JP2006057645A - Flow passage block structure - Google Patents

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Osamu Kawakubo
修 川久保
Akihiro Takechi
昭宏 武市
Tatsuto Aoyama
達人 青山
Toshiichi Miwa
敏一 三輪
Takashi Inoue
貴史 井上
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flow passage block structure having no residence part on a flow passage, capable of replacing gas in a short time. <P>SOLUTION: A first flow passage block 6 is provided with a mounting hole 8, a process gas output flow passage 11, a first port 12, a process gas input flow passage 13, and a purge gas input flow passage 19. A purge valve input flow passage 19 is drilled toward the vicinity of a valve part of a supply valve 2 from a side face opposing to a second flow passage block 7 and is communicated with the process gas output flow passage 11. On the other hand, the second flow passage block 7 is provided with a mounting hole 20, a second port 21, a purge gas output flow passage 25, a purge valve output flow passage 24, a third port 27, and an output flow passage 26. The first and second flow passage blocks 6, 7 are mutually connected to communicate the purge gas input flow passage 19 with the purge valve output flow passage 24 and communicate the process gas output flow passage 11 with a common output flow passage 26 to constitute the flow passage block structure 5. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、供給弁とパージ弁が取り付けられる流路ブロック構造に関する。   The present invention relates to a flow path block structure to which a supply valve and a purge valve are attached.

従来、半導体製造工程において、エッチングガス等のプロセスガスを供給するプロセスガス供給ユニットが開発されている。プロセスガス供給ユニットは、例えば、マスフローコントローラの上流側（或いは下流側）に配設され、マスフローコントローラを交換する際に、プロセスガスの供給を止めてパージガスを供給し、ガス置換を行う。図１は、第一従来例のプロセスガス供給ユニット１００を示す断面図である。   Conventionally, a process gas supply unit for supplying a process gas such as an etching gas has been developed in a semiconductor manufacturing process. The process gas supply unit is disposed, for example, on the upstream side (or downstream side) of the mass flow controller, and when replacing the mass flow controller, the process gas supply is stopped and the purge gas is supplied to perform gas replacement. FIG. 1 is a sectional view showing a process gas supply unit 100 of a first conventional example.

プロセスガス供給ユニット１００は、流路ブロック１０１に上流側から供給弁１０２、パージ弁１０３、逆止弁１０４が取り付けられている。流路ブロック１０１には、外部入力口１０５と供給弁１０２とを接続するプロセスガス入力流路１０６が形成されるとともに、供給弁１０２と外部出力口１０８とを接続するプロセスガス出力流路１０７が形成されている。また、流路ブロック１０１には、逆止弁１０４とパージ弁１０３とを接続するパージガス出力流路１０９が形成されている。さらには、流路ブロック１０１には、パージ弁１０３に連通するパージ弁出力流路１１０がプロセスガス出力流路１０７に対して垂直に接続している。   In the process gas supply unit 100, a supply valve 102, a purge valve 103, and a check valve 104 are attached to the flow path block 101 from the upstream side. The flow path block 101 is formed with a process gas input flow path 106 that connects the external input port 105 and the supply valve 102, and a process gas output flow path 107 that connects the supply valve 102 and the external output port 108. Is formed. Further, a purge gas output channel 109 that connects the check valve 104 and the purge valve 103 is formed in the channel block 101. Furthermore, a purge valve output channel 110 communicating with the purge valve 103 is connected to the channel block 101 perpendicularly to the process gas output channel 107.

かかるプロセスガス供給ユニット１００は、パージ弁１０３を閉、供給弁１０２を開として、外部入力口１０５にプロセスガスを供給すると、プロセスガスがプロセスガス入力流路１０６、供給弁１０２、プロセスガス出力流路１０７を介して外部出力口１０８から出力される。
その後、供給弁１０２を閉、パージ弁を開として、逆止弁１０４にパージガスを供給すると、パージガスがパージガス出力流路１０９、パージ弁１０３、パージ弁出力流路１１０、プロセスガス出力流路１０７を介して外部出力口１０８から出力される。このとき、パージガスが、自身の圧力によってパージ弁出力流路１１０、プロセスガス出力流路１０７に残留するプロセスガスを押し出し、置換される（例えば、特許文献１参照）。 When the process gas supply unit 100 closes the purge valve 103 and opens the supply valve 102 to supply the process gas to the external input port 105, the process gas is supplied to the process gas input flow path 106, the supply valve 102, the process gas output flow. The signal is output from the external output port 108 via the path 107.
Thereafter, when the supply valve 102 is closed, the purge valve is opened, and the purge gas is supplied to the check valve 104, the purge gas passes through the purge gas output channel 109, the purge valve 103, the purge valve output channel 110, and the process gas output channel 107. Via the external output port 108. At this time, the purge gas pushes out and replaces the process gas remaining in the purge valve output channel 110 and the process gas output channel 107 by its own pressure (see, for example, Patent Document 1).

