JP2006042136A - 終端回路、半導体装置、及び電子機器 - Google Patents

終端回路、半導体装置、及び電子機器 Download PDF

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Abstract

【課題】 終端抵抗としてトランジスタを使用する終端回路の整合特性を向上させる。
【解決手段】 Pチャネル型MOSトランジスタ11aとNチャネル型MOSトランジスタ11bとの並列接続を伝送線路102と電源線103との間に備え、Pチャネル型MOSトランジスタ11cとNチャネル型MOSトランジスタ11dとの並列接続を伝送線路102とグランド線104との間に備える。そして、これら全てをオンとしたときのオン抵抗によってテブナン終端を形成する。
【選択図】図1

Description

本発明は、信号伝送技術に関し、特に、伝送線路のインピーダンスとの整合をとる終端回路の技術に関する。
例えばJEDEC(Joint Electron Device Engineering Council )によって策定されたDDR2(Double Data Rate 2)規格に準拠したメモリのインタフェースは、メモリのコントローラ側に終端回路を備えることが要求されている。
DDR2インタフェースにおけるコントローラ側の終端回路は、コントローラ自身がデータ受信側となるときには活性化させ、データ送信側となるときには不活性とすることが求められている。また、伝送線路のインピーダンスは75Ωとされているため、コントローラとメモリとを1:1接続とする場合には終端抵抗値を75Ωとする一方、コントローラとメモリとを1:2接続とする場合に終端抵抗値を150Ωへ切り換えることができるようにする必要がある。更に、終端回路の構成はテブナン終端とすることが要求されている。
このような要件を充たし得る終端回路の構成例を図3に示す。
同図において、コントローラ100においてメモリ200へのデータ伝送線路の各々には、4本の抵抗101a、101b、101c、及び101dが配置されている。抵抗101a及び101cは並列接続されて伝送線路と電源線との間に備えられており、抵抗101b及び101dは並列接続されて伝送線路とグランド線との間に備えられている。抵抗101a、101b、101c、及び101dの抵抗値はいずれも300Ωである。従って、この回路はテブナン終端の構成であり、その終端抵抗値は75Ωとなる。
ここで、この4本の抵抗101a、101b、101c、及び101dのうち、伝送線路と電源線との間の1本(例えば抵抗101c)と、伝送線路とグランド線との間の1本(例えば抵抗101d)とを伝送線路から切り離すと、その残り(例えば抵抗101a及び101b)によりテブナン終端の構成が維持されたまま、その終端抵抗値が150Ωとなる。更に、4本の抵抗101a、101b、101c、及び101dの全てを伝送線路から切り離せば終端回路は不活性となる。
半導体装置において、図3に示した終端回路の半導体基板上での具体的構成例を図4に示す。同図において、伝送線路102と電源線103との間に備えられているPチャネル型MOSトランジスタ111a及び111cがそれぞれ抵抗101a及び101cに相当し、伝送線路102とグランド線104との間に備えられているNチャネル型MOSトランジスタ111b及び111dがそれぞれ抵抗101b及び101dに相当する。
なお、Pチャネル型MOSトランジスタ111e及びNチャネル型MOSトランジスタ111fは、Pチャネル型MOSトランジスタ111a及び111c並びにNチャネル型MOSトランジスタ111b及び111dを伝送線路102と接続若しくは切断するためのものであり、これらを飽和領域で動作させたときのドレイン端子−ソース端子間の抵抗値(いわゆるオン抵抗)は充分に小さなものとなるように形成されている。
Pチャネル型MOSトランジスタ(以下、「P型トランジスタ」とも称することとする)111a及び111cは、ゲート端子の信号レベルをLレベル(ローレベル)とするとオンになり、Nチャネル型MOSトランジスタ(以下、「N型トランジスタ」とも称することとする)111b及び111dは、ゲート端子の信号レベルをHレベル(ハイレベル)とするとオンになる。ここで、P型トランジスタ111a及び111c並びにN型トランジスタ111b及び111dは、オン抵抗がいずれも300Ωとなるようにゲート幅が形成されている。従って、これらのトランジスタ111a、111b、111c、及び111dの各々のゲート端子の信号レベルを制御して全てをオンとするようにすれば、この回路はテブナン終端の構成であり、その終端抵抗値は75Ωとなる。
