JP2006059934A - 光源装置及び画像形成装置 - Google Patents
光源装置及び画像形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006059934A JP2006059934A JP2004238818A JP2004238818A JP2006059934A JP 2006059934 A JP2006059934 A JP 2006059934A JP 2004238818 A JP2004238818 A JP 2004238818A JP 2004238818 A JP2004238818 A JP 2004238818A JP 2006059934 A JP2006059934 A JP 2006059934A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- collimator lens
- semiconductor laser
- light source
- source device
- adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
【課題】 半導体レーザ素子とコリメータレンズを接着固定する光源装置において、接着層の膜厚が小さく、光軸位置のずれの小くない光源装置を提供する。
【解決手段】 レーザビームを射出する半導体レーザ2と、この半導体レーザ2の光軸と同軸に位置してレーザビームを略平行光にするコリメータレンズ3と、前記半導体レーザ2と前記コリメータレンズ3を保持するベース1とを有し、前記半導体レーザ2と前記コリメータレンズ3の保持構造が所定の光学特性を得られるように前記半導体レーザ2と前記コリメータレンズ3を位置調整した後に接着剤を用いて前記ベース1に接着固定した構成の光源装置において、前記ベース1上に形成された前記半導体レーザ2を接着固定する半導体レーザ接着面1dと前記コリメータレンズ3を接着固定するコリメータレンズ接着面1cが、レーザビームの光軸と平行であるとともに、各々が互いに垂直である。
【選択図】 図1
【解決手段】 レーザビームを射出する半導体レーザ2と、この半導体レーザ2の光軸と同軸に位置してレーザビームを略平行光にするコリメータレンズ3と、前記半導体レーザ2と前記コリメータレンズ3を保持するベース1とを有し、前記半導体レーザ2と前記コリメータレンズ3の保持構造が所定の光学特性を得られるように前記半導体レーザ2と前記コリメータレンズ3を位置調整した後に接着剤を用いて前記ベース1に接着固定した構成の光源装置において、前記ベース1上に形成された前記半導体レーザ2を接着固定する半導体レーザ接着面1dと前記コリメータレンズ3を接着固定するコリメータレンズ接着面1cが、レーザビームの光軸と平行であるとともに、各々が互いに垂直である。
【選択図】 図1
Description
本発明は、デジタル複写機やレ−ザプリンタ等の画像形成装置に使用される光源装置及びその光源装置を備えた画像形成装置に関するものである。
従来から、半導体レーザを用いた光源装置においては、その光学特性として、光源装置より射出されるレーザビームの方向性(=光軸位置)とレーザビーム光束の平行性(=コリメート性)が要求されることは知られている(例えば、特許文献1ないし3参照)。
さらにデジタル複写機やレーザプリンタにおいて、印字の高速化や画素密度切り換えの目的で複数行を同時に走査するために、複数個の半導体レーザやコリメータレンズにより複数のレーザビームを発生させるか、複数のレーザビームを射出するマルチビームLDアレイを使用している。
しかし、この場合、上記光源装置の光学特性に求められる要求精度に加えて、レーザビーム光軸間のピッチ精度(行方向、すなわち、図1のy方向のピッチ精度)は、各々のレーザビーム光軸位置に比べとくに厳しい精度が要求される。
また、レーザビーム光束の平行性(=コリメート性)についても、各行間(=複数のレーザビーム間)の偏差を抑えるために、各々のレーザビームの要求精度以上に厳しい精度が要求される。
これらのことから、コリメータレンズ位置で上記光学特性の要求精度を満足させるためには、光硬化型接着剤での接着固定精度を高めることが必須となる。
また、光源装置が実際に使用される環境はデジタル複写機やレーザプリンタの内部であり、光源装置の光学特性を調整する環境と異なる場合が多いので、環境変動に対する強さ(環境変動の影響の受けにくさ)も要求される。
さらに、デジタル複写機やレーザプリンタの低価格化を実現するために光源装置においては、各構成部品の簡略化や部品点数の低減、組み立て・調整時間の短縮によるコストダウンも要求される。
前述のような高精度かつ環境変動に強い光源装置を実現しようとすると、光源装置の各構成部品の精度を上げたり、何らかの補正機構を設けたりすることによる部品コストの増大や、調整精度を厳しくすることによる組み立て・調整時間の増大が発生してしまい、精度・コスト両面での要求を満足することは難しい。
さらにデジタル複写機やレーザプリンタにおいて、印字の高速化や画素密度切り換えの目的で複数行を同時に走査するために、複数個の半導体レーザやコリメータレンズにより複数のレーザビームを発生させるか、複数のレーザビームを射出するマルチビームLDアレイを使用している。
しかし、この場合、上記光源装置の光学特性に求められる要求精度に加えて、レーザビーム光軸間のピッチ精度(行方向、すなわち、図1のy方向のピッチ精度)は、各々のレーザビーム光軸位置に比べとくに厳しい精度が要求される。
また、レーザビーム光束の平行性(=コリメート性)についても、各行間(=複数のレーザビーム間)の偏差を抑えるために、各々のレーザビームの要求精度以上に厳しい精度が要求される。
これらのことから、コリメータレンズ位置で上記光学特性の要求精度を満足させるためには、光硬化型接着剤での接着固定精度を高めることが必須となる。
また、光源装置が実際に使用される環境はデジタル複写機やレーザプリンタの内部であり、光源装置の光学特性を調整する環境と異なる場合が多いので、環境変動に対する強さ(環境変動の影響の受けにくさ)も要求される。
さらに、デジタル複写機やレーザプリンタの低価格化を実現するために光源装置においては、各構成部品の簡略化や部品点数の低減、組み立て・調整時間の短縮によるコストダウンも要求される。
前述のような高精度かつ環境変動に強い光源装置を実現しようとすると、光源装置の各構成部品の精度を上げたり、何らかの補正機構を設けたりすることによる部品コストの増大や、調整精度を厳しくすることによる組み立て・調整時間の増大が発生してしまい、精度・コスト両面での要求を満足することは難しい。