また、図４は、第二従来例のプロセスガス供給ユニット２００を示す図である。
プロセスガス供給ユニット２００は、第１流路ブロック２０１と第２流路ブロック２０２を連結した流路ブロック構造２０３に、パージ弁２０４と供給弁２０５が上方から取り付けられている。第１流路ブロックには、第１ポート２０６、連通路２０７、第２ポート２０８、Ｖ字流路２０９、パージ弁出力流路２１０が設けられている。連通路２０７とパージ弁出力流路２１０は、第２流路ブロック２０２と対向する側面に開口している。一方、第２流路ブロック２０２には、プロセスガス入力流路２１１、プロセスガス出力流路２１２、第３ポート２１３、パージガス入力流路２１４が形成されている。供給弁２０５は、ダイアフラム２１７により弁室２１５が設けられ、プロセスガス入力流路２１１、プロセスガス出力流路２１２、パージガス入力流路２１４が弁室２１５に連通している。弁室２１５は、プロセスガス入力流路２１１の開口部外周に弁座２１６が設けられ、ダイアフラム２１７が弁座２１６に当接又は離間するようになっている。プロセスガス入力流路２１１とパージガス入力流路２１４は、第１流路ブロック２０１と対向する側面に開口し、第１流路ブロック２０１の連通路２０７、パージ弁出力流路２１０に接続している。 FIG. 4 is a diagram showing a process gas supply unit 200 of a second conventional example.
In the process gas supply unit 200, a purge valve 204 and a supply valve 205 are attached from above to a flow path block structure 203 in which a first flow path block 201 and a second flow path block 202 are connected. The first flow path block is provided with a first port 206, a communication path 207, a second port 208, a V-shaped flow path 209, and a purge valve output flow path 210. The communication path 207 and the purge valve output flow path 210 are open on the side surface facing the second flow path block 202. On the other hand, a process gas input channel 211, a process gas output channel 212, a third port 213, and a purge gas input channel 214 are formed in the second channel block 202. The supply valve 205 is provided with a valve chamber 215 by a diaphragm 217, and a process gas input channel 211, a process gas output channel 212, and a purge gas input channel 214 communicate with the valve chamber 215. In the valve chamber 215, a valve seat 216 is provided on the outer periphery of the opening of the process gas input channel 211, and the diaphragm 217 contacts or separates from the valve seat 216. The process gas input flow path 211 and the purge gas input flow path 214 are opened on the side surface facing the first flow path block 201 and are connected to the communication path 207 and the purge valve output flow path 210 of the first flow path block 201. .

かかるプロセスガス供給ユニット２００は、パージ弁２０４を閉、供給弁２０５を開として、第１ポート２０６にプロセスガスを供給すると、プロセスガスが、連通路２０７、プロセスガス入力流路２１１、弁座２１６、弁室２１５、プロセスガス出力流路２１２を介して第３ポート２１３から出力される。その後、供給弁２０５を閉、パージ弁２０４を開として、第２ポート２０８にパージガスを供給すると、パージガスは、Ｖ字流路２０９、パージ弁出力流路２１０、パージガス入力流路２１４、弁室２１５、プロセスガス出力流路２１２を介して、第３ポート２１３から出力される。パージガスは、自身の圧力でプロセスガスを押し出し、ガス置換を行う（例えば、特許文献２参照）。   When the process gas is supplied to the first port 206 with the purge valve 204 closed and the supply valve 205 opened to supply the process gas to the process gas supply unit 200, the process gas is supplied to the communication path 207, the process gas input channel 211, and the valve seat 216. , And output from the third port 213 via the valve chamber 215 and the process gas output channel 212. Thereafter, when the supply valve 205 is closed, the purge valve 204 is opened, and purge gas is supplied to the second port 208, the purge gas is supplied to the V-shaped flow path 209, the purge valve output flow path 210, the purge gas input flow path 214, and the valve chamber 215. Then, it is output from the third port 213 through the process gas output channel 212. The purge gas pushes out the process gas at its own pressure and performs gas replacement (see, for example, Patent Document 2).

特開平１０−３１１４５１号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-311451 特開２００１−２５４８５７号公報JP 2001-254857 A

