JP2006043737A - はんだ材料供給方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 はんだ粒子とフラックス作用を有する液体との混合物から成るはんだ材料を、液体中にはんだ粒子を均一に分散させた状態でワーク上に供給する。
【解決手段】 はんだ材料供給装置10は、はんだ粒子とフラックス作用を有する液体との混合物から成り液体中ではんだ粒子が沈降するはんだ材料Sを、供給手段11、貯留手段12、循環手段13及び撹拌手段14によってワークW上に供給するものである。そして、供給手段11は、ワークW上にはんだ材料Sを供給するとともに、次のワークW上にはんだ材料Sを供給するまでの待ち時間に貯留手段12にはんだ材料を供給する。貯留手段12は、供給手段11から供給されたはんだ材料Sを一時的に貯留する。循環手段13は、貯留手段12から供給手段11へはんだ材料Sを循環させる。撹拌手段14は、循環手段13によって循環するはんだ材料Sを撹拌する。
【選択図】 図1
【解決手段】 はんだ材料供給装置10は、はんだ粒子とフラックス作用を有する液体との混合物から成り液体中ではんだ粒子が沈降するはんだ材料Sを、供給手段11、貯留手段12、循環手段13及び撹拌手段14によってワークW上に供給するものである。そして、供給手段11は、ワークW上にはんだ材料Sを供給するとともに、次のワークW上にはんだ材料Sを供給するまでの待ち時間に貯留手段12にはんだ材料を供給する。貯留手段12は、供給手段11から供給されたはんだ材料Sを一時的に貯留する。循環手段13は、貯留手段12から供給手段11へはんだ材料Sを循環させる。撹拌手段14は、循環手段13によって循環するはんだ材料Sを撹拌する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば半導体基板、インターポーザ基板、プリント配線板等の上に突起状のはんだバンプを形成してFC(flip chip)やBGA(ball grid array)を製造する際に好適な、はんだ材料供給方法及び装置に関する。
従来の一般的なはんだバンプの形成方法は、スクリーン印刷法やディスペンス法などを用いて基板のパッド電極上にはんだペーストを塗布し、このはんだペーストを加熱してリフローする、というものであった。
一方、特許文献1には、特殊なはんだ粉末とフラックスとの混合物からなるはんだペーストが記載されている。このはんだ粉末は、はんだ粒子を空気中で流動させることにより、はんだ粒子の表面に酸化膜を形成したものである。この強制的に形成した酸化膜は、リフロー時にフラックスの作用に抗して、はんだ粒子同士の合体を抑える働きをするという。そのため、このはんだペーストを基板上にベタ塗りしてリフローすると、パッド電極間ではんだブリッジが発生にくくなるので、パッド電極の高密度化及び微細化に適する、ということである。なお、パッド電極間のはんだブリッジは、はんだ粒子同士が合体して大きな塊となって、隣接するパッド電極の両方に接してしまうために起こる。
しかしながら、従来のはんだバンプの形成方法には、次のような問題があった。
近年の更なる多電極化、高密度化及び微細化に対して、スクリーン印刷法やディスペンス法では対応できなくなりつつある。すなわち、スクリーン印刷法では、メタルマスクの開口を微細化する必要があるので、メタルマスクの機械的強度が低下したり、メタルマスクの開口からはんだペーストが抜け難くなったりする、という問題が生じてきた。ディスペンス法では、多数のパッド電極の上に一つずつはんだペーストを載せていくので、パッド電極が多くなるほど量産には向かなくなる。
一方、特許文献1のはんだペーストでは、はんだ粒子の酸化膜の膜厚を、精度良く形成しなければならなかった。なぜなら、厚すぎるとパッド電極にはんだが濡れなくなり、薄すぎるとはんだ粒子同士が合体してしまうからである。しかも、フラックスの状態や種類によってもフラックスの作用が変化するので、これらに合わせて酸化膜の膜厚を精度良く制御する必要があった。また、適切な膜厚の酸化膜を形成できなければ、パッド電極の高密度化及び微細化を達成できないことになる。したがって、特許文献1のはんだペーストでは、精密なマスクを不要とするベタ塗りが可能になるといっても、近年の高密度化及び微細化の要求に応えることは難しかった。