図5は本出願人が先に出願した光源装置を示す分解斜視図である。図6はコリメータレンズ、レンズ支持部、接着層の第1の関係を説明する正面図である。図7はコリメータレンズ、レンズ支持部、接着層の第2の関係を説明する正面図である。図8はコリメータレンズ、レンズ支持部、接着層の第3の関係を説明する正面図である。
ベース5は嵌合孔5bを有する。嵌合孔5bの裏面側には、レーザビームを照射する半導体レーザ6が圧入固定される。ベース5はコリメータレンズ7を直接接着固定するために、嵌合孔5bの前面に位置して、コリメータレンズ7の外周円より僅かに径の大きな断面円弧状のレンズ接着面5cを有するレンズ支持部5aが半導体レーザ6の光軸と同心に一体成形されている。
コリメータレンズ7はレンズ支持部5aのレンズ接着面5cとコリメータレンズ7の外周面との間に形成される隙間に紫外線硬化型の接着剤8を充填した後、レーザビームの光学特性が所定の値となるように位置調整し、その状態で紫外線がコリメータレンズ7を透過するように接着剤8に照射して接着固定する。
以上説明した例は、複数の嵌合孔5bおよびレンズ支持部5aを有するベース5に複数の半導体レーザ6を嵌合させて、複数のコリメータレンズ7を接着固定させるような、複数の半導体レーザ6から複数のレーザビームを発生させる光源装置においても同様である。
特開平9−246657号公報
特開平9−246658号公報
特開平9−243962号公報
ベース5は嵌合孔5bを有する。嵌合孔5bの裏面側には、レーザビームを照射する半導体レーザ6が圧入固定される。ベース5はコリメータレンズ7を直接接着固定するために、嵌合孔5bの前面に位置して、コリメータレンズ7の外周円より僅かに径の大きな断面円弧状のレンズ接着面5cを有するレンズ支持部5aが半導体レーザ6の光軸と同心に一体成形されている。
コリメータレンズ7はレンズ支持部5aのレンズ接着面5cとコリメータレンズ7の外周面との間に形成される隙間に紫外線硬化型の接着剤8を充填した後、レーザビームの光学特性が所定の値となるように位置調整し、その状態で紫外線がコリメータレンズ7を透過するように接着剤8に照射して接着固定する。
以上説明した例は、複数の嵌合孔5bおよびレンズ支持部5aを有するベース5に複数の半導体レーザ6を嵌合させて、複数のコリメータレンズ7を接着固定させるような、複数の半導体レーザ6から複数のレーザビームを発生させる光源装置においても同様である。
しかしながら、前述した従来の光源装置にも次のような問題があった。図6は従来技術の光源装置を正面から見たもので、コリメータレンズの位置調整を行なった後のコリメータレンズ7、レンズ支持部5aおよび接着層8の関係を表したものである。
第1に、光硬化型に限らず、接着剤は硬化するさいに接着剤自体の収縮が発生するが、これにより接着剤が支えるコリメータレンズの位置は調整した位置からずれ、光学特性も変動してしまう。
従来技術の場合、レンズ支持部5aのレンズ接着面5cが断面円弧形状、または円筒形をしているため、断面円弧の中心軸とコリメータレンズ7の中心軸が一致していれば図7のように接着剤の収縮も左右(=x)で均一になるが、実際は各構成部品の仕上がりバラツキにより図7のように両軸は一致しない。
このため接着層の左右(=x)に厚さの偏りが発生し、接着剤の収縮によるコリメータレンズ7のずれは上下(=y)方向ばかりでなく左右(=x)方向についても不定に発生してしまう。
このことは、複数個の半導体レーザやコリメータレンズにより複数のレーザビームを発生させ複数のレーザビームを発生する光源装置に従来技術を使った場合に不利になる。
もしコリメータレンズ7の位置ずれが左右(=x)か上下(=y)の一方向であれば、要求精度が厳しい光軸間のピッチ方向に位置ずれが生じにくい方向を設定すれば良い。
しかしながら、従来技術では位置ずれ方向が左右・上下(=x・y)方向両方に不定に発生するため、光軸のピッチ変動量は各光軸の変動量の和となり、単体のレーザビームの場合よりも余計に大きくなってしまう。いずれにしろ、コリメータレンズ接着位置・傾きの不定な変動、光学特性のバラツキとなり、光源装置の品質を下げている大きな要因となっている。
第2に、接着剤を硬化させるためには一定時間紫外線を接着剤に照射するわけであるが、上述したような接着層厚の不均一さによって、接着層が厚い部分と薄い部分とで硬化度合いにも差が生じる。
紫外線硬化型の接着剤には、メーカーが推奨する紫外線照射時間(=エネルギ)がある。もし、紫外線照射時間が短ければ、接着層が厚い部分は未硬化の部分が残りやすくなり、未硬化の部分が経時で硬化反応するため長期的に不安定な状態が続く。さらに未硬化の部分が残っていることによって、コリメータレンズの接着強度が著しく低下してしまう。
逆に、接着層が厚い部分に合わせて紫外線照射時間を長くすると、接着層が薄い部分はメーカーが推奨する紫外線照射時間よりも長くなり、実際には硬化反応が終わっているのに余計に紫外線を照射することとなり、接着層に熱膨張によるひずみを与えてしまう。さらには調整・組み立て時間のロスにもなる。
第1に、光硬化型に限らず、接着剤は硬化するさいに接着剤自体の収縮が発生するが、これにより接着剤が支えるコリメータレンズの位置は調整した位置からずれ、光学特性も変動してしまう。
従来技術の場合、レンズ支持部5aのレンズ接着面5cが断面円弧形状、または円筒形をしているため、断面円弧の中心軸とコリメータレンズ7の中心軸が一致していれば図7のように接着剤の収縮も左右(=x)で均一になるが、実際は各構成部品の仕上がりバラツキにより図7のように両軸は一致しない。
このため接着層の左右(=x)に厚さの偏りが発生し、接着剤の収縮によるコリメータレンズ7のずれは上下(=y)方向ばかりでなく左右(=x)方向についても不定に発生してしまう。
このことは、複数個の半導体レーザやコリメータレンズにより複数のレーザビームを発生させ複数のレーザビームを発生する光源装置に従来技術を使った場合に不利になる。
もしコリメータレンズ7の位置ずれが左右(=x)か上下(=y)の一方向であれば、要求精度が厳しい光軸間のピッチ方向に位置ずれが生じにくい方向を設定すれば良い。
しかしながら、従来技術では位置ずれ方向が左右・上下(=x・y)方向両方に不定に発生するため、光軸のピッチ変動量は各光軸の変動量の和となり、単体のレーザビームの場合よりも余計に大きくなってしまう。いずれにしろ、コリメータレンズ接着位置・傾きの不定な変動、光学特性のバラツキとなり、光源装置の品質を下げている大きな要因となっている。
第2に、接着剤を硬化させるためには一定時間紫外線を接着剤に照射するわけであるが、上述したような接着層厚の不均一さによって、接着層が厚い部分と薄い部分とで硬化度合いにも差が生じる。
紫外線硬化型の接着剤には、メーカーが推奨する紫外線照射時間(=エネルギ)がある。もし、紫外線照射時間が短ければ、接着層が厚い部分は未硬化の部分が残りやすくなり、未硬化の部分が経時で硬化反応するため長期的に不安定な状態が続く。さらに未硬化の部分が残っていることによって、コリメータレンズの接着強度が著しく低下してしまう。