しかしながら、従来のガス供給ユニット１００，２００で用いられる流路構成には、以下の問題があった。
ガス供給ユニット１００の流路ブロック１０１は、流路を形成する関係上、パージ弁出力流路１１０がプロセスガス出力流路１０７の途中に接続するため、当該接続部分と供給弁１０２との間にプロセスガスが滞留してしまっていた（図中ドット部参照）。そのため、滞留部のガス置換を行いにくく、ガス切換に時間がかかっていた。
また、ガス供給ユニット２００の流路ブロック構造２０３は、弁室２１５の内壁が弁座２１６やダイアフラム２１７により凹凸しており、プロセスガスが弁室２１５の凹みに入り込んで滞留しやすかった。しかも、パージガスは、弁室２１５に流入すると、弁座２１６の周りを２方向に分かれて流れた後、プロセスガス出力流路２１２に流出しており、パージガスの流路が複雑で、弁室２１５の凹みに入り込んだプロセスガスを押し出しにくかった。よって、流路ブロック構造２０３を使用しても、ガス置換に時間がかかっていた。 However, the flow path configuration used in the conventional gas supply units 100 and 200 has the following problems.
Since the flow path block 101 of the gas supply unit 100 forms a flow path, the purge valve output flow path 110 is connected in the middle of the process gas output flow path 107, and therefore, between the connection portion and the supply valve 102. Process gas was stagnant (see dot in the figure). Therefore, it is difficult to perform gas replacement in the staying portion, and it takes time to switch the gas.
Further, in the flow path block structure 203 of the gas supply unit 200, the inner wall of the valve chamber 215 is uneven due to the valve seat 216 and the diaphragm 217, and the process gas easily enters the recess of the valve chamber 215 and stays easily. In addition, when the purge gas flows into the valve chamber 215, the purge gas flows in two directions around the valve seat 216 and then flows out into the process gas output channel 212, and the purge gas channel is complicated, and the valve chamber 215 is complicated. It was difficult to extrude the process gas that entered the dent. Therefore, even if the flow path block structure 203 is used, it takes time to replace the gas.

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、流路上に滞留部がなく、ガス置換を短時間で行うことができる流路ブロック構造を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a flow channel block structure that does not have a staying portion on the flow channel and can perform gas replacement in a short time.

本発明に係る流路ブロック構造は、次のような構成を有している。
（１）供給弁とパージ弁が取り付けられる流路ブロック構造において、第１流路ブロックと第２流路ブロックとを連結したものであり、第１流路ブロックは、供給弁が取り付けられる取付孔と、一端開口部が取付孔の内壁に開口し、他端開口部が第２流路ブロックと対向する側面に開口するプロセスガス出力流路と、プロセスガスを入力する第１ポートと、第１ポートと取付孔を連通させるプロセスガス入力流路と、第２流路ブロックと対向する側面から供給弁の弁部付近に向かって形成されるパージガス入力流路と、を有し、第２流路ブロックは、パージ弁が取り付けられる取付孔と、パージガスを入力する第２ポートと、取付孔と第２ポートとを連通させるパージガス出力流路と、一端開口部が取付孔の内壁に開口し、他端開口部が第１流路ブロックと対向する側面に開口するパージ弁出力流路と、ガスを出力する第３ポートと、第１流路ブロックと対向する側面から第３ポートに連通するように形成された共通出力流路と、を有し、第１流路ブロックと第２流路ブロックは、パージガス入力流路とパージ弁出力流路、及び、プロセスガス出力流路と共通出力流路とが相互に連通していること、を特徴とする。 The flow path block structure according to the present invention has the following configuration.
(1) In the flow path block structure to which the supply valve and the purge valve are attached, the first flow path block and the second flow path block are connected, and the first flow path block has an attachment hole to which the supply valve is attached. A process gas output channel whose one end opening opens on the inner wall of the mounting hole, and the other end opening opens on the side facing the second channel block, a first port for inputting process gas, and a first A process gas input channel for communicating the port and the mounting hole; and a purge gas input channel formed from a side surface facing the second channel block toward the vicinity of the valve portion of the supply valve. The block has a mounting hole to which a purge valve is mounted, a second port for inputting purge gas, a purge gas output flow path for communicating the mounting hole and the second port, an opening at one end opening on the inner wall of the mounting hole, and the like. End opening is first A purge valve output channel that opens to the side facing the channel block, a third port that outputs gas, and a common output channel that communicates with the third port from the side facing the first channel block In the first flow path block and the second flow path block, the purge gas input flow path and the purge valve output flow path, and the process gas output flow path and the common output flow path communicate with each other. It is characterized by this.

（２）（１）に記載の発明において、第２ポートと接続する逆止弁を有することを特徴とする。
（３）（１）又は（２）に記載の発明において、パージガス入力流路は、弁部付近に向かってプロセスガス出力流路に対して鋭角に接続していること、を特徴とする。 (2) The invention described in (1) is characterized by having a check valve connected to the second port.
(3) The invention described in (1) or (2) is characterized in that the purge gas input flow path is connected to the process gas output flow path at an acute angle toward the vicinity of the valve portion.