このような状況において、本発明者は、はんだバンプの高密度化及び微細化の要求に応えるべく、「はんだ粒子とフラックス作用を有する液体との混合物から成るはんだ材料」を発明した(未公開)。ただし、このはんだ材料には、液体中ではんだ粒子が沈降するため、液体中にはんだ粒子を均一に分散させた状態でワーク上に供給することが難しい、という問題があった。
そこで、本発明の目的は、はんだ粒子とフラックス作用を有する液体との混合物から成るはんだ材料を、液体中にはんだ粒子を均一に分散させた状態でワーク上に供給することができる、はんだ材料供給方法及び装置を提供することにある。
本発明に係るはんだ材料供給方法は、はんだ粒子とフラックス作用を有する液体との混合物から成り液体中ではんだ粒子が沈降するはんだ材料を、はんだ材料供給工程及びはんだ材料循環工程を含む工程によってワーク上に供給するものである。そして、はんだ材料供給工程では、ワーク上にはんだ材料を供給する。一方、はんだ材料循環工程では、次のワーク上にはんだ材料を供給するまでの待ち時間に、はんだ材料をワーク以外に供給し当該はんだ材料を撹拌しつつ再びワーク上に供給するために循環させる。
本発明で用いるはんだ材料は、何もしないで放置しておくと、時間とともにはんだ粒子が液体中で沈降してしまう。その状態ではんだ材料をワーク上に供給すると、液体中のはんだ粒子の割合が不均一となり、例えばはんだバンプを形成する場合にはんだパンプの大きさが不揃いになったりはんだブリッジが発生したりする。そこで、本発明では、はんだ材料をワーク上に供給してから次のワーク上に供給するまでの待ち時間も、はんだ材料を供給し、撹拌し、かつ循環させる。これにより、はんだ材料をワーク上に供給する時は、常に、液体中にはんだ粒子が均一に分散した状態となる。
また、はんだ材料供給工程の前にワークを所定位置に配置するワーク配置工程を有し、はんだ材料供給工程の後にワークを所定位置から取出すワーク取出し工程を有する、としてもよい。これは、ワークを搬送するいわゆる枚葉式であり、ロボットによる自動化に適する。
本発明に係るはんだ材料供給装置は、本発明に係るはんだ材料供給方法を使用した装置である。すなわち、本発明に係るはんだ材料供給装置は、はんだ粒子とフラックス作用を有する液体との混合物から成り液体中ではんだ粒子が沈降するはんだ材料を、供給手段、貯留手段、循環手段及び撹拌手段を含む手段によってワーク上に供給するものである。そして、供給手段は、ワーク上にはんだ材料を供給するとともに、次のワーク上にはんだ材料を供給するまでの待ち時間に貯留手段にはんだ材料を供給する。貯留手段は、供給手段から供給されたはんだ材料を一時的に貯留する。循環手段は、貯留手段から供給手段へはんだ材料を循環させる。撹拌手段は、循環手段によって循環するはんだ材料を撹拌する。
はんだ材料をワーク上に供給してから次のワーク上に供給するまでの待ち時間において、供給手段ははんだ材料を貯留手段に供給する。この時、循環手段は貯留手段から供給手段へはんだ材料を循環させ、撹拌手段は循環するはんだ材料を撹拌する。これにより、はんだ材料をワーク上に供給する時は、常に、液体中にはんだ粒子が均一に分散した状態となる。
供給手段は、一軸偏心ねじポンプとしてもよい。一軸偏心ねじポンプは、雄ねじ形ロータを雌ねじ形ステータ内に回動自在に嵌挿して偏心回転させることにより、はんだ材料を移送する。一軸偏心ねじポンプによれば、切れ目の無い無限のピストン運動によって、高精度かつ無脈動の定量吐出が可能となる。
撹拌手段は、スタティックミキサとしてもよい。スタティックミキサは、はんだ材料が通過するときにはんだ材料の流路に変化を与えることにより、液体中にはんだ粒子を均一に分散させる。スタティックミキサによれば、駆動手段を必要とせずにはんだ材料を撹拌することが可能となることにより、構成が簡素化されるとともに、駆動軸と軸受けとの間にはんだ粒子が挟まれるおそれもない。例えば、駆動軸に連結された羽根車を用いてはんだ材料を撹拌する駆動手段を用いれば、駆動軸と軸受けとの間にはんだ粒子が挟まれることにより、はんだ粒子が変形したり駆動手段が故障したりする不具合が起きやすい。なお、はんだ粒子の変形は、はんだバンプの品質に悪影響を与える。これに対し、スタティックミキサは、駆動軸や軸受けに相当するものが無いので、はんだ粒子の挟み込みに起因するはんだ粒子の変形や故障のおそれが無い。
本発明に係るはんだ材料供給装置は、次のようなフィルタを更に備えてもよい。このフィルタは、循環手段によって循環するはんだ材料を通過させることにより、液体中のはんだ粒子を分散及び分級させる。このフィルタによれば、混入した異物や凝集又は変形したはんだ粒子をはんだ材料から除去することにより、高品質のはんだバンプの形成が可能となるとともに、はんだ材料の流路での詰まりも防止される。