逆に、接着層が厚い部分に合わせて紫外線照射時間を長くすると、接着層が薄い部分はメーカーが推奨する紫外線照射時間よりも長くなり、実際には硬化反応が終わっているのに余計に紫外線を照射することとなり、接着層に熱膨張によるひずみを与えてしまう。さらには調整・組み立て時間のロスにもなる。
第3に、前述したように、光源装置が実際に使用される環境(条件)はデジタル複写機やレーザプリンタの内部であり、光源装置の光学特性を調整する環境と異なり、とくに環境温度の差は数°Cから数十°Cと大きく異なる場合も存在する。
このため、調整したときには要求される光学特性を満足していたとしても、デジタル複写機やレーザプリンタ内部に組み込まれたときには、調整時との温度差により光源装置を構成する部品(接着剤を含む)の熱膨張で光学特性が変動し、要求される光学特性が満たせなくなることもある。
熱膨張としては、硬化後の線膨張係数が大きいこともあり、コリメータレンズを接着固定している接着剤によるものが大きく、かつ、コリメータレンズを直接支えている構造上ダイレクトに光学特性に影響を与えてしまう。
最初に述べたように、従来技術では接着層には左右・上下・前後(=x・y・z)方向に予測不可能で不均一な接着層を形成してしまう。このため、図8のように温度変動による接着剤の膨張も不均一となり、不均一な膨張力はコリメータレンズ位置を不均一に変動させ、結果として光学特性変動のバラツキとなって現れてしまう。複数のレーザビームを発生する光源装置の場合については、上述した理由と同様に不利となる。
このため、調整したときには要求される光学特性を満足していたとしても、デジタル複写機やレーザプリンタ内部に組み込まれたときには、調整時との温度差により光源装置を構成する部品(接着剤を含む)の熱膨張で光学特性が変動し、要求される光学特性が満たせなくなることもある。
熱膨張としては、硬化後の線膨張係数が大きいこともあり、コリメータレンズを接着固定している接着剤によるものが大きく、かつ、コリメータレンズを直接支えている構造上ダイレクトに光学特性に影響を与えてしまう。
最初に述べたように、従来技術では接着層には左右・上下・前後(=x・y・z)方向に予測不可能で不均一な接着層を形成してしまう。このため、図8のように温度変動による接着剤の膨張も不均一となり、不均一な膨張力はコリメータレンズ位置を不均一に変動させ、結果として光学特性変動のバラツキとなって現れてしまう。複数のレーザビームを発生する光源装置の場合については、上述した理由と同様に不利となる。
第4に、従来のマルチビームレ−ザ走査装置では、光源部にマルチビームLDアレイを使用し、その光源部を何らかの機構により光軸まわりに回転させることによって、像面でのレ−ザビームピッチ(副走査ピッチ)を調整しているものが多い。この場合、光源部やそれを取り付ける走査装置のハウジングになんらかの回転機構が必要となり、それだけ部品費が高くなる。
また、先に述べたようにマルチビームレーザ走査装置に使用する光源装置には、レーザビーム光束の平行性(=コリメート性)についても、各行間(=複数のレーザビーム間)の偏差を抑えるために、各々のレーザビームの要求精度以上に厳しい精度が要求される。ここでいうレーザビーム光束の平行性とは、LDの発光点とコリメータレンズのレーザビーム進行方向における相対的位置関係によって決定される。
マルチビームLDアレイには複数の発光点を有するLD素子がマルチビームLDアレイのパッケージ内部に固定されているわけであるが、実際にはLD素子自体やLD素子をパッケージに固定するさいの製造バラツキによって、パッケージの位置決め基準に対する発光点位置は、各発光点によってバラツキが生じてしまう。
また、マルチビームLDアレイをベースに固定するさいにも、その固定角度バラツキによって、同様のバラツキが発生する。これらのことは、前述したような各々のレーザビーム間のレーザビーム平行性偏差についての高い要求精度を達成するための課題となる。
この問題に対して、前記レーザビームピッチと同様に、レーザビームの光軸と垂直な方向に何らかの回転調整機構を設ける手段もあるが、同様に部品費が高くなってしまう。
そこで、本発明の目的は、上述した実情を考慮して、ベース上に形成された半導体レーザを接着固定する半導体レーザ接着面とコリメータレンズを接着固定するコリメータレンズ接着面がレーザビームの光軸と平行であるとともに、各々が互いに垂直である構成とし、それによって接着層の膜厚を小さくし、光軸位置のずれも小さくなる、高精度な光源装置を提供することにある。
また、先に述べたようにマルチビームレーザ走査装置に使用する光源装置には、レーザビーム光束の平行性(=コリメート性)についても、各行間(=複数のレーザビーム間)の偏差を抑えるために、各々のレーザビームの要求精度以上に厳しい精度が要求される。ここでいうレーザビーム光束の平行性とは、LDの発光点とコリメータレンズのレーザビーム進行方向における相対的位置関係によって決定される。
マルチビームLDアレイには複数の発光点を有するLD素子がマルチビームLDアレイのパッケージ内部に固定されているわけであるが、実際にはLD素子自体やLD素子をパッケージに固定するさいの製造バラツキによって、パッケージの位置決め基準に対する発光点位置は、各発光点によってバラツキが生じてしまう。
また、マルチビームLDアレイをベースに固定するさいにも、その固定角度バラツキによって、同様のバラツキが発生する。これらのことは、前述したような各々のレーザビーム間のレーザビーム平行性偏差についての高い要求精度を達成するための課題となる。
この問題に対して、前記レーザビームピッチと同様に、レーザビームの光軸と垂直な方向に何らかの回転調整機構を設ける手段もあるが、同様に部品費が高くなってしまう。
そこで、本発明の目的は、上述した実情を考慮して、ベース上に形成された半導体レーザを接着固定する半導体レーザ接着面とコリメータレンズを接着固定するコリメータレンズ接着面がレーザビームの光軸と平行であるとともに、各々が互いに垂直である構成とし、それによって接着層の膜厚を小さくし、光軸位置のずれも小さくなる、高精度な光源装置を提供することにある。
上記の課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、レーザビームを射出する半導体レーザと、この半導体レーザの光軸と同軸に位置してレーザビームを略平行光にするコリメータレンズと、前記半導体レーザと前記コリメータレンズを保持するベースとを有し、前記半導体レーザと前記コリメータレンズの保持構造が所定の光学特性を得られるように前記半導体レーザと前記コリメータレンズを位置調整した後に接着剤を用いてベースに接着固定した構成の光源装置において、前記 ベース上に形成された前記半導体レーザを接着固定する半導体レーザ接着面と前記コリメータレンズを接着固定するコリメータレンズ接着面が、レーザビームの光軸と平行であるとともに、各々が互いに垂直である光源装置を特徴とする。