続いて、本発明の作用効果について説明する。
本発明の流路ブロック構造に供給弁とパージ弁を取り付ける。パージ弁を閉、供給弁を開として、第１ポートにプロセスガスを供給すると、プロセスガスが作動入力流路、プロセスガス出力流路、共通出力流路を介して第３ポートから出力される。その後、供給弁を閉、パージ弁を開として、第２ポートにパージガスを供給すると、パージガスがパージガス出力流路、パージ弁出力流路、パージガス入力流路、プロセスガス出力流路、共通出力流路を介して第３ポートから出力される。このとき、パージガスは、パージガス入力流路から閉弁する供給弁の弁部付近に噴出し、プロセスガス出力流路の内壁にぶつかって弁部付近のプロセスガスを巻き込みながらプロセスガス出力流路へと流れるため、プロセスガス出力流路内に滞留部が発生せず、ガスを短時間で切り換えられる。
従って、本発明によれば、流路上に滞留部がなく、ガス置換を短時間で行うことができる。 Then, the effect of this invention is demonstrated.
A supply valve and a purge valve are attached to the flow path block structure of the present invention. When the purge valve is closed and the supply valve is opened and the process gas is supplied to the first port, the process gas is output from the third port via the operation input flow path, the process gas output flow path, and the common output flow path. After that, when the supply valve is closed, the purge valve is opened, and the purge gas is supplied to the second port, the purge gas is purge gas output flow path, purge valve output flow path, purge gas input flow path, process gas output flow path, common output flow path From the third port. At this time, the purge gas is ejected from the purge gas input flow path to the vicinity of the valve portion of the supply valve, and hits the inner wall of the process gas output flow path and entrains the process gas near the valve section to the process gas output flow path. Since it flows, no stagnant portion is generated in the process gas output flow path, and the gas can be switched in a short time.
Therefore, according to the present invention, there is no staying portion on the flow path, and gas replacement can be performed in a short time.

また、第２ポートに逆止弁を接続すれば、プロセスガス等の逆流を防止できる。
さらに、パージガス入力流路を弁部付近に向かってプロセスガス出力流路に対して鋭角に接続すれば、パージガスは、弁部付近の内壁に鋭角にぶつかって方向転換するので、弁部付近の内壁に沿って流れ方向を変えやすく、効率的にガス置換できる。 Further, if a check valve is connected to the second port, backflow of process gas or the like can be prevented.
Furthermore, if the purge gas input flow path is connected to the process gas output flow path toward the vicinity of the valve section at an acute angle, the purge gas changes its direction by hitting the inner wall near the valve section at an acute angle. It is easy to change the flow direction along the gas and can efficiently replace the gas.

次に、本発明に係る流路ブロック構造の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、プロセスガス供給ユニット１の断面図である。
プロセスガス供給ユニット１は、供給弁２とパージ弁３と逆止弁４とが取り付けられる流路ブロック構造５を備える。流路ブロック構造５は、供給弁２が取り付けられる第１流路ブロック６と、パージ弁３及び逆止弁４が取り付けられる第２流路ブロック７とを連結したものである。 Next, an embodiment of a channel block structure according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of the process gas supply unit 1.
The process gas supply unit 1 includes a flow path block structure 5 to which a supply valve 2, a purge valve 3, and a check valve 4 are attached. The flow path block structure 5 is formed by connecting a first flow path block 6 to which the supply valve 2 is attached and a second flow path block 7 to which the purge valve 3 and the check valve 4 are attached.

第１流路ブロック６は、ＳＵＳなどの金属を略直方体形状に成形し、機械加工などで流路を形成したものである。第１流路ブロック６は、供給弁２を取り付けるための取付孔８が図中上側面から円筒形状に開設され、取付孔８と同軸上に弁孔９が設けられている。第１流路ブロック６は、第１連通路１０が第２流路ブロック７と対向する側面から水平方向に穿設され、弁孔９に連通している。従って、プロセスガス出力流路１１は、弁孔９と第１連通路１０によりＬ字形に設けられる。
また、第１流路ブロック６は、図中下側面に第１ポート１２が開設され、第１ポート１２と取付孔８とを連通するようにプロセスガス入力流路１３が設けられている。プロセスガス入力流路１３は、取付孔８の内壁から弁孔９と平行に穿設された垂直流路１４と、第１ポート１２から垂直流路１４に連通するように斜めに穿設された入口流路１５とからなる。 The first flow path block 6 is formed by molding a metal such as SUS into a substantially rectangular parallelepiped shape and forming a flow path by machining or the like. In the first flow path block 6, an attachment hole 8 for attaching the supply valve 2 is opened in a cylindrical shape from the upper side surface in the figure, and a valve hole 9 is provided coaxially with the attachment hole 8. In the first flow path block 6, the first communication path 10 is formed in a horizontal direction from the side surface facing the second flow path block 7, and communicates with the valve hole 9. Therefore, the process gas output flow path 11 is provided in an L shape by the valve hole 9 and the first communication path 10.
Further, the first flow path block 6 is provided with a first port 12 on the lower side surface in the figure, and a process gas input flow path 13 is provided so as to communicate the first port 12 and the mounting hole 8. The process gas input flow path 13 is formed obliquely so as to communicate with the vertical flow path 14 formed in parallel with the valve hole 9 from the inner wall of the mounting hole 8 and the vertical flow path 14 from the first port 12. And an inlet channel 15.