ここで、P型トランジスタ111a及び111cのうちどちらか1本(例えばP型トランジスタ111c)と、N型トランジスタ111b及び111dのうちどちらか1本(例えばN型トランジスタ111d)とのゲート端子の信号レベルを制御してオフとすれば、その残り(例えばP型トランジスタ111a及びN型トランジスタ111b)によりテブナン終端の構成が維持されたまま、その終端抵抗値が150Ωとなる。更に、Pチャネル型MOSトランジスタ111e及びNチャネル型MOSトランジスタ111fの各々のゲート端子の信号レベルを制御して両者をオフとするようにすれば、終端回路は不活性となる。
この図4に示した終端回路は、トランジスタ111a、111b、111c、及び111dのオン抵抗を利用しているため、以下の問題を有している。
(1)P型トランジスタ111a及び111cは、そのゲート閾値電圧をVthPと表せば、伝送線路102の電位がVthPよりも低くなるとドレイン端子−ソース端子間における電圧変化ΔVdsと電流変化ΔIdsとの比例関係が悪化し、伝送線路102と電源線103との間の抵抗値が目的値よりも大きくなってしまう。
(2)N型トランジスタ111b及び111dは、そのゲート閾値電圧をVthNと表し、オン動作時のゲート端子−ソース端子間電圧をVgs(これはすなわち電源線103の電位VDDである)と表せば、伝送線路102の電位がVgs−VthNよりも高くなるとドレイン端子−ソース端子間における電圧変化ΔVdsと電流変化ΔIdsとの比例関係が悪化し、伝送線路102とグランド線104との間の抵抗値が目的値よりも大きくなってしまう。
この問題のため、伝送線路102から見た終端抵抗値が伝送信号により変化することとなり、伝送線路102の信号伝送品質の劣化を生じさせていた。
この問題に関し、例えば特許文献1には、終端抵抗として使用するトランジスタを非飽和領域で動作させると共に、トランジスタのゲート端子電圧を基準抵抗に基づいて制御して適正なオン抵抗を得ることにより、終端抵抗値のばらつきを抑制する技術が開示されている。
特開2002−344300号公報
上掲した特許文献1に開示されている技術では、トランジスタで適正なオン抵抗を得るためのゲート端子電圧を基準抵抗に基づいて生成するアナログ回路が必要になる。
また、例えばメモリのインタフェースにおける終端回路では伝送線路が多数のため抵抗の代用とするトランジスタも多数設けることとなるが、ゲート端子への配線のレイアウトを各トランジスタについて同様のものとすることはその他の回路との関係上容易なことではない場合が多い。このため、特許文献1に開示されている技術では、この配線レイアウトの違いによりゲート端子に供給する電圧がトランジスタ間で共通にならず、結果としてオン抵抗値がトランジスタ間で不揃いとなって伝送線路の整合が不十分になってしまうこともあり得る。
本発明は上述した問題に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、終端抵抗としてトランジスタを使用する終端回路の整合特性を向上させることである。
本発明の態様のひとつである終端回路は、伝送線路を終端する回路であって、一対のPチャネル型MOSトランジスタとNチャネル型MOSトランジスタとが並列接続されて抵抗部を形成し、当該伝送線路と電源線との間、及び当該伝送線路とグランド線との間にそれぞれ当該抵抗部を備えてテブナン終端を形成していることを特徴とするものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。
Pチャネル型MOSトランジスタとNチャネル型MOSトランジスタとの両者の抵抗特性を共に悪化状態とする伝送線路の電位の範囲はごく狭い範囲であるので、上述したようにしてこの両者を並列接続したものを終端抵抗として用いることにより、両者を並列接続して組み合わせることなく用いる場合に比べて伝送線路の信号伝送品質の劣化が抑制される。
なお、上述した本発明に係る終端回路において、上述の抵抗部を形成しているPチャネル型MOSトランジスタとNチャネル型MOSトランジスタとの各々のゲート閾値電圧の和が、上述の回路の電源電圧よりも低くなるように当該Pチャネル型MOSトランジスタ及び当該Nチャネル型MOSトランジスタが形成されていてもよい。