また、請求項2に記載の発明は、前記半導体レーザおよび前記コリメータレンズが各々の光軸と平行な被接着面を有し、前記ベース上の半導体レーザ接着面とコリメータレンズ接着面との間に形成される接着層が、前記半導体レーザと前記コリメータレンズ各々の光軸の進行方向については均一な厚さである請求項1記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項3に記載の発明は、前記接着層、前記コリメータレンズとコリメータレンズ接着面との間に形成される接着層が、各々半導体レーザとコリメータレンズの光軸と垂直な平面で切り取られる形状が前記各々の光軸から各々の接着面に降ろした垂線を中心として対称な形状である請求項1または2記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項4に記載の発明は、前記ベースに形成された半導体レーザ接着面またはコリメータレンズ接着面が平面であり、これに対応する半導体レーザの被接着部またはコリメータレンズの被接着部が各々の光軸と平行な円筒面であるとき、前記接着面と被接着面が接している請求項1ないし3のいずれか1項記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項5に記載の発明は、前記ベース上の前記コリメータレンズ接着面が平面であり、前記コリメータレンズの外周に前記コリメータレンズの光軸と平行な平面部を設けてこれを被接着部とし、前記コリメータレンズ接着面と前記被接着面を平行に接着固定する請求項1記載ないし3のいずれか1項記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項6に記載の発明は、前記コリメータレンズが光軸を中心とする円筒形状を基本として、円筒の外周から既定の角度によって切り取られる円弧を平面に置き換えた形状であり、この既定の角度とは平面がレーザビームの透過範囲に抵触しない範囲で最大の角度になるように設定した請求項5記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項7に記載の発明は、前記ベースの前記コリメータレンズ接着面と垂直な方向から見たとき、接着剤が前記コリメータレンズ平面部と前記コリメータレンズ接着面が重なる部分からはみ出さない請求項5および6記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項8に記載の発明は、前記半導体レーザのパッケージ外周に前記半導体レーザの光軸と平行な平面部を設け、これを前記半導体レーザの被接着部とした請求項1から請求項7載の光源装置を特徴とする。
また、請求項2に記載の発明は、前記半導体レーザおよび前記コリメータレンズが各々の光軸と平行な被接着面を有し、前記ベース上の半導体レーザ接着面とコリメータレンズ接着面との間に形成される接着層が、前記半導体レーザと前記コリメータレンズ各々の光軸の進行方向については均一な厚さである請求項1記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項3に記載の発明は、前記接着層、前記コリメータレンズとコリメータレンズ接着面との間に形成される接着層が、各々半導体レーザとコリメータレンズの光軸と垂直な平面で切り取られる形状が前記各々の光軸から各々の接着面に降ろした垂線を中心として対称な形状である請求項1または2記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項4に記載の発明は、前記ベースに形成された半導体レーザ接着面またはコリメータレンズ接着面が平面であり、これに対応する半導体レーザの被接着部またはコリメータレンズの被接着部が各々の光軸と平行な円筒面であるとき、前記接着面と被接着面が接している請求項1ないし3のいずれか1項記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項5に記載の発明は、前記ベース上の前記コリメータレンズ接着面が平面であり、前記コリメータレンズの外周に前記コリメータレンズの光軸と平行な平面部を設けてこれを被接着部とし、前記コリメータレンズ接着面と前記被接着面を平行に接着固定する請求項1記載ないし3のいずれか1項記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項6に記載の発明は、前記コリメータレンズが光軸を中心とする円筒形状を基本として、円筒の外周から既定の角度によって切り取られる円弧を平面に置き換えた形状であり、この既定の角度とは平面がレーザビームの透過範囲に抵触しない範囲で最大の角度になるように設定した請求項5記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項7に記載の発明は、前記ベースの前記コリメータレンズ接着面と垂直な方向から見たとき、接着剤が前記コリメータレンズ平面部と前記コリメータレンズ接着面が重なる部分からはみ出さない請求項5および6記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項8に記載の発明は、前記半導体レーザのパッケージ外周に前記半導体レーザの光軸と平行な平面部を設け、これを前記半導体レーザの被接着部とした請求項1から請求項7載の光源装置を特徴とする。
また、請求項9に記載の発明は、前記半導体レーザ接着面とコリメータレンズ接着面が、走査光学系にセットされたとき、走査光学系の走査方向と垂直、または平行になる請求項1ないし8のいずれか1項記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項10に記載の発明は、前記半導体レーザが複数のレーザビームを射出するマルチビームLDアレイであり、このマルチビームLDアレイ内部の発光点が並ぶ方向と前記半導体レーザ接着面が略平行である請求項1ないし9のいずれか1項記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項11に記載の発明は、単一のベースに各々同軸に保持された前記半導体レーザと前記コリメータレンズの組み合わせを複数有し、かつ各々の半導体レーザ接着面と各々のコリメータレンズ接着面が略平行である請求項1ないし10のいずれか1項記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項12に記載の発明は、前記コリメータレンズと前記半導体レーザを固定する接着剤が光硬化型接着剤である請求項1ないし11のいずれか1項記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項13に記載の発明は、前記ベースの材質が接着剤を硬化させるために必要な光を透過する材質である請求項12記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項14に記載の発明は、前記ベースの材質が鉄やアルミなどの金属製、または前記半導体レーザ接着面とコリメータレンズ接着面に鏡面状の光沢を有する表面処理が施されている請求項12記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項15に記載の発明は、請求項1乃至14の何れか一項に記載の光源装置を備えたことを特徴とする。