取付孔８の内周面には、ネジが切られ、供給弁２が螺設される。供給弁２は、エアオペレイト式ダイアフラム弁である。ダイアフラム１６は、周縁部が供給弁２と第１流路ブロック６との間で狭持され、取付孔８の内壁とともに弁室１７を形成する。弁室１７には、弁孔９の開口部外周に弁座１８が設けられ、ダイアフラム１６が弁座１８に当接又は離間する弁部が構成されている。従って、プロセスガス入力流路１３は、供給弁２の弁部を介してプロセスガス出力流路１１と連通する。   A screw is cut on the inner peripheral surface of the mounting hole 8, and the supply valve 2 is screwed. The supply valve 2 is an air operated diaphragm valve. The diaphragm 16 is sandwiched between the supply valve 2 and the first flow path block 6, and forms a valve chamber 17 together with the inner wall of the mounting hole 8. In the valve chamber 17, a valve seat 18 is provided on the outer periphery of the opening of the valve hole 9, and a valve portion in which the diaphragm 16 contacts or separates from the valve seat 18 is configured. Therefore, the process gas input flow path 13 communicates with the process gas output flow path 11 via the valve portion of the supply valve 2.

さらに、第１流路ブロック６には、パージガス入力流路１９が弁孔９に連通するように形成されている。パージガス入力流路１９は、第１流路ブロック６の第２流路ブロック７と対向する側面からダイアフラム１６と弁座１８が当接する弁部付近に向かって穿設され、弁孔９に対して鋭角に接続している。   Further, a purge gas input channel 19 is formed in the first channel block 6 so as to communicate with the valve hole 9. The purge gas input flow path 19 is drilled from the side surface of the first flow path block 6 facing the second flow path block 7 toward the vicinity of the valve portion where the diaphragm 16 and the valve seat 18 abut against the valve hole 9. Connected at an acute angle.

一方、第２流路ブロック７は、ＳＵＳなどの金属を略直方体形状に成形し、機械加工などで流路を形成したものである。第２流路ブロック７の上側面には、パージ弁３を取り付けるための取付孔２０が円筒形状に開設されるとともに、パージガスを入力する第２ポート２１が開口している。第２流路ブロック７は、取付孔２０と同軸上に弁孔２２が設けられ、第２連通路２３が第１流路ブロック６と対向する側面から水平方向に穿設されて弁孔２２に連通している。従って、パージ弁出力流路２４は、弁孔２２と第２連通路２３によりＬ字形に設けられている。また、第２流路ブロック７は、パージガス出力流路２５が第２ポート２１と取付孔２０とを連通するようにＶ字形に形成されている。さらに、第２流路ブロック７は、これらの流路に重ならないように、共通出力流路２６が第１流路ブロック６と対向する側面から水平方向に穿設され、図中下側面に開口する第３ポート２７に連通している。   On the other hand, the second flow path block 7 is formed by molding a metal such as SUS into a substantially rectangular parallelepiped shape and forming a flow path by machining or the like. A mounting hole 20 for mounting the purge valve 3 is formed in a cylindrical shape on the upper side surface of the second flow path block 7 and a second port 21 for inputting purge gas is opened. The second flow path block 7 is provided with a valve hole 22 coaxially with the mounting hole 20, and the second communication path 23 is formed in a horizontal direction from a side surface facing the first flow path block 6, so that the valve hole 22 is formed. Communicate. Therefore, the purge valve output flow path 24 is provided in an L shape by the valve hole 22 and the second communication path 23. The second flow path block 7 is formed in a V shape so that the purge gas output flow path 25 communicates with the second port 21 and the mounting hole 20. Further, in the second flow path block 7, the common output flow path 26 is drilled in the horizontal direction from the side facing the first flow path block 6 so as not to overlap these flow paths, and is opened on the lower side in the figure. The third port 27 communicates.

取付孔２０の内周面には、ネジが切られ、パージ弁３が螺設される。パージ弁３は、エアオペレイト式ダイアフラム弁である。ダイアフラム２８は、周縁部がパージ弁３と第２流路ブロック７との間で狭持され、取付孔２０の内壁とともに弁室２９を形成する。弁室２９は、弁孔２２の開口部外周に弁座３０が設けられ、ダイアフラム２８が当接又は離間する弁部が構成されている。従って、パージガス出力流路２５は、パージ弁３の弁部を介してパージ弁出力流路２４に連通する。   A screw is cut on the inner peripheral surface of the mounting hole 20, and the purge valve 3 is screwed. The purge valve 3 is an air operated diaphragm valve. The diaphragm 28 is sandwiched between the purge valve 3 and the second flow path block 7 at the periphery, and forms a valve chamber 29 together with the inner wall of the mounting hole 20. The valve chamber 29 is provided with a valve seat 30 on the outer periphery of the opening of the valve hole 22 to constitute a valve portion with which the diaphragm 28 abuts or separates. Therefore, the purge gas output flow path 25 communicates with the purge valve output flow path 24 via the valve portion of the purge valve 3.