本発明に係るはんだ材料供給方法及び装置によれば、はんだ材料をワーク上に供給してから次のワーク上に供給するまでの待ち時間も、はんだ材料を供給し、撹拌し、かつ循環させることにより、常に液体中にはんだ粒子が均一に分散した状態で、はんだ材料をワーク上に供給できる。これにより、高品質のはんだバンプを形成できる。
供給手段を一軸偏心ねじポンプとした場合は、切れ目の無い無限のピストン運動によって、はんだ材料を高精度かつ無脈動で定量吐出できるので、より高品質のはんだバンプを形成できる。
撹拌手段をスタティックミキサとした場合は、駆動手段を必要とせずにはんだ材料を撹拌できることにより、構成を簡素化できるとともに、駆動軸と軸受けとの間にはんだ粒子が挟まれる不都合も回避できる。
フィルタを更に備えた場合は、混入した異物や凝集又は変形したはんだ粒子をはんだ材料から除去できることにより、より高品質のはんだバンプを形成できるとともに、はんだ材料の流路での詰まりも防止できる。
図1は、本発明に係るはんだ材料供給装置の一実施形態を示すブロック図である。以下、この図面に基づき説明する。
本実施形態のはんだ材料供給装置10は、はんだ粒子とフラックス作用を有する液体との混合物から成り液体中ではんだ粒子が沈降するはんだ材料Sを、供給手段11、貯留手段12、循環手段13及び撹拌手段14によってワークW上に供給するものである。そして、供給手段11は、ワークW上にはんだ材料Sを供給するとともに、次のワークW上にはんだ材料Sを供給するまでの待ち時間に貯留手段12にはんだ材料を供給する。貯留手段12は、供給手段11から供給されたはんだ材料Sを一時的に貯留する。循環手段13は、貯留手段12から供給手段11へはんだ材料Sを循環させる。撹拌手段14は、循環手段13によって循環するはんだ材料Sを撹拌する。
換言すると、はんだ材料供給装置10の動作は、はんだ材料供給工程とはんだ材料循環工程とに分けられる。はんだ材料供給工程では、ワークW上にはんだ材料Sを供給する。一方、はんだ材料循環工程では、次のワークW上にはんだ材料Sを供給するまでの待ち時間に、はんだ材料SをワークW以外に供給し当該はんだ材料Sを撹拌しつつ再びワークW上に供給するために循環させる。
次に、はんだ材料供給装置10の作用について説明する。はんだ材料Sは、何もしないで放置しておくと、時間とともにはんだ粒子が液体中で沈降してしまう。その状態ではんだ材料SをワークW上に供給すると、液体中のはんだ粒子の割合が不均一となり、例えばはんだバンプを形成する場合にはんだパンプの大きさが不揃いになったりはんだブリッジが発生したりする。そこで、本実施形態では、はんだ材料SをワークW上に供給してから次のワークW上に供給するまでの待ち時間も、はんだ材料Sを供給し、撹拌し、かつ循環させる。これにより、はんだ材料SをワークW上に供給する時は、常に、液体中にはんだ粒子が均一に分散した状態となる。
はんだ材料供給装置10によれば、はんだ材料SをワークW上に供給してから次のワークW上に供給するまでの待ち時間も、はんだ材料Sを供給し、撹拌し、かつ循環させることにより、常に液体中にはんだ粒子が均一に分散した状態で、はんだ材料SをワークW上に供給できる。これにより、高品質のはんだバンプを形成できる。
次に、本実施形態で使用するはんだ材料Sについて説明する。図2は、はんだ材料Sを用いたはんだバンプ形成方法の一例を代表的に示す断面図である。以下、この図面に基づき説明する。なお、図2は、基板上にはんだ材料を塗布した状態であり、上下方向は左右方向よりも拡大して示している。
はんだ材料Sは、多数のはんだ粒子S1と脂肪酸エステルからなる液体S2との混合物からなり、パッド電極22にはんだバンプを形成するために用いられる。そして、液体S2は、常温の状態で基板20に滴下すると自重で広がって均一な厚みになる粘度と、はんだ粒子S1の融点以上に加熱された状態ではんだ粒子S1によるはんだ濡れをパッド電極22に引き起こすフラックス作用とを有する。はんだ粒子S1は、液体S2とともに基板20に滴下した際に液体S2とともに広がって均一に分散する、混合比及び粒径を有する。
また、はんだ粒子S1は表面に自然酸化膜(図示せず)のみを有する。液体S2は、脂肪酸エステルであるので、有機酸の一種である遊離脂肪酸を元々含んでいる。遊離脂肪酸は、はんだ粒子S1の融点以上に加熱された状態で、はんだ粒子S1同士の合体を抑制しつつ、はんだ粒子S1とパッド電極22とのはんだ付けを促進するとともに、パッド電極上22に形成されたはんだ皮膜とはんだ粒子S1との合体を促進する作用を有する。