また、請求項10に記載の発明は、前記半導体レーザが複数のレーザビームを射出するマルチビームLDアレイであり、このマルチビームLDアレイ内部の発光点が並ぶ方向と前記半導体レーザ接着面が略平行である請求項1ないし9のいずれか1項記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項11に記載の発明は、単一のベースに各々同軸に保持された前記半導体レーザと前記コリメータレンズの組み合わせを複数有し、かつ各々の半導体レーザ接着面と各々のコリメータレンズ接着面が略平行である請求項1ないし10のいずれか1項記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項12に記載の発明は、前記コリメータレンズと前記半導体レーザを固定する接着剤が光硬化型接着剤である請求項1ないし11のいずれか1項記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項13に記載の発明は、前記ベースの材質が接着剤を硬化させるために必要な光を透過する材質である請求項12記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項14に記載の発明は、前記ベースの材質が鉄やアルミなどの金属製、または前記半導体レーザ接着面とコリメータレンズ接着面に鏡面状の光沢を有する表面処理が施されている請求項12記載の光源装置を特徴とする。
また、請求項15に記載の発明は、請求項1乃至14の何れか一項に記載の光源装置を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、たとえ各構成部品の仕上がりがばらついて、コリメータレンズが設計値より左右(x)方向、または半導体レーザが上下(y)方向にずれたとしても、各々の位置を調整することで、接着層の膜厚を小さくすることができるため、光軸位置のずれも小さくなり、高精度な光源装置を実現できる。
また、調整時と異なる温度環境に置かれたとしても、接着層が熱膨張する量が小さくなるため、環境変動に対して強い(環境変動に影響されない)光源装置とすることができる。
また、調整時と異なる温度環境に置かれたとしても、接着層が熱膨張する量が小さくなるため、環境変動に対して強い(環境変動に影響されない)光源装置とすることができる。
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は本発明による光源装置を示す分解斜視部である。図2はコリメータレンズ、レンズ支持部、接着層の第1の関係を説明する正面図である。
図3はコリメータレンズ、レンズ支持部、接着層の第2の関係を説明する正面図である。図4はコリメータレンズ、レンズ支持部、接着層の第3の関係を説明する正面図である。
図1ないし図4において、ベース1は、コリメータレンズ3を接着固定するレンズ接着面1cと、半導体レーザ2を接着固定する半導体レーザ接着面1dが形成されており、レンズ接着面1cと半導体レーザ1dは互いに各々垂直な関係があるとともに、コリメータレンズ3の光軸および半導体レーザ2の光軸と垂直に設定されている。
コリメータレンズ3は光軸を中心とする円筒形状を基本として、円筒の外周から角度60°によって切り取られる円弧を平面に置き換えた形状の平面部3aを有している。この平面部3aがベース1のレンズ接着面1cに平行になるように図示しない保持装置により保持される。
また、半導体レーザ2は、パッケージの外周に光軸と平行な円筒面(被接着部)2aを有している。この円筒面2aが半導体レーザ接着面1dに平行になるように図示しない保持装置により保持される。符号1aは嵌合孔、1bはコリメータレンズ支持部を示している。
コリメータレンズ3、半導体レーザ2の位置調整は、図示しない検査装置によって光学特性を検査しながら、目的の光学特性が得られるように、前記保持装置を移動させることによって行う。
紫外線硬化型接着剤は、前記半導体レーザ接着面1dと半導体レーザ円筒面2aの隙間と、レンズ接着面1cとコリメータレンズ3の平面部(被接着部)3aの隙間に予め塗布する。
図3はコリメータレンズ、レンズ支持部、接着層の第2の関係を説明する正面図である。図4はコリメータレンズ、レンズ支持部、接着層の第3の関係を説明する正面図である。
図1ないし図4において、ベース1は、コリメータレンズ3を接着固定するレンズ接着面1cと、半導体レーザ2を接着固定する半導体レーザ接着面1dが形成されており、レンズ接着面1cと半導体レーザ1dは互いに各々垂直な関係があるとともに、コリメータレンズ3の光軸および半導体レーザ2の光軸と垂直に設定されている。
コリメータレンズ3は光軸を中心とする円筒形状を基本として、円筒の外周から角度60°によって切り取られる円弧を平面に置き換えた形状の平面部3aを有している。この平面部3aがベース1のレンズ接着面1cに平行になるように図示しない保持装置により保持される。
また、半導体レーザ2は、パッケージの外周に光軸と平行な円筒面(被接着部)2aを有している。この円筒面2aが半導体レーザ接着面1dに平行になるように図示しない保持装置により保持される。符号1aは嵌合孔、1bはコリメータレンズ支持部を示している。
コリメータレンズ3、半導体レーザ2の位置調整は、図示しない検査装置によって光学特性を検査しながら、目的の光学特性が得られるように、前記保持装置を移動させることによって行う。
紫外線硬化型接着剤は、前記半導体レーザ接着面1dと半導体レーザ円筒面2aの隙間と、レンズ接着面1cとコリメータレンズ3の平面部(被接着部)3aの隙間に予め塗布する。
前述の保持された半導体レーザ2を所定の位置に調整した後、紫外線照射装置(図示しない)から半導体レーザ接着面1dと半導体レーザ2の円筒面2aの隙間に紫外線を照射することによって接着層4aを形成する。
その後、再度図示しない検査装置によって光学特性を検査しながら、目的の光学特性が得られるように、前記保持装置を移動させてコリメータレンズ3を所定の位置に調整した後、紫外線照射装置(図示しない)からレンズを透過するように紫外線を照射することによって接着層4aを形成する。
