the seventh embodiment shown in FIGS. 8 to 10, the body 113 is divided into two in the plate plane direction along the dividing line 120, and has a pair of body divided bodies 121 and 122.
[0050]
Further, when the housing 11 constitutes the seal plate 111 in the gate valve or the slit valve and the sealing device 1 is used in the gate valve or the slit valve in this way, the rubber shape that is mounted in the mounting groove 112 of the seal plate 111 is used. Since a plasma gas (vacuum pressure) acts on the elastic seal 21, if there is a parting line mark as a rubber molded product in a portion where the plasma gas acts, there is a risk that it will deteriorate and contamination and particles will be generated. is there. Therefore, in order to avoid this, as shown in FIG. 11, the inner surface 21 j of the portion 21 a protruding outside the mounting groove in the seal 21 (a vacuum chamber is set on the inner diameter side of the seal 21. In order to prevent the parting line 32 of the mold 31 from being set on the protruding inner diameter surface 21j), the parting structure 32 of the seal 21 is obliquely divided, and the dividing method is the groove bottom portion on the inner diameter side of the seal 21. Side, outer diameter side and opening side. In this dividing method, a height difference is set in the height position of the parting line 32 between the inner diameter side and the outer diameter side of the cavity space 33 of the mold 31 (the inner diameter side is low and the outer diameter side is high). Therefore, in this case, the parting line 32 of the mold 31 is not set on the inner diameter surface 21j of the portion 21a protruding to the outside of the mounting groove, and thus no parting line mark is formed. It is possible to prevent the generation of particles.
[0051]
【The invention's effect】
The present invention has the following effects.
[0052]
  That is, with the above configurationSealing device of the present inventionInThe mounting groove comprises a combination of a housing and a rubber-made elastic seal mounted in the mounting groove of the housing, and the mounting groove has a shape in which the width of the opening is narrower than the width of the groove bottom. In the sealing device provided with a retaining structure for retaining the seal in the groove, the housing has a divided body divided in the width direction in the mounting groove, and a dividing line of the both divided bodies is It is disposed at one end position in the width direction at the groove bottom of the mounting groove, and is disposed obliquely along an extension line of one side surface of the mounting groove.Therefore, as a mounting operation of the seal with respect to the mounting groove, it is possible to assemble the other housing divided body after the seal is mounted on the mounting groove in one housing divided body without bonding. Therefore, for example, even when the mounting groove is formed in the shape of a dovetail as a seal retaining structure, it is not necessary to mount the seal from the narrow opening, so that the mounting operation of the seal can be facilitated. it can. Therefore, it is possible to provide a sealing device that can facilitate the mounting operation of the seal and the like and that does not twist the seal during mounting.
[0053]
  In addition to this, the above configuration is provided.Sealing device of the present inventionInThe mounting groove has a shape in which the width of the opening is narrower than the width of the groove bottom, and the seal protrudes to the outside of the mounting groove, the part accommodated in the mounting groove, and the mounting A narrow portion that engages with the opening edge of the groove, and the width of the narrow portion is narrower than the width of the portion housed inside the mounting groove and the width of the portion protruding to the outside of the mounting groove; The width of the portion accommodated in the mounting groove and the width of the portion protruding to the outside of the mounting groove are formed larger than the width of the opening.For this reason, the seal has a shape in which the central portion in the height direction is constricted, and the constricted portion is sandwiched between the left and right opening edges of the mounting groove. Accordingly, it is possible to ensure a relatively large retaining force, thereby improving the stability of mounting the seal.
[0054]
In addition, since the width of the portion of the seal that protrudes to the outside of the mounting groove is formed to be larger than the width of the opening of the mounting groove, even if the seal is pressed relatively by the mating part, all of the portions are not mounted. It will not be buried inside. Therefore, the sealing performance by the seal can be maintained. Similarly, even if the seal is pressed relatively by the mating part, the entire part is not buried in the mounting groove, so that the housing and the mating part can be prevented from coming into direct contact (metal touch). it can. Therefore, generation of particles, contamination, and the like due to wear can be prevented, and thereby, product defects caused by particles, contamination, and the like can be prevented from being generated in a manufactured semiconductor.
[0055]
  Also, with the above configurationThe sealing device of the present invention comprises:As a sealing device used for gate valves and slit valves in various vacuum processing systemsThe above effectsCan getYes, in addition,A sealing device having excellent plasma resistance can be provided, and its durability and sealing performance can be improved.
[Brief description of the drawings]
1A and 1B are cross-sectional views of a main part of a sealing device according to a first embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is a cross-sectional view during a seal mounting operation, and FIG. Cross section
2A and 2B are cross-sectional views of main parts of a sealing device according to a second embodiment of the present invention, in which FIG. 2A is a cross-sectional view during a seal mounting operation, and FIG. Cross section
3A and 3B are cross-sectional views of a main part of a sealing device according to a third embodiment of the present invention, in which FIG. 3A is a cross-sectional view during a seal mounting operation, and FIG. Cross section
4A and 4B are cross-sectional views of a main part of a sealing device according to a fourth embodiment of the present invention, in which FIG. 4A is a cross-sectional view during a seal mounting operation, and FIG. Cross section
FIG. 5 is a front view of a seal plate in a sealing device according to a fifth embodiment of the present invention.
6A is an enlarged sectional view taken along line AA in FIG. 5, and FIG. 6B is an enlarged sectional view taken along line BB in FIG.
FIG. 7 is a sectional view of a seal plate in a sealing device according to a sixth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a front view of a seal plate in a sealing device according to a seventh embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a front view showing an exploded state of the seal plate.
10A is a cross-sectional view of the seal plate, and FIG. 10B is a cross-sectional view showing an exploded state of the seal plate.
FIG. 11 is an explanatory view showing a seal mold split structure.
FIG. 12 is an explanatory diagram of a gate valve.
FIG. 13 is a cross-sectional view of an essential part of a sealing device according to a conventional example.
FIG. 14 is a cross-sectional view of an essential part of a sealing device according to a conventional example.
FIG. 15 is a cross-sectional view of an essential part of a sealing device according to a conventional example.
[Explanation of symbols]
1 Sealing device
11 Housing
11a plane
12, 112 mounting groove
12a, 112a groove bottom
12b, 112b opening
12c, 112c side
12d engagement protrusion
13,14 Housing divided body
15, 117, 120 Dividing line
16 Retaining structure
21 Seal
21a One end
21b The other end
21c Tightening part
21d Engaging recess
21e, 21g Groove
21f, 21h Seal part
21j Inner diameter surface
22 Air gap
31 Mold
32 Parting line
33 cavity space
111 Seal plate
111a front
113 body
114 sleeve
115 Assembly recess
116 Assembly bolt
118 Mounting part
119 Stepped part
121,122 body divided body