液体S2に含まれる有機酸は、必要に応じて添加しても良い。つまり、はんだ粒子S1の酸化度合いや分量に応じて、液体S2の有機酸含有量を調整する。例えば、多量のはんだバンプを形成する場合は、はんだ粒子S1も多量になるので、全てのはんだ粒子S1の酸化膜を還元するのに十分な有機酸を含有する必要がある。一方、バンプ形成に使用される以上の過剰なはんだ粒子S1を加える場合は、有機酸の含有量を少なくして液体S2の活性力を落とすことにより、はんだ粉末粒度分布でいうところの微細な側のはんだ粒子S1を溶かさないようにして、比較的大きなはんだ粒子S1のみで最適なバンプ形成を行うことも可能である。この際、溶けずに残った微細なはんだ粒子S1は、はんだ粒子S1同士の合体を防ぐことにより、パッド電極22のショートを低減させる効果も持つ。
はんだ粒子S1は液体S2中に均一に分散している必要があるので、はんだ材料Sは使用直前に撹拌しておくことが望ましい。はんだ粒子S1の材質は、錫鉛系はんだ又は鉛フリーはんだ等を使用する。隣接するパッド電極22同士の周端間の最短距離aよりも、はんだ粒子S1の直径bを小さくするとよい。この場合、隣接する二つのパッド電極22上のはんだ皮膜にそれぞれ到達したはんだ粒子S1同士は、接触しないため合体してはんだブリッジを形成することがない。
はんだ材料Sは、パッド電極22を有する基板20上に、常温において自然落下により滴下させる。これだけで、基板20上に均一な厚みのはんだ材料Sを塗布できる。つまり、スクリーン印刷を用いることなく、均一な膜厚のはんだ材料Sの塗布膜を基板20上に形成することができる。塗布の均一性ははんだバンプのばらつきに影響を及ぼすため、できる限り均一に塗布する。その後、基板20全体を均一に加熱することにより、はんだバンプの形成が可能となる。加熱は短時間ではんだ融点以上まで昇温する。短時間で昇温することにより、プロセス中での有機酸活性力の低下を抑えることができる。
次に、基板20について説明する。基板20はシリコンウエハである。基板20の表面21には、パッド電極22が形成されている。パッド電極22上には、はんだバンプが形成される。基板20は、はんだバンプを介して、他の半導体チップや配線板に電気的及び機械的に接続される。パッド電極22は、形状が例えば円であり、直径cが例えば40μmである。隣接するパッド電極22の中心間の距離dは、例えば80μmである。はんだ粒子14の直径bは、例えば3〜15μmである。
パッド電極22は、基板20上に形成されたアルミニウム電極24と、アルミニウム電極24上に形成されたニッケル層25と、ニッケル層25上に形成された金層26とからなる。ニッケル層25及び金層26はUBM(under barrier metal又はunder bump metallurgy)層である。基板20上のパッド電極22以外の部分は、保護膜27で覆われている。
次に、パッド電極22の形成方法について説明する。まず、基板20上にアルミニウム電極24を形成し、アルミニウム電極24以外の部分にポリイミド樹脂又はシリコン窒化膜によって保護膜27を形成する。これらは、例えばフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて形成される。続いて、アルミニウム電極24表面にジンケート処理を施した後に、無電解めっき法を用いてアルミニウム電極24上にニッケル層25及び金層26を形成する。このUBM層を設ける理由は、アルミニウム電極24にはんだ濡れ性を付与するためである。
はんだ粒子S1の材質としては、例えばSn−Pb(融点183℃)、Sn−Ag−Cu(融点218℃)、Sn−Ag(融点221℃)、Sn−Cu(融点227℃)等を使用する。
加熱手段40は、例えばブロワと電熱ヒータとからなり、熱風41を当てて基板20側(下側)からはんだ材料Sを加熱する。
図3及び図4は、はんだ材料Sを用いたはんだバンプ形成方法の一例を工程順に示す断面図である。図3は滴下工程であり、図3[1]〜図3[3]の順に工程が進行する。図4は、リフロー工程であり、図4[1]〜図4[3]の順に工程が進行する。以下、これらの図面に基づき説明する。ただし、図2と同じ部分は同じ符号を付すことにより説明を省略する。