なお、レンズ接着面1cはコリメータレンズ3の平面部3aよりも十分大きく、たとえ各構成部品の仕上がりバラツキによってコリメータレンズ3の接着位置がばらついたとしても、平面部3aはレンズ接着面1cからはみ出すということはない。
また、光軸進行方向についても、レンズ接着面1cはコリメータレンズ3の平面部3aより前後方向に十分長く、レンズ支持部1bの先端や根元付近には非接着部ができるようになっている。
さらに、平面部3aに対するレンズ接着面1cの位置は、コリメータレンズ3の平面部3aとレンズ接着面1cの間に形成される接着層の厚さが設計中央値で0.1mm程度になるように決められている。
なお、このレンズ接着面1cおよび半導体レーザ接着面1dは、本光源装置が走査装置(図示しない)に取り付けられたときに、主走査方向と垂直、または平行になるように設定されている。
以上に説明した例は、紫外線硬化型の接着剤を用いたが、紫外線硬化型の接着剤に限らず、光硬化型の接着剤であれば使用可能である。また、レーザビームが複数ある光源装置においても、各レーザビーム間の光軸ピッチ方向と平行にレンズ接着面を接着すれば可能である。
その後、再度図示しない検査装置によって光学特性を検査しながら、目的の光学特性が得られるように、前記保持装置を移動させてコリメータレンズ3を所定の位置に調整した後、紫外線照射装置(図示しない)からレンズを透過するように紫外線を照射することによって接着層4aを形成する。
なお、レンズ接着面1cはコリメータレンズ3の平面部3aよりも十分大きく、たとえ各構成部品の仕上がりバラツキによってコリメータレンズ3の接着位置がばらついたとしても、平面部3aはレンズ接着面1cからはみ出すということはない。
また、光軸進行方向についても、レンズ接着面1cはコリメータレンズ3の平面部3aより前後方向に十分長く、レンズ支持部1bの先端や根元付近には非接着部ができるようになっている。
さらに、平面部3aに対するレンズ接着面1cの位置は、コリメータレンズ3の平面部3aとレンズ接着面1cの間に形成される接着層の厚さが設計中央値で0.1mm程度になるように決められている。
なお、このレンズ接着面1cおよび半導体レーザ接着面1dは、本光源装置が走査装置(図示しない)に取り付けられたときに、主走査方向と垂直、または平行になるように設定されている。
以上に説明した例は、紫外線硬化型の接着剤を用いたが、紫外線硬化型の接着剤に限らず、光硬化型の接着剤であれば使用可能である。また、レーザビームが複数ある光源装置においても、各レーザビーム間の光軸ピッチ方向と平行にレンズ接着面を接着すれば可能である。
本発明によれば、光軸進行方向については接着層が均一となるため、接着剤の硬化収縮時のコリメータレンズ3や半導体レーザ2の光軸に対する傾き方向の位置ずれが小さくなり、高精度な光源装置を実現できる。
本発明によれば、コリメータレンズ3の光軸、または半導体レーザ2の光軸に対して接着層4aが対称となるため、各光軸の左右方向で接着層4aを均等に硬化させることができ、接着層の硬化度合いに左右方向の偏りがなくなる。
硬化の偏りはコリメータレンズ位置や半導体レーザ位置の不規則な変動に繋がるため、接着層4aの硬化度合いの偏りをなくすことによってコリメータレンズ位置変動の予測がし易くなるとともに、接着剤の未硬化による経時での変動を抑えることができる。
本発明によれば、コリメータレンズ3の平面部3aにおける接着層4a、半導体レーザ2の被接着部2aにおける接着層4bを最小とすることができるため、接着剤硬化時の光軸位置のずれも小さくなり、高精度な光源装置を実現できる。
本発明によれば、コリメータレンズ3を透過させるように接着剤に紫外線を照射したときに、光軸の左右方向で接着層4aを均等に硬化させることができ、接着層4aの硬化度合いに左右方向の偏りがなくなる。
硬化の偏りはコリメータレンズ位置の不規則な変動に繋がるため、接着層4aの硬化度合いの偏りをなくすことによってコリメータレンズ位置変動の予測がし易くなるとともに、接着剤の未硬化による経時での変動を抑えることができる。また、従来レンズの外周を切り取った形状なので、形状が単純であり、部品の設計・製作が容易となり、部品コストを低く抑えることが可能となる。
本発明によれば、各構成部品のバラツキによってコリメータレンズ位置が設計値より左右(x)、前後(z)方向にずれたとしても、コリメータレンズ3の平面部3aがコリメータレンズ接着面からはみ出すことがなくなる。
また、はみ出た接着剤が垂れるなどして、接着層が不均一な形状となることを防ぐことができる。接着層が不均一になると硬化時にコリメータレンズの不規則な変動となることは前述の通りであるが、はみ出た接着剤は紫外線が届きにくいため、未硬化状態となり、経時でのコリメータレンズ位置が変動する要因となる。
本発明によれば、コリメータレンズ3の光軸、または半導体レーザ2の光軸に対して接着層4aが対称となるため、各光軸の左右方向で接着層4aを均等に硬化させることができ、接着層の硬化度合いに左右方向の偏りがなくなる。
硬化の偏りはコリメータレンズ位置や半導体レーザ位置の不規則な変動に繋がるため、接着層4aの硬化度合いの偏りをなくすことによってコリメータレンズ位置変動の予測がし易くなるとともに、接着剤の未硬化による経時での変動を抑えることができる。
本発明によれば、コリメータレンズ3の平面部3aにおける接着層4a、半導体レーザ2の被接着部2aにおける接着層4bを最小とすることができるため、接着剤硬化時の光軸位置のずれも小さくなり、高精度な光源装置を実現できる。
本発明によれば、コリメータレンズ3を透過させるように接着剤に紫外線を照射したときに、光軸の左右方向で接着層4aを均等に硬化させることができ、接着層4aの硬化度合いに左右方向の偏りがなくなる。
硬化の偏りはコリメータレンズ位置の不規則な変動に繋がるため、接着層4aの硬化度合いの偏りをなくすことによってコリメータレンズ位置変動の予測がし易くなるとともに、接着剤の未硬化による経時での変動を抑えることができる。また、従来レンズの外周を切り取った形状なので、形状が単純であり、部品の設計・製作が容易となり、部品コストを低く抑えることが可能となる。
本発明によれば、各構成部品のバラツキによってコリメータレンズ位置が設計値より左右(x)、前後(z)方向にずれたとしても、コリメータレンズ3の平面部3aがコリメータレンズ接着面からはみ出すことがなくなる。
また、はみ出た接着剤が垂れるなどして、接着層が不均一な形状となることを防ぐことができる。接着層が不均一になると硬化時にコリメータレンズの不規則な変動となることは前述の通りであるが、はみ出た接着剤は紫外線が届きにくいため、未硬化状態となり、経時でのコリメータレンズ位置が変動する要因となる。