上記の式を満たすように抵抗部を形成すれば、伝送線路の信号レベルが取り得るどのような値であっても、並列接続されているPチャネル型MOSトランジスタとNチャネル型MOSトランジスタとでオン時の抵抗特性が同時に悪化することがないので、伝送線路の信号レベルによる抵抗部の抵抗特性の変化が特に良好に抑制される。
また、前述した本発明に係る終端回路において、複数の抵抗部を更に並列に接続して前述の伝送線路と前述の電源線との間、及び当該伝送線路と前述のグランド線との間にそれぞれ設け、当該抵抗部の各々を個別に制御して当該抵抗部を構成している一対のPチャネル型MOSトランジスタ及びNチャネル型MOSトランジスタのオン・オフの動作を切り換える制御手段を更に有するように構成してもよい。
この構成によれば、抵抗部の抵抗値の調整が可能となるので、伝送線路の整合をより適切に行うことができる。
なお、このとき、上述の複数の抵抗部の並列接続と抵抗素子との直列接続が上述の伝送線路と上述の電源線との間、及び当該伝送線路と上述のグランド線との間に設けられているようにしてもよい。
なお、このとき、抵抗素子として、例えばポリシリコン抵抗を用いることができる。
この構成によれば、抵抗部よりも抵抗特性の良好な抵抗素子が挿入されているので、伝送線路の信号レベルによる抵抗部の抵抗特性の変化が更に良好に抑制される。
また、前述の抵抗部を形成しているMOSトランジスタのゲート幅が、他のいずれの抵抗部を形成しているものとも異なるように当該MOSトランジスタが形成されていてもよい。
この構成によれば、抵抗部の抵抗値の調整を、より広い範囲に渡って、若しくはより細かな調整ステップで行うことが可能となり、伝送線路の整合がより適切に行える。
なお、前述した本発明に係る終端回路が半導体基板上に形成されていることを特徴とする半導体装置も本発明に係るものであり、また、この半導体装置を備えたことを特徴とする電子機器も本発明に係るものである。
以上のように、本発明によれば、終端抵抗としてトランジスタを使用する終端回路の整合特性が向上するという効果を奏する。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は本発明を実施する終端回路の構成を示している。同図において、前述した図4に示したものと同一の線路には同一の符号を付している。
なお、本実施形態において、この終端回路は、半導体装置1における単一の半導体基板上に形成する。なお、この半導体装置1は例えばCPU(中央演算装置)であり、例えばコンピュータなどの電子機器2に設けられる。
図1に示した終端回路は、テブナン終端を形成している終端部10と、終端回路の活性/不活性の切り替えの制御及び終端抵抗値の切り替えの制御を行う制御部40とを備えて構成されている。
終端部10は、伝送線路102の1線路毎に、第一終端部10aと第二終端部10bとを備えている。以下、第一終端部10aの回路構成を説明するが、第一終端部10aと第二終端部10bとは同一の回路構成である。
一対のP型トランジスタ11aとN型トランジスタ11bとはドレイン端子−ソース端子間が並列接続されて抵抗部を形成する。制御部40から個別に導かれている制御線41aはP型トランジスタ11aのゲート端子とインバータ20aの入力とに接続されている。このインバータ20aの出力はN型トランジスタ11bのゲート端子に接続されている。従って、制御線41aの信号レベルがLレベルとなると、P型トランジスタ11aのゲート端子はLレベルとなり、N型トランジスタ11bのゲート端子はインバータ20aの作用によってHレベルとなるので、P型トランジスタ11aとN型トランジスタ11bとが同時にオンとなる。
前述したように、P型トランジスタ11aは、伝送線路102の電位がゲート閾値電圧VthPよりも低くなるとオン時の抵抗特性(ドレイン端子−ソース端子間における電圧変化ΔVdsと電流変化ΔIdsとの比例関係)が悪化する。また、N型トランジスタ11bは、そのゲート閾値電圧をVthNと表し、オン動作時のゲート端子−ソース端子間電圧をVgs(これはすなわち電源線103の電圧VDD)と表せば、伝送線路102の電位がVgs−VthNよりも高くなるとオン時の抵抗特性が悪化する。しかし、このようなP型トランジスタ11aとN型トランジスタ11bとの両者の抵抗特性を共に悪化状態とする伝送線路102の電位の範囲はごく狭い範囲であるので、この両者を並列接続したものを終端抵抗として用いることにより、両者を並列接続して組み合わせることなく用いる場合に比べて伝送線路102の信号伝送品質の劣化が抑制される。