Claims

ハウジング（１１）と前記ハウジング（１１）の装着溝（１２）に装着されるゴム状弾性体製のシール（２１）との組み合わせよりなり、前記装着溝（１２）はその溝底部（１２ａ）の幅（ｗ _１）よりも開口部（１２ｂ）の幅（ｗ _２）の方が狭い形状を有することにより前記装着溝（１２）に前記シール（２１）を抜け止めする抜け止め構造（１６）が設けられている密封装置（１）において、
前記ハウジング（１１）は、前記装着溝（１２）においてその幅方向に二分割された分割体（１３）（１４）を有し、前記両分割体（１３）（１４）の分割線（１５）は前記装着溝（１２）の溝底部（１２ａ）における幅方向一方の端部位置に配置され、かつ前記装着溝（１２）の一方の側面（１２ｃ）の延長線に沿って斜めに配置されていることを特徴とする密封装置。The housing (11) is composed of a combination of a rubber-like elastic seal (21) mounted in the mounting groove (12) of the housing (11), and the mounting groove (12) is formed on the groove bottom (12a). width _{(w 1)} opening than the width _{(w 2)} retaining structure (16) for retaining said seal (21) to the mounting groove (12) by the person having a narrow shape of (12b) is In the sealing device (1) provided,
The housing (11) has a divided body (13) (14) divided in the width direction in the mounting groove (12), and a dividing line (15) between the divided bodies (13) (14). Is disposed at one end position in the width direction of the groove bottom (12a) of the mounting groove (12), and is obliquely disposed along an extension line of one side surface (12c) of the mounting groove (12). sealing apparatus characterized by there.

請求項１の密封装置において、
シール（２１）は、装着溝（１２）の外部に突出する部分（２１ａ）と、前記装着溝（１２）の内部に収容される部分（２１ｂ）と、前記装着溝（１２）の開口部（１２ｂ）縁に係合する括れ部（２１ｃ）とを有し、前記括れ部（２１ｃ）の幅（ｗ _５）は前記装着溝（１２）の内部に収容される部分（２１ｂ）の幅（ｗ _４）および装着溝（１２）の外部に突出する部分（２１ａ）の幅（ｗ _３）よりも狭く、かつ前記装着溝（１２）の内部に収容される部分（２１ｂ）の幅（ｗ_４）および装着溝（１２）の外部に突出する部分（２１ａ）の幅（ｗ_３）は前記開口部（１２ｂ）の幅（ｗ_２）よりも大きく形成されていることを特徴とする密封装置。 Oite the sealing device according to claim 1,
The seal (21) includes a portion (21a) protruding outside the mounting groove (12), a portion (21b) accommodated inside the mounting groove (12), and an opening ( 12b) a constricted portion (21c) that engages with the edge, and the width (w ₅ ) of the constricted portion (21c) is the width (w ) of the portion (21b) accommodated in the mounting groove (12). ₄ ) and the width (w ₄ ) of the portion (21 b) that is narrower than the width (w ₃ ) of the portion (21 a) that protrudes outside the mounting groove (12) and that is accommodated inside the mounting groove (12 ). and the width of the portion projecting to the outside of the mounting groove _{(12) (21a) (w} 3) is a sealing device, characterized in that it is larger than the width _{(w 2)} of the opening (12b).