図3では、基板20上のパッド電極22の図示を略している。まず、図3[1]に示すように、受け容器30に基板20を入れる。そして、注ぎ容器31中で必要に応じはんだ材料Sを撹拌した後、注ぎ口32からはんだ材料Sを基板20上に滴下させる。すると、はんだ材料Sが自重で広がって均一な厚みになる。このときは、常温でよく、しかも、はんだ材料Sの自然落下を利用できる。なお、印刷機や後述する吐出機を用いてはんだ材料Sを基板20上に塗布してもよい。
なお、受け容器30は、リフロー工程で基板20とともに加熱するので、耐熱性があって熱伝導が良く、かつはんだ粒子S1によるはんだ濡れが生じない金属例えばアルミニウムからなる。また、受け容器30は、平板状の基板20を載置する平らな底面33と、はんだ材料Sの横溢を防止する周壁34とを有する。この場合は、受け容器30の底面33上に基板20が密接するので、熱伝導が向上する。なお、図2及び図4では受け容器30の図示を略している。
また、滴下工程の途中又は後に、基板20を水平に回転させることによって、基板20上のはんだ材料Sを均一な厚みにしてもよい。基板20を水平に回転させるには、市販のスピンコート装置を用いればよい。
滴下工程の終了は、はんだ材料S中に基板20が浸漬されるまで、はんだ材料Sを滴下するか否かによって二通りに分かれる。図3[2]は、はんだ材料S中に基板20を浸漬しない場合である。この場合、基板20上のはんだ材料Sの厚みt1は、はんだ材料Sの主に表面張力及び粘性によって決まる値である。一方、図3[3]は、はんだ材料S中に基板20を浸漬する場合である。この場合、基板20上のはんだ材料Sの厚みt2は、滴下するはんだ材料Sの量に応じた所望の値に設定できる。
以上の滴下工程によって、図2に示すように、複数のパッド電極22が離間して設けられた基板20上に、はんだ材料Sがベタ塗りによって載置されたことになる。このとき、複数のバンブ電極22上及びこれらの間隙の保護膜27上を含む面に、全体的にはんだ材料Sが載置される。はんだ材料Sは、ちょうどインクのような状態である。
続いて、リフロー工程で、基板20及びはんだ材料Sの加熱が始まると、液体S2の粘性が低下する。すると、図4[1]に示すように、はんだ粒子S1は、液体S2よりも比重が大きいので、沈降してパッド電極22上及び保護膜27上に積み重なる。
続いて、図4[2]に示すように、はんだ材料Sがはんだ粒子S1の融点以上に加熱される。ここで、基板20上のはんだ材料Sを基板20側から加熱しているので、はんだ材料Sは表面になるほど温度が低く基板20側になるほど温度が高くなる。すると、パッド電極22に近い下方のはんだ粒子S1は、先に溶融し始め、溶融すればパッド電極22に濡れ広がる。その時、パッド電極22から遠い上方のはんだ粒子S1は、まだ十分に溶融していない。したがって、はんだ粒子S1同士で合体する機会を減少させることができるので、はんだブリッジの発生も抑制される。換言すると、リフロー工程では、最初にパッド電極22をはんだ粒子S1の融点以上に加熱し、パッド電極22に接触しているはんだ粒子S1を溶融して、パッド電極22に濡れ広がったはんだ皮膜23’を形成し、はんだ皮膜23’に更にはんだ粒子S1を合体させる。
また、このとき、液体S2に含まれる有機酸の作用によって、次のような状態が引き起こされる。まず、はんだ粒子S1同士は合体が抑えられる。ただし、図4[2]では図示していないが、一部のはんだ粒子S1同士は合体して大きくなる。つまり、はんだ粒子S1同士は合体しても一定の大きさ以下であれば問題ない。一方、はんだ粒子S1は、パッド電極20上に広がって界面に合金層を形成する。その結果、パッド電極20上にはんだ皮膜23’が形成され、はんだ皮膜23’に更にはんだ粒子S1が合体する。すなわち、はんだ皮膜23’は成長して、図4[3]に示すようなはんだバンプ23となる。
なお、図4[3]において、はんだバンプ23の形成に使用されなかったはんだ粒子S1は、残った液体S2とともに後工程で洗い落とされる。
また、リフロー工程では、はんだ材料Sにその表面側が低く基板20側が高くなるような温度差を設けることにより、基板20側に近いはんだ粒子S1から先に沈降させてもよい。はんだ材料Sの表面側が低くはんだ材料Sの基板20側が高くなるような温度差を設けると、液体S2は温度が高いほど粘度が低下するので、パッド電極22に近い下方のはんだ粒子S1は、先に沈降かつ溶融し始め、パッド電極22に接触すると濡れ広がる。その時、パッド電極22から遠い上方のはんだ粒子S1は、まだ十分に沈降かつ溶融していない。したがって、はんだ粒子S1同士で合体する機会をより減少させることができるので、はんだブリッジの発生もより抑制される。また、このような加熱状態は、例えば基板20上のはんだ材料Sを基板20側から加熱するとともにはんだ材料Sの表面側から加冷したり、液体S2の粘度の温度依存性とはんだ粒子S1の融点との関係を調整したりすることにより、実現される。