なお、抵抗部を構成する一対のP型トランジスタ11aのゲート閾値電圧VthPとN型トランジスタ11bのゲート閾値電圧VthNとの関係が下記の式を満たすようにP型トランジスタ11a及びN型トランジスタ11bを形成すると、特に良好な伝送線路102の信号伝送品質を得ることができる。
VthP<Vgs−VthN ……………………(1)
上記の(1)式において、Vgsは、オン動作時のゲート端子−ソース端子間電圧(これはすなわち電源線103の電位VDDである)である。なお、伝送線路102の信号レベルは電源線103の電位VDD以下であるとする。
上記の式を満たすように抵抗部を形成すれば、伝送線路102の信号レベルが取り得るどのような値であっても、並列接続されているP型トランジスタ11aとN型トランジスタ11bとでオン時の抵抗特性が同時に悪化することがないので、伝送線路102の信号レベルによる抵抗部の抵抗特性の変化が特に良好に抑制される。
(1)式を変形すると、下記の(2)式が得られる。
VthP+VthN<Vgs ……………………(2)
つまり、(1)式を満たすためには、抵抗部を形成しているP型トランジスタ11aとN型トランジスタ11bとの各々のゲート閾値電圧の和が、図1の回路の電源電圧よりも低くなるようにP型トランジスタ11a及びN型MOSトランジスタ11bを形成すればよいことが、この(2)式より分かる。
他の組のトランジスタ12a、12b、…、1na、1nb及びインバータ20b、…、20nも同様に接続されており、更に、これらの計n組の抵抗部であるトランジスタ11a、11b、12a、12b、…、1na、1nbのドレイン端子−ソース端子間が並列接続されている。
一方、一対のP型トランジスタ11cとN型トランジスタ11dともドレイン端子−ソース端子間が並列接続されて抵抗部を形成する。制御部40から個別に導かれている制御線42aはN型トランジスタ11dのゲート端子とインバータ30aの入力とに接続されている。このインバータ30aの出力はP型トランジスタ11cのゲート端子に接続されている。従って、制御線42aの信号レベルがHレベルとなると、N型トランジスタ11dのゲート端子はHレベルとなり、P型トランジスタ11cのゲート端子はインバータ30aの作用によってLレベルとなるので、P型トランジスタ11cとN型トランジスタ11dとが同時にオンとなる。
他の組のトランジスタ12c、12d、…、1nc、1nd及びインバータ30b、…、30nも同様に接続されており、更に、これらの計n組の抵抗部であるトランジスタ11c、11d、12c、12d、…、1nc、1ndのドレイン端子−ソース端子間が並列接続されている。
トランジスタ11a、11b、12a、12b、…、1na、1nbの各ドレイン端子は電源線103と接続されており、それらの各ソース端子はポリシリコン抵抗31を介して伝送線路102に接続されている。また、トランジスタ11c、11d、12c、12d、…、1nc、1ndの各ドレイン端子はポリシリコン抵抗32を介して伝送線路102に接続されており、それらの各ソース端子はグランド線104と接続されている。
次に、終端部10の各トランジスタのオン・オフの動作を切り換える制御部40の回路構成について説明する。
電源線側抵抗精度調整制御信号線51は、2入力であるOR回路41の入力の一方に各々接続されており、グランド線側抵抗精度調整制御信号線52は、2入力であるAND回路42の入力の一方に各々接続されている。また、ON/OFF信号線53が、AND回路42の各々の入力のもう一方とインバータ43の入力とに接続されており、インバータ43の出力はOR回路41の各々の入力のもう一方に接続されている。
従って、ON/OFF信号線53をLレベルとすると、OR回路41の出力はいずれも常にHレベルとなり、AND回路42の出力はいずれも常にLレベルとなるので、トランジスタ11a、11b、12a、12b、…、1na、1nb、11c、11d、12c、12d、…、1nc、1ndはいずれも常にオフとなる。つまり、このとき、終端抵抗であるトランジスタ11a、11b、12a、12b、…、1na、1nb、11c、11d、12c、12d、…、1nc、1ndのいずれもが伝送線路102から切り離される。更に、このとき、第一終端部10aと同様の回路構成である第二終端部10bに設けられているこれらのトランジスタも同様に伝送線路102から切り離される。従って、このとき、図1の終端回路は伝送線路102に対して常に不活性となる。
なお、以下の説明においては、特に断らない限り、ON/OFF信号線53をHレベルとしているものとする。