本発明によれば、半導体レーザ2の接着層4bを上下(y)に均等にさせることができ、接着層4bの硬化度合いに上下方向の偏りを少なくすることが可能となる。
本発明によれば、レンズ接着面、半導体レーザ接着面を主走査方向、または副走査(主走査方向と垂直な)方向と平行に設定することにより、高い精度が要求される副走査方向の調整精度管理が容易になり、結果的に高精度な光源装置を実現できる。このことは、複数のレーザビームを発生する光源装置においてさらに顕著となる。
本発明によれば、マルチビームLDアレイの傾き方向についても調整が可能であるため、内部の発光点位置バラツキによる特性の偏差を最小にすることができる。また、光の照射により接着剤の硬化を制御できるので、予め接着剤をコリメータレンズ3や半導体レーザ2とベース1の隙間に塗布しておくことが可能となり、接着剤を均一に塗布することが容易になる。
本発明によれば、被接着物(コリメータレンズ3や半導体レーザ2)に遮られずに、接着剤への光の照射が可能となり、接着剤が未硬化となることを防ぐことができる。また、接着剤に光を照射するさい、たとえ被接着物(コリメータレンズ3や半導体レーザ2)に遮られたとしても、ベース1の表面で反射された光が接着剤に到達するため、接着剤が未硬化となることを防ぐことができる。
本発明によれば、レンズ接着面、半導体レーザ接着面を主走査方向、または副走査(主走査方向と垂直な)方向と平行に設定することにより、高い精度が要求される副走査方向の調整精度管理が容易になり、結果的に高精度な光源装置を実現できる。このことは、複数のレーザビームを発生する光源装置においてさらに顕著となる。
本発明によれば、マルチビームLDアレイの傾き方向についても調整が可能であるため、内部の発光点位置バラツキによる特性の偏差を最小にすることができる。また、光の照射により接着剤の硬化を制御できるので、予め接着剤をコリメータレンズ3や半導体レーザ2とベース1の隙間に塗布しておくことが可能となり、接着剤を均一に塗布することが容易になる。
本発明によれば、被接着物(コリメータレンズ3や半導体レーザ2)に遮られずに、接着剤への光の照射が可能となり、接着剤が未硬化となることを防ぐことができる。また、接着剤に光を照射するさい、たとえ被接着物(コリメータレンズ3や半導体レーザ2)に遮られたとしても、ベース1の表面で反射された光が接着剤に到達するため、接着剤が未硬化となることを防ぐことができる。
1 ベース
1a 嵌合孔
1b レンズ支持部
1c コリメータレンズ接着面
1d 半導体レーザ接着面
2 半導体レーザ
2a 被接着部
3 コリメータレンズ
3a 平面部(被接着部)
4a 接着層
4b 接着層
1a 嵌合孔
1b レンズ支持部
1c コリメータレンズ接着面
1d 半導体レーザ接着面
2 半導体レーザ
2a 被接着部
3 コリメータレンズ
3a 平面部(被接着部)
4a 接着層
4b 接着層
Claims (15)
- レーザビームを射出する半導体レーザと、この半導体レーザの光軸と同軸に位置してレーザビームを略平行光にするコリメータレンズと、前記半導体レーザと前記コリメータレンズを保持するベースとを有し、前記半導体レーザと前記コリメータレンズの保持構造が所定の光学特性を得られるように前記半導体レーザと前記コリメータレンズを位置調整した後に接着剤を用いて前記ベースに接着固定した構成の光源装置において、前記ベース上に形成された前記半導体レーザを接着固定する半導体レーザ接着面と前記コリメータレンズを接着固定するコリメータレンズ接着面が、レーザビームの光軸と平行であるとともに、各々が互いに垂直であることを特徴とする光源装置。
- 前記半導体レーザおよび前記コリメータレンズが各々の光軸と平行な被接着面を有し、前記ベース上の半導体レーザ接着面とコリメータレンズ接着面との間に形成される接着層が、前記半導体レーザと前記コリメータレンズ各々の光軸の進行方向については均一な厚さであることを特徴とする請求項1記載の光源装置。
- 前記接着層、前記コリメータレンズとコリメータレンズ接着面との間に形成される接着層が、各々半導体レーザとコリメータレンズの光軸と垂直な平面で切り取られる形状が前記各々の光軸から各々の接着面に降ろした垂線を中心として対称な形状であることを特徴とする請求項1または2記載の光源装置。
- 前記ベースに形成された半導体レーザ接着面またはコリメータレンズ接着面が平面であり、これに対応する半導体レーザの被接着部またはコリメータレンズの被接着部が各々の光軸と平行な円筒面であるとき、前記接着面と被接着面が接していることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項記載の光源装置。
- 前記ベース上の前記コリメータレンズ接着面が平面であり、前記コリメータレンズの外周に前記コリメータレンズの光軸と平行な平面部を設けてこれを被接着部とし、前記コリメータレンズ接着面と前記被接着面を平行に接着固定することを特徴とする請求項1記載ないし3のいずれか1項記載の光源装置。
- 前記コリメータレンズが光軸を中心とする円筒形状を基本として、円筒の外周から既定の角度によって切り取られる円弧を平面に置き換えた形状であり、この既定の角度とは平面がレーザビームの透過範囲に抵触しない範囲で最大の角度になるように設定したことを特徴とする請求項5記載の光源装置。
- 前記ベースの前記コリメータレンズ接着面と垂直な方向から見たとき、接着剤が前記コリメータレンズ平面部と前記コリメータレンズ接着面が重なる部分からはみ出さないことを特徴とする請求項5および6記載の光源装置。
- 前記半導体レーザのパッケージ外周に前記半導体レーザの光軸と平行な平面部を設け、これを前記半導体レーザの被接着部としたことを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項記載の光源装置。
- 前記半導体レーザ接着面とコリメータレンズ接着面が、走査光学系にセットされたとき、走査光学系の走査方向と垂直、または平行になることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項記載の光源装置。
- 前記半導体レーザが複数のレーザビームを射出するマルチビームLDアレイであり、このマルチビームLDアレイ内部の発光点が並ぶ方向と前記半導体レーザ接着面が略平行であることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1項記載の光源装置。
- 単一のベースに各々同軸に保持された前記半導体レーザと前記コリメータレンズの組み合わせを複数有し、かつ各々の半導体レーザ接着面と各々のコリメータレンズ接着面が略平行であることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1項記載の光源装置。