更に、リフロー工程では、液体S2の対流を利用してはんだ粒子S1をパッド電極22へ供給するようにしてもよい。はんだ材料Sを基板20側から加熱すると、液体S2に対流が発生し、これによりはんだ粒子S1が液体S2中を動く。そのため、パッド電極22上に載置されなかったはんだ粒子S1もパッド電極22上へ移動してはんだバンプ23の一部になる。したがって、はんだ粒子S1が有効に利用される。
次に、図1のはんだ材料供給装置10を更に具体化した一実施例について説明する。図5乃至図7は本実施例のはんだ材料供給装置50を示す構成図であり、図5ははんだ材料供給工程であり、図6はワーク取出し工程であり、図7ははんだ材料循環工程である。以下、図1及び図5乃至図7に基づき説明する。
図1における供給手段11は、図5における一軸偏心ねじポンプ60である。以下同様に、貯留手段12はメインタンク70及びサブタンク71であり、循環手段13はマグネットポンプ80であり、撹拌手段14はスタティックミキサ90である。また、はんだ材料供給装置50には、フィルタ51が付設されている。メインタンク70とフィルタ51とは配管52で接続され、フィルタ51とサブタンク71とは配管53で接続され、サブタンク71とマグネットポンプ80とは配管54で接続され、マグネットポンプ80とスタティックミキサ90とは配管55で接続され、スタティックミキサ90と一軸偏心ねじポンプ60とは配管56で接続されている。
一軸偏心ねじポンプ60は、ワークW上にはんだ材料Sを吐出するとともに、次のワークW上にはんだ材料Sを供給するまでの待ち時間にメインタンク70及びサブタンク71にはんだ材料を吐出する。メインタンク70及びサブタンク71は、一軸偏心ねじポンプ60から吐出されたはんだ材料Sを一時的に貯留する。マグネットポンプ80は、メインタンク70及びサブタンク71から一軸偏心ねじポンプ60へはんだ材料Sを循環させる。スタティックミキサ90は、マグネットポンプ80によって循環するはんだ材料Sを撹拌する。フィルタ51は、マグネットポンプ80によって循環するはんだ材料Sを通過させることにより、液体中のはんだ粒子を分散及び分級させる。
図8ははんだ材料供給装置50の動作を自動化した場合を示し、図8[1]は制御系のブロック図であり、図8[2]は制御のタイミングチャートである。以下、図5乃至図8に基づき、はんだ材料供給装置50の動作を説明する。
図8[1]に示すように、はんだ材料供給装置50の制御系は、制御手段100が一軸偏心ねじポンプ60、ねじポンプ移動手段101、ワーク搬送手段102及びマグネットポンプ90を制御する構成である。制御手段100は、例えばマイクロコンピュータ及びそのプログラムから成る。ねじポンプ移動手段101は、一軸偏心ねじポンプ60を図6において上下方向及び左右方向に移動する例えば二軸ロボットである。ワーク搬送手段102は、ワークWを取出し及び配置する例えば多関節ロボットである。
図8[2]に示すように、はんだ材料供給装置10の動作は、はんだ材料供給工程A→ワーク取出し工程B→はんだ材料循環工程C→ワーク配置工程Dで1サイクルとなる。この動作は、制御手段100のコンピュータプログラムによって制御される。
まず、はんだ材料供給工程Aでは、一軸偏心ねじポンプ60がワークW上にはんだ材料Sを吐出する(図5)。このとき、一軸偏心ねじポンプ60及びマグネットポンプ90はオン(動作)し、ねじポンプ移動手段101及びワーク搬送手段102はオフ(停止)する。
続いて、ワーク取出し工程Bでは、はんだ材料Sが吐出されたワークWが所定位置から取出される(図6)。このとき、一軸偏心ねじポンプ60及びマグネットポンプ90はオフし、ねじポンプ移動手段101及びワーク搬送手段102はオンする。
続いて、はんだ材料循環工程Cでは、次のワークW上にはんだ材料Sを供給するまでの待ち時間に、一軸偏心ねじポンプ60がはんだ材料Sをメインタンク70に吐出し続ける。すると、一軸偏心ねじポンプ60からメインタンク70に吐出されサブタンク71に到達したはんだ材料Sを、スタティックミキサ90で撹拌し、再び一軸偏心ねじポンプ60へ戻るように、マグネットポンプ54が循環させる。これにより、当該待ち時間においてはんだ粒子が液体中で沈降してしまうことを防止できるので、はんだ材料SをワークW上に供給する時は、常に、液体中にはんだ粒子が均一に分散した状態となる。はんだ材料循環工程Cでは、一軸偏心ねじポンプ60及びマグネットポンプ90はオンし、ねじポンプ移動手段101及びワーク搬送手段102はオフする。