また、OR回路41の出力は、2入力であるOR回路45の入力の一方に各々接続されており、AND回路42の出力は、2入力であるAND回路46の入力の一方に各々接続されている。ここで、終端抵抗値選択信号線54が、AND回路46の各々の入力のもう一方とインバータ44の入力とに接続されており、インバータ44の出力はOR回路45の各々の入力のもう一方に接続されている。
従って、終端抵抗値選択信号線54をLレベルとすると、OR回路45の出力はいずれも常にHレベルとなり、AND回路46の出力はいずれも常にLレベルとなるので、終端部10のうちの第二終端部10bに設けられているトランジスタのいずれもが伝送線路102から切り離される。従って、このとき、第二終端部10bは伝送線路102に対して常に不活性となり、第一終端部10aのみが伝送線路102に対して影響を及ぼすようになる。
なお、以下の説明においては、特に断らない限り、終端抵抗値選択信号線54をHレベルとしているものとする。
電源線側抵抗精度調整制御信号線51のうちの幾つかの信号レベルをLレベルとすると、計n組のトランジスタ11a、11b、12a、12b、…、1na、1nbのうちOR回路41を介してその電源線側抵抗精度調整制御信号線51と接続されているものがオンとなる。ここで、抵抗部であるトランジスタ11a、11b、12a、12b、…、1na、1nbは並列接続されているので、これらのうち電源線側抵抗精度調整制御信号線51によってオンにされたもののオン抵抗の並列合成抵抗と、ポリシリコン抵抗との直列合成抵抗が伝送線路102と電源線103との間に接続されていることになる。つまりこの直列合成抵抗は図4における抵抗101aと見ることができる。
同様に、グランド側抵抗精度調整制御信号線52のうちの幾つかの信号レベルをHレベルとすると、計n組のトランジスタ11c、11d、12c、12d、…、1nc、1ndのうちAND回路42を介してそのグランド側抵抗精度調整制御信号線52と接続されているものがオンとなる。ここで、抵抗部であるトランジスタ11c、11d、12c、12d、…、1nc、1ndは並列接続されているので、これらのうちグランド側抵抗精度調整制御信号線52によってオンにされたもののオン抵抗の並列合成抵抗と、ポリシリコン抵抗との直列合成抵抗が伝送線路102とグランド線104との間に接続されていることになる。つまりこの直列合成抵抗は図4における抵抗101bと見ることができる。
このように、第一終端部10aを図4における抵抗101a及び101bと見ることができるので、第一終端部10aと同様の構成を有する第二終端部10bを図4における抵抗101c及び101dと見ることができることは明らかである。すなわち、図1における終端部10は、図4と同様のテブナン終端の抵抗終端回路を構成しているのである。
ここで、前述したように、終端抵抗値選択信号線54をLレベルに切り換えることで第二終端部10bを伝送線路102に対して不活性とすることができるので、この図1の終端回路はテブナン終端の構成を維持したまま終端抵抗値を切り換えることができる。また、ON/OFF信号線53をLレベルに切り換えることで図1の終端回路を伝送線路102に対して不活性とすることもできる。
更に、電源線側抵抗精度調整制御信号線51及びグランド側抵抗精度調整制御信号線52の各々の信号レベルを切り換えて、オンにするトランジスタの組の選択を切り換える、すなわち抵抗部の組み合わせを切り換えることにより、テブナン終端を構成する各抵抗の値の調整を行うことができる。
なお、図1の回路において、ポリシリコン抵抗31若しくは32を削除して短絡する構成、すなわち、トランジスタ11a、11b、12a、12b、…、1na、1nbの並列接続を伝送線路102と電源線103との間に直接接続する構成、若しくはトランジスタ11c、11d、12c、12d、…、1nc、1ndの並列接続を伝送線路102とグランド線104との間に直接接続する構成としてもよい。但し、トランジスタのオン抵抗を利用するよりもポリシリコン抵抗のような純粋な抵抗素子の方が良好な抵抗特性が得られるので、ポリシリコン抵抗31及び32を用いる図1の構成の方が、良好な信号伝送品質を伝送線路102に提供することができる。
ところで、図1において、トランジスタ11a、11b、12a、12b、…、1na、1nbの各並列接続の傍らには「W=1」、「W=2」、…、「W=n」の各々異なる文字が付されている。これは、抵抗部を構成している各組の一対のトランジスタのゲート幅の相対値を示している。従って、図1においては、抵抗部を構成している各組の一対のトランジスタのゲート幅は、自分自身を除く他の抵抗部を構成しているいずれの組のもののゲート幅とも異なるものとなっている。
