JP2006041423A - 精密薄板材の搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、精密薄板材(15)のエッジを把持する複数の把持部材(10A,10B,11A,11B,32A,32B,33)の移動速度を、前記精密薄板材(15)のエッジに接触する直前に減速させる減速手段7を設けたのである。
上記構成とすることで、把持部材の精密薄板材への接触直前の移動速度を遅くできるので、把持部材の精密薄板材に対する衝突力は小さくなり、その結果、衝突による精密薄板材からの損傷粒子の発生を少なくすることができる。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 精密薄板材の板面に沿って移動させて前記精密薄板材のエッジを把持する複数の把持部材を備えた精密薄板材の搬送装置において、前記把持部材の移動速度を前記精密薄板材のエッジに接触する直前に減速させる減速手段を設けたことを特徴とする精密薄板材の搬送装置。
- 前記減速手段は、前記把持部材の移動を抑制する抵抗部材であることを特徴とする請求項1記載の精密薄板材の搬送装置。
- 前記抵抗部材は、前記把持部材の移動に伴って流動する流動物質と、その流動物質の流路に設けた小断面流路で構成されていることを特徴とする請求項2記載の精密薄板材の搬送装置。
- 前記減速手段は、前記把持部材の移動に伴って弾性力を低下させる手段であることを特徴とする請求項1記載の精密薄板材の搬送装置。
- 前記減速手段は、前記把持部材の把持方向の移動に伴って磁気力を増大させる手段であることを特徴とする請求項1記載の精密薄板材の搬送装置。
- 前記減速手段は、前記把持部材の把持方向の移動に伴って弾性体の反発力を増大させる手段であることを特徴とする請求項1記載の精密薄板材の搬送装置。
- 前記減速手段は、前記把持部材の把持方向の移動に伴って弾性体の変形量を小さくさせる手段であることを特徴とする請求項1記載の精密薄板材の搬送装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2004
- 2004-07-30 JP JP2004223020A patent/JP2006041423A/ja active Pending
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