第１流路ブロック６と第２流路ブロック７は、パージガス入力流路１９とパージ弁出力流路２４との間、及び、プロセスガス出力流路１１と共通出力流路２６との間にガスケットなどのシール材を挟んで突き合わせ、ボルトなどの固定部材（図示せず）で連結される。シール材は、連結時に押しつぶされ、シール力を発生する。   The first flow path block 6 and the second flow path block 7 are gaskets between the purge gas input flow path 19 and the purge valve output flow path 24 and between the process gas output flow path 11 and the common output flow path 26. They are put together by sandwiching a sealing material such as a bolt and connected by a fixing member (not shown) such as a bolt. The sealing material is crushed during connection and generates a sealing force.

かかる流路ブロック構造５には、供給弁２とパージ弁３が取付孔８，２０に図中上方からねじ込んで取り付けられるとともに、逆止弁４が第２ポート２１に図中上方から位置合わせされてボルトなどの固定部材で取り付けられ、ガス供給ユニット１を構成する。ガス供給ユニット１は、第１ポート１２が接続ブロック３１のＶ流路３２にシール材を介して接続し、また、第３ポート２７が接続ブロック３３のＶ流路３４にシール材を介して接続する。接続ブロック３１，３３は、他の流体制御機器（例えば、マスフローコントローラなど）に接続され、ガス供給ユニット１がガス供給ライン上に設置される。また、逆止弁４には、パージガス供給配管が接続される。   In the flow path block structure 5, the supply valve 2 and the purge valve 3 are attached to the mounting holes 8 and 20 by screwing from above in the figure, and the check valve 4 is aligned with the second port 21 from above in the figure. Are attached with a fixing member such as a bolt to constitute the gas supply unit 1. In the gas supply unit 1, the first port 12 is connected to the V flow path 32 of the connection block 31 via a sealing material, and the third port 27 is connected to the V flow path 34 of the connection block 33 via a sealing material. To do. The connection blocks 31 and 33 are connected to other fluid control devices (for example, a mass flow controller), and the gas supply unit 1 is installed on the gas supply line. A purge gas supply pipe is connected to the check valve 4.

次に、ガス供給ユニット１の作用について説明する。
パージ弁３を閉、供給弁２を開として、第１ポート１２にプロセスガスを供給すると、プロセスガスが、プロセスガス入力流路１３、弁室１７、弁座１８、プロセスガス出力流路１１、共通出力流路２６を介して第３ポート２７から出力される。 Next, the operation of the gas supply unit 1 will be described.
When the purge valve 3 is closed, the supply valve 2 is opened, and the process gas is supplied to the first port 12, the process gas is supplied to the process gas input channel 13, the valve chamber 17, the valve seat 18, the process gas output channel 11, The signal is output from the third port 27 via the common output channel 26.

その後、供給弁２を閉じてプロセスガスの供給を停止した後、パージ弁３を開として、逆止弁４から第２ポート２１にパージガス（例えば、窒素ガス）を供給すると、パージガスが、パージガス出力流路２５、弁室２９、弁座３０、パージ弁出力流路２４、パージガス入力流路１９、プロセスガス出力流路１１、共通出力流路２６を介して第３ポート２７から出力される。パージガスは、図２に示すように、パージガス入力流路１９から弁孔９に噴出すると、弁孔９の反対側内壁にぶつかった後、ダイアフラム１６に沿って流れ方向を変え、さらにプロセスガス出力流路１１に沿って流れる。供給弁２の弁部付近は、弁孔９の内壁とダイアフラム１６によって囲まれ、凸凹が少ないので、パージガスは、供給弁２の弁部付近のプロセスガスを巻き込んで自身の圧力で押し出やすい。そのため、プロセスガス出力流路１１内に滞留部が発生せず、ガスを短時間で切り換えて高純度のガスを供給できる。   Thereafter, after the supply valve 2 is closed and the supply of the process gas is stopped, the purge valve 3 is opened, and when the purge gas (for example, nitrogen gas) is supplied from the check valve 4 to the second port 21, the purge gas is output to the purge gas. Output from the third port 27 through the flow path 25, the valve chamber 29, the valve seat 30, the purge valve output flow path 24, the purge gas input flow path 19, the process gas output flow path 11, and the common output flow path 26. As shown in FIG. 2, when the purge gas is ejected from the purge gas input flow path 19 to the valve hole 9, it strikes the inner wall on the opposite side of the valve hole 9, and then the flow direction is changed along the diaphragm 16. It flows along the road 11. The vicinity of the valve portion of the supply valve 2 is surrounded by the inner wall of the valve hole 9 and the diaphragm 16, and there are few unevennesses. Therefore, the purge gas easily entrains the process gas near the valve portion of the supply valve 2 and pushes it out by its own pressure. For this reason, no stagnant portion is generated in the process gas output flow path 11, and a high purity gas can be supplied by switching the gas in a short time.