ここで図2について説明する。同図はゲート幅の異なるMOSトランジスタの構造を示している。図2において、(1)はゲート幅がwであるトランジスタの構造を示しており、(2)はゲート幅が2w((1)のものの2倍のゲート幅)であるトランジスタの構造を示している。
一般に、MOSトランジスタのオン抵抗値はゲート幅に反比例する。従って、図2において、(1)に示したトランジスタは(2)に示したものの2倍のオン抵抗値を呈する。
つまり、図1のように、抵抗部であるトランジスタの各組のゲート幅を異ならせておくことにより、電源線側抵抗精度調整制御信号線51及びグランド側抵抗精度調整制御信号線52の各々の信号レベルを切り換えることで行われるテブナン終端を構成する各抵抗の値の調整を、同一のゲート幅とする場合よりもより広い範囲に渡って、若しくはより細かな調整ステップで、行うことが可能となる。
その他、本発明は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
本発明を実施する終端回路の構成を示す図である。 ゲート幅の異なるMOSトランジスタの構造を示す模式図である。 終端回路の構成例を示す図である。 図3に示した終端回路の半導体基板上での具体的構成例を示す図である。
符号の説明
1 半導体装置
2 電子機器
10 終端部
10a 第一終端部
10b 第二終端部
11a、12a、1na、11c、12c、1nc、111a、111c、111e Pチャネル型MOSトランジスタ
11b、12b、1nb、11d、12d、1nd、111b、111d、111f Nチャネル型MOSトランジスタ
20a、20b、20n、30a、30b、30n、43、44 インバータ
31、32 ポリシリコン抵抗
40 制御部
41、45 OR回路
41a、42a 制御線
42、46 AND回路
51 電源線側抵抗精度調整制御信号線
52 グランド線側抵抗精度調整制御信号線
53 ON/OFF信号線
54 終端抵抗値選択信号線
100 コントローラ
101a、101b、101c、101d 抵抗
102 伝送線路
103 電源線
104 グランド線
200 メモリ

Claims (8)

  1. 伝送線路を終端する回路であって、
    一対のPチャネル型MOSトランジスタとNチャネル型MOSトランジスタとが並列接続されて抵抗部を形成し、
    前記伝送線路と電源線との間、及び当該伝送線路とグランド線との間にそれぞれ前記抵抗部を備えてテブナン終端を形成している
    ことを特徴とする終端回路。
  2. 前記抵抗部を形成しているPチャネル型MOSトランジスタとNチャネル型MOSトランジスタとの各々のゲート閾値電圧の和が、前記回路の電源電圧よりも低くなるように当該Pチャネル型MOSトランジスタ及び当該Nチャネル型MOSトランジスタが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の終端回路。
  3. 複数の前記抵抗部を更に並列に接続して前記伝送線路と前記電源線との間、及び当該伝送線路と前記グランド線との間にそれぞれ設け、
    前記抵抗部の各々を個別に制御して当該抵抗部を構成している前記一対のPチャネル型MOSトランジスタ及びNチャネル型MOSトランジスタのオン・オフの動作を切り換える制御を行う制御手段を更に有する
    ことを特徴とする請求項1に記載の終端回路。
  4. 前記複数の抵抗部の並列接続と抵抗素子との直列接続が前記伝送線路と前記電源線との間、及び当該伝送線路と前記グランド線との間に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の終端回路。
  5. 前記抵抗素子はポリシリコン抵抗であることを特徴とする請求項4に記載の終端回路。
  6. 前記抵抗部を形成しているMOSトランジスタのゲート幅が、他のいずれの抵抗部を形成しているものとも異なるように当該MOSトランジスタが形成されていることを特徴とする請求項3から5までのうちのいずれか一項に記載の終端回路。
  7. 請求項1から6までのうちのいずれか一項に記載の終端回路が半導体基板上に形成されていることを特徴とする半導体装置。
  8. 請求項7に記載の半導体装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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