- 前記コリメータレンズと前記半導体レーザを固定する接着剤が光硬化型接着剤であることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか1項記載の光源装置。
- 前記ベースの材質が接着剤を硬化させるために必要な光を透過する材質であることを特徴とする請求項12記載の光源装置。
- 前記ベースの材質が鉄やアルミなどの金属製、または前記半導体レーザ接着面とコリメータレンズ接着面が鏡面状に光沢を有する表面処理が施されていることを特徴とする請求項12記載の光源装置。
- 請求項1乃至14のいずれか1項に記載の光源装置を備えたことを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004238818A JP2006059934A (ja) | 2004-08-18 | 2004-08-18 | 光源装置及び画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004238818A JP2006059934A (ja) | 2004-08-18 | 2004-08-18 | 光源装置及び画像形成装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006059934A true JP2006059934A (ja) | 2006-03-02 |
Family
ID=36107168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004238818A Pending JP2006059934A (ja) | 2004-08-18 | 2004-08-18 | 光源装置及び画像形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006059934A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014170887A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Fujikura Ltd | 半導体レーザモジュール及びその製造方法 |
JP2015115379A (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-22 | 株式会社フジクラ | 半導体レーザモジュール及びその製造方法 |
JP2015128193A (ja) * | 2015-04-06 | 2015-07-09 | 株式会社フジクラ | 半導体レーザモジュール |
JP2016096299A (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | 株式会社フジクラ | 半導体レーザ装置及びその製造方法 |
-
2004
- 2004-08-18 JP JP2004238818A patent/JP2006059934A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014170887A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Fujikura Ltd | 半導体レーザモジュール及びその製造方法 |
US9859679B2 (en) | 2013-03-05 | 2018-01-02 | Fujikura Ltd. | Semiconductor laser module and method of manufacturing the same |
JP2015115379A (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-22 | 株式会社フジクラ | 半導体レーザモジュール及びその製造方法 |
JP2016096299A (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | 株式会社フジクラ | 半導体レーザ装置及びその製造方法 |
JP2015128193A (ja) * | 2015-04-06 | 2015-07-09 | 株式会社フジクラ | 半導体レーザモジュール |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20160020361A (ko) | 임프린트 장치, 조명 광학계 및 물품 제조 방법 | |
JP4285563B2 (ja) | レーザ走査装置及び画像形成装置 | |
JP4647314B2 (ja) | 光源装置とその製造方法および記録装置 | |
JP2003098413A (ja) | 光源装置及びその調整方法 | |
JP2007171626A (ja) | 光走査装置・画像形成装置 | |
JP2006059934A (ja) | 光源装置及び画像形成装置 | |
JP2009198679A (ja) | 光学素子の固定構造及び固定方法、レーザビーム走査装置、及び、画像形成装置 | |
US10884256B2 (en) | Collimator lens and light source device | |
KR100661657B1 (ko) | 광주사 유니트 및 화상형성장치 | |
JP5084423B2 (ja) | 光源装置 | |
JP4693438B2 (ja) | 走査光学装置および画像形成装置 | |
JP4420272B2 (ja) | マルチビーム光源装置、その調整方法、光走査装置及び画像形成装置 | |
JP2000180797A (ja) | コリメータレンズの調整方法及びこの方法を用いた光源装置 | |
JP2006194973A (ja) | 光走査装置 | |
JP4867809B2 (ja) | レーザ走査装置及び画像形成装置 | |
JP3648368B2 (ja) | 光源装置 | |
JP2006113382A (ja) | 光学素子及び光走査装置 | |
JP3976405B2 (ja) | 光源装置 | |
JP2004095994A (ja) | 光源装置 | |
JP2009002988A (ja) | レーザ走査装置及び画像形成装置 | |
JP4917926B2 (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
JP2008003373A (ja) | 走査光学装置およびこれを用いた画像形成装置 | |
JP4746922B2 (ja) | 走査装置 | |
JP4780131B2 (ja) | 光源装置 | |
JPH10284803A (ja) | 光源装置 |