特に、パージガスは、パージガス入力流路１９から弁孔９内壁に対して供給弁２の弁部方向に鋭角にぶつかって方向転換するので、パージガスが弁孔９とダイアフラム１６に沿って流れを変えやすく、淀みを発生しにくい。   In particular, the purge gas changes its direction from the purge gas input channel 19 against the inner wall of the valve hole 9 at an acute angle in the direction of the valve portion of the supply valve 2, so that the purge gas can easily change the flow along the valve hole 9 and the diaphragm 16. , Less likely to itch.

従って、本実施の形態の流路ブロック構造５によれば、第１流路ブロック６と第２流路ブロック７とを連結したものであり、第１流路ブロック６は、供給弁２が取り付けられる取付孔８と、一端開口部が取付孔８の内壁に開口し、他端開口部が第２流路ブロック７と対向する側面に開口するプロセスガス出力流路１１と、プロセスガスを入力する第１ポート１２と、第１ポート１２と取付孔８を連通させるプロセスガス入力流路１３と、第２流路ブロック７と対向する側面から供給弁２の弁部付近に向かって形成されるパージガス入力流路１９と、を有し、第２流路ブロック７は、パージ弁３が取り付けられる取付孔２０と、パージガスを入力する第２ポート２１と、取付孔２０と第２ポート２１とを連通させるパージガス出力流路２５と、一端開口部が取付孔８の内壁に開口し、他端開口部が第１流路ブロック６と対向する側面に開口するパージ弁出力流路２４と、ガスを出力する第３ポート２７と、第１流路ブロック６と対向する側面から第３ポート２７に連通するように形成された共通出力流路２６と、を有し、第１流路ブロック６と第２流路ブロック７は、パージガス入力流路１９とパージ弁出力流路２４、及び、プロセスガス出力流路１１と共通出力流路２６とが相互に連通しているので、流路上に滞留部がなく、ガス置換を短時間で行うことができる。   Therefore, according to the flow path block structure 5 of the present embodiment, the first flow path block 6 and the second flow path block 7 are connected, and the supply valve 2 is attached to the first flow path block 6. The process gas is input to the mounting hole 8, the one end opening portion is opened in the inner wall of the mounting hole 8, and the other end opening portion is opened on the side surface facing the second flow path block 7. The first port 12, the process gas input flow path 13 that communicates the first port 12 and the mounting hole 8, and the purge gas that is formed from the side surface facing the second flow path block 7 toward the vicinity of the valve portion of the supply valve 2. The second flow path block 7 communicates the mounting hole 20 to which the purge valve 3 is mounted, the second port 21 for inputting the purge gas, and the mounting hole 20 and the second port 21. A purge gas output flow path 25, A purge valve output flow path 24 whose end opening opens on the inner wall of the mounting hole 8 and whose other end opening opens on the side facing the first flow path block 6, a third port 27 for outputting gas, A common output flow path 26 formed so as to communicate with the third port 27 from a side surface opposed to the first flow path block 6, and the first flow path block 6 and the second flow path block 7 are provided with a purge gas input. Since the flow path 19 and the purge valve output flow path 24, and the process gas output flow path 11 and the common output flow path 26 communicate with each other, there is no staying portion on the flow path, and gas replacement is performed in a short time. be able to.

また、本実施の形態の流路ブロック構造５によれば、第２ポート２１に逆止弁４を接続するので、プロセスガス等の逆流を防止できる。
また、本実施の形態の流路ブロック構造５によれば、パージガス入力流路１９は、弁部付近に向かってプロセスガス出力流路１１の弁孔９に対して鋭角に接続しているので、供給弁２の弁部付近の内壁に沿って流れ方向を変えやすく、効率的にガス置換できる。 Moreover, according to the flow path block structure 5 of the present embodiment, since the check valve 4 is connected to the second port 21, backflow of process gas or the like can be prevented.
Further, according to the flow path block structure 5 of the present embodiment, the purge gas input flow path 19 is connected to the valve hole 9 of the process gas output flow path 11 at an acute angle toward the vicinity of the valve portion. The flow direction can be easily changed along the inner wall in the vicinity of the valve portion of the supply valve 2, and gas can be replaced efficiently.

尚、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記実施の形態では、第１ポート１２と第３ポート２７を第１ブロック６と第２ブロック７の下面に形成したが、側面に形成してもよい。このとき、第１ポート１２、第３ポート２７の周りに継手部分を設けてもよい。
（２）例えば、上記実施の形態では、プロセスガス入力流路１３をくの字形に形成したが、直線的に形成してもよい。
（３）例えば、上記実施の形態では、供給弁２とパージ弁３にエアオペレイト式ダイアフラム弁を使用したが、電磁弁などを使用してもよい。
（４）例えば、上記実施の形態では、第２ポート２１に逆止弁４を介してパージガス供給配管を接続したが、第２ポート２１に直接パージガス供給配管を接続してもよい。 Although the embodiments of the present invention have been described, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various applications are possible.
(1) For example, in the said embodiment, although the 1st port 12 and the 3rd port 27 were formed in the lower surface of the 1st block 6 and the 2nd block 7, you may form in a side surface. At this time, a joint portion may be provided around the first port 12 and the third port 27.
(2) For example, in the above embodiment, the process gas input flow path 13 is formed in a dogleg shape, but may be formed linearly.
(3) For example, in the above embodiment, the air operated diaphragm valve is used for the supply valve 2 and the purge valve 3, but an electromagnetic valve or the like may be used.
(4) For example, in the above embodiment, the purge gas supply pipe is connected to the second port 21 via the check valve 4, but the purge gas supply pipe may be directly connected to the second port 21.