最後に、ワーク配置工程Dでは、次のワークWが所定位置に配置される(図7の二点鎖線)。このとき、一軸偏心ねじポンプ60及びマグネットポンプ90はオフし、ねじポンプ移動手段101及びワーク搬送手段102はオンする。
図9[1]は一軸偏心ねじポンプ60の一例を示す断面図、図9[2]は図9[1]におけるIX−IX線断面図、図9[3]はスタティックミキサ90の一例を示す断面図である。以下、図5乃至図7及び図9に基づき、はんだ材料供給装置50の主な構成要素について説明する。
図5に示すように、一軸偏心ねじポンプ60は、先端からノズル部61、筒部62、接続部63及び駆動源64を備える。接続部63は、配管56からはんだ材料Sを導入する。駆動源64は、モータ、減速機等から成り、駆動軸69(図9[1])へ動力を伝達する。また、筒部62は、図9[1][2]に示すように、筒体65に収容された雌ねじ形ステータ66内に、雄ねじ形ロータ67が回動自在に嵌挿されたものである。そして、雄ねじ形ロータ67の基端は、偏心自在継手68を介して駆動軸69に連結されている。雌ねじ形ステータ66は、どの断面も長円形を呈し、弾性材料から成る。雄ねじ形ロータ67は、どの断面も円形を呈し、金属から成る。
雌ねじ形ステータ66内に雄ねじ形ロータ67を装着すると、両者の間に接線によって厳密にシールされた連続する螺旋状の空間60aが生ずる。この状態で、雄ねじ形ロータ67を回転させると、雄ねじ形ロータ67は雌ねじ形ステータ66内を回転しながら往復運動をする。その結果、空間60aに満たされていたはんだ材料Sは、無限のピストン運動によって、吸込側から吐出側へ向かって、無脈動かつ定量で移送される。
このように、一軸偏心ねじポンプ60は、雄ねじ形ロータ67を雌ねじ形ステータ66内に回動自在に嵌挿して偏心回転させることにより、はんだ材料Sを移送する。一軸偏心ねじポンプ60によれば、切れ目の無い無限のピストン運動によって、高精度かつ無脈動の定量吐出が可能となる。なお、仮にはんだ粒子が雌ねじ形ステータ66と雄ねじ形ロータ67とに挟まれたとしても、雌ねじ形ステータ66が弾性材料から成るので、はんだ粒子が変形するおそれは無い。
メインタンク70は、図7に示すように、ねじポンプ挿入部72とはんだ材料貯留部73とを備える。ねじポンプ挿入部72において、一軸偏心ねじポンプ60が当接する箇所に、Oリング73が設けられている。なお、サブタンク71は、例えば単なる容器である。
フィルタ51は、例えば一般的な金網である。フィルタ51によれば、混入した異物や凝集又は変形したはんだ粒子をはんだ材料から除去することにより、高品質のはんだバンプの形成が可能となるとともに、はんだ材料Sの流路での詰まりも防止される。
マグネットポンプ80は、図示しないが、ポンプハウジング内に設けた羽根車を、ポンプハウジング外から磁気力を利用して非接触状態で回転させることにより、はんだ材料Sを圧送するものである。一般のポンプは、ポンプハウジング内に設けた羽根車を、ポンプハウジング外から貫通させた動力伝達軸に連結し、この動力伝達軸を回転させる構造である。そのため、一般のポンプでは、動力伝達軸のシール部分から液洩れが起きやすい。これに対し、マグネットポンプ80は、軸シールに相当するものが無いので、原理的に液洩れが起きない。また、液洩れが起きないということは、逆に外気がポンプ内に入り込まないということでもあるので、ポンプでの異物の混入等も防止できる。
スタティックミキサ90は、図9[3]に示すように、複数の右エレメント91と左エレメント92とが交互かつ直列に筒体93内に収容されたものであり、はんだ材料Sが通過するときにはんだ材料Sの流路に変化を与えることにより、液体中にはんだ粒子を均一に分散させる。右エレメント91及び左エレメント92は、長方形の板をそれぞれ逆方向に180度ねじったものである。そのため、スタティックミキサ90は、右エレメント91及び左エレメント92の通過液体に対する分割・転換・反転の作用によって、はんだ材料Sを効果的に混合する。つまり、はんだ材料Sは、分割作用によって、一つのエレメントを通過するごとに二分割される。このとき、エレメント数をn、合計の分割数をNとすれば、N=2nとなる。また、はんだ材料Sは、転換作用によって、エレメント内のねじれ面に沿って、筒体93の中央部から壁面部へ又は壁面部から中央部へと並び替えられる。更に、はんだ材料Sは、反転作用によって、1エレメントごとに回転方向が替わるので、急激な慣性力の反転を受けて乱流攪拌される。したがって、スタティックミキサ90によれば、駆動手段を必要とせずにはんだ材料Sを撹拌できるので、構成が簡素化されるとともに、駆動軸と軸受けとの間にはんだ粒子が挟まれるおそれもない。
10,50 はんだ材料供給装置
11 供給手段
12 貯留手段
13 循環手段
14 撹拌手段
51 フィルタ
60 一軸偏心ねじポンプ(供給手段)
70 メインタンク(貯留手段)
71 サブタンク(貯留手段)
80 マグネットポンプ(循環手段)
90 スタティックミキサ(撹拌手段)
S はんだ材料
S1 はんだ粒子
S2 液体
W ワーク
11 供給手段
12 貯留手段
13 循環手段
14 撹拌手段
51 フィルタ
60 一軸偏心ねじポンプ(供給手段)
70 メインタンク(貯留手段)
71 サブタンク(貯留手段)
80 マグネットポンプ(循環手段)
90 スタティックミキサ(撹拌手段)
S はんだ材料
S1 はんだ粒子
S2 液体
W ワーク
Claims (6)
- はんだ粒子とフラックス作用を有する液体との混合物から成り前記液体中で前記はんだ粒子が沈降するはんだ材料を、はんだ材料供給工程及びはんだ材料循環工程を含む工程によってワーク上に供給する、はんだ材料供給方法であって、
前記はんだ材料供給工程では、前記ワーク上に前記はんだ材料を供給し、
前記はんだ材料循環工程では、次の前記ワーク上に前記はんだ材料を供給するまでの待ち時間に、前記はんだ材料を前記ワーク以外に供給し当該はんだ材料を撹拌しつつ再び前記ワーク上に供給するために循環させる、
ことを特徴とするはんだ材料供給方法。 - 前記はんだ材料供給工程の前に、前記ワークを所定位置に配置するワーク配置工程を有し、
前記はんだ材料供給工程の後に、前記ワークを前記所定位置から取出すワーク取出し工程を有する、
請求項1記載のはんだ材料供給方法。
- はんだ粒子とフラックス作用を有する液体との混合物から成り前記液体中で前記はんだ粒子が沈降するはんだ材料を、供給手段、貯留手段、循環手段及び撹拌手段を含む手段によってワーク上に供給する、はんだ材料供給装置であって、
前記供給手段は、前記ワーク上に前記はんだ材料を供給するとともに、次の前記ワーク上に前記はんだ材料を供給するまでの待ち時間に前記貯留手段に前記はんだ材料を供給し、
前記貯留手段は、前記供給手段から供給された前記はんだ材料を一時的に貯留し、
前記循環手段は、前記貯留手段から前記供給手段へ前記はんだ材料を循環させ、
前記撹拌手段は、前記循環手段によって循環する前記はんだ材料を撹拌する、
ことを特徴とするはんだ材料供給装置。 - 前記供給手段は、雄ねじ形ロータを雌ねじ形ステータ内に回動自在に嵌挿して偏心回転させることにより前記はんだ材料を移送する一軸偏心ねじポンプから成る、
請求項3記載のはんだ材料供給装置。 - 前記撹拌手段は、前記はんだ材料が通過するときに当該はんだ材料の流路に変化を与えることにより前記液体中に前記はんだ粒子を均一に分散させるスタティックミキサから成る、
請求項3又は4のいずれかに記載のはんだ材料供給装置。 - 前記循環手段によって循環する前記はんだ材料を通過させることにより前記液体中の前記はんだ粒子を分散及び分級させるフィルタを、
更に備えた請求項3乃至5のいずれかに記載のはんだ材料供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004228859A JP2006043737A (ja) | 2004-08-05 | 2004-08-05 | はんだ材料供給方法及び装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007208108A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 材料供給装置及び方法 |
JP2013140932A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Korea Electronics Telecommun | 半田バンプ形成方法 |
-
2004
- 2004-08-05 JP JP2004228859A patent/JP2006043737A/ja active Pending
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