本発明の実施の形態に係り、プロセスガス供給ユニットの断面図である。1 is a cross-sectional view of a process gas supply unit according to an embodiment of the present invention. 同じく、パージガス合流部の拡大図である。Similarly, it is an enlarged view of a purge gas junction. 第一従来例のプロセスガス供給ユニットを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the process gas supply unit of a 1st prior art example. 第二従来例のプロセスガス供給ユニットを示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the process gas supply unit of a 2nd prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

２ 供給弁
３ パージ弁
４ 逆止弁
５ 流路ブロック構造
６ 第１流路ブロック
７ 第２流路ブロック
８ 取付孔
１１ プロセスガス出力流路
１３ プロセスガス入力流路
１９ パージガス入力流路
２０ 取付孔
２１ 第２ポート
２４ パージ弁出力流路
２５ パージガス出力流路
２６ 共通出力流路
２７ 第３ポート 2 Supply valve 3 Purge valve 4 Check valve 5 Channel block structure 6 First channel block 7 Second channel block 8 Mounting hole 11 Process gas output channel 13 Process gas input channel 19 Purge gas input channel 20 Mounting hole 21 Second port 24 Purge valve output flow path 25 Purge gas output flow path 26 Common output flow path 27 Third port

Claims (3)

供給弁とパージ弁が取り付けられる流路ブロック構造において、
第１流路ブロックと第２流路ブロックとを連結したものであり、
前記第１流路ブロックは、
供給弁が取り付けられる取付孔と、
一端開口部が前記取付孔の内壁に開口し、他端開口部が前記第２流路ブロックと対向する側面に開口するプロセスガス出力流路と、
プロセスガスを入力する第１ポートと、
前記第１ポートと前記取付孔を連通させるプロセスガス入力流路と、
前記第２流路ブロックと対向する側面から前記供給弁の弁部付近に向かって形成されるパージガス入力流路と、を有し、
第２流路ブロックは、
前記パージ弁が取り付けられる取付孔と、
パージガスを入力する第２ポートと、
前記取付孔と前記第２ポートとを連通させるパージガス出力流路と、
一端開口部が前記取付孔の内壁に開口し、他端開口部が前記第１流路ブロックと対向する側面に開口するパージ弁出力流路と、
ガスを出力する第３ポートと、
前記第１流路ブロックと対向する側面から前記第３ポートに連通するように形成された共通出力流路と、を有し、
前記第１流路ブロックと前記第２流路ブロックは、前記パージガス入力流路と前記パージ弁出力流路、及び、前記プロセスガス出力流路と前記共通出力流路とが相互に連通していること、を特徴とする流路ブロック構造。 In the flow path block structure to which the supply valve and the purge valve are attached,
The first flow path block and the second flow path block are connected,
The first flow path block includes:
A mounting hole in which the supply valve is mounted;
A process gas output flow path having one end opening on the inner wall of the mounting hole and the other end opening on a side surface facing the second flow path block;
A first port for inputting process gas;
A process gas input flow path for communicating the first port with the mounting hole;
A purge gas input flow path formed from a side surface facing the second flow path block toward the vicinity of the valve portion of the supply valve,
The second channel block is
A mounting hole to which the purge valve is mounted;
A second port for inputting purge gas;
A purge gas output flow path for communicating the mounting hole and the second port;
A purge valve output flow path having an opening at one end opened on the inner wall of the mounting hole, and an opening at the other end opened on a side surface facing the first flow path block;
A third port for outputting gas;
A common output flow path formed so as to communicate with the third port from a side surface facing the first flow path block,
In the first flow path block and the second flow path block, the purge gas input flow path and the purge valve output flow path, and the process gas output flow path and the common output flow path communicate with each other. A channel block structure characterized by that. 請求項１に記載する流路ブロック構造において、
前記第２ポートと接続する逆止弁を有することを特徴とする流路ブロック構造。 In the channel block structure according to claim 1,
A flow path block structure comprising a check valve connected to the second port. 請求項１又は請求項２に記載する流路ブロック構造において、
前記パージガス入力流路は、前記弁部付近に向かって前記プロセスガス出力流路に対して鋭角に接続していること、を特徴とする流路ブロック構造。 In the flow path block structure according to claim 1 or claim 2,
The flow path block structure, wherein the purge gas input flow path is connected to the process gas output flow path at an acute angle toward the vicinity of the valve